JPH01302735A - 電気回路装置 - Google Patents

電気回路装置

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JPH01302735A
JPH01302735A JP63133137A JP13313788A JPH01302735A JP H01302735 A JPH01302735 A JP H01302735A JP 63133137 A JP63133137 A JP 63133137A JP 13313788 A JP13313788 A JP 13313788A JP H01302735 A JPH01302735 A JP H01302735A
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Hiroshi Kondo
浩史 近藤
Yoshimi Terayama
寺山 芳実
Takashi Sakaki
隆 榊
Shunichi Haga
羽賀 俊一
Tetsuo Yoshizawa
吉沢 徹夫
Yasuteru Ichida
市田 安照
Masaki Konishi
小西 正暉
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ 本発明は、電気回路装置に関する。
[従来技術] 従来、電気回路部品同士を電気的に接続して構成される
電気回路部材を封止した電気回路装置に関する技術とし
ては以下に述べる技術が知られている。
■ワイヤボンディング方法 第17図及び第18図はワイヤボンディング方法に辷っ
て接続され、封止された半導体装置の代表例を示してお
り、以下、第17図及び第18図に基づきワイヤボンデ
ィング方法を説明する。
この方法は、Agペースト3等を用いて半導体素子4を
素子搭載部2に固定支持し、次いで、半導体素子4の接
続部5と、リードフレーム1の所望の接続部6とを金等
の極細金属線7を用いて電気的に接続する方法である。
接続後にトランスファーモールド法等の方法でエポキシ
樹脂等、熱硬化性樹脂である樹脂8を用いて半導体素子
4とリードフレーム1を封止し、その後、樹脂封止部品
から外に伸びたリードフレーム1の不要部分を切断し、
所望の形に曲げ半導体9を作る。
■T A B (Tape Automated Bo
nding )法(例えば、特開昭59−139636
号公報)第19図はTAB法により接続され封止された
半導体装置の代表例を示す。
この方法は、テープキャリア方式による自動ボンディン
グ法である。この方法を第19図に基づいて説明する。
キャリアフィルム基板16と半導体素子4とを位置決め
した後、キャリアフィルム基板16のインナーリード部
17と半導体素子4の接続部5とを熱圧着することによ
り接続する方法である。接続後にエポキシ!δ(脂等、
熱硬化性樹脂である樹脂20あるいは樹脂21で封止し
、半導体装置9とする。
■CCB (Controlled Co11apse
 Bonding )法(例えば、特公昭42−209
6号公報、特開昭60−57944号公報) 第20図はCCB法によって接続され封止された半導体
装置の代表例を示す。この方法を第20図に基づき説明
する。なお、本方法はフリップチップボンディング法と
も言われている。
半導体素子4の接続部5に予め半田バンプ31を設け、
半田バンブ31が設けられた半導体素子4をモ(」路基
板32上に位置決めして搭載する。その後、半田を加熱
溶解することにより回路基板32と半導体素子4とを接
続させ、フラックス洗浄後封止して半導体装置9を作る
9 ■第21図および第22図に示す方法 第1の半導体素子4の接続部5以外の部分にポリイミド
等よりなる絶縁膜71を形成せしめ、接続部5にはAu
等よりなる金属材70を設け、次いで、金属材70およ
び絶縁膜71の露出面73.72を平らにする。一方、
第2の半導体素子4゛の接続部5′以外の部分にポリイ
ミド等よりなる絶縁膜71′を形成し、接続部5°には
Au等よりなる金属材70″を設け、次いで、金属材7
0゛および絶縁膜71°の露出面73“。
72″を平坦にする。
その後、第22図に示すように第1の半導体素子4と第
2の半導体素子4″とを位置決めし、位置決め後熱圧着
することにより、第1の半導体素子4の接続部5と第2
の半導体素子4゛の接続部5°を、金属材70,70“
を介して接続する。
■第23図に示す方法 第1の回路基板75と第2の回路基板75°の間に、絶
縁物質77中に導電粒子79を分散させた異方性導電膜
78を介在させ、第1の回路基板75と第2の回路基板
75゛を位置決めした後、加圧、もしくは加圧・加熱し
、第1の回路基板75の接続部76と第2の回路基板7
5°の接続部76°を接続する方法である。
■第24図に示す方法 第1の回路基板75と第2の回路基板75°の間に、F
e、Cu等よりなる金属線82が一定方向に向けて配さ
れいる絶縁物質81からなるエラスチックコネークタ−
83を介在させ、第1の回路基板75と第2の回路基板
75°を位置決めした後加圧し、第1の回路基板75の
接続部76と第2の回路基板75″の接続部76′を接
続する方法である。
[発明が解決しようとする問題点] しかしながら、前記した従来のボンディング法には以下
のような問題点がある。
■ワイヤボンディング法 ■半導体素子4の接続部5を半導体素子4の内部にくる
ように設計すると、極細金属線7は、その線径が極めて
小さいために、半導体素子4の外周縁部10あるいはリ
ードフレーム1の素子搭載部2の外周縁部11に接触し
易くなる。極細金属線7がこれら外周縁部10あるいは
11に接触すると短絡する。さらに、極細金属線7の長
さを長くせざるを得す、長さを長くすると、トランスフ
ァーモールド成形時に極細金属線7が変形しやすくなる
従って、半導体素子4の接続部5は半導体素子4上の周
辺に配置する必要が生じ、回路設計上の制限を受けざる
を得なくなる。
■半導体素子4とリードフレーム1とを極細金属線7で
接続するため、接続に必要な水平方向の広がりを必要と
し、これを小さくしようとすると上記■で述べた短絡が
生じる。よって、ワイヤボンディング法では、接続に必
要な水平方向の大きさを小さくすることはできず、高密
度実装には不適である。
■ワイヤボンディング法においては、隣接する極細金属
線7同士の接触等を避けるためには半導体素子4上の接
続部5のピッチ寸法(隣接する接続部の中心間の距wJ
)としである程度の間隔をとらざるを得ない。従って、
半導体素子4の大きさが決まれば必然的に接続部5の最
大数が決まる。
しかるに、ワイヤボンディング法では、このピッチ寸法
が通常0.2mm程度と大きいので、接続部5の数は少
なくせざるを得なくなる。
■ワイヤボンディング作業に時間がかかる。特に、接続
点数が多くなるとボンディング時間が長くなり生産効率
が悪くなる。
■何らかの要因でトランスファーモールド条件範囲を越
すと、極細金属線7が変形したり最悪の場合には切断し
たりする。
また、半導体素子4上の接続部5においては、極細金属
線7と合金化されないA1が露出しているためAI!、
腐食が生じ易くなり、信頼性の低下が生じる。
■TAB?去 ■半導体素子4の接続部5を半導体素子4の内側にくる
ように設計すると、キャリアフィルム基板16のインナ
ーリード部17の長さ2が長くなるため、インナーリー
ド部17が変形し易くなり、インナーリード部を所望の
接続部5に接続できなかったり、インナーリード部17
が半導体素子4の接続部5以外の部分に接触したりする
。これを避けるためには半導体素子4の接続部5を半導
体素子4上の周辺に持ってくる必要が生じ、設計上の制
限を受ける。
■TAB法においても、半導体素子4上の接続部のピッ
チ寸法は0.09〜0.15mm程度にとる必要があり
、従って、ワイヤボンディング法の問題点0で述べたと
同様に、接続部数を増加させることは難しくなる。
■TAB法も接続の方向としては、ワイヤボンディング
法と同村に、水平方向への接続であるため、水平方向の
大きさを小さくすることは困難であり、高密度実装には
不適である。
■キャリアフィルム基板16のインナーリード部17が
半導体素子4の接続部5以外の部分に接触しないように
するには、そのためのインナーリード部17の接続形状
が要求されるためコスト高となる。
■半導体素子4の接続部5とインナーリード部17とを
接続するためには、半導体素子4の接続部5又はインナ
ーリード部17の接続部に金バンブを付けなければなら
ず、コスト高になる。
■半導体素子4の熱膨張係数が、樹脂20乃至樹脂21
の熱膨張係数と異なるため、半導体装置9に熱が加わっ
た場合、熱応力が発生し、半導体素子4の特性劣化を生
じる。さらには、半導体素子4、又は樹脂20あるいは
樹脂21に割れが生じ、装置の信頼性が低下する、この
ような現象は半導体素子4の大きさが大きい場合顕著と
なる。
■CCB法 ■半導体素子4の接続部5に半田バンプ31を形成させ
なければならないためコスト高になる。
■バンブの半田量が多いと隣接する半田バンブ間にブリ
ッジ(隣接する半田バンプ同士が接触する現象)が生じ
、逆にバンプの半田量が少ないと半導体素子4の接続部
5と回路基板32の接続部33が接続しなくなり電気的
導通がとれなくなる。すなわち、接続の信頼性が低くな
る。
さらに、半田量、接続の半田形状が接続の信頼性に影響
する(”Geometric Optimizatio
n ofControlled Co11apse I
nterconnections”。
L、 S、 Goldman、 IBM 、1. RE
S、 DEVELOP、 1969゜MAY、  pp
、251−265.”Re1iabitity  nf
  C0ntrolledCollapse  Int
er−connect、1ans”、  に、  C,
Norris。
A、  I置 t、andzberg、 IBM  J
、  RES、  DEI/E1.、OP。
1969、 MAY、 pp266−271.ろう接技
術研究会技術資料、No、0I7−’84、ろう接技術
研究会発行)という問題がある。
このように、半田バンプの全の多少が接続の信頼性に影
テするため半田バンプ31の二のコントロールが必要と
されている。
■半田バンブ31が半導体素子4の内側に存在すると接
続が良好に行われたか否かの目視検査が難しくなる。
■半導体素子の放熱性が悪い(参考資料:Electr
onic Packaging Techr+r+lo
gy 1987.1゜(Vol、3. No、1) P
、66〜71. NIKKEI MICRODEVIC
ES1986.5月、 P、97〜108)ため、放熱
特性を良好たらしめるために多大な工夫が必要とされる
■半導体素子4の接続部と回路基板32の接続部を合わ
せて接続すル5urface Douw Mount方
式であるため位置合わせが困難であり、製造装置は大が
かりとなる。また、マウント後リフローし接続するので
あるが、搬送中に位置ずれを生じたりする。
■第21図および第22図に示す技術 ■絶縁膜71の露出面72、金属材70の露出面73あ
るいは絶縁膜71′の露出面72°と金属材70’の露
出面73゛とを平らにしなければならず、そのための工
程が増し、コスト高になる。
■絶縁膜71の露出面72と金、脚材70の露出面73
あるいは絶縁膜71°の露出面72°と金属材70°の
露出面73′に凹凸があると金属材70と金属材70′
とが接続しなくなり、信頼性が低Fする。
■+二の方式においても、5urface Down 
Mount方式であるので、CCB法の問題点■でのべ
たと同様に、位置合わせが困難であり、製造装置が大が
かなりなものとなる。
■第23図に示す技術 ■位置決め後、接続部76ど溌続部76゛ とを加圧1
ノて接続する際に、圧力が一定にはう1かりでくいため
接続状態にバラツキが生じ、その結果、接続部における
接触抵抗値のバラツキが大きくなる。そのため、接続の
信頼性が乏17くなる。また、多量の電流を流すと、発
熱等の現象が生じるので、多量の電流を流したい場合に
は不向きである。
■圧力が一定にかけられたとしても、異方性導電[i7
8の導電粒子79の配列により抵抗値のバラツキが大き
くなる。そのため、接続の信頼性に乏しくなる。また、
多量の電流を流したい場合には不向きである。
■隣接する接続部のピッチ(接続部に隣接する接続部中
心間の距1f!t)を狭くすると、隣接する接続部の間
の抵抗値が小さくなることから高密度な接続には不向き
である。
■回路基板75,75°の接続部76.76’の出っ張
りffi h lのバラツキにより抵抗値が変化するた
め、h、バラツキ量を正確に押さえることが必要である
、 ■さらに、異方性導電膜を、半導体素子と回路基板の接
続、又は第1の半導体素子と第2の半専体素子との接続
に使用した場合、上記■〜■の欠点の他、半導体素子の
接続部にバンブを設けなければならなくなり、コスト高
になる。
■第21図に示す技術 ■加圧が必要であり、加圧治具が必要となる。
■エラスチックコネクタ83の金属線82と第1の回路
基板75の接続部76、又は第2の回路基板75°の接
続部76゛との接触抵抗は加圧力および表面状態により
変化するため、接続の信頼性に乏しい。
■エラスチックコネクタ83の金属線82は剛体である
ため、加圧力が犬であるとエラスチックコネクタ83、
第1の回路基板75、第2の回路基板75゛の表面が破
損する可能性が大きい。また、加圧力が小であると、接
続の信頼性が乏しくなる。
■さらに、回路基板75,75°の接続部76.76’
の出っ張り量h2又はエラスチックコネクタ83の金属
線82のの出っ張り量h3とそのバラツキが抵抗値変化
および破損に影うを及ぼすので、バラツキを少なくする
工夫が必要とされる。
■さらに、エラスチックコネクターを半導体素子と回路
基板の接続又は第1の半導体素子と第2の半導体素子と
の接続に使用した場合、■〜■と同様な欠点を生ずる。
(以下余白) [問題点を解決するための手段] 本発明の第1の要旨は、電気的絶縁材料よりなる保持体
と、該保持体中に埋設された複数の電気的導電部材とを
有し、該電気的導電部材の一端が該保持体の一方の面に
おいて露出しており、また、該電気的導電部材の他端が
該保持体の他方の面において露出している電気的接続部
材と;少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部ある
いは該接続部以外の部分において、電気回路部品の少な
くとも1以上の電気的接続部の存在する面以外の少なく
とも1以上の面を接続及び/又は保持する回路が形成さ
れている電気回路保持部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されている、
該回路が形成されている電気回路保持部材に接続及び/
又は保持されている少なくとも1以上の電気回路部品と
; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの他端が接続されている少
なくとも1以上の他の電気回路部品と; を少なくとも有していることを特徴とする電気回路装置
に存在する。
本発明の第2の要旨は、電気的絶縁材料よりなる保持体
と、該保持体中に埋設された複数の電気的導電部材とを
有し、該電気的導電部材の一端が該保持体の一方の面に
おいて露出しており、また、該電気的導電部材の他端が
該保持体の他方の面において露出している電気的接続部
材と;少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部ある
いは該接続部以外の部分において、電気回路部品の少な
くとも1以上の電気的接続部の存在する面以外の少なく
とも1以上の面を接続及び/又は保持する回路が形成さ
れている電気回路保持部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されている、
該回路が形成されている電気回路保持部材に接続及び/
又は保持されている少なくとも1以上の電気回路部品と
; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの他端が接続されており、
該接続は、該接続部と該他端とを金属化及び/又は合金
化することによりなされている少なくとも1以上の他の
電気回路部品と: を少なくとも有していることを特徴とする電気回路装置
に存在する。
本発明の第3の要旨は、電気的絶縁材料よりなる保持体
と、該保持体中に埋設された複数の電気的導電部材とを
有し、該電気的導電部材の一端が該保持体の一方の面に
おいて露出しており、また、該電気的導電部材の他端が
該保持体の他方の面において露出している電気的接続部
材と;少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部ある
いは該接続部以外の部分において、電気回路部品の沙な
くとも1以上の電気的接続部の存在する面以外の少なく
とも1以上の面を接続及び/又は保持する回路が形成さ
れている電気回路保持部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されており、
該接続は、該接続部と該一端とを金属化及び/又は合金
化することによりなされている、該回路が形成されてい
る電気回路保持部材に接続及び/又は保持されている少
なくとも1以上の電気回路部品と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの他端が接続されている少
なくとも1以上の他の電気回路部品と; を少なくとも有していることを特徴とする電気回路装置
に存在する。
本発明の第4の要旨は、電気的絶縁材料よりなる保持体
と、該保持体中に埋設された複数の電気的導電部材とを
有し、該電気的導電部材の一端が該保持体の一方の面に
おいて露出しており、また、該電気的導電部材の他端が
該保持体の他方の面において露出している電気的接続部
材と;少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部ある
いは該接続部以外の部分において電気回路部品の少なく
とも1以上の電気的接続部の存在する面以外の少なくと
も1以上の面を接続及び/又は保持する回路が形成され
ている電気回路保持部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されており、
該接続は、該接続部と該一端とを金属化及び/又は合金
化することによりなされている、該回路が形成されてい
る電気回路保持部材に接続及び/又は保持されている少
なくとも1以上の電気回路部品と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの他端が接続されており、
該接続は、該接続部と該他端とを金属化及び/又は合金
化することによりなされている少なくとも1以上の他の
電気回路部品と; を少なくとも有していることを特徴とする電気回路装置
に存在する。
本発明の第5の要旨は、電気的絶縁材料よりなる保持体
と、該保持体中に埋設された複数の電気的導電部材とを
有し、該電気的導電部材の一端が該保持体の一方の面に
おいて露出しており、また、該電気的導電部材の他端が
該保持体の他方の面において露出している電気的接続部
材と;少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部ある
いは該接続部以外の部分において、電気回路部品の少な
くとも1以上の電気的接続部の存在する面以外の少なく
とも1以上の面を接続及び/又は保持する回路が形成さ
れている電気回路保持部材と: 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されている、
該回路が形成されている電気回路保持部材に接続及び/
又は保持されている少なくとも1以上の電気回路部品と
: 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの他端が接続されている少
なくとも1以上の他の電気回路部品と: を少なくとも有する電気回路装置において、該電気回路
保持部材又は電気的接続部材は段差を有しており: 該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの一端が、該回路が形成さ
れている電気回路保持部材の少なくとも1つの該接続部
と接続され; 該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの他端が、該他の電気回路
部品の少なくとも1つの該接続部と接続されていること
を特徴とする電気回路装置に存在する。
本発明の第6の要旨は、電気的絶縁材料よりなる保持体
と、該保持体中に埋設された複数の電気的導電部材とを
有し、該電気的導電部材の一端が該保持体の一方の面に
おいて露出しており、また、該電気的導電部材の他端が
該保持体の他方の面において露出している電気的接続部
材と;少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部ある
いは該接続部以外の部分において、電気回路部品の少な
くとも1以上の電気的接続部の存在する面以外の少なく
とも1以上の面を接続及び/又は保持する回路が形成さ
れている電気回路保持部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されている、
該回路が形成されている電気回路保持部材に接続及び/
又は保持されている少なくとも1以上の電気回路部品と
: 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの他端が接続されており、
該接続は、該接続部と該他端とを金属化及び/又は合金
化することによりなされている少なくとも1以上の他の
電気回路部品と: を少なくとも有する電気回路装置において、該電気回路
保持部材又は電気的接続部材は段差を有しており: 該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの一端が、該回路が形成さ
れている電気回路保持部材の少なくとも1つの該接続部
と接続され; 該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの他端が、該他の電気回路
部品の少なくとも1以上の該接続部と接続されており、
該接続は、該接続部と該他端とを金属化及び/又は合金
化することによりなされていることを特徴とする電気回
路装置に存在する。
本発明の第7の要旨は、電気的絶縁材料よりなる保持体
と、該保持体中に埋設された複数の電気的導電部材とを
有し、該電気的導電部材の一端が該保持体の一方の面に
おいて露出しており、また、該電気的導電部材の他端が
該保持体の他方の面において露出している電気的接続部
材と;少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部ある
いは該接続部以外の部分において、電気回路部品の少な
くとも1以上の電気的接続部の存在する面以外の少なく
とも1以上の面を接続及び/又は保持する回路が形成さ
れている電気回路保持部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されており、
該接続は、該接続部と該一端とを金属化及び/又は合金
化することによりなされている、該回路が形成されてい
る電気回路保持部材に接続及び/又は保持されている少
なくとも1以上の電気回路部品と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの他端が接続されている少
なくとも1以上の他の電気回路部品と; を少なくとも有する電気回路装置において、該電気回路
保持部材又は電気的接続部材は段差を有しており; 該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも】つの一端が、該回路が形成さ
れている電気回路保持部材の少なくとも1つの該接続部
と接続されており、該接続は該接続部と該一端とを金属
化及び7/′又は合金化することにより接続され; 該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの他端が、該他の電気回路
部品の少なくとも1つの該接続部と接続されていること
を特徴とする電気回路装置に存在する。
本発明の第8の要旨は、電気的絶縁材料よりなる保持体
と、該保持体中に埋設された複数の電気的導電部材とを
有し、該電気的導電部材の一端か該保持体の一方の面に
おいて露出しており、また、該電気的導電部材の他端が
該保持体の他方の面において露出している電気的接続部
材と;少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部ある
いは該接続部以外の部分において、電気回路部品の少な
くとも1以上の電気的接続部の存在する面以外の少なく
とも1以上の面を接続及び/又は保持する回路が形成さ
れている電気回路保持部材と; 少なくとも1以上の接続6部を有l、該接続部において
、該保持体の一方の面において露出している該電気的導
電部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されており
、該接続は、該接続部と該一端とを金属化及び/又は合
金化することによりなされている、該回路が形成さjで
いる電気回路保持部材に接続及び/又は保持されている
少なくとも1以上の電気回路部品と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの他端が接続されており、
該接続は、該接続部と該他端とを金属化及び/又は合金
化することによりなされている少なくとも1以上の他の
電気回路部品と; を少なくとも有する電気回路装置において、該電気回路
保持部材又は電気的接続部材は段差を有しており; 該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの一端が、該回路が形成さ
れている電気回路保持部材の少なくとも1つの該接続部
と接続されており、該接続は、該接続部と該一端とを金
属化及び/又は合金化することにより接続され; 該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの他端が、該他の電気回路
部品の少なくとも1以上の該接続部と接続されており、
該接続は、該接続部と該他端とを金属化及び/又は合金
化することによりなされていることを特徴とする電気回
路装置に存在する。
本発明の第9の要旨は、電気的絶縁材料よりなる保持体
と、該保持体中に埋設された複数の電気的導電部材とを
有し、該電気的導電部材の一端が該保持体の一方の面に
おいて露出しており、また、該電気的導電部材の他端が
該保持体の他方の面において露出している電気的接続部
材と;少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部ある
いは該接続部以外の部分において、電気回路部品の少な
くとも1以上の電気的接続部の存在する面以外の少なく
とも1以上の面を接続及び/又は保持する回路が形成さ
れている電気回路保持部材と。
少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されている該
回路が形成されている電気回路保持部材に接続及び/又
は保持されている少なくとも1以上の電気回路部品と: 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの他端が接続されている少
なくとも1以上の他の電気回路部品と; を少なくとも有する電気回路装置において、該回路が形
成されている電気回路保持部材に接続及び/又は保持さ
れている該電気回路部品と該他の電気回路部品とを接続
している該電気的接続部材と異なるHみをもつ少なくと
も1以上の電気的接続部材により、 該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの一端が、該回路が形成さ
れている電気回路保持部材の少なくとも1つの該接続部
と接続され; 該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの他端が、該他の電気回路
部品の少なくとも1つの該接続部と接続されていること
を特徴とする電気回路装置に存在する。
本発明の第10の要旨は、電気的絶縁材料よりなる保持
体と、該保持体中に埋設された複数の電気的導電部材と
を有し、該電気的導電部材の一端が該保持体の一方の面
において露出しており、また、該電気的導電部材の他端
が該保持体の他方の面において露出している電気的接続
部材と;少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部あ
るいは該接続部以外の部分において、電気回路部品の少
なくとも1以上の電気的接続部の存在する面以外の少な
くとも1以上の面を接続及び/又は保持する回路が形成
されている電気回路保持部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されている該
回路が形成されている電気回路保持部材に接続及び/又
は保持されている少なくとも1以上の電気回路部品と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの他端が接続されており、
該接続は、該接続部と該他端とを金属化及び/又は合金
化することによりなされている少なくとも1以上の他の
電気回路部品と; を少なくとも有する電気回路装置において、該回路が形
成されている電気回路保持部材に接続及び/又は保持さ
れている該電気回路部品と該他の電気回路部品とを接続
している該電気的接続部材と異なる厚みをもつ少なくと
も1以上の電気的接続部材により、 該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの一端が、該回路が形成さ
れている電気回路保持部材の少なくとも1つの該接続部
と接続され; 該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの他端が、該他の電気回路
部品の少なくとも1以上の該接続部と接続されており、
該接続は、該接続部と該他端とを金属化及び/又は合金
化することによりなされていることを特徴とする電気回
路装置に存在する。
本発明の第11の要旨は、電気的絶縁材料よりなる保持
体と、該保持体中に埋設された複数の電気的導電部材と
を有し、該電気的導電部材の一端が該保持体の一方の面
において露出しており、また、該電気的導電部材の他端
が該保持体の他方の面において露出している電気的接続
部材と;少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部あ
るいは該接続部以外の部分において、電気回路部品の少
なくとも1以上の電気的接続部の存在する面以外の少な
くとも1以上の面を接続及び/又は保持する回路が形成
されている電気回路保持部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されており、
該接続は、該接続部と該一端とを金属化及び/又は合金
化することによりなされている、該回路が形成されてい
る電気回路保持部材に接続及び/又は保持されている少
なくとも1以上の電気回路部品と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの他端が接続されている少
なくとも1以上の他の電気回路部品と; を少なくとも有する電気回路装置において、該回路が形
成されている電気回路保持部材に接続及び/又は保持さ
れている該電気回路部品と該他の電気回路部品とを接続
している該電気的接続部材と異なる厚みをもつ少なくと
も1以上の電気的接続部材により、 該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの一端が、該回路が形成さ
れている電気回路保持部材の少なくとも1つの該接続部
と接続されており、該接続は、該接続部と該一端とを金
属化及び/又は合金化することにより接続され; 該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの他端が、該他の電気回路
部品の少なくとも1以上の該接続部と接続されているこ
とを特徴とする電気回路装置に存在する。
本発明の第12の要旨は、電気的絶縁材料よりなる保持
体と、該保持体中に埋設された複数の電気的導電部材と
を有し、該電気的導電部材の一端が該保持体の一方の面
において露出しており、また、該電気的導電部材の他端
が該保持体の他方の面において露出している電気的接続
部材と;少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部あ
るいは該接続部以外の部分において、電気回路部品の少
なくとも1以上の電気的接続部の存在する面以外の少な
くとも1以上の面を接続及び/又は保持する回路が形成
されている電気回路保持部材と: 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されており、
該接続は、該接続部と該一端とを金属化及び/又は合金
化することによりなされている、該回路が形成されてい
る電気回路保持部材に接続及び/又は保持されている少
なくとも1以上の電気回路部品と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの他端が接続されており、
該接続は、該接続部と該他端とを金属化及び/又は合金
化することによりなされている少なくとも1以上の他の
電気回路部品と; を少なくとも有する電気回路装置において、該回路が形
成されている電気回路保持部材に接続及び/又は保持さ
れている該電気回路部品と該他の電気回路部品とを接続
している該電気的接続部材と異なる厚みをもつ少なくと
も1以上の電気的接続部材により、 該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの一端が、該回路が形成さ
れている電気回路保持部材の少なくとも1つの該接続部
と接続されており、該接続は、該接続部と該一端とを金
属化及び/又は合金化することにより接続され; 該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
部材のうちの少なくとも1つの他端が、該他の電気回路
部品の少なくとも1以上の該接続部と接続されており、
該接続は、該接続部と該他端とを金属化及び/又は合金
化することによりなされていることを特徴とする電気回
路装置に存在する。
(以下余白) 以下に本発明の構成要件を個別的に説明する。
(電気回路部品) 本発明における電気回路部品としては、例えば、トラン
ジスタ、■C等の半導体素子や、樹脂回路基板、セラミ
ック基板、金属基板、シリコン基板等の回路基板(以下
単に回路基板ということがある)や、リードフレーム等
が挙げられる。
なお、回路が形成されている電気回路保持部材に接続及
び/又は係持される電気回路部品は、電気回路保持部材
の1つの面に1つだけ存在してもよいし、複数個存在し
てもよい。また、接続及び/又は保持される電気回路部
品の大きさ、形状、種類は任意でかまわないが、保持さ
れる電気回路部品の数が多ければ多いほど、また種類が
多種であれば多種であるほど、本発明の効果は顕著とな
る。
また、電気回路保持部材と電気回路部品とが接続されて
いても、電気回路保持部材において電気回路部品を電気
回路として接続するか、孤立させるかは任意である。
なお、電気的接続部材に接続される電気回路部品は、保
持体の1つの面に1つだけ存在してもよいし、複数個存
在してもよい。
電気回路部品として接続部を有する部品が本発明の対象
となる。接続部の数は問わないが、接続部の数が多けれ
ば多いほど本発明の効果が顕著となる。
また、接続部の存在位置も問わないが、電気回路部品の
内部に存在するほど本発明の効果は顕著となる。
なお、接続部は電気的導電材料である。
(電気回路保持部材) 本発明の電気回路保持部材には電気回路が形成されてい
る。
電気回路保持部材の材質としては金属、合金、有機、無
機材料のいずれであってもよい。さらに電気回路保持部
材の形状、大きさは、保持される電気回路部品と他の電
気回路部品との接続が均一に、かつ安定して行うことが
可能であれば任意でかまわない。
また、電気回路保持部材に保持される電気回路部品の大
きさ、数、種類は任意であフてかまわないが、数が多け
れば多いほど、また種類が多ければ多いほど、本発明の
効果は顕著である。
上記金属又は合金としては、例えば、Ag。
Cu、Au、AfL、Be、Ca、Mg、Mo。
Fe、Ni、Co、Mn、W、Ti、Pt。
Cr、Pd、Nb、Ta、V、Y、等の金属又は合金が
挙げられる。
無機材料としては、例えば、Si、Ge。
GaAs、a−Si等の半導体や、B、o3゜Aj2.
O,、Na20.に、O,Cab。
ZnO,Bad、PbO,Sbz 03 。
As 203  、  La20s  、  ZrO2
、Bad。
P2 05  、  Tf02  、  MgO,Si
C,Bed。
B  P、  BN、  AIIN、  B4  C,
Ta  C。
Ti  B2  、  CrB2  、  TiN、 
 S  i 、N4  。
Ta、0.、CBN、S i O,等のセラミック、ダ
イヤモンド、ガラス、合成石英、カーボン、ボロンその
他の無機材料が挙げられる。
また、有機材料としては、例えば絶縁性の樹脂を用いれ
ばよく、樹脂としては、熱硬化性樹脂、紫外線硬化樹脂
、熱可塑性樹脂等のいかなるものでもよい。例えば、ポ
リイミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリ
エーテルサルフォン樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポ
リスチレン樹脂、フッ素樹脂、ポリカーボネート樹脂、
ポリジフェニールエーテル樹脂、ポリベンジルイミダゾ
ール樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリプロピレン樹脂
、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリスチレン樹脂、メタクリル
酸メチル樹脂、ボリフェニレンオキサイド樹脂、フェノ
ール樹脂、メラニン樹脂、エポキシ樹脂、尿素樹脂、メ
タクリル樹脂、塩化ビニリデン樹脂、アルキッド樹脂、
シリコーン樹脂、その他の樹脂を使用することができる
さらに、電気回路保持部材としては、それぞれ異なる機
能を有した部材を組み合わせ、複合化することも可能で
ある。例えば、保持板と放熱フィン等の組み合わせを行
うことにより、保持する電気回路部品に合わせた機能を
持った電気回路保持部材が得られる。
(以下余白) (電気的接続部材) 本発明に係る電気的接続部材は、電気絶縁材料からなる
保持体に複数の電気的導電部材が埋設されている。埋設
されている導電部材同士は電気的に絶縁されている。
この電気的導電部材の一端は保持体の一方の面において
露出しており、他端は保持体の他方の面においてに露出
している。
さらに電気的接続部材は、1層でもよいし、2層以上の
多層からなるものでもよい。
(電気的導電部材) 電気的導電部材は電気的に導電性を示すものならば何で
もよい。金属材料が一般的であるが、金属材料以外にも
超電導性を示す材料等でもよい。
金属部材の材料としては、金が好ましいが、金具外の任
意の金属あるいは合金を使用することもできる。例えば
、Ag、Be、Ca、Mg。
Mo、  Ni、  W、  Fe、  Ti、  I
n、  Ta。
Zn、Cu、An、Sn、Pb−3n等の金属あるいは
合金が挙げられる。
また、金属部材及び合金部材は、同一の電気的接続部材
において同種の金属が存在していてもよいし、異種の金
属が存在していてもよい。さらに、電気的接続部材の金
属部材及び合金部材の1個が同種の金属乃至合金ででき
ていてもよいし、異種の金属乃至合金でできていてもよ
い。さらに、金属、合金以外であっても導電性を示すな
らば、金属材料に有機材料または無機材料の一方または
両方を包含せしめた材料でもよい。また、導電性を示す
ならば無機材料と有機材料との組合わせでもよい。
さらに、電気的導電部材の断面は円形、1四角形その他
任意の形状とするができ−る。
また、電気的導電部材の太さは特に限定されない。電気
回路部材の接続部のピッチを考慮して、例えば20μm
φ以上あるいは20μmφ以下にしてもよい。
なお、電気的導電部材の露出部は保持体と同一面として
もよいし、また、保持体の面から突出させてもよい。こ
の突出は片面のみでもよいし、両面でもよい。さらに突
出させた場合はバンプ状にしてもよい。
また、電気的導電部材の間隔は、電気回路部品の接続部
同士の間隔と同一間隔としてもよいし、それより狭い間
隔としてもよい、狭い間隔とした場合には電気回路部品
と電気的接続部材との位置決めを要することなく、電気
回路部品と電気的接続部材とを接続することが可能とな
る。
また、電気的導電部材は保持体中に垂直に配する必要は
なく、保持体の一方の面側から保持体の他方の面側に向
って斜行していてもよい。
(保持体) 保持体は、電気的絶縁材料からなる。
電気的絶縁材料ならばいかなるものでもよい。
電気的絶縁材料としては有機材料、無機材料が挙げられ
る。また、電気的導電部材同士が電気的に絶縁されるよ
うに処理を施した金属又は合金材料でもよい。さらに、
有機材料中に、粉体、繊維等、所望の形状をした無機材
料、金属材料、合金材料の一種か、又は複数種を分散さ
せて保有せしめてもよい。さらに、無機材料中に、粉体
、繊維等、所望の形状をした有機材料、金属材料、合金
材料の一種か、又は複数種を分散させて保有せしめても
よい。また、金属材料あるいは合金材料中に、粉体、繊
維等、所望の形状をした無機材料、有機材料を一種か、
又は複数種を分散させて保有せしめてもよい。なお、保
持体が金属材料あるいは合金材料よりなる場合は、例え
ば、電気的導電部材と保持体との間に樹脂等の電気的絶
縁材料を配設すればよい。
ここで、有機材料としては、例えば、絶縁性の樹脂を用
いればよく、樹脂としては、熱硬化性樹脂、紫外線硬化
樹脂、熱可塑性樹脂のいずれでもよい。例えば、ポリイ
ミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリエー
テルサルフォン樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリス
チレン樹脂、フッ素樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリ
ジフェニールエーテル樹脂、ポリベンジルイミダゾール
樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポ
リ塩化ビニル樹脂、ポリスチレン樹脂、メタクリル酸メ
チル樹脂、ポリフェニレンオキサイド樹脂、フェノール
樹脂、メラニン樹脂、エポキシ樹脂、尿素樹脂、メタク
リル樹脂、塩化ビニリデン樹脂、アルキッド樹脂、シリ
コーン樹脂、その他の樹脂を使用することができる。
なお、これらの樹脂の中から、熱伝導性のよい樹脂を使
用すれば、半導体素子が熱を持ってもその熱を樹脂を介
して放熱することができるのでより好ましい。さらに、
樹脂として、回路基板と同じかあるいは同程度の熱膨張
率を有するものを遷択し、また、有機材料中に少なくと
も1ケの穴あるいは複数の気泡を存在せしめれば、熱膨
張・熱収縮に基づく、装置の信頼性の低下を一層防止す
ることが可能となる。
無機材料、金属材料としては、例えば、5i02 、B
203 、Al1.203 、Na2 o。
K20.Cab、ZnO,Bad、PbO。
S  b  20s  、  AS2 03  、  
La2 0s  。
Z  r()2  、  Bad、  P2 0S  
、  T  i  02  。
MgO,SiC,Bed、  BP、  BN、  A
JlN。
B4 C,TaC,TiB2 、  CrB2 、  
TiN。
S i3 N4.Ta、05等のセラミック、ダイヤモ
ンド、ガラス、カーボン、ボロン等の無機材料や、Ag
、Cu、Au、AIL、Be、Ca。
Mg、Mo、Fe、Ni、Si、Co、Mn、W等の金
属又は合金を用いればよい。
(接続;金属化及び/又は合金化による接続)電気的接
続部材の端と電気回路部品の接続との接続としては下記
の3つの構成が考えられる。
なお、1個の電気的接続部材に、1個または2個以上の
電気回路部品が接続されていてもよいが、その接続され
た電気回路部品のうちの少なくとも1個が下記の構成に
よる接続がなされていればよい。
■保持体の一方の面において露出している複数の電気的
導電部材の一端と一方の電気回路部品の複数の接続部と
が、また、保持体の他方の面において露出している複数
の電気的導電部材の他端と他方の電気回路部品の複数の
接続部とが、それぞれ、次の■及び■で述べる金属化及
び/又は合金化以外の方法で接続されている構成。
■保持体の一方の面において露出している複数の電気的
導電部材の一端と一方の電気回路部品の複数の接続部の
少なくとも1つとが金属化及び/又は合金化されること
により接続され、−方、保持体の他方の面において露出
している複数の電気的導電部材の他端と他方の電気回路
部品の複数の接続部とが上記金属化及び/又は合金化以
外の方法で接続されている構成。
■保持体の一方の面において露出している複数の電気的
導電部材の一端と一方の電気回路部品の複数の接続部の
少なくとも1つとが金属化及び/又は合金化されること
により接続され、一方、保持体の他方の面において露出
している複数の電気的導電部材の他端と他方の電気回路
部品の複数の接続部の少なくとも1つとが金属化及び/
又は合金化されることにより接続されている構成。
次に上記の接続体について述べる。
接続しようとする電気的導電部材と接続部とが同種の純
金属よりなる場合には、金属化により形成される接続体
は電気的導電部材あるいは接続部と同種の結晶構造とな
る。なお、金属化の方法としては、例えば、電気的導電
部材の端とその端に対応する接続部とを接触させた後、
適宜の温度に加熱すればよい。加熱により接触部近傍に
おいて原子の拡散等が生じ、拡散部が金属化状態となり
接続体が形成される。
接続しようとする電気的導電部材と接続部が異種の純金
属よりなる場合には、形成される接続体は両金属の合金
よりなる。合金化の方法としては、例えば、電気的導電
部材の端とその端に対応する接続部とを接触させた後、
適宜の温度に加熱すればよい。加熱により接触部近傍に
おいて原子の拡散等が生じ接触部近傍に固溶体あるいは
金属間化合物よりなる層が形成されこの層が接続体とな
る。
なお、電気的接続部材の金属部材にAuを使用し、電気
回路部品の接続部にAfLを使用した場合には、200
〜350℃の加熱温度が好ましい。
接続しようとする電気的導電部材と接続部の一方が純金
属よりなり他方が合金よりなる場合、あるいは両者が同
種あるいは異種の合金よりなる場合には、接続体は合金
よりなる。
1個の電気的接続部材中における複数の電気的導電部材
同士についてみると、それぞれの電気的導電部材が同種
の金属あるいは合金よりなる場合、それぞれが異種の金
属あるいは合金からなる場合、またさらに−ケの電気的
導電部材で同種の金属あるいは合金、異種の金属あるい
は合金よりなる場合その他の場合があるが、そのいずれ
の場合であっても上記の金属化あ゛るいは合金化が行わ
れる。一方、接続部についても同様である。
なお、電気的導電部材あるいは接続部は、両者の接触部
において、金属あるいは合金であればよく、その他の部
分は、例えば金属にガラスのような無機材料が配合され
た状態であってもよい、あるいは金属に樹脂のような有
機材料が配合された状態であってもよい。
なお、接続強度を高めるためには、接続される部分の表
面粗度を小さくすることが好ましいく特に0.3μm以
下が好ましい)。また、接続される部分の表面に合金化
しやすい金属あるいは合金よりなるめっき層を設けてお
いてもよい。
上記の金属化あるいは合金化以外の接続を行うには、例
えば電気回路部品と電気的接続部材の電気的導電部材と
を押圧して接続すればよい。
(保持) 電気回路保持部材と電気回路部品の少なくとも1以上の
電気的接続部の存在する布置外の少なくとも1以上の面
の保持としては下記の■〜■の方法が考えられるが、少
なくともそれらのうちの少なくとも1つの方法で保持さ
れていればよい。
■有機材料の硬化反応により保持する。有機材料として
樹脂を用いる場合には樹脂の種類は問わない。例えば、
熱硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂のいずれでもよい。
■接着材により接着し保持する。接着材の種類は問わな
い。例えば、アクリル系接着材、エポキシ系接着材のい
ずれでもよい。
■前述の金属化及び/又は合金化することにより保持す
る。
■保持される部分を同一材料から形成し、その表面を平
滑化及び清浄化し、真空中で貼り合せ、接触部の構成原
子の原子間力(ファンデルワールス力)により保持する
■上記■〜■の方法以外で保持する。例えば、機械的に
はめ込み等の方法で保持する。
[作用] 本発明では、上記の電気回路保持部材と電気的接続部材
を使用して、電気回路部品と他の電気回路部品とを接続
しているので、電気回路部品の接続部を外周部はもとよ
り内部に配置することも可能となり、接続部の数を増加
させることができ、ひいては高密度化が可能となる。
また、電気的接続部材に使用する金属部材の量は少ない
ため、たとえ高価である金を金属部材として使用したと
してもコスト低減が可能となる。
また、本発明では、電気回路保持部材に電気回路部品を
接続及び/又は保持した後に他の電気回路部品と電気的
接続部材を介して接続するため、複雑な5urface
 Down Mountの位置決めを個々の電気回路部
品に対して行う必要がなくなり、電気回路保持部材と他
の電気回路部品との位置決めを行うだけで多数の電気回
路部品の接続部の位置決めが一括で行え、生産性は大幅
に向上する。
さらに、本発明では、電気回路保持部材に電気回路部品
を接続及び/又は保持した後に他の電気回路部品と電気
的接続部材を介して一括して位置決め及び接続をするた
め、電気回路部品として多種多様のものが使用でき、ま
た、それらは−括処理で接続されるため、多種多様の電
気回路装置が同一工程で生産可能となる。
さらに、電気回路部品は電気回路保持部材に接続及び/
又は保持されているため、電気回路装置の作製工程中及
び作製後において、治具等を使用して電気回路部品を保
持する必要がなく、電気回路装置の作製中及び作製後の
管理が容易である。
さらに、電気回路保持部材に接続及び/又は保持される
電気回路部品を機能別に分けることにより、電気回路部
品を接続及び/又は保持している電気回路保持部材毎に
機能ブロック化することが可能となり、これを用いるこ
とにより、多種多様の電気回路装置を同一工程で生産可
能となる。
なお、本発明において、電気回路保持部材に熱伝導性の
よい材料を用いた場合、及び、電気的導電部材の絶縁体
に熱伝導性のよい材料を用いた場合には、電気回路部品
から発生する熱がより早く外界へ逃げ、熱放散性の良い
電気回路装置が得られる。また、電気的導電部材の絶縁
体が電気回路部品の熱膨張係数に近い材料を用いた場合
、及び、電気回路保持部材が電気回路部品の熱膨張係数
近い材料を用いた場合には、熱膨張係数が電気回路部品
の熱膨張係数に近づき、熱が加わった場合に生ずること
のある電気回路部品の割れ、あるいは電気回路部品の特
性変化という、電気回路装置の信頼性を損なう現象を防
止でき、信頼性の高い電気回路装置が得られる。
また、本発明では、電気回路部品の両側が回路が形成さ
れている電気接続部材及び電気回路部品で接続及び/又
は保持している面の多面に同様の方法で電気回路部品を
接続することが可能であり、3次元高密度電気回路装置
を得ることができる。
本発明において、電気回路部品の両方が、電気的接続部
材を介して、金属化及び/又は合金化により形成された
接続体により接続されていると、電気回路部品同士が強
固(強度的に強く)かつ確実に接続されるので、接続抵
抗値は小さく、さらにそのバラツキも小さく、さらに機
械的に強く、不良率の極めて低い電気回路装置を得るこ
とができる。
また、電気回路部品が、電気的接続部材を介して金属化
及び/又は合金化により形成された接続体により接続さ
れていると、電気回路部品相互の接触抵抗が電気回路部
品を接続した場合に比べてより小さくなる。
一方、電気回路部品乃至他の電気回路部品を金属化及び
/又は合金化による接続以外の接続により行うと、金属
化及び/又は合金化時に生じる電気回路部品の熱による
劣化を防止することができる。また、用途によっては電
気回路部品を着脱自在にしておきたい場合があり、この
ような場合にその電気回路部品を金属化及び/又は合金
化による接続以外の接続行えば、その要望に応じること
が可能となる。
(以下余白) [実施例] (第1実施例) 本発明の第1実施例を第1図(a)、(b)及び第2図
(a)〜(c)に基づいて説明する。
第1図(a)の断面図では、電気回路部品である半導体
素子101を複数保持した回路が形成された電気回路保
持部材201と、電気的接続部材125と、他の電気回
路部品である回路基板104とが接続されていない状態
を示しである。
半導体素子101の数は1以上であればいくつでもよい
電気的接続部材125には、有機材料よりなる保持体1
11中に電気的導電部材である金属部材107が埋設さ
れており、金属部材107の一端が保持体111の一方
の面において露出しており、また、金属部材107の他
端が保持体の他方の面において露出している。
電気回路保持部材201は回路基板であり、半導体素子
101の少なくとも1以上の接続部102の存在する面
以外の少なくとも1以上の面を金属化及び/又は合金化
させて接続あるいは接着材により保持している。
半導体素子101は接続部102を有し、接続部102
において、保持体111の一方の面において露出してい
る金属部材107の一端と合金化されて接続されている
回路基板104は接続部105を有し、接続部105に
おいて、保持体111の他方の面において露出している
金属部材107の他端と合金化されて接続されている。
上記の接続によって全体を一体化した状態の断面図が第
1図(b)である。
以下に本実施例をより詳細に説明する。
まず、電気的接続部材125の一製造例を説明しつつ電
気的接続部材125を説明する。
第2図(a)〜(C)に−製造例を示す。
まず、第2図(a)に示すように、20μmφの金等の
金属あるいは合金よりなる金属線121を、ピッチ40
μmとして棒122に巻き付け、巻き付は後、ポリイミ
ド等の樹脂123中に上記金属線121を埋め込む。埋
め込み後、上記樹脂123を硬化させる。硬化した樹脂
123は絶縁体となる。その後、点線124の位置でス
ライス切断し、電気的接続部材125を作成する。この
ようにして作成された電気的接続部材125を第2図(
b)、(C)に示す。
このように作成された電気的接続部材125において、
金属線121が金属部材107を構成し、樹脂123が
保持体(絶縁体)111を構成する。
この電気的接続部材125においては、金属部材となる
金属線121同士は樹脂123により電気的に絶縁され
ている。また、金属線121の一端は半導体素子101
側に露出し、他端は回路基板104側に露出している。
この露出している部分はそれぞれ半導体素子101、回
路基板104との接続部108,109となる。
次に、第1図(a)に示すように、回路基板201、半
導体素子101、電気的接続部材125、回路基板10
4を用意する。本例で使用する半導体素子101、回路
基板104は、その内部に多数の接続部102,105
を有している。
なお、半導体素子101の接続部102は、回路基板1
04の接続部105及び電気的接続部材125の接続部
108,109に対応する位置に金属が露出している。
まず、回路基板201に、半導体素子101の接続部1
02と回路基板104の接続部105との位置関係が接
続時と等しくなるように半導体素子101を位置決めし
、金属化及び/又は合金化により接続を行い、回路基板
201に半導体素子101を保持させる。また、回路基
板201に接続された半導体素子101は、回路基板2
01内で、電気的に孤立化させた状態であってもよい。
次に、回路基板201を反転させ半導体素子101の接
続部102と回路基板704の接続部が対向するように
し、かつその間に電気的接続部材125を挿入する(第
1図(a))。
回路基板104の接続部105と電気的接続部材125
の接続部109とが対応するように位置決めを行い、次
に、回路基板201と回路基板!04とを位置決めする
。すると、回路基板201に保持されている半導体素子
101の接続部102は、回路基板104の接続部10
5と位置関係が等しくなるように位置決め後保持された
ため、必然的に、回路基板104の接続部105の位置
、すなわち、電気的導電部材125の接続部108の位
置と一致する。
よって、接続が可能となり、半導体素子101の接続部
102のAJ:Lと電気的接続部材125の接続部10
BのAuとを、さらに回路基板104の接続部105の
Auと電気的接続部材125の接続部109のAuとの
両方を金属及び/又は合金化により接続する(第1図(
b))。
ここで、半導体素子101、電気的接続部材125、回
路基板104を、金属及び/又は合金化により接続する
には次の3方式が存在するが、そのいずれの方式によっ
てもよい。
■ガラス基板201、電気的接続部材125、回路基板
104を位置決めした後、半導体素子101の接続部1
02と電気的接続部材125の接続部108とを、及び
回路基板104の接続部105と電気的接続部材125
の接続部109とを同時に金属化及び/又は合金化して
接続する方法。
■回路基板201と電気的接続部材125とを位置決め
し、半導体素子101の接続部102と電気的接続部材
125の接続部108とを合金化して接続した後、回路
基板201と回路基板104とを位置決めし、電気接続
部材125の接続部109と回路基板104の接続部1
05を金属化及び/又は合金化して接続する方法(第3
図(a)〜(d))。
■回路基板104と電気的接続部材125とを位置決め
し、回路基板104の接続部105と電気的接続部材1
25の接続部109とを金属化及び/又は合金化して接
続した後、回路基板201と回路基板104を位置決め
し、電気的接続部材125の接続部108と半導体素子
101の接続部102を金属化及び/又は合金化して接
続する方法(第4図(a)〜(b))。
以上のようにして作成した電気回路装置につきその接続
部の接続性を調べたところ高い信頼性をもって接続され
ていた。
(第2実施例) 第5図(a)〜(d)に第2実施例を示す。
個々の半導体素子101の接続部102と電気的接続部
材125の接続部108とを位置決め後、金属化及び/
又は合金化し、接続する。なお、電気的接続部材125
としては半導体素子4に対応する寸法のものを使用した
次に、この電気的接続部材125と接続している半導体
素子101を接続部109と回路基板104接続部10
5との位置関係が等しくなるように位置決め後、回路基
板201に半導体素子101を金属化及び/又は合金化
し接続させる(第5図(b))。
回路基板201を反転させ、電気的接続部材125の接
続部109と回路基板104の接続部105とが対向す
るように配置し、回路基板201と回路基板104とを
位置決めする(第5図(C))。すると、本発明(は、
電気的接続部材125の接続部109と回路基板104
の接続部105とは必然的に位置決めされ、よって、金
属化及び/又は合金化し接続する(第5図(d))。
また、第6図(a)、(b)に示すように、回路基板1
04に接続する個々の半導体素子101に対応する寸法
の電気的接続部材125を、電気的接続部材125の接
続部109と回路基板104の接続部105とが対応す
るように位置決めを行い、金属化及び/又は合金化し、
接続する(第6図(a))。その後に、回路基板201
と回路基板104とを位置決めし、回路基板201に保
持されている半導体素子101の接続部102と電気的
接続部材125の接続部108とを金属化及び/又は合
金化し、接続する(第6図(b))。
本実施例においても接続部は高い信頼性をもって接続さ
れていた。
(第3実施例) 第7図(a)、(b)に第3実施例を示す。
回路基板104上には、第1実施例の手法により電気的
接続部材を介して回路基板201に接続された半導体素
子101が接続されており、さらにこの回路基板104
に第1実施例の手法を用いて、回路基板201°に接続
されている半導体素子101°を接続する。
また、第8図(a)、(b)に示すように、回路基板1
04の両面に電気的接続部材125を介して電気回路部
品である半導体素子101゜101°を第1実施例の手
法を用いて接続する。
本実施例では、回路が形成されている電気回路保持部材
である回路基板に接続及び/又は保持される電気回路部
品である半導体素子を機能別に分けることにより、ユニ
ット化が図られ、同一工程で他品種の高密度な実装が可
能となる。
また、本実施例においても接続部は高い信頼性をもって
接続されていた。
(第4実施例) 第9図(a)、(b)に第4実施例を示す。
回路基板201に保持される半導体素子101とは別の
他の半導体素子203の接続部と、電気的接続部材12
5の接続部とを、位置合わせした後金属化及び/又は合
金化させ接続し、次に半導体素子203を回路基板10
4に金属化及び/又は合金化させ接続する。次に、半導
体素子101の接続部102と回路基板104に接続さ
れている他の半導体素子203上の電気的接続部材12
5の接続部tOaとの位置関係が接続時と等しくなるよ
うに半導体素子101の位置決めを行い、金属化及び/
又は合金化により回路基板201に接続する。その後、
回路基板201を反転させ半導体素子101の接続部1
02と電気的接続部材125の接続部tOaとが対向す
るように配置し、回路基板201と回路基板104との
位置決めを行い、半導体素子101の接続部102と電
気的接続部材125の接続部108とを金属化及び/又
は合金化し接続する。
本実施例により半導体素子上に他の半導体素子を容易に
接続することが可能となり、モノリシック化できない半
導体素子であっても、最短接続長にて接続ができる。ま
た、接続部も高い信頼性をもって接続されていた。
(第5実施例) 第10図(a)、(b)に第5実施例を示す。
第5実施例は、電気回路部品、他の電気回路部品として
、接続部以外の部分が絶縁膜103゜106で覆われて
いる半導体素子101、回路基板104を使用している
例である。
また、電気的接続部材としては第11図(a)。
(b)に示すものを使用した。第11図(a)は斜視図
、第11図(b)は断面図である。第11図(a)、(
b)に示す電気的接続部材125は、金属部材107の
露出している部分が保持体(樹脂絶縁体)111の面か
ら突出している。
このような電気的接続部材125の作成は、例えば、次
の方法によればよい。
まず、第1実施例で述べた方法により、第2図(b)、
(c)に示す電気的接続部材を用意する。次に、この電
気的接続部材の両面を、金属線121が、ポリイミド樹
脂123か610μm程度突出するまでエツチングすれ
ばよい。なお、本実施例では金属線121の突出量を1
0μmとしたが、いかなる量でもよい。また、金属線1
21を突出させる方法としてはエツチングに限らず、他
の化学的な方法又は機械的な方法を使用してもよい。
他の点は第1実施例と同様である。
なお、突出部を、電気的接続部材125を金属線121
の位置に凹部を持った型に挟み込み、金属線121の突
起126をつぶすことにより第12図(a)、(b)に
示すようなバンブ150を形成してもよい。この場合、
金属線121は絶縁体111から脱落しにくくなる。
なお、本例でも、金属線121が金属部材107を構成
し、さらに、樹脂123が絶縁体111を構成する。
なお、バンブを作成するのには突起を熱で溶融させバン
ブを作成してもよいし、他のいかなる方法でもよい。
本例においても接続部は高い信頼性を持って接続されて
いた。
(第6実施例) 第13図(a)、(b)に第6実施例を示す。
本実施例においては、第13図(a)に示すように、半
導体素子101を避けて回路基板201と回路基板10
1を接続するため、電気的接続部材125が凹凸形状を
している。このような電気的接続部材125の作製には
、第5実施例で述べたように、まず凹形状を作製する部
分をエツチングによりポリイミド樹脂111をエツチン
グし、次に突出した金属線部分をエツチングすればよい
また、凹凸形状を作製する方法としては、1枚の電気的
導電部材上に凹形状にしたい部分の抜けた電気的導電部
材を積み重ねて形成してもよい。
さらに、その他の化学的な方法、又は機械的な方法を使
用してもよい。
他の点は、第1実施例と同様である。
なお、本実施例を用いることにより、第14図に示すよ
うに、回路が形成されている電気回路保持部材である回
路基板201が両面あるいは多層両面基板であれば、さ
らに同様の手法により電気的接続部材125゛を介して
、半導体素子101′と回路基板20ビとを接続できる
なお、積み重ね数は1段でもよいし、複数段であっても
よい。
また、第15図に示すように、回路基板201上に従来
の方法により半導体素子4を設け、Au線7により接続
を行フてもよい。
なお、従来の方法としてはフリップチップ法、TAB法
、ハンダ付は等のいずれの方法であってもよい。
本実施例により3次元高密度実装が可能となり、またそ
の接続部においても高い信頼性をもって接続が行われて
いた。
(第7実施例) 第16図(a)、(b)に第7実施例を示す。
本例においては、電気的接続部材125は、第5実施例
に示した電気的接続部材と異なる。本例の電気的接続部
材125においては、金属部材同士のピッチが第5実施
例で示したものよりも狭くなっている。すなわち、本例
では、半導体素子接続部の間隔よりも狭い間隔に金属部
材107同士のピッチを設定しである。
つまり、第5実施例では、半導体素子101と回路基板
104との接続位置に電気的接続部材125の接続位置
を配置したため、電気的接続部材125の位置決めが必
要であったが、本例では、半導体素子101と回路基板
104との位置決めは必要であるが、電気的接続部材1
25との位置決めは不要となる。そのため、半導体素子
101と回路基板104の接続寸法(dz。
P 目)と電気的接続部材の接続寸法(dt□。
P 12)を適切な値に選ぶことにより位置決めなしで
接続することも可能である。
他の点は第1実施例と同様である。
本例においても接続部は高い信頼性を持って接続されて
いた。
[発明の効果] 本発明は以上のように構成したので次の数々の効果が得
られる。
1、半導体素子と回路基板、リードフレーム等の電気回
路部品の接続において、信頼性の高い接続が得られる。
従って、従来用いられてきたワイヤボンディング方式、
TAB方式、CCB方式を置き換えることが可能となる
2、本発明によると電気回路部品の接続部をいかなる位
置(特に内部)にも配置することができることから、ワ
イヤボンディング方式、TAB方式よりもさらに多点接
続が可能となり、多ピン数接続向きの方式となる。さら
に、電気的接続部材の隣接金属間に予め絶縁物質が存在
するこ゛とにより、隣接ピッチを狭くシスも隣接金属間
の電気的導通が起こらないことによりCCB方式よりも
さらに多点接続が可能となる。
3、電気的接続部材において使用される金属部材の二は
従来に比べ微量であるため、仮に金属部材に金等の高価
な金属を使用しても従来より安価となる。
4、高密度の半導体装置等の電気回路装置が得られる。
5、回路が形成されている電気回路保持部材に電気回路
部品を接続及び/又は保持した後に他の電気回路部品と
接続するため、電気回路部品の大きさ、形状、種類によ
らない接続が可能となり自由な高密度実装が可能となり
、よって、設計の自由度は大幅に向上する。
6、回路が形成されている電気回路保持部材に電気回路
部品を接続及び/又は保持した後に他の電気回路部品と
電気回路部品とを接続するため、同様の手法により積層
構造化が可能であり、超高密度3次元実装が可能となり
、よって、信号線の短縮が可能となって遅延時間が低減
され、また電気回路装置の小形化が可能となり、設計の
自由度が向上する。
7、回路が形成されている電気回路保持部材に接続及び
/又は保持される電気回路部品を機能別に分けることに
より機能ブロック化し、これを用いることにより、同一
工程で多品種の電気回路装置が得られ、汎用性は大幅に
向上する。
8、接続は一括処理で行えるため、接続点数が増加すれ
ばするほど、短時間で信頼性のある接続を得ることがで
きる。
9、請求項!乃至請求項3、請求項5乃至請求項7、請
求項9、請求項10乃至請求項11においては、電気回
路部品乃至他の電気回路部品を金属化及び/又は合金化
による接続以外の接続により行っているので、金属化及
び/又は合金化時に生じる電気回路部品の熱による劣化
を防止することができる。また、用途によっては電気回
路部品を着脱自在にしておぎたい場合があり、このよう
な場合にその電気回路部品を金属化及び/又は合金化に
よる接続以外の績続行えば、その要望に応しることが可
能となる。
10、請求項4、請求項8、請求項12においては、電
気回路部品と他の電気回路部品の両方が、電気的接続部
材を介して金属化及び/又は合金化により接続されてい
るので、電気回路部品同士が強固(強度的に強く)かつ
確実に接続されるので、機械的に強く、不良率の極めて
低い電気回路装置を得ることができる。
11、請求項5乃至請求項12においては、電気回路部
品のみならず電気回路保持部材の回路も電気的接続部材
に接続されているので実装密度が非常に高い。
なお、電気的接続部材の保持体を、粉体、1IiI!維
等、所望の形状をした熱伝導性の良い金属材料、無機材
料の一種または複数種を絶縁体に分散させて構成するか
、電気的導電部材が絶縁されるように処理した金属材料
あるいは無機材料により構成する場合には、電気回路部
品から発生した熱が電気的接続部材、さらには他の電気
回路部品を介して外部に放熱し得るため、また、電気回
路部品を熱伝導性の良い金属材料、無機材料の1種によ
り構成する場合には、電気回路部品から発生した熱は、
回路が形成されている電気回路保持部材を介しても外部
に放熱し得るため、熱放散の極めて良好な電気回路装置
が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)、(b)は第1実施例の接続前と接続後を
示す断面図、第2図(a)〜(d)は第1実施例に使用
する電気的接続部材の一製造方法例を説明する断面図及
び斜視図、第3図(a)〜(d)は第1実施例に示した
金属化及び/又は合金化する■の方法の一例を説明する
断面図、第4図(a)、(b)は第1実施例に示した金
属化及び/又は合金化する■の方法の一例を説明する断
面図である。 第5図(a)、(b)は第2実施例の半導体素子を接続
及び/又は保持する前と後を示す断面図、第5図(C)
、(d)は第2実施例の半導体素子を回路基板と接続す
る前と接続した後を示す断面図、第6図(a)、(b)
は第2実施例の接続する前と接続後を示す断面図である
。 第7図(a)、(b)は第3実施例の接続前と接続後を
示す断面図、第8図(a)、(b)は第3実施例の接続
前と接続後を示す断面図である。 第9図(a)、(b)は第4実施例の接続前と接続後を
示す断面図、第10図(a)、(b)は第5実施例の接
続前と接続後の状態を示す断面図であり、第11図(a
)、(b)及び第120(a)、(b)も第5実施例を
示し、第11図(a)及び第12図(a)は斜視図、第
11図(b)及び第12図(b)は断面図である。 第13図(a)、(b)は第6実施例の接続前と接続後
を示す断面図、第14図は第6実施例で2層接続された
例を示す断面図、第15図は第6実施例で従来の接続技
術を並用した例を示す断面図である。 第16図(a)、(b)は第7実施例の接続前と接続後
を示す断面図である。 第17図乃至第24図は従来例を示し、第18図を除き
断面図であり、第18図は平面透視図である。 1.55・・・リードフレ:ム、2・・・リードフレー
ムの素子搭載部、3・・・銀ペースト、4,4°。 203・・・半導体素子、5.5°・・・半導体素子の
接続部、6・・・リードフレームの接続部、7・・・極
細金属線、8,20,21,123・・・樹脂、9・・
・半導体装置、10・・・半導体素子の外周縁部、11
・・・リードフレームの素子搭載部の該周縁部、16・
・・キャリアフィルム基板、17・・・キャリアフィル
ム基板のインナーリード部、31・・・半田バンプ、3
2,51,75.75’・・・回路基板、33.52,
76.76’・・・回路基板の接続部、54・・・電気
的接続部材の接続部、63・・・封止材、70.70’
・・・金属材、71,71°、103゜106・・・絶
縁膜、72.72’・・・絶縁膜の露出面、73.73
°・・・金属材の露出面、77・・・異方性導電膜の絶
縁物質、78・・・異方性導電膜、79・・・導電粒子
、81・・・エラスチックコネクタの絶縁物質、82・
・・エラスチックコネクタの金属線、83・・・エラス
チックコネクタ、101,101’・・・電気回路部品
(半導体素子、回路基板)、102.105,108,
109・・・接続部、104・・・他の電気回路部品(
回路基板)、107・・・電気的導電部材(金属部材)
、111・・・保持体(絶縁体)、121・・・金属線
、122・・・棒、124・・・点線、125,125
°・・・電気的接続部材、126・・・突起、201,
201°・・・回路が形成されている電気回路保持部材
(回路基板)、202・・・回路が形成されている電気
回路保持部材と電気回路部品との接続部、203・・・
他の半導体素子。 第10図(0) 第1O図(b) 第11図(0) 第11図(b) 第12図(a) 第12図(b) 第16図(0) 第16図(b) 第17図 第19図 第21図 第23図 手糸売ネ甫正工i(方式) 昭和63年 9月 7日

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)電気的絶縁材料よりなる保持体と、該保持体中に
    埋設された複数の電気的導電部材とを有し、該電気的導
    電部材の一端が該保持体の一方の面において露出してお
    り、また、該電気的導電部材の他端が該保持体の他方の
    面において露出している電気的接続部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部あるいは該
    接続部以外の部分において、電気回路部品の少なくとも
    1以上の電気的接続部の存在する面以外の少なくとも1
    以上の面を接続及び/又は保持する回路が形成されてい
    る電気回路保持部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されている、
    該回路が形成されている電気回路保持部材に接続及び/
    又は保持されている少なくとも1以上の電気回路部品と
    ; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの他端が接続されている少
    なくとも1以上の他の電気回路部品と; を少なくとも有していることを特徴とする電気回路装置
  2. (2)電気的絶縁材料よりなる保持体と、該保持体中に
    埋設された複数の電気的導電部材とを有し、該電気的導
    電部材の一端が該保持体の一方の面において露出してお
    り、また、該電気的導電部材の他端が該保持体の他方の
    面において露出している電気的接続部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部あるいは該
    接続部以外の部分において、電気回路部品の少なくとも
    1以上の電気的接続部の存在する面以外の少なくとも1
    以上の面を接続及び/又は保持する回路が形成されてい
    る電気回路保持部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されている、
    該回路が形成されている電気回路保持部材に接続及び/
    又は保持されている少なくとも1以上の電気回路部品と
    ; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの他端が接続されており、
    該接続は、該接続部と該他端とを金属化及び/又は合金
    化することによりなされている少なくとも1以上の他の
    電気回路部品と; を少なくとも有していることを特徴とする電気回路装置
  3. (3)電気的絶縁材料よりなる保持体と、該保持体中に
    埋設された複数の電気的導電部材とを有し、該電気的導
    電部材の一端が該保持体の一方の面において露出してお
    り、また、該電気的導電部材の他端が該保持体の他方の
    面において露出している電気的接続部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部あるいは該
    接続部以外の部分において、電気回路部品の少なくとも
    1以上の電気的接続部の存在する面以外の少なくとも1
    以上の面を接続及び/又は保持する回路が形成されてい
    る電気回路保持部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されており、
    該接続は、該接続部と該一端とを金属化及び/又は合金
    化することによりなされている、該回路が形成されてい
    る電気回路保持部材に接続及び/又は保持されている少
    なくとも1以上の電気回路部品と: 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの他端が接続されている少
    なくとも1以上の他の電気回路部品と; を少なくとも有していることを特徴とする電気回路装置
  4. (4)電気的絶縁材料よりなる保持体と、該保持体中に
    埋設された複数の電気的導電部材とを有し、該電気的導
    電部材の一端が該保持体の一方の面において露出してお
    り、また、該電気的導電部材の他端が該保持体の他方の
    面において露出している電気的接続部材と: 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部あるいは該
    接続部以外の部分において電気回路部品の少なくとも1
    以上の電気的接続部の存在する面以外の少なくとも1以
    上の面を接続及び/又は保持する回路が形成されている
    電気回路保持部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されており、
    該接続は、該接続部と該一端とを金属化及び/又は合金
    化することによりなされている、該回路が形成されてい
    る電気回路保持部材に接続及び/又は保持されている少
    なくとも1以上の電気回路部品と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの他端が接続されており、
    該接続は、該接続部と該他端とを金属化及び/又は合金
    化することによりなされている少なくとも1以上の他の
    電気回路部品と; を少なくとも有していることを特徴とする電気回路装置
  5. (5)電気的絶縁材料よりなる保持体と、該保持体中に
    埋設された複数の電気的導電部材とを有し、該電気的導
    電部材の一端が該保持体の一方の面において露出してお
    り、また、該電気的導電部材の他端が該保持体の他方の
    面において露出している電気的接続部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部あるいは該
    接続部以外の部分において、電気回路部品の少なくとも
    1以上の電気的接続部の存在する面以外の少なくとも1
    以上の面を接続及び/又は保持する回路が形成されてい
    る電気回路保持部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されている、
    該回路が形成されている電気回路保持部材に接続及び/
    又は保持されている少なくとも1以上の電気回路部品と
    ; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの他端が接続されている少
    なくとも1以上の他の電気回路部品と; を少なくとも有する電気回路装置において、該電気回路
    保持部材又は電気的接続部材は段差を有しており; 該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの一端が、該回路が形成さ
    れている電気回路保持部材の少なくとも1つの該接続部
    と接続され; 該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの他端が、該他の電気回路
    部品の少なくとも1つの該接続部と接続されていること
    を特徴とする電気回路装置。
  6. (6)電気的絶縁材料よりなる保持体と、該保持体中に
    埋設された複数の電気的導電部材とを有し、該電気的導
    電部材の一端が該保持体の一方の面において露出してお
    り、また、該電気的導電部材の他端が該保持体の他方の
    面において露出している電気的接続部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部あるいは該
    接続部以外の部分において、電気回路部品の少なくとも
    1以上の電気的接続部の存在する面以外の少なくとも1
    以上の面を接続及び/又は保持する回路が形成されてい
    る電気回路保持部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されている、
    該回路が形成されている電気回路保持部材に接続及び/
    又は保持されている少なくとも1以上の電気回路部品と
    : 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの他端が接続されており、
    該接続は、該接続部と該他端とを金属化及び/又は合金
    化することによりなされている少なくとも1以上の他の
    電気回路部品と; を少なくとも有する電気回路装置において、該電気回路
    保持部材又は電気的接続部材は段差を有しており; 該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの一端が、該回路が形成さ
    れている電気回路保持部材の少なくとも1つの該接続部
    と接続され; 該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの他端が、該他の電気回路
    部品の少なくとも1以上の該接続部と接続されており、
    該接続は、該接続部と該他端とを金属化及び/又は合金
    化することによりなされていることを特徴とする電気回
    路装置。
  7. (7)電気的絶縁材料よりなる保持体と、該保持体中に
    埋設された複数の電気的導電部材とを有し、該電気的導
    電部材の一端が該保持体の一方の面において露出してお
    り、また、該電気的導電部材の他端が該保持体の他方の
    面において露出している電気的接続部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部あるいは該
    接続部以外の部分において、電気回路部品の少なくとも
    1以上の電気的接続部の存在する面以外の少なくとも1
    以上の面を接続及び/又は保持する回路が形成されてい
    る電気回路保持部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されており、
    該接続は、該接続部と該一端とを金属化及び/又は合金
    化することによりなされている、該回路が形成されてい
    る電気回路保持部材に接続及び/又は保持されている少
    なくとも1以上の電気回路部品と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの他端が接続されている少
    なくとも1以上の他の電気回路部品と; を少なくとも有する電気回路装置において、該電気回路
    保持部材又は電気的接続部材は段差を有しており; 該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの一端が、該回路が形成さ
    れている電気回路保持部材の少なくとも1つの該接続部
    と接続されており、該接続は該接続部と該一端とを金属
    化及び/又は合金化することにより接続され; 該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの他端が、該他の電気回路
    部品の少なくとも1つの該接続部と接続されていること
    を特徴とする電気回路装置。
  8. (8)電気的絶縁材料よりなる保持体と、該保持体中に
    埋設された複数の電気的導電部材とを有し、該電気的導
    電部材の一端が該保持体の一方の面において露出してお
    り、また、該電気的導電部材の他端が該保持体の他方の
    面において露出している電気的接続部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部あるいは該
    接続部以外の部分において、電気回路部品の少なくとも
    1以上の電気的接続部の存在する面以外の少なくとも1
    以上の面を接続及び/又は保持する回路が形成されてい
    る電気回路保持部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されており、
    該接続は、該接続部と該一端とを金属化及び/又は合金
    化することによりなされている、該回路が形成されてい
    る電気回路保持部材に接続及び/又は保持されている少
    なくとも1以上の電気回路部品と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの他端が接続されており、
    該接続は、該接続部と該他端とを金属化及び/又は合金
    化することによりなされている少なくとも1以上の他の
    電気回路部品と; を少なくとも有する電気回路装置において、該電気回路
    保持部材又は電気的接続部材は段差を有しており; 該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの一端が、該回路が形成さ
    れている電気回路保持部材の少なくとも1つの該接続部
    と接続されており、該接続は、該接続部と該一端とを金
    属化及び/又は合金化することにより接続され; 該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの他端が、該他の電気回路
    部品の少なくとも1以上の該接続部と接続されており、
    該接続は、該接続部と該他端とを金属化及び/又は合金
    化することによりなされていることを特徴とする電気回
    路装置。
  9. (9)電気的絶縁材料よりなる保持体と、該保持体中に
    埋設された複数の電気的導電部材とを有し、該電気的導
    電部材の一端が該保持体の一方の面において露出してお
    り、また、該電気的導電部材の他端が該保持体の他方の
    面において露出している電気的接続部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部あるいは該
    接続部以外の部分において、電気回路部品の少なくとも
    1以上の電気的接続部の存在する面以外の少なくとも1
    以上の面を接続及び/又は保持する回路が形成されてい
    る電気回路保持部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されている該
    回路が形成されている電気回路保持部材に接続及び/又
    は保持されている少なくとも1以上の電気回路部品と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの他端が接続されている少
    なくとも1以上の他の電気回路部品と; を少なくとも有する電気回路装置において、該回路が形
    成されている電気回路保持部材に接続及び/又は保持さ
    れている該電気回路部品と該他の電気回路部品とを接続
    している該電気的接続部材と異なる厚みをもつ少なくと
    も1以上の電気的接続部材により、 該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの一端が、該回路が形成さ
    れている電気回路保持部材の少なくとも1つの該接続部
    と接続され; 該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの他端が、該他の電気回路
    部品の少なくとも1つの該接続部と接続されていること
    を特徴とする電気回路装置。
  10. (10)電気的絶縁材料よりなる保持体と、該保持体中
    に埋設された複数の電気的導電部材とを有し、該電気的
    導電部材の一端が該保持体の一方の面において露出して
    おり、また、該電気的導電部材の他端が該保持体の他方
    の面において露出している電気的接続部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部あるいは該
    接続部以外の部分において、電気回路部品の少なくとも
    1以上の電気的接続部の存在する面以外の少なくとも1
    以上の面を接続及び/又は保持する回路が形成されてい
    る電気回路保持部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されている該
    回路が形成されている電気回路保持部材に接続及び/又
    は保持されている少なくとも1以上の電気回路部品と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの他端が接続されており、
    該接続は、該接続部と該他端とを金属化及び/又は合金
    化することによりなされている少なくとも1以上の他の
    電気回路部品と; を少なくとも有する電気回路装置において、該回路が形
    成されている電気回路保持部材に接続及び/又は保持さ
    れている該電気回路部品と該他の電気回路部品とを接続
    している該電気的接続部材と異なる厚みをもつ少なくと
    も1以上の電気的接続部材により、 該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの一端が、該回路が形成さ
    れている電気回路保持部材の少なくとも1つの該接続部
    と接続され; 該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの他端が、該他の電気回路
    部品の少なくとも1以上の該接続部と接続されており、
    該接続は、該接続部と該他端とを金属化及び/又は合金
    化することによりなされていることを特徴とする電気回
    路装置。
  11. (11)電気的絶縁材料よりなる保持体と、該保持体中
    に埋設された複数の電気的導電部材とを有し、該電気的
    導電部材の一端が該保持体の一方の面において露出して
    おり、また、該電気的導電部材の他端が該保持体の他方
    の面において露出している電気的接続部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部あるいは該
    接続部以外の部分において、電気回路部品の少なくとも
    1以上の電気的接続部の存在する面以外の少なくとも1
    以上の面を接続及び/又は保持する回路が形成されてい
    る電気回路保持部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されており、
    該接続は、該接続部と該一端とを金属化及び/又は合金
    化することによりなされている、該回路が形成されてい
    る電気回路保持部材に接続及び/又は保持されている少
    なくとも1以上の電気回路部品と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの他端が接続されている少
    なくとも1以上の他の電気回路部品と; を少なくとも有する電気回路装置において、該回路が形
    成されている電気回路保持部材に接続及び/又は保持さ
    れている該電気回路部品と該他の電気回路部品とを接続
    している該電気的接続部材と異なる厚みをもつ少なくと
    も1以上の電気的接続部材により、 該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの一端が、該回路が形成さ
    れている電気回路保持部材の少なくとも1つの該接続部
    と接続されており、該接続は、該接続部と該一端とを金
    属化及び/又は合金化することにより接続され; 該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの他端が、該他の電気回路
    部品の少なくとも1以上の該接続部と接続されているこ
    とを特徴とする電気回路装置。
  12. (12)電気的絶縁材料よりなる保持体と、該保持体中
    に埋設された複数の電気的導電部材とを有し、該電気的
    導電部材の一端が該保持体の一方の面において露出して
    おり、また、該電気的導電部材の他端が該保持体の他方
    の面において露出している電気的接続部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部あるいは該
    接続部以外の部分において、電気回路部品の少なくとも
    1以上の電気的接続部の存在する面以外の少なくとも1
    以上の面を接続及び/又は保持する回路が形成されてい
    る電気回路保持部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの一端が接続されており、
    該接続は、該接続部と該一端とを金属化及び/又は合金
    化することによりなされている、該回路が形成されてい
    る電気回路保持部材に接続及び/又は保持されている少
    なくとも1以上の電気回路部品と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において、
    該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの他端が接続されており、
    該接続は、該接続部と該他端とを金属化及び/又は合金
    化することによりなされている少なくとも1以上の他の
    電気回路部品と; を少なくとも有する電気回路装置において、該回路が形
    成されている電気回路保持部材に接続及び/又は保持さ
    れている該電気回路部品と該他の電気回路部品とを接続
    している該電気的接続部材と異なる厚みをもつ少なくと
    も1以上の電気的接続部材により、 該保持体の一方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの一端が、該回路が形成さ
    れている電気回路保持部材の少なくとも1つの該接続部
    と接続されており、該接続は、該接続部と該一端とを金
    属化及び/又は合金化することにより接続され; 該保持体の他方の面において露出している該電気的導電
    部材のうちの少なくとも1つの他端が、該他の電気回路
    部品の少なくとも1以上の該接続部と接続されており、
    該接続は、該接続部と該他端とを金属化及び/又は合金
    化することによりなされていることを特徴とする電気回
    路装置。
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