JPH01302732A - 電気回路装置 - Google Patents
電気回路装置Info
- Publication number
- JPH01302732A JPH01302732A JP63133134A JP13313488A JPH01302732A JP H01302732 A JPH01302732 A JP H01302732A JP 63133134 A JP63133134 A JP 63133134A JP 13313488 A JP13313488 A JP 13313488A JP H01302732 A JPH01302732 A JP H01302732A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electric circuit
- semiconductor element
- connection
- circuit board
- holding member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005275 alloying Methods 0.000 claims description 16
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 claims description 16
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 140
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 66
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 5
- 238000005476 soldering Methods 0.000 abstract 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 32
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 32
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 25
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 24
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 12
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 7
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 7
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 5
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 5
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 4
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 4
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 4
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUMBMVFBXHLACL-UHFFFAOYSA-N Melanin Chemical compound O=C1C(=O)C(C2=CNC3=C(C(C(=O)C4=C32)=O)C)=C2C4=CNC2=C1C XUMBMVFBXHLACL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- -1 fluororesin Polymers 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OEPOKWHJYJXUGD-UHFFFAOYSA-N 2-(3-phenylmethoxyphenyl)-1,3-thiazole-4-carbaldehyde Chemical compound O=CC1=CSC(C=2C=C(OCC=3C=CC=CC=3)C=CC=2)=N1 OEPOKWHJYJXUGD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001807 Urea-formaldehyde Polymers 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003522 acrylic cement Substances 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 229920000180 alkyd Polymers 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010923 batch production Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000004100 electronic packaging Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000013212 metal-organic material Substances 0.000 description 1
- 125000005395 methacrylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920006380 polyphenylene oxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000012925 reference material Substances 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32245—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/484—Connecting portions
- H01L2224/48463—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
- H01L2224/48465—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond the other connecting portion not on the bonding area being a wedge bond, i.e. ball-to-wedge, regular stitch
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
- H01L2224/491—Disposition
- H01L2224/4912—Layout
- H01L2224/49171—Fan-out arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/838—Bonding techniques
- H01L2224/83886—Involving a self-assembly process, e.g. self-agglomeration of a material dispersed in a fluid
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15312—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a pin array, e.g. PGA
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/161—Cap
- H01L2924/1615—Shape
- H01L2924/16152—Cap comprising a cavity for hosting the device, e.g. U-shaped cap
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/303—Surface mounted components, e.g. affixing before soldering, aligning means, spacing means
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[a業上の利用分野]
本発明は、電気回路装置に関する。
[従来技術]
従来、電気回路部品同士を電気的に接続して構成される
電気回路部材を封止した電気回路装置に関する技術とし
ては以下に述べる技術が知られている。
電気回路部材を封止した電気回路装置に関する技術とし
ては以下に述べる技術が知られている。
■ワイヤボンディング方法
第12図及び第13図はワイヤボンディング方法によっ
て接続され、封止された半導体装置の代表例を示してお
り、以下、第12図及び第13図に基づきワイヤボンデ
ィング方法を説明する。
て接続され、封止された半導体装置の代表例を示してお
り、以下、第12図及び第13図に基づきワイヤボンデ
ィング方法を説明する。
この方法は、Agペースト3等を用いて半導体素子4を
素子搭載部2に固定支持し、次いで、半導体素子4の接
続部5と、リードフレーム1の所望の接続部6とを金等
の極細金属線7を用いて電気的に接続する方法である。
素子搭載部2に固定支持し、次いで、半導体素子4の接
続部5と、リードフレーム1の所望の接続部6とを金等
の極細金属線7を用いて電気的に接続する方法である。
接続後にトランスファーモールド法等の方法でエポキシ
樹脂等、熱硬化性樹脂である樹脂8を用いて半導体素子
4とリードフレーム1を封止し、その後、樹脂封止部品
から外に伸びたリードフレーム1の不要部分を切断し、
所望の形に曲げ半導体9を作る。
樹脂等、熱硬化性樹脂である樹脂8を用いて半導体素子
4とリードフレーム1を封止し、その後、樹脂封止部品
から外に伸びたリードフレーム1の不要部分を切断し、
所望の形に曲げ半導体9を作る。
■T A B (Tape Automated Bo
nding )法(例えば、特開昭59−139638
号公報)第14図はTAB法により接続され封止された
半導体装置の代表例を示す。
nding )法(例えば、特開昭59−139638
号公報)第14図はTAB法により接続され封止された
半導体装置の代表例を示す。
この方法は、テープキャリア方式による自動ボンディン
グ法である。この方法を第14図に基づいて説明する。
グ法である。この方法を第14図に基づいて説明する。
キャリアフィルム基板16と半導体素子4とを位置決め
した後、キャリアフィルム基板16のインナーリード部
17と半導体素子4の接続部5とを熱圧着することによ
り接続する方法である。接続後にエポキシ樹脂等、熱硬
化性樹脂である樹脂20あるいは樹脂21で封止し、半
導体装置9とする。
した後、キャリアフィルム基板16のインナーリード部
17と半導体素子4の接続部5とを熱圧着することによ
り接続する方法である。接続後にエポキシ樹脂等、熱硬
化性樹脂である樹脂20あるいは樹脂21で封止し、半
導体装置9とする。
■CCB (Controlled Co11apse
Bonding )法(例えば、特公昭42−209
6号公報、特開昭60−57944号公報) 第15図はCCB法によって接続され封止された半導体
装置の代表例を示す。この方法を第15図に基づき説明
する。なお、本方法はフリップチップボンディング法と
も言われている。
Bonding )法(例えば、特公昭42−209
6号公報、特開昭60−57944号公報) 第15図はCCB法によって接続され封止された半導体
装置の代表例を示す。この方法を第15図に基づき説明
する。なお、本方法はフリップチップボンディング法と
も言われている。
半導体素子4の接続部5に予め半田バンブ31を設け、
半田バンプ31が設けられた半導体素子4を回路基板3
2上に位置決めして搭載する。その後、半田を加熱溶解
することにより回路基板32と半導体素子4とを接続さ
せ、フラックス洗浄後封止して半導体装置9を作る。
半田バンプ31が設けられた半導体素子4を回路基板3
2上に位置決めして搭載する。その後、半田を加熱溶解
することにより回路基板32と半導体素子4とを接続さ
せ、フラックス洗浄後封止して半導体装置9を作る。
■第16図および第17図に示す方法
第1の半導体素子4の接続部5以外の部分にポリイミド
等よりなる絶縁膜71を形成せしめ、接続部5にはAu
等よりなる金属材70を設け、次いで、金属材70およ
び絶縁膜71の露出面73.72を平らにする。一方、
第2の半導体素子4°の接続部5°以外の部分にポリイ
ミド等よりなる絶縁膜71′を形成し、接続部5°には
Au等よりなる金属材70’ を設け、次いで、金属材
70′および絶縁膜71′の露出面73′。
等よりなる絶縁膜71を形成せしめ、接続部5にはAu
等よりなる金属材70を設け、次いで、金属材70およ
び絶縁膜71の露出面73.72を平らにする。一方、
第2の半導体素子4°の接続部5°以外の部分にポリイ
ミド等よりなる絶縁膜71′を形成し、接続部5°には
Au等よりなる金属材70’ を設け、次いで、金属材
70′および絶縁膜71′の露出面73′。
72′を平坦にする。
その後、第17図に示すように第1の半導体素子4と第
2の半導体素子4′とを位置決めし、位置決め後熱圧着
することにより、第1の半導体素子4の接続部5と第2
の半導体素子4°の接続部5″を、金属材70,70°
を介して接続する。
2の半導体素子4′とを位置決めし、位置決め後熱圧着
することにより、第1の半導体素子4の接続部5と第2
の半導体素子4°の接続部5″を、金属材70,70°
を介して接続する。
■第18図に示す方法
第1の回路基板75と第2の回路基板75°の間に、絶
縁物質77中に導電粒子79を分散させた異方性導電膜
78を介在させ、第1の回路基板75と第2の回路基板
75°を位置決めした後、加圧、もしくは加圧・加熱し
、第1の回路基板75の接続部76と第2の回路基板7
5″の接続部76゛を接続する方法である。
縁物質77中に導電粒子79を分散させた異方性導電膜
78を介在させ、第1の回路基板75と第2の回路基板
75°を位置決めした後、加圧、もしくは加圧・加熱し
、第1の回路基板75の接続部76と第2の回路基板7
5″の接続部76゛を接続する方法である。
■第19図に示す方法
¥S1の回路基板75と第2の回路基板75°の間に、
Fe、Cu等よりなる金属線82が一定方向に向けて配
されいる絶縁物質81からなるエラスチックコネクター
83を介在させ、第1の回路基板75と第2の回路基板
75”を位置決めした後加圧し、第1の回路基板75の
接続部76と第2の回路基板75゛の接続部76°を接
続する方法である。
Fe、Cu等よりなる金属線82が一定方向に向けて配
されいる絶縁物質81からなるエラスチックコネクター
83を介在させ、第1の回路基板75と第2の回路基板
75”を位置決めした後加圧し、第1の回路基板75の
接続部76と第2の回路基板75゛の接続部76°を接
続する方法である。
[発明が解決しようとする問題点コ
しかしながら、前記した従来のボンディング法には以下
のような問題点がある。
のような問題点がある。
■ワイヤボンディング法
■半導体素子4の接続部5を半導体素子4の内部にくる
ように設計すると、極細金属線7は、その線径が極め[
て小さいために、半導体素子4の外周縁部10あるいは
リードフレーム1の素子搭載部2の外周縁部11に接触
し易くなる。極細金属線7がこれら外周縁部10あるい
は11に接触すると短絡する。さらに、極細金属線7の
長さを長くせざるを得す、長さを長くすると、トランス
ファーモールド成形時に極細金属線7が変形しやすくな
る。
ように設計すると、極細金属線7は、その線径が極め[
て小さいために、半導体素子4の外周縁部10あるいは
リードフレーム1の素子搭載部2の外周縁部11に接触
し易くなる。極細金属線7がこれら外周縁部10あるい
は11に接触すると短絡する。さらに、極細金属線7の
長さを長くせざるを得す、長さを長くすると、トランス
ファーモールド成形時に極細金属線7が変形しやすくな
る。
従って、半導体素子4の接続部5は半導体素子4上の周
辺に配置する必要が生じ、回路設計上の制限を受けざる
を得なくなる。
辺に配置する必要が生じ、回路設計上の制限を受けざる
を得なくなる。
■半導体素子4とリードフレーム1とを極細金属線7で
接続するため、接続に必要な水平方向の広がりを必要と
し、これを小さくしようとすると上記■で述べた短絡が
生じる。よって、ワイヤボンディング法では、接続に必
要な水平方向の大きさを小さくすることはできず、高密
度実装には不適である。
接続するため、接続に必要な水平方向の広がりを必要と
し、これを小さくしようとすると上記■で述べた短絡が
生じる。よって、ワイヤボンディング法では、接続に必
要な水平方向の大きさを小さくすることはできず、高密
度実装には不適である。
■ワイヤボンディング法においては、隣接する極細金属
線7同士の接触等を避けるためには半導体素子4上の接
続部5のピッチ寸法(隣接する接続部の中心間の距離)
としである程度の間隔をとらざるを得ない。従って、半
導体素子4の大きさが決まれば必然的に接続部5の最大
数が決まる。
線7同士の接触等を避けるためには半導体素子4上の接
続部5のピッチ寸法(隣接する接続部の中心間の距離)
としである程度の間隔をとらざるを得ない。従って、半
導体素子4の大きさが決まれば必然的に接続部5の最大
数が決まる。
しかるに、ワイヤボンディング法では、このピッチ寸法
が通常0.2mm程度と大きいので、接続部5の数は少
なくせざるを得なくなる。
が通常0.2mm程度と大きいので、接続部5の数は少
なくせざるを得なくなる。
■ワイヤボンディング作業に時間がかかる。特に、接続
点数が多くなるとボンディング時間が長くなり生産効率
が悪くなる。
点数が多くなるとボンディング時間が長くなり生産効率
が悪くなる。
■何らかの要因でトランスファーモールド条件範囲を越
すと、極細金属線7が変形したり最悪の場合には切断し
たりする。
すと、極細金属線7が変形したり最悪の場合には切断し
たりする。
また、半導体素子4上の接続部5においては、極細金属
線7と合金化されないAQが露出しているためA℃腐食
が生じ易くなり、信頼性の低下が生じる。
線7と合金化されないAQが露出しているためA℃腐食
が生じ易くなり、信頼性の低下が生じる。
■TAB法
■半導体素子4の接続部5を半導体素子4の内側にくる
ように設計すると、キャリアフィルム基板16のインナ
ーリード部17の長さ1が長くなるため、インナーリー
ド部17が変形し易くなり、インナーリード部を所望の
接続部5に接続できなかったり、インナーリード部17
が半導体素子4の接続部5以外の部分に接触したりする
。これを避ける。ためには半導体素子4の接続部5を半
導体素子4上の周辺に持ってくる必要が生じ、設計上の
制限を受ける。
ように設計すると、キャリアフィルム基板16のインナ
ーリード部17の長さ1が長くなるため、インナーリー
ド部17が変形し易くなり、インナーリード部を所望の
接続部5に接続できなかったり、インナーリード部17
が半導体素子4の接続部5以外の部分に接触したりする
。これを避ける。ためには半導体素子4の接続部5を半
導体素子4上の周辺に持ってくる必要が生じ、設計上の
制限を受ける。
■TAB法においても、半導体素子4上の接続部のピッ
チ寸法は0.09〜0.15mm程度にとる必要があり
、従って、ワイヤボンディング法の問題点■で述べたと
同様に、接続部数を増加させることは難しくなる。
チ寸法は0.09〜0.15mm程度にとる必要があり
、従って、ワイヤボンディング法の問題点■で述べたと
同様に、接続部数を増加させることは難しくなる。
■TAB法も接続の方向としては、ワイヤボンディング
法と同様に、水平方向への接続であるため、水平方向の
大きさを小さくすることは困難であり、高密度実装には
不適である。
法と同様に、水平方向への接続であるため、水平方向の
大きさを小さくすることは困難であり、高密度実装には
不適である。
■キャリアフィルム基板16のインナーリード部17が
半導体素子4の接続部5以外の部分に接触しないように
するには、そのためのインナーリード部17の接続形状
が要求されるためコスト高となる。
半導体素子4の接続部5以外の部分に接触しないように
するには、そのためのインナーリード部17の接続形状
が要求されるためコスト高となる。
■半導体素子4の接続部5とインナーリード部17とを
接続するためには、半導体素子4の接続部5又はインナ
ーリード部17の接続部に金バンプを付けなければなら
ず、コスト高になる。
接続するためには、半導体素子4の接続部5又はインナ
ーリード部17の接続部に金バンプを付けなければなら
ず、コスト高になる。
■半導体素子4の熱膨張係数が、樹脂20乃至樹脂21
の熱膨張係数と異なるため、半導体装置9に熱が加わっ
た場合、熱応力が発生し、半導体素子4の特性劣化を生
じる。さらには、半導体素子4、又は樹脂20あるいは
樹脂21に割れが生じ、装置の信頼性が低下する。この
ような現象は半導体素子4の大きさが大きい場合顕著と
なる。
の熱膨張係数と異なるため、半導体装置9に熱が加わっ
た場合、熱応力が発生し、半導体素子4の特性劣化を生
じる。さらには、半導体素子4、又は樹脂20あるいは
樹脂21に割れが生じ、装置の信頼性が低下する。この
ような現象は半導体素子4の大きさが大きい場合顕著と
なる。
■CCB法
■半導体素子4の接続部5に半田バンブ31を形成させ
なければならないためコスト高になる。
なければならないためコスト高になる。
■バンブの半田量が多いと隣接する半田バンブ間にブリ
ッジ(隣接する半田バンブ同士が接触する現象)が生じ
、逆にバンブの半田量が少ないと半導体素子4の接続部
5と回路基板32の接続部33が接続しなくなり電気的
導通がとれなくなる。すなわち、接続の信頼性が低くな
る。
ッジ(隣接する半田バンブ同士が接触する現象)が生じ
、逆にバンブの半田量が少ないと半導体素子4の接続部
5と回路基板32の接続部33が接続しなくなり電気的
導通がとれなくなる。すなわち、接続の信頼性が低くな
る。
さらに、半田量、接続の半田形状が接続の信頼性に影響
する( ”Geo[l1etric Optimiza
tion 、of[:ontrolled Co11a
pse Interconnections@。
する( ”Geo[l1etric Optimiza
tion 、of[:ontrolled Co11a
pse Interconnections@。
L、 S、 Goldman、 IBM J、 RES
、 DEVELOP、 1989゜1i!AY、 pp
、251−265.Iteliabllity of
Controlled(:ollapse Inter
−connections”、に、 C,Norris
。
、 DEVELOP、 1989゜1i!AY、 pp
、251−265.Iteliabllity of
Controlled(:ollapse Inter
−connections”、に、 C,Norris
。
A、 H,Landzberg、 IBM J、
RES、 DEVELOP。
RES、 DEVELOP。
196a、 MAY、 pp266−271.ろう接技
術研究会技術資料、No、017−’84、ろう接技術
研究会発行)という問題がある。
術研究会技術資料、No、017−’84、ろう接技術
研究会発行)という問題がある。
このように、半田バンブの量の多少が接続の信頼性に影
晋するため半田バンブ31の量のコントロールが必要と
されている。
晋するため半田バンブ31の量のコントロールが必要と
されている。
■半田バンブ31が半導体素子4の内側に存在すると接
続が良好に行われたか否かの目視検査が難しくなる。
続が良好に行われたか否かの目視検査が難しくなる。
■半導体素子の放熱性が悪い(参考資料;Electr
onic Packaging Technology
1987.1゜(Vol、3. No、1) P、6
8〜71. NIKKEI MICRODEVICES
1986.5月、 P、97〜108)ため、放熱特性
を良好たらしめるために多大な工夫が必要とされる。
onic Packaging Technology
1987.1゜(Vol、3. No、1) P、6
8〜71. NIKKEI MICRODEVICES
1986.5月、 P、97〜108)ため、放熱特性
を良好たらしめるために多大な工夫が必要とされる。
■半導体素子4の接続部と回路基板32の接続部を合わ
せて接続する5urface Douw Mount方
式であるため位置合わせが困難であり、製造装置は大が
かりとなる。また、マウント後リフローし接続するので
あるが、搬送中に位置ずれを生じたりする。
せて接続する5urface Douw Mount方
式であるため位置合わせが困難であり、製造装置は大が
かりとなる。また、マウント後リフローし接続するので
あるが、搬送中に位置ずれを生じたりする。
■第16図および第17図に示す技術
■絶縁膜71の露出面72、金属材70の露出面73あ
るいは絶縁膜71°の露出面72゛と金属材70°の露
出面73°とを平らにしなければならず、そのための工
程が増し、コスト高になる。
るいは絶縁膜71°の露出面72゛と金属材70°の露
出面73°とを平らにしなければならず、そのための工
程が増し、コスト高になる。
■絶縁膜71の露出面72と金属材70の露出面73あ
るいは絶縁膜71°の露出面72°と金属材70°の露
出面73°に凹凸があると金属材70と金属材70゛と
が接続しなくなり、信頼性が低下する。
るいは絶縁膜71°の露出面72°と金属材70°の露
出面73°に凹凸があると金属材70と金属材70゛と
が接続しなくなり、信頼性が低下する。
■この方式においても、 5urface Down
Mount方式であるので、CCB法の問題点■でのべ
たと同様に、位置合わせが困難であり、製造装置が犬が
かなりなものとなる。
Mount方式であるので、CCB法の問題点■でのべ
たと同様に、位置合わせが困難であり、製造装置が犬が
かなりなものとなる。
■第18図に示す技術
■位置決め後、接続部76と接続部76゛とを加圧して
接続する際に、圧力が一定にはかかりにくいため接続状
態にバラツキが生じ、その結果、接続部における接触抵
抗値のバラツキが大きくなる。そのため、接続の信頼性
が乏しくなる。また、多量の電流を流すと、発熱等の現
象が生じるので、多量の電流を流したい場合には不向き
である。
接続する際に、圧力が一定にはかかりにくいため接続状
態にバラツキが生じ、その結果、接続部における接触抵
抗値のバラツキが大きくなる。そのため、接続の信頼性
が乏しくなる。また、多量の電流を流すと、発熱等の現
象が生じるので、多量の電流を流したい場合には不向き
である。
■圧力が一定にかけられたとしても、異方性導電膜78
の導電粒子79の配列により抵抗値のバラツキが大きく
なる。そのため、接続の信頼性に乏しくなる。また、多
量の電流を流したい場合には不向きである。
の導電粒子79の配列により抵抗値のバラツキが大きく
なる。そのため、接続の信頼性に乏しくなる。また、多
量の電流を流したい場合には不向きである。
■隣接する接続部のピッチ(接続部に隣接する接続部中
心間の距離)を狭くすると、隣接する接続部の間の抵抗
値が小さくなることから高密度な接続には不向きである
。
心間の距離)を狭くすると、隣接する接続部の間の抵抗
値が小さくなることから高密度な接続には不向きである
。
■回路基板75.75’の接続部76.76゜の出っ張
り量htのバラツキにより抵抗値が変、化するため、h
1バラツキ量を正確に押さえることが必要である。
り量htのバラツキにより抵抗値が変、化するため、h
1バラツキ量を正確に押さえることが必要である。
■さらに、異方性導電膜を、半導体素子と回路基板の接
続、又は第1の半導体素子と第2の半導体素子との接続
に使用した場合、上記■〜■の欠点の他、半導体素子の
接続部にバンプを設けなければならなくなり、コスト高
になる。
続、又は第1の半導体素子と第2の半導体素子との接続
に使用した場合、上記■〜■の欠点の他、半導体素子の
接続部にバンプを設けなければならなくなり、コスト高
になる。
■第19図に示す技術
■加圧が必要であり、加圧治具が必要となる。
■エラスチックコネクタ83の金属線82と第1の回路
基板75の接続部76、又は第2の回路基板75°の接
続部76°との接触抵抗は加圧力および表面状態により
変化するため、接続の信頼性に乏しい。
基板75の接続部76、又は第2の回路基板75°の接
続部76°との接触抵抗は加圧力および表面状態により
変化するため、接続の信頼性に乏しい。
■エラスチックコネクタ83の金属線82は剛体である
ため、加圧力が大であるとエラスチックコネクタ83、
第1の回路基板75、第2の回路基板75°の表面が破
損する可能性が大きい。また、加圧力が小であると、接
続の信頼性が乏しくなる。
ため、加圧力が大であるとエラスチックコネクタ83、
第1の回路基板75、第2の回路基板75°の表面が破
損する可能性が大きい。また、加圧力が小であると、接
続の信頼性が乏しくなる。
■さらに、回路基板75,75°の接続部76.76°
の出っ張り量h2又はエラスチックコネクタ83の金属
線82のの出っ張り量h3とそのノ<ラツキが抵抗値変
化および破損に影響を及ぼすので、ベラツキを少なくす
る工夫が必要とされる。
の出っ張り量h2又はエラスチックコネクタ83の金属
線82のの出っ張り量h3とそのノ<ラツキが抵抗値変
化および破損に影響を及ぼすので、ベラツキを少なくす
る工夫が必要とされる。
■さらに、エラスチックコネクターを半導体素子と回路
基板の接続又は第1の半導体素子と第2の半導体素子と
の接続に使用した場合、■〜■と同様な欠点を生ずる。
基板の接続又は第1の半導体素子と第2の半導体素子と
の接続に使用した場合、■〜■と同様な欠点を生ずる。
(以下余白)
[課題を解決するための手段]
本発明の第1の要旨は、電気回路部品の少なくとも1以
上の電気的接続部の存在する面以外の少なくとも1以上
の面を保持する電気回路保持部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該電気回路保持部材
に保持されている少なくとも1以上の電気回路部品と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において該
電気回路保持部材に保持されている該電気回路部品の該
接続部が接続されている少なくとも1以上の他の電気回
路部品と; を少なくとも有していることを特徴とする電気回路装置
にある。
上の電気的接続部の存在する面以外の少なくとも1以上
の面を保持する電気回路保持部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該電気回路保持部材
に保持されている少なくとも1以上の電気回路部品と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において該
電気回路保持部材に保持されている該電気回路部品の該
接続部が接続されている少なくとも1以上の他の電気回
路部品と; を少なくとも有していることを特徴とする電気回路装置
にある。
本発明の第2の要旨は、上記第1の要旨において、該接
続は、金属化及び/又は合金化することによりなされて
いることを特徴とする電気回路装置にある。
続は、金属化及び/又は合金化することによりなされて
いることを特徴とする電気回路装置にある。
以下に本発明の構成要件を個別的に説明する。
(電気回路部品)
本発明における電気回路部品としては、例えば、トラン
ジスタ、IC等の半導体素子や、樹脂回路基板、セラミ
ック基板、金属基板、シリコン基板等の回路基板(以下
車に回路基板ということがある)や、リードフレーム等
が挙げられる。
ジスタ、IC等の半導体素子や、樹脂回路基板、セラミ
ック基板、金属基板、シリコン基板等の回路基板(以下
車に回路基板ということがある)や、リードフレーム等
が挙げられる。
なお、電気回路保持部材に保持される電気回路部品は、
電気回路保持部材の1つの面に1つだけ存在してもよい
し、複数個存在してもよい。また、保持される電気回路
部品の大きさ、形状、種類は任意でかまわないが、保持
される電気回路部品の数が多ければ多いほど、また種類
が多種であれば多種であるほど、本発明の効果は顕著と
なる。
電気回路保持部材の1つの面に1つだけ存在してもよい
し、複数個存在してもよい。また、保持される電気回路
部品の大きさ、形状、種類は任意でかまわないが、保持
される電気回路部品の数が多ければ多いほど、また種類
が多種であれば多種であるほど、本発明の効果は顕著と
なる。
電気回路部品として接続部を有する部品が本発明の対象
となる。接続部の数は問わないが、接続部の数が多けれ
ば多いほど未発明の効果が顕著となる。
となる。接続部の数は問わないが、接続部の数が多けれ
ば多いほど未発明の効果が顕著となる。
また、接続部の存在位置も問わないが、電気回路部品の
内部に存在するほど本発明の効果は顕著となる。
内部に存在するほど本発明の効果は顕著となる。
なお、接続部は電気的導電材料である。
(電気回路保持部材)
電気回路保持部材の材質としては金属、合金、有機、無
機材料のいずれであフてもよい。また、それらの複合材
料であフてもよいい。
機材料のいずれであフてもよい。また、それらの複合材
料であフてもよいい。
さらに電気回路保持部材の形状、大きさは、保持した電
気回路部品と他の電気回路部品との接続が均一に、かつ
安定して行うことが可能であれば任意でかまわない。
気回路部品と他の電気回路部品との接続が均一に、かつ
安定して行うことが可能であれば任意でかまわない。
また、電気回路保持部材に保持される電気回路部品の大
きさ、数、種類は任意であってかまわないが、数が多け
れば多いほど、また種類が多ければ多いほど、本発明の
効果は顕著である。
きさ、数、種類は任意であってかまわないが、数が多け
れば多いほど、また種類が多ければ多いほど、本発明の
効果は顕著である。
上記金属・又は合金としては、例えば、Ag。
Cu、Au、AJ2.Be、Ca、Mg、Mo。
Fe、Ni、Co、Mn、W、Ti、Pt。
Cr、Pd、Nb、Ta、V、Y、等の金属又は合金が
挙げられる。
挙げられる。
無機材料としては、例えば、St、Ge。
GaAs、a−3i等の半導体や、B2C)3゜A
JZ2 03 、 N a 20 、 K2
0 、 Cab。
JZ2 03 、 N a 20 、 K2
0 、 Cab。
ZnO,Bad、 PbO,Sb 20 3 。
As、 O! 、 La2 03 、 ZrO,
、Bad。
、Bad。
P205 、 TiO2、MgO,SiC,Bed。
B P、 BN、 AIN、 B4 C,T
aC。
aC。
TiB、 、 CrB 2 、 TiN、 S
t 3 N4 。
t 3 N4 。
Ta205 、c BN、S i 02等のセラミック
、ダイヤモンド、ガラス、合成石英、カーボン、ボロン
その他の無機材料が挙げられる。
、ダイヤモンド、ガラス、合成石英、カーボン、ボロン
その他の無機材料が挙げられる。
また、有機材料としては、例えば絶縁性の樹脂を用いれ
ばよく、樹脂としては、熱硬化性樹脂、紫外線硬化樹脂
、熱可塑性樹脂等のいかなるものでもよい。例えば、ポ
リイミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリ
エーテルサルフオン樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポ
リスチレン樹脂、フッ素樹脂、ポリカーボネート樹脂、
ポリジフェニールエーテル樹脂、ポリベンジルイミダゾ
ール樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリプロピレン樹脂
、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリスチレン樹脂、メ′タクリ
ル酸メチル樹脂、ポリフェニレンオキサイド樹脂、フェ
ノール樹脂、メラニン樹脂1、エポキシ樹脂、尿素樹脂
、メタクリル樹脂、塩化ビニリデン樹脂、アルキッド樹
脂、シリコーン樹脂、その他の樹脂を使用することがで
きる。
ばよく、樹脂としては、熱硬化性樹脂、紫外線硬化樹脂
、熱可塑性樹脂等のいかなるものでもよい。例えば、ポ
リイミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリ
エーテルサルフオン樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポ
リスチレン樹脂、フッ素樹脂、ポリカーボネート樹脂、
ポリジフェニールエーテル樹脂、ポリベンジルイミダゾ
ール樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリプロピレン樹脂
、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリスチレン樹脂、メ′タクリ
ル酸メチル樹脂、ポリフェニレンオキサイド樹脂、フェ
ノール樹脂、メラニン樹脂1、エポキシ樹脂、尿素樹脂
、メタクリル樹脂、塩化ビニリデン樹脂、アルキッド樹
脂、シリコーン樹脂、その他の樹脂を使用することがで
きる。
さらに、電気回路保持部材としては、それぞれ異なる機
能を有した部材を組み合せ、複合化することも可能であ
る。例えば、保持板と放熱フィン等の組み合せを行うこ
とにより、保持する電気回路部品に合せた機能を持った
電気回路保持部材が得られる。
能を有した部材を組み合せ、複合化することも可能であ
る。例えば、保持板と放熱フィン等の組み合せを行うこ
とにより、保持する電気回路部品に合せた機能を持った
電気回路保持部材が得られる。
(接続)
電気回路部品の接続部と他の電気回路部品の接続部との
接続方法としては下記の構成が考えら1れる。
接続方法としては下記の構成が考えら1れる。
■金属化及び/又は合金化による接続。
■電気的導電材料が混入した樹脂の硬化反応による接続
。
。
■押圧による接続。
■各々の電気回路部品の接続部を構成している同一素材
からなる表面を平滑化、清浄化又は活性化した後に、各
々の接続部を合せることにより、各々の電気的導電部材
の原子間力(ファンデルワールス力)による接続。
からなる表面を平滑化、清浄化又は活性化した後に、各
々の接続部を合せることにより、各々の電気的導電部材
の原子間力(ファンデルワールス力)による接続。
■導電性有機材料からなる接続体による接続。
■その他の方法による接続。
次に、上記の接続のうち■の金属化及び/又は合金化に
よる接続について述べる。
よる接続について述べる。
接続しようとする接続部同士が同種の純金属よりなる場
合には、金属化により形成される接続体は接続部と同種
の結晶構造となる。なお、金属化の方法としては、例え
ば、電気的導電部材の端とその端に対応する接続部とを
接触させた後、適宜の温度に加熱すればよい。加熱によ
・り接触部近傍において原子の拡散等が生じ、拡散部が
金属化状態となり接続体が形成される。
合には、金属化により形成される接続体は接続部と同種
の結晶構造となる。なお、金属化の方法としては、例え
ば、電気的導電部材の端とその端に対応する接続部とを
接触させた後、適宜の温度に加熱すればよい。加熱によ
・り接触部近傍において原子の拡散等が生じ、拡散部が
金属化状態となり接続体が形成される。
接続しようとする接続部同士が異種の純金属よりなる場
合には、形成される接続体は両金属の合金よりなる。合
金化の方法としては、例えば、対応する接続部同士と接
触させた後、適切な温度に加熱すればよい。加熱により
接触部近傍において原子の拡散等が生じ、接触部近傍に
固溶体あるいは金属間化合物よりなる層が形成されこの
層が接続体となる。
合には、形成される接続体は両金属の合金よりなる。合
金化の方法としては、例えば、対応する接続部同士と接
触させた後、適切な温度に加熱すればよい。加熱により
接触部近傍において原子の拡散等が生じ、接触部近傍に
固溶体あるいは金属間化合物よりなる層が形成されこの
層が接続体となる。
なお、対応する2つの接続部の一方にAuを使用し、他
方にAu2を使用した場合には、200〜350℃の加
熱温度が好ましい。
方にAu2を使用した場合には、200〜350℃の加
熱温度が好ましい。
接続しようとする2つの接続部の一方が純金属よりなり
他方が合金よりなる場合、あるいは両者が同種あるいは
異種の合金よりなる場合には、接続体は合金よりなる。
他方が合金よりなる場合、あるいは両者が同種あるいは
異種の合金よりなる場合には、接続体は合金よりなる。
なお、それぞれの接続部は、両者の接触部において、金
属あるいは合金であればよく、その他の部分は、例えば
金属にガラス等の無機材料、もしくは金属に樹脂等の有
機材料が配合された状態であってもよい。
属あるいは合金であればよく、その他の部分は、例えば
金属にガラス等の無機材料、もしくは金属に樹脂等の有
機材料が配合された状態であってもよい。
なお、接続強度を高めるためには、接続される部分の表
面粗度を小さくすることが好ましい(特に0.3μm以
下が好ましい)。また、接続される部分の表面に合金化
しやすい金属あるいは合金よりなるめっき層を設けてお
いてもよい。
面粗度を小さくすることが好ましい(特に0.3μm以
下が好ましい)。また、接続される部分の表面に合金化
しやすい金属あるいは合金よりなるめっき層を設けてお
いてもよい。
(保持)
電気回路保持部材と電気回路部品の少なくとも1以上の
電気的接続部の存在する部具外の少なくとも1以上の面
の保持としては下記の■〜■の方法が考えられるが、少
なくとも一部分がそわらのうちの少なくとも1つの方法
で保持されていればよい。
電気的接続部の存在する部具外の少なくとも1以上の面
の保持としては下記の■〜■の方法が考えられるが、少
なくとも一部分がそわらのうちの少なくとも1つの方法
で保持されていればよい。
■有機材料の硬化反応により保持する。有機材料として
樹脂を用いる場合には樹脂の種類は問わない。例えば、
熱硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂のいずれでもよい。
樹脂を用いる場合には樹脂の種類は問わない。例えば、
熱硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂のいずれでもよい。
■接着材により接着し保持する。接着材の種類は問わな
い。例えば、アクリル系接着材、−ボキシ系接着材のい
ずれでもよい。
い。例えば、アクリル系接着材、−ボキシ系接着材のい
ずれでもよい。
■前述の金属化及び/又は合金化することにより保持す
る。
る。
■保持される部分を同一材料から形成し、その表面を平
坦化及び清浄化し、真空中で貼り合せ、接触部の構成原
子の原子間力(ファンデルワールス力)により保持する
。
坦化及び清浄化し、真空中で貼り合せ、接触部の構成原
子の原子間力(ファンデルワールス力)により保持する
。
■上記■〜■の方法以外で保持する。例えば、機械的に
はめ込み等の方法で保持する。
はめ込み等の方法で保持する。
[作用]
本発明では、上記した電気回路保持部材に電気回路部品
の少なくとも1以上の接続部の存在する部具外の面で、
電気回路部品を保持させた後に、他の電気回路部品と接
続するために、複雑な5urface Down Mo
untの位置決めを個々の電気回路部品に対して行う必
要がなくなり、電気回路保持部材と他の電気回路部品と
の位置決めを行うだけで、多数の電気回路部品の接続部
の位置決めが行え、生産性は大幅に向上する。
の少なくとも1以上の接続部の存在する部具外の面で、
電気回路部品を保持させた後に、他の電気回路部品と接
続するために、複雑な5urface Down Mo
untの位置決めを個々の電気回路部品に対して行う必
要がなくなり、電気回路保持部材と他の電気回路部品と
の位置決めを行うだけで、多数の電気回路部品の接続部
の位置決めが行え、生産性は大幅に向上する。
また、電気回路保持部材に電気回路部品を保持した後に
、他の電気回路部品と一括して位置決め及び接続をする
ため、電気回路部品として多種多様のものが使用でき、
また、それらは−括処理で接続されるため、多種多様の
電気回路装置が同一工程で生産可能となる。
、他の電気回路部品と一括して位置決め及び接続をする
ため、電気回路部品として多種多様のものが使用でき、
また、それらは−括処理で接続されるため、多種多様の
電気回路装置が同一工程で生産可能となる。
さらに、電気回路部品は電気回路保持部材に保持されて
いるため、電気回路装置の・作製工程中及び作製後にお
いて、治具等を使用して電気回路部品を保持する必要が
なく、電気回路装置の作製中及び作製後の管理が容易で
ある。
いるため、電気回路装置の・作製工程中及び作製後にお
いて、治具等を使用して電気回路部品を保持する必要が
なく、電気回路装置の作製中及び作製後の管理が容易で
ある。
さらに、電気回路保持部材に保持される電気回路部品を
機能別に分けることにより、電気回路部品を保持してい
る電気回路保持部材毎に機能ブロック化することが可能
となり、これを用いることにより、さらに、多種多様の
電気回路装置を同一工程で生産可能となる。
機能別に分けることにより、電気回路部品を保持してい
る電気回路保持部材毎に機能ブロック化することが可能
となり、これを用いることにより、さらに、多種多様の
電気回路装置を同一工程で生産可能となる。
なお、本発明において、電気回路保持部材に熱伝導性の
よい材料を用いた場合、電気回路部品から発生する熱が
より早く外界へ逃げ、熱放散性の良い電気回路装置が得
られる。また、電気回路保持部材が電気回路部品の熱膨
張係数に近い材料を用いた場合、熱膨張係数が電気回路
部品の熱膨張係数に近づき、熱が加わった場合に生ずる
ことのある電気回路部品の割れ、あるいは電気回路部品
の特性変化という、電気回路装置の信頼性を損なう現象
を防止でき、信頼性の高い電気回路装置が得られる。
よい材料を用いた場合、電気回路部品から発生する熱が
より早く外界へ逃げ、熱放散性の良い電気回路装置が得
られる。また、電気回路保持部材が電気回路部品の熱膨
張係数に近い材料を用いた場合、熱膨張係数が電気回路
部品の熱膨張係数に近づき、熱が加わった場合に生ずる
ことのある電気回路部品の割れ、あるいは電気回路部品
の特性変化という、電気回路装置の信頼性を損なう現象
を防止でき、信頼性の高い電気回路装置が得られる。
本発明において、接続を金属化及び/又は合金化により
行うと、 ■電気回路部品同士が強固(強度的に強く)かつ確実に
接続されるので、接続抵抗値は小さく、そのバラツキも
小さく、さらに機械的に強く、不良率の極めて低い電気
回路装置を得ることができ、 ■電気回路部品相互の接触抵抗が、電気回路部品を接続
した場合に比べてより小さくなる。
行うと、 ■電気回路部品同士が強固(強度的に強く)かつ確実に
接続されるので、接続抵抗値は小さく、そのバラツキも
小さく、さらに機械的に強く、不良率の極めて低い電気
回路装置を得ることができ、 ■電気回路部品相互の接触抵抗が、電気回路部品を接続
した場合に比べてより小さくなる。
なお、電気回路部品乃至他の電気回路部品を金属化及び
/又は合金化による接続以外の接続により行うと、金属
化及び/又は合金化時に生じる電気回路部品の熱による
劣化を防止することができる。
/又は合金化による接続以外の接続により行うと、金属
化及び/又は合金化時に生じる電気回路部品の熱による
劣化を防止することができる。
また、押圧による接続を行うと、用途によっては電気回
路部品を着脱自在にしておきたい場合があり、このよう
な場合にその電気回路部品を金属化及び/又は合金化に
よる接続以外の接続行えば、その要望に応じることが可
能となる。
路部品を着脱自在にしておきたい場合があり、このよう
な場合にその電気回路部品を金属化及び/又は合金化に
よる接続以外の接続行えば、その要望に応じることが可
能となる。
(以下余白)
[実施例]
(第1実施例)
第1図(a)、(b)は本発明の特徴を最も良く表わす
断面図であり、同図において201は電気回路保持部材
、202は電気回路部品である半導体素子、203は半
導体素子202の接続部、204は電気回路部品である
回路基板、205は回路基板204の接続部、206は
半導体素子202の接続部203と回路基板204の接
続部205とからなる接続面である。
断面図であり、同図において201は電気回路保持部材
、202は電気回路部品である半導体素子、203は半
導体素子202の接続部、204は電気回路部品である
回路基板、205は回路基板204の接続部、206は
半導体素子202の接続部203と回路基板204の接
続部205とからなる接続面である。
まず、電気回路保持部材201に半導体素子202を、
半導体素子202の接続部203がそれぞれの接続する
回路基板204の接続部205の位置関係と等しくなる
ように位置決めを行い、位置合せが終了したものは電気
回路保持部材201に保持させる。この際の保持方法と
しては、金属化及び/又は合金化による保持でもよいし
、又は接着剤(アクリル系、エポキシ系樹脂)による保
持でもかまわないし、その他の方法でもかまわないが、
保持後に多少の衝撃が加わっても位置ズレを生じてはな
らない。電気回路保持部材201に半導体素子202を
全て保持した後に、電気回路保持部材201を反転させ
るか、又は回路基板204を反転させ、電気回路保持部
材201に保持された半導体素子202の接続部203
と接続する回路基板204の接続部205とが対向する
ようにする(第1図(a))。
半導体素子202の接続部203がそれぞれの接続する
回路基板204の接続部205の位置関係と等しくなる
ように位置決めを行い、位置合せが終了したものは電気
回路保持部材201に保持させる。この際の保持方法と
しては、金属化及び/又は合金化による保持でもよいし
、又は接着剤(アクリル系、エポキシ系樹脂)による保
持でもかまわないし、その他の方法でもかまわないが、
保持後に多少の衝撃が加わっても位置ズレを生じてはな
らない。電気回路保持部材201に半導体素子202を
全て保持した後に、電気回路保持部材201を反転させ
るか、又は回路基板204を反転させ、電気回路保持部
材201に保持された半導体素子202の接続部203
と接続する回路基板204の接続部205とが対向する
ようにする(第1図(a))。
その後に、電気回路保持部材201と回路基板204と
の位置合せを行うと、電気回路保持部材201に、保持
されている半導体素子202は、回路基板204の接続
部205と半導体素子202の接続部203との位置関
係が等しくなるように電気回路保持部材201に保持さ
れたため、半導体素子202の接続部203と回路基板
204の接続部205は必然的に位置決めされる。よっ
て、電気回路保持部材201と回路基板204の位置合
せを行うことにより電気回路保持部材201に保持され
ている全ての半導体素子202の接続部205の全てと
回路基板204の接続部205の全ての位置がそれぞれ
一致し、その結果、両者の接続が可能となる(第1図(
b))。
の位置合せを行うと、電気回路保持部材201に、保持
されている半導体素子202は、回路基板204の接続
部205と半導体素子202の接続部203との位置関
係が等しくなるように電気回路保持部材201に保持さ
れたため、半導体素子202の接続部203と回路基板
204の接続部205は必然的に位置決めされる。よっ
て、電気回路保持部材201と回路基板204の位置合
せを行うことにより電気回路保持部材201に保持され
ている全ての半導体素子202の接続部205の全てと
回路基板204の接続部205の全ての位置がそれぞれ
一致し、その結果、両者の接続が可能となる(第1図(
b))。
第1図(b)の接続は以下に述べる各種の方法で行える
が、そのいずれの方式であってもかまわない。
が、そのいずれの方式であってもかまわない。
■半導体素子202の接続部203と回路基板204の
接続部205とが金属化及び/又は合金化することによ
る接続。
接続部205とが金属化及び/又は合金化することによ
る接続。
■半導体素子202の接続部203と回路基板204の
接続部205とを機械的に押圧することによる接続。
接続部205とを機械的に押圧することによる接続。
■電気的導電材料の粉体が混入し、た樹脂による接続。
■電気的導電性のある有機材料による接続。
■半導体素子202の接続部203と回路基板204の
接続部205とを構成する原子の原子間力(ファンデル
ワールス力)による接続。
接続部205とを構成する原子の原子間力(ファンデル
ワールス力)による接続。
以上のように、電気回路保持1部材201を用いて電気
回路部品である半導体素子202と他の電気回路部品で
ある回路基板204とを接続することにより、従来は困
難であった5urface Mount(又は5urf
ace Down Mount )を極めて簡単に行う
ことが可能となった。
回路部品である半導体素子202と他の電気回路部品で
ある回路基板204とを接続することにより、従来は困
難であった5urface Mount(又は5urf
ace Down Mount )を極めて簡単に行う
ことが可能となった。
また、第2図に示すように、電気回路保持部材201に
保持される半導体素子は一種類のみである必要はなく、
他の半導体素子207,208゜209の様に何種類で
もよい。また、半導体素子207,208,209が何
個であっても、回路基板204の接続部と半導体素子2
07゜208.209の接続部との位置関係が一致する
ように電気回路保持部材201に保持させれば同様の効
果が得られることは自明である。
保持される半導体素子は一種類のみである必要はなく、
他の半導体素子207,208゜209の様に何種類で
もよい。また、半導体素子207,208,209が何
個であっても、回路基板204の接続部と半導体素子2
07゜208.209の接続部との位置関係が一致する
ように電気回路保持部材201に保持させれば同様の効
果が得られることは自明である。
(第2実施例)
第3図は第2実施例を示す断面図である。同図において
、201は電気回路保持部材、202は電気回路部品で
ある半導体素子、210は半導体素子の接続部に形成さ
れたバンブ、204は他の電気回路部品である回路基板
、205は回路基板204の接続部である。
、201は電気回路保持部材、202は電気回路部品で
ある半導体素子、210は半導体素子の接続部に形成さ
れたバンブ、204は他の電気回路部品である回路基板
、205は回路基板204の接続部である。
まず、電気回路保持部材201に半導体素子202を、
半導体素子202のバンブ210がそれぞれの接続する
回路基板204の接続部205の位置関係と等しくなる
ように位置決めを行い、位置合せが終了したものは電気
回路保持部材201に保持させる。この際の保持方法と
1ノでは、金属化及び/又は合金化による保持でもよい
し、又は接着剤(アクリル系、エポキシ系樹脂)による
ものでもかまわないし、その他の方法であっても良いが
、保持後に多少の衝7等の劣化が加わっても位置ズレを
生じてはならない。
半導体素子202のバンブ210がそれぞれの接続する
回路基板204の接続部205の位置関係と等しくなる
ように位置決めを行い、位置合せが終了したものは電気
回路保持部材201に保持させる。この際の保持方法と
1ノでは、金属化及び/又は合金化による保持でもよい
し、又は接着剤(アクリル系、エポキシ系樹脂)による
ものでもかまわないし、その他の方法であっても良いが
、保持後に多少の衝7等の劣化が加わっても位置ズレを
生じてはならない。
電気回路保持部材201を用いて接続する半導体素子2
02を全べて保持した後に電気回路保持部材201を反
転させるか、又は回路基板204を反転させ、電気回路
保持部材201に保持された半導体素子202のバンブ
210と回路基板204の接続部205が対向するよう
にする(第3図(a))。
02を全べて保持した後に電気回路保持部材201を反
転させるか、又は回路基板204を反転させ、電気回路
保持部材201に保持された半導体素子202のバンブ
210と回路基板204の接続部205が対向するよう
にする(第3図(a))。
その後に電気回路保持部材201と回路基板204との
位置合せを行うと、電気回路保持部材201に保持され
ている半導体素子202は、バンブ21.0と回路基板
204の接続部205との位置関係が等しくなる様に保
持されているため、半導体素子202のバンブと210
と回路基板204との全ての接続部205はそれぞれ必
然的に〜致し、接続が可能となる。また、接続部に形成
されるバンブは、第4図(a)、(b)に示すように、
半導体素子202側ではなく回路基板204の接続部2
10側に形成し、半導体素子202の接続部203と接
続しても良いことは自明である。
位置合せを行うと、電気回路保持部材201に保持され
ている半導体素子202は、バンブ21.0と回路基板
204の接続部205との位置関係が等しくなる様に保
持されているため、半導体素子202のバンブと210
と回路基板204との全ての接続部205はそれぞれ必
然的に〜致し、接続が可能となる。また、接続部に形成
されるバンブは、第4図(a)、(b)に示すように、
半導体素子202側ではなく回路基板204の接続部2
10側に形成し、半導体素子202の接続部203と接
続しても良いことは自明である。
また、バンブ210と接続部205(第3図)。
203(第4図)との接続は、実施例1で示した■〜■
のいずれの方法であってもかまわない。
のいずれの方法であってもかまわない。
以トのように、接続部にバンブを設けることにより、電
気回路保持部材へ電気回路部品を保持する際の平行度及
びバンブと他の電気回路部品の接続部とを接続する際の
平行度を、接続時にバンブが変形することで修正するこ
とができ、良好な接続が得られる。
気回路保持部材へ電気回路部品を保持する際の平行度及
びバンブと他の電気回路部品の接続部とを接続する際の
平行度を、接続時にバンブが変形することで修正するこ
とができ、良好な接続が得られる。
(第3実施例)
第5図(aL (b)は第3実a例を表わす断面図で
ある。同図において、211は電気回路保持部材、20
2は電気回路部品である半導体素子、203は半導体素
子202の接続部、204は電気回路部品である回路基
板、205は回路基板204の接続部である。
ある。同図において、211は電気回路保持部材、20
2は電気回路部品である半導体素子、203は半導体素
子202の接続部、204は電気回路部品である回路基
板、205は回路基板204の接続部である。
電気回路保持部材211は、半導体素子202の接続部
203と接続する回路基板204の接続部205の位置
関係が等しくなるように半導体素子202を保持するの
であるが、それぞれの半導体素子202を保持する位置
に半導体素子202が入るガ、イド212が形成されて
いる。、電気回路保持部材211と半導体素子202と
の位置合せは半導体素子202をガイド212へ入れる
だけでよく、ガイドに入った半導体素子202は金属化
及び/又は合金化、又は接着剤等の任意の方法で保持さ
れる。その後に電気回路保持部材211か又は回路基板
204を回転させ、半導体素子202の接続部203と
回路基板204の接続部205が対向するようにした後
に、電気回路保持部材211と回路基板204を位置合
せを行い、半導体素子202の接続部203と回路基板
204の接続部205とを任意の方法で接続する。
203と接続する回路基板204の接続部205の位置
関係が等しくなるように半導体素子202を保持するの
であるが、それぞれの半導体素子202を保持する位置
に半導体素子202が入るガ、イド212が形成されて
いる。、電気回路保持部材211と半導体素子202と
の位置合せは半導体素子202をガイド212へ入れる
だけでよく、ガイドに入った半導体素子202は金属化
及び/又は合金化、又は接着剤等の任意の方法で保持さ
れる。その後に電気回路保持部材211か又は回路基板
204を回転させ、半導体素子202の接続部203と
回路基板204の接続部205が対向するようにした後
に、電気回路保持部材211と回路基板204を位置合
せを行い、半導体素子202の接続部203と回路基板
204の接続部205とを任意の方法で接続する。
また、第6図に示すように、電気回路保持部材に保持さ
れる電気回路部品216,217゜218は、実施例1
で示したように、形状、大きさ、数に制約されない。よ
って、それぞれに適したガイド214,215,216
を電気回路保持部材213に形成し、電気回路部品21
7゜218.219を保持した後に、電気回路部材21
3と回路基板204を位置合せし接続することにより、
よりフレキシブルな5urface DownMoun
tが可能となる。
れる電気回路部品216,217゜218は、実施例1
で示したように、形状、大きさ、数に制約されない。よ
って、それぞれに適したガイド214,215,216
を電気回路保持部材213に形成し、電気回路部品21
7゜218.219を保持した後に、電気回路部材21
3と回路基板204を位置合せし接続することにより、
よりフレキシブルな5urface DownMoun
tが可能となる。
(第4実施例)
第7図(a)、(b)は第4実施例を表わす断面図であ
る。同図において、201は第1の電気回路保持部材、
202は第1の半導体素子、220は第2の電気回路保
持部材、221は第2の半導体素子、222は第2の半
導体素子の接続部、223は回路基板、224は回路基
板223の第2の半導体素子221との接続部、225
は第1の電気回路保持部材201を用いて、第1の半導
体素子202を保持し回路基板223に接続した電気回
路装置である。
る。同図において、201は第1の電気回路保持部材、
202は第1の半導体素子、220は第2の電気回路保
持部材、221は第2の半導体素子、222は第2の半
導体素子の接続部、223は回路基板、224は回路基
板223の第2の半導体素子221との接続部、225
は第1の電気回路保持部材201を用いて、第1の半導
体素子202を保持し回路基板223に接続した電気回
路装置である。
第1の電気回路保持部材201を用いて第1の半導体素
子202を保持し、回路基板223に接続した後に、第
2の電気回路保持部材220に任意の方法で保持された
第2の半導体素子221の接続部224と回路基板22
3の接続部224とを、第2の電気回路保持部材220
と回路基板223とを位置決めした後に任意の方法で接
続する。
子202を保持し、回路基板223に接続した後に、第
2の電気回路保持部材220に任意の方法で保持された
第2の半導体素子221の接続部224と回路基板22
3の接続部224とを、第2の電気回路保持部材220
と回路基板223とを位置決めした後に任意の方法で接
続する。
上記のように、半導体素子202,221を分割して接
続することにより、基本回路部分が共通で周辺回路が異
なる電気回路装置でも、周辺回路部分の電気回路部品を
同一規格の電気回路保持部材を用いて、接続を同一工程
で行うことが可能となり、フレキシビリティは大幅に向
上する。
続することにより、基本回路部分が共通で周辺回路が異
なる電気回路装置でも、周辺回路部分の電気回路部品を
同一規格の電気回路保持部材を用いて、接続を同一工程
で行うことが可能となり、フレキシビリティは大幅に向
上する。
また、電気回路保持部材の形状は、第7図(a)、(b
)に示すような形状であっても、第8図(a)、(b)
に示すような並列配置であっても、それ以外の任意の形
状であってもかまわない。
)に示すような形状であっても、第8図(a)、(b)
に示すような並列配置であっても、それ以外の任意の形
状であってもかまわない。
(第5実旅例)
第9図(a)、(b)は第5実施例を表わす断面図であ
る。同図において、226は第2の電気回路保持部材、
227は第2の電気回路部品である半導体素子、228
は第2の半導体素子227の接続部、229は電気回路
部品である回路基板、230は回路基板229の接続部
、231は第1の電気回路保持部材201を用いて第1
の半導体素子202を保持し、回路基板229へ接続し
た電気回路装置である。
る。同図において、226は第2の電気回路保持部材、
227は第2の電気回路部品である半導体素子、228
は第2の半導体素子227の接続部、229は電気回路
部品である回路基板、230は回路基板229の接続部
、231は第1の電気回路保持部材201を用いて第1
の半導体素子202を保持し、回路基板229へ接続し
た電気回路装置である。
第1の電気回路保持部材201を用いて第1の半導体素
子202を保持し、回路基板229に接続した後に、第
2の電気回路保持部材226に任意の方法で保持された
第2の半導体素子227の接続部228と回路基板22
9の接続部230とが対向するようにし、第2の電気回
路保持部材226と回路基板229とを位置合せし、任
意の方法で第2の半導体素子227の接続部228と回
路基板229の接続部230を接続する。
子202を保持し、回路基板229に接続した後に、第
2の電気回路保持部材226に任意の方法で保持された
第2の半導体素子227の接続部228と回路基板22
9の接続部230とが対向するようにし、第2の電気回
路保持部材226と回路基板229とを位置合せし、任
意の方法で第2の半導体素子227の接続部228と回
路基板229の接続部230を接続する。
回路基板229の両面を5urface Down M
ountで接続する二とにより、より高密度な実装が可
能となる。
ountで接続する二とにより、より高密度な実装が可
能となる。
(第6実施例)
第10図(a)、(b)は第6実施例を表わす断面図で
ある。同図において、201は電気回路保持部材、20
2は電気回路部品である半導体素子、203は半導体素
子202の接続部、204は電気回路部品である回路基
板、233は電気回路部品である半導体素子、234は
半導体素子233の接続部である。
ある。同図において、201は電気回路保持部材、20
2は電気回路部品である半導体素子、203は半導体素
子202の接続部、204は電気回路部品である回路基
板、233は電気回路部品である半導体素子、234は
半導体素子233の接続部である。
回路基板204に半導体素子233が接続及び/又は保
持されている。電気回路保持部材201に半導体素子2
33を、半導体素子202の接続部203と回路基板2
04に接続及び/又は保持された半導体素子233の接
続部234の位置関係が等しくなるよう・に位置決めし
、任意の方法で保持する。その後に、各々の接続部が対
向するように電気回路保持部材201と回路基板204
を配置し、電気回路保持部材201と回路基板204を
位置合せした後に、各々の接続部203と234を任意
の方法で接続する。
持されている。電気回路保持部材201に半導体素子2
33を、半導体素子202の接続部203と回路基板2
04に接続及び/又は保持された半導体素子233の接
続部234の位置関係が等しくなるよう・に位置決めし
、任意の方法で保持する。その後に、各々の接続部が対
向するように電気回路保持部材201と回路基板204
を配置し、電気回路保持部材201と回路基板204を
位置合せした後に、各々の接続部203と234を任意
の方法で接続する。
電気回路保持部材201を用いる・τとにより、半導体
素子同士という極めて高精度を要求される5urfac
e Down Mountでも極め1簡単に実現するこ
とが可能となる。
素子同士という極めて高精度を要求される5urfac
e Down Mountでも極め1簡単に実現するこ
とが可能となる。
(第7実施例)
第11図(a)、(b)は第7実施例を表わす断面図で
ある。同図において、235は電気回路保持部材、20
2は電気回路部品である半導体素子、203は半導体素
子202の接9続部、204は回路基板、205は回路
基板の接′続部、23ゝ3は電気回路部品である半導体
素子、234は半導体素子233の接続部である。
ある。同図において、235は電気回路保持部材、20
2は電気回路部品である半導体素子、203は半導体素
子202の接9続部、204は回路基板、205は回路
基板の接′続部、23ゝ3は電気回路部品である半導体
素子、234は半導体素子233の接続部である。
回路基板204に接続部234を有する半導体素子23
3が接続又は保持され、また、回路基板204上にも接
続部205が存在する。このように、接続部205と2
34の高さが異なる場合(第11図(a))には、その
接続部205と234の高さの差を補正するような形状
の電気回路保持部材235を用い、半導体素子202の
接続部203と回路基板204に保持さねている半導体
素子233の接続部234及び回路基板204の接続部
205との位置関係が等しくなるように半導体素子20
2を位置決め後、電気回路保持部材235に保持させる
。その後に各々の接続部203と234及び205とが
対向するように配置し、電気回路保持部材235と回路
基板204を位置決め後、各々の接続部を任意の方法で
接続する。
3が接続又は保持され、また、回路基板204上にも接
続部205が存在する。このように、接続部205と2
34の高さが異なる場合(第11図(a))には、その
接続部205と234の高さの差を補正するような形状
の電気回路保持部材235を用い、半導体素子202の
接続部203と回路基板204に保持さねている半導体
素子233の接続部234及び回路基板204の接続部
205との位置関係が等しくなるように半導体素子20
2を位置決め後、電気回路保持部材235に保持させる
。その後に各々の接続部203と234及び205とが
対向するように配置し、電気回路保持部材235と回路
基板204を位置決め後、各々の接続部を任意の方法で
接続する。
電気回路保持部材の形状を任意に変えることにより、接
続される電気回路部品の接続部の位置関係が複雑であっ
たとしても、−括処理の接続が可能となる。
続される電気回路部品の接続部の位置関係が複雑であっ
たとしても、−括処理の接続が可能となる。
[発明の効果コ
本発明は、以上のように構成したので以下のような数々
の効果が得られる。
の効果が得られる。
(請求項1)
■5urface Down Mountされる電気回
路部品を電気回路保持部材に保持した後に接続するため
、−括で多数の電気回路部品の位置決め、及び接続が可
能となり、生産性が大幅に向上−する。
路部品を電気回路保持部材に保持した後に接続するため
、−括で多数の電気回路部品の位置決め、及び接続が可
能となり、生産性が大幅に向上−する。
■電気回路保持部材に保持される電気回路部品を機能別
に分けることにより機能ブロック化し、これを用いるこ
とにより、同一工程で多品種の電気回路装置が得られ、
生産工程の汎用性は大幅に向上する。
に分けることにより機能ブロック化し、これを用いるこ
とにより、同一工程で多品種の電気回路装置が得られ、
生産工程の汎用性は大幅に向上する。
■電気回路保持部材に電気回路部品を保持した後に接続
するため、電気回路部品の大きさ、形状、また接続部の
存在する場PI′rによらない、高密度な電気回路装置
が得られ、設計及び実装の自由度は大幅に向上する。
するため、電気回路部品の大きさ、形状、また接続部の
存在する場PI′rによらない、高密度な電気回路装置
が得られ、設計及び実装の自由度は大幅に向上する。
■電気回路保持部材に熱伝導性の良い材料を用いた場合
には、電気回路部品から発生した熱が電気回路保持部材
を介して外部に放熱17得るために放熱敗の良好な電気
回路装置が得られる。
には、電気回路部品から発生した熱が電気回路保持部材
を介して外部に放熱17得るために放熱敗の良好な電気
回路装置が得られる。
■電気回路装置の作成]程中及び作成後において、治具
等を使用して電気回路部品を保持する必要がなく、電気
回路装置の作成及び作成後のv31が容易である。
等を使用して電気回路部品を保持する必要がなく、電気
回路装置の作成及び作成後のv31が容易である。
(請求項2)
請求項1の効果に加え、次の効果を得ることができる。
■電気回路部品同士が強固(強度的に強く)かつ確実に
接続されるので、接続抵抗値は小さく、そのバラツキも
小さく、さらに機械的に強く、不良率の極めて低い電気
回路装置を得ることができる。
接続されるので、接続抵抗値は小さく、そのバラツキも
小さく、さらに機械的に強く、不良率の極めて低い電気
回路装置を得ることができる。
■電気回路部品相互の接触抵抗が電気回路部品を接続し
た場合に比べてより小さくなる。
た場合に比べてより小さくなる。
なお、電気回路部品乃至他の電気回路部品を金属化及び
/又は合金化による接続以外の接続により行うと、金属
化及び/又は合金化時に生じる電気回路部品の熱による
劣化を防止するごとができる。
/又は合金化による接続以外の接続により行うと、金属
化及び/又は合金化時に生じる電気回路部品の熱による
劣化を防止するごとができる。
また、抑圧による接続を行うと、用途によっ°Cは電気
回路部品を着脱自在にしておきたい場合があり、このよ
うな場合にその電気回路部品を金属化及び/又は合金化
による接続以外の接続行えば、その要望に応じることが
可能となる。
回路部品を着脱自在にしておきたい場合があり、このよ
うな場合にその電気回路部品を金属化及び/又は合金化
による接続以外の接続行えば、その要望に応じることが
可能となる。
第1図(a)、(b)は第1実施例の接続前と接続後を
示す断面図、第2図は第1実施例の保持状態のを示す斜
視図、第3図(a)、(b)は第2実施例の接続前と接
続後の断面図である。 第4図(a)、(b)は第2実施例で回路基板にバンブ
を設けた例の接続前と接続後を示す断面図である。 第5図(a)、(b)は第3実施例の接続前と接続後を
示す断面図、第6図は第3実施例の接続後を示す断面図
である。 第7図(a)、(b)は第4実施例の接続前と接続後を
示す断面図、第8図(a)、’(b)は第4実施例の並
列配置の接続前と接続後を示す断面図である。 第9図(a)、(b)は第5実施例の接続前と接続後を
示す断面図、第10図(a)、(b)は第6実施例の接
続前と接続後を示す断面図、第11図(a)、(b)は
第7実施例の接続前と接続後を示す断面図である。 第12図乃至第19図は従来例を示し、第13図を除ぎ
断面図であり、第13図は平面透視図である。 1.55・・・リードフレーム、2・・・リードフレー
ムの素子搭載部、3・・・銀ペースト、4,4°。 202.207,208,209,221゜227.2
33・・・半導体素子、5.5″、203゜222.2
28,234・・・半導体素子の接続部、6・・・リー
ドフレームの接続部、7・・・極細金属線、8.20.
21・・・樹脂、91・・・半導体装置、1α・・・半
導体素子の外周縁部、11・・・リードフレームの素子
搭載部の外周縁部、16・・・キャリアフィルム基板、
17・・・キャリアフィルム基板のインナーリード部、
31・・・半田バンブ、32,51゜75.75’ 、
204,223,229・・・回路基板、33,52,
76.76°、205,224゜230・・・回路基板
の接続部、54・・・電気的接続部材の接続部、63・
・・封止材、70.70″・・・金属材、71,71°
・・・絶縁膜、72.72’・・・絶縁膜の露出面、7
3.73’・・・金属材の露出面、77・・・異方性導
電膜の絶縁物質、78・・・異方性導電膜、79・・・
導電粒子、81・・・エラスチックコネクタの絶縁物質
、82・・・エラスチックコネクタの金属線、83・・
・エラスチックコネクタ、201゜211.213,2
20,226,235・・・電気回路保持部材、206
・・・半導体素子の接続部と回路基板の接続部からなる
接続体、212゜214.215,216・・・ガイド
、210・・・バンブ、217,218,219,22
5,231…電気回路装置。 第12図 第14図 第16図 第18図 第19図
示す断面図、第2図は第1実施例の保持状態のを示す斜
視図、第3図(a)、(b)は第2実施例の接続前と接
続後の断面図である。 第4図(a)、(b)は第2実施例で回路基板にバンブ
を設けた例の接続前と接続後を示す断面図である。 第5図(a)、(b)は第3実施例の接続前と接続後を
示す断面図、第6図は第3実施例の接続後を示す断面図
である。 第7図(a)、(b)は第4実施例の接続前と接続後を
示す断面図、第8図(a)、’(b)は第4実施例の並
列配置の接続前と接続後を示す断面図である。 第9図(a)、(b)は第5実施例の接続前と接続後を
示す断面図、第10図(a)、(b)は第6実施例の接
続前と接続後を示す断面図、第11図(a)、(b)は
第7実施例の接続前と接続後を示す断面図である。 第12図乃至第19図は従来例を示し、第13図を除ぎ
断面図であり、第13図は平面透視図である。 1.55・・・リードフレーム、2・・・リードフレー
ムの素子搭載部、3・・・銀ペースト、4,4°。 202.207,208,209,221゜227.2
33・・・半導体素子、5.5″、203゜222.2
28,234・・・半導体素子の接続部、6・・・リー
ドフレームの接続部、7・・・極細金属線、8.20.
21・・・樹脂、91・・・半導体装置、1α・・・半
導体素子の外周縁部、11・・・リードフレームの素子
搭載部の外周縁部、16・・・キャリアフィルム基板、
17・・・キャリアフィルム基板のインナーリード部、
31・・・半田バンブ、32,51゜75.75’ 、
204,223,229・・・回路基板、33,52,
76.76°、205,224゜230・・・回路基板
の接続部、54・・・電気的接続部材の接続部、63・
・・封止材、70.70″・・・金属材、71,71°
・・・絶縁膜、72.72’・・・絶縁膜の露出面、7
3.73’・・・金属材の露出面、77・・・異方性導
電膜の絶縁物質、78・・・異方性導電膜、79・・・
導電粒子、81・・・エラスチックコネクタの絶縁物質
、82・・・エラスチックコネクタの金属線、83・・
・エラスチックコネクタ、201゜211.213,2
20,226,235・・・電気回路保持部材、206
・・・半導体素子の接続部と回路基板の接続部からなる
接続体、212゜214.215,216・・・ガイド
、210・・・バンブ、217,218,219,22
5,231…電気回路装置。 第12図 第14図 第16図 第18図 第19図
Claims (2)
- (1)電気回路部品の少なくとも1以上の電気的接続部
の存在する面以外の少なくとも1以上の面を保持する電
気回路保持部材と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該電気回路保持部材
に保持されている少なくとも1以上の電気回路部品と; 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において該
電気回路保持部材に保持されている該電気回路部品の該
接続部が接続されている少なくとも1以上の他の電気回
路部品と; を少なくとも有していることを特徴とする電気回路装置
。 - (2)請求項1において、該接続は、金属化及び/又は
合金化することによりなされていることを特徴とする電
気回路装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63133134A JPH01302732A (ja) | 1988-05-30 | 1988-05-30 | 電気回路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63133134A JPH01302732A (ja) | 1988-05-30 | 1988-05-30 | 電気回路装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01302732A true JPH01302732A (ja) | 1989-12-06 |
Family
ID=15097566
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63133134A Pending JPH01302732A (ja) | 1988-05-30 | 1988-05-30 | 電気回路装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01302732A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015056466A (ja) * | 2013-09-11 | 2015-03-23 | 三菱電機株式会社 | 電子部品およびその実装方法 |
-
1988
- 1988-05-30 JP JP63133134A patent/JPH01302732A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015056466A (ja) * | 2013-09-11 | 2015-03-23 | 三菱電機株式会社 | 電子部品およびその実装方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5819406A (en) | Method for forming an electrical circuit member | |
US5283468A (en) | Electric circuit apparatus | |
US5569960A (en) | Electronic component, electronic component assembly and electronic component unit | |
TWI300619B (en) | Electronic device | |
JPH0249385A (ja) | 電気的接続部材及びその製造方法 | |
JPS63119552A (ja) | Lsiチツプ | |
JP2002359345A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
TW471077B (en) | Bump forming method, bump forming bonding tool, semiconductor wafer, semiconductor chip, semiconductor device, manufacture thereof, circuit board and electronic machine | |
JP3589928B2 (ja) | 半導体装置 | |
JPH07106334A (ja) | 光学半導体装置を光学基板に付着する方法 | |
JPH01302732A (ja) | 電気回路装置 | |
US11081438B2 (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
JP2513783B2 (ja) | 電気回路装置 | |
JPH01302829A (ja) | 電気回路装置 | |
JPH01302733A (ja) | 電気回路装置 | |
JPH11135567A (ja) | 異方性導電膜、半導体装置の製造方法 | |
JPH01302735A (ja) | 電気回路装置 | |
JPH01302828A (ja) | 電気回路装置 | |
JPH01302826A (ja) | 電気回路装置 | |
JPH04109569A (ja) | 電気回路部材 | |
JPH01302734A (ja) | 電気回路装置 | |
JPH01302825A (ja) | 電気回路装置 | |
JPH02134859A (ja) | マルチチップ半導体装置とその製造方法 | |
JP2556881B2 (ja) | 電気回路装置 | |
TWI290814B (en) | Method for repairing metal protection layers on electrical connecting pads of circuit boards |