JPH01302738A - 自動生産指示システム - Google Patents
自動生産指示システムInfo
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- JPH01302738A JPH01302738A JP63131484A JP13148488A JPH01302738A JP H01302738 A JPH01302738 A JP H01302738A JP 63131484 A JP63131484 A JP 63131484A JP 13148488 A JP13148488 A JP 13148488A JP H01302738 A JPH01302738 A JP H01302738A
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Links
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 60
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 8
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 10
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
この発明は自動生産作業指示システムに係り、特に半導
体ウェーハ加工（プロセス）工程に適用されるものであ
る。
体ウェーハ加工（プロセス）工程に適用されるものであ
る。
（従来の技術）
この発明に係る半導体ウェーハ加工（プロセス）工程（
以下、ウェーハプロセスと略称する）は、従来の技術の
機械加工を中心とした製造工程や、プロセスを中心とし
た連続型製造工程とは全く隔絶した新規で、かつ、高度
に複雑な製造工程であるので、これと比較するのに適合
する従来の技術を引用するのは困難である。
以下、ウェーハプロセスと略称する）は、従来の技術の
機械加工を中心とした製造工程や、プロセスを中心とし
た連続型製造工程とは全く隔絶した新規で、かつ、高度
に複雑な製造工程であるので、これと比較するのに適合
する従来の技術を引用するのは困難である。
このウェーハプロヤスは、半導体の薄い層をサンドイン
チ状に何層にも重ね、層のパターンによって回路の素子
や回路を形成する。これは第２図に示すように、−層ご
とに膜の形成１０１、レジスト塗布１０２．露光１０３
、現像１０４、エツチング１０５、ドープ済膜形成１０
６．拡散１０７の玉顔を繰り返し達成されるものである
。そして、層の性質（品種）により玉顔に変化があり、
補間的な作業や検査の工程が入る。作業工程は２００を
越えるが、繰返しにおける規則性は明瞭でなく、品種な
らびに工順により作業条件が異なる。加工は通常ウェー
ハ２０〜５０枚をまとめたロッド単位で処理を施す。
チ状に何層にも重ね、層のパターンによって回路の素子
や回路を形成する。これは第２図に示すように、−層ご
とに膜の形成１０１、レジスト塗布１０２．露光１０３
、現像１０４、エツチング１０５、ドープ済膜形成１０
６．拡散１０７の玉顔を繰り返し達成されるものである
。そして、層の性質（品種）により玉顔に変化があり、
補間的な作業や検査の工程が入る。作業工程は２００を
越えるが、繰返しにおける規則性は明瞭でなく、品種な
らびに工順により作業条件が異なる。加工は通常ウェー
ハ２０〜５０枚をまとめたロッド単位で処理を施す。
（発明が解決しようとする課題）
ウェーハプロセス工程は、ジョブショップ型の生産工程
ではあるが、以下に主な問題点をあげると、 （ａ）工程数がきわめて多い （ｂ）加工処理時間がバランスしていない。
ではあるが、以下に主な問題点をあげると、 （ａ）工程数がきわめて多い （ｂ）加工処理時間がバランスしていない。
（ｃ）処理ルートが複雑である。玉顔が直線型でなく複
雑で、同一装置を何回も通る。しかも品種によって処理
順序が異なる。
雑で、同一装置を何回も通る。しかも品種によって処理
順序が異なる。
上記問題点は、工程のラインバランスがきわめて悪いこ
との原因となり、工場内のロッドの分布が不均一になり
易く、特定の装置に待ちロッドが集中し易い傾向が見ら
れる。又、上記問題点を自動化する事によってラインバ
ランスを改善する試みは、複雑であるがゆえに、成功し
ている事例は少なく、まだ人手作業の域を脱していない
のが現状である。すなわち、待ちロッドの中から、（１
）どのロフトを、（２）どのマシンで、（３）どのよう
に行なうかは、作業者に委ねられている。このような生
産システム形態では、ラインバランスが、悪くなる事は
もとより、品種ごとの生産量が需要量（計画ｆｉ）と一
致しない場合が生じる欠点があった。これによりロッド
を中途から特急に仕立てたりするなど、運用上の例外処
理が頻繁に発生させざるを得ない状況にもなる。
との原因となり、工場内のロッドの分布が不均一になり
易く、特定の装置に待ちロッドが集中し易い傾向が見ら
れる。又、上記問題点を自動化する事によってラインバ
ランスを改善する試みは、複雑であるがゆえに、成功し
ている事例は少なく、まだ人手作業の域を脱していない
のが現状である。すなわち、待ちロッドの中から、（１
）どのロフトを、（２）どのマシンで、（３）どのよう
に行なうかは、作業者に委ねられている。このような生
産システム形態では、ラインバランスが、悪くなる事は
もとより、品種ごとの生産量が需要量（計画ｆｉ）と一
致しない場合が生じる欠点があった。これによりロッド
を中途から特急に仕立てたりするなど、運用上の例外処
理が頻繁に発生させざるを得ない状況にもなる。
本発明は、作業者が待ちロッドの中から、どのロッドを
作業すれば生産計画に適合し、かつラインバランスがと
れるかを自動作業指示する方法を提供することを目的と
する。
作業すれば生産計画に適合し、かつラインバランスがと
れるかを自動作業指示する方法を提供することを目的と
する。
（課題を解決するための手段）
本発明の自動生産指示システムは、半導体ウェーハプロ
セス生産工程において、作業室単位でロッドの工程移動
を読取らせるロッド情報読取り器、前記読取り器によっ
て各ロッドが所在する工程を示す工程残ファイル、品種
毎に工程順が記されている品名マスターファイル、およ
び各工程毎に生産能力に対応した標準手持ち数ファイル
の３ファイルを備えるデータベースと、作業者に次のロ
ッドを指示する表示部と、前記全てを制御するコントロ
ーラとを具備し、工程間の情報に基づきラインバランス
をとりつつ、かつ生産計画に沿った生産システムを実行
させることを特徴とする。
セス生産工程において、作業室単位でロッドの工程移動
を読取らせるロッド情報読取り器、前記読取り器によっ
て各ロッドが所在する工程を示す工程残ファイル、品種
毎に工程順が記されている品名マスターファイル、およ
び各工程毎に生産能力に対応した標準手持ち数ファイル
の３ファイルを備えるデータベースと、作業者に次のロ
ッドを指示する表示部と、前記全てを制御するコントロ
ーラとを具備し、工程間の情報に基づきラインバランス
をとりつつ、かつ生産計画に沿った生産システムを実行
させることを特徴とする。
（作 用）
作り過ぎを防ぐため、各工程毎に人と設備の能力に対応
した標準手持ち数を設定する。すなわち、前工程は後工
程の標準手持ち数が実工程残より少なくなった時のみ後
工程にロッ１−を移動させる仕組みをとり、工程の能力
をフル稼動させ、作り過ぎを防ぐ。待ちロッドの中から
の自動選択の方法は、空きＭ／Ｃで作業が出来る待ちロ
ッドの中から、そのぞれの後工程の中で標準手持ち数と
実工程残の差が大きいもの、すなわち、後工程からより
要求が強いロッドを選択する仕組みにする事により、ラ
インのバランスをとるようにする。このようにしてライ
ンバランスがとれる」二に生産計画に沿った生産を達成
する。
した標準手持ち数を設定する。すなわち、前工程は後工
程の標準手持ち数が実工程残より少なくなった時のみ後
工程にロッ１−を移動させる仕組みをとり、工程の能力
をフル稼動させ、作り過ぎを防ぐ。待ちロッドの中から
の自動選択の方法は、空きＭ／Ｃで作業が出来る待ちロ
ッドの中から、そのぞれの後工程の中で標準手持ち数と
実工程残の差が大きいもの、すなわち、後工程からより
要求が強いロッドを選択する仕組みにする事により、ラ
インのバランスをとるようにする。このようにしてライ
ンバランスがとれる」二に生産計画に沿った生産を達成
する。
（実施例）
以下、この発明の一実施例につき第１図を参照して説明
する。作業室単位で、ロッドの工程移動を読みとるロッ
ド情報読取り器１．１は前記ロッド情報読み取り器１に
よって各ロッドが現在どの工程にあるかを示す工程残フ
ァイル、 １２は品種毎に工ｊ＠が書かれている品名マ
スターファイル、１３は各工程毎に生産能力に対応した
標準手持ち数ファイルで上記１１．１２．１３で示され
るファイルを持つデータベース２、作業者に次にどのロ
ッドを流す事を指示する表示部３、前記全てをコントロ
ールするコントローラ４により構成する。作業室には作
業条件より複数の工程を処理する設備と作業者と複数の
待ちロッドが存在する。まず、ある設備（ｍ／ｃ）が作
業が終了し空きｍ／ｃとなったと仮定する６作業者は、
コントローラ４に対して空きｍ／ｃが存在する事を知ら
せると、コントローラ４は待ちロッドの中からｍ／ｃで
作業できるロッドをまず選択する。次に、前記選択され
たロッド毎に品名マスターファイル１２によりそれぞれ
の後工程を調べ、その工程の実工程残（Ａ）との工程残
ファイル１１、その工程の標準手持ち数（Ｂ）を標準手
持ち数ファイル１３により調べ、前記（Ｂ）−（Ａ）を
、計算する。
する。作業室単位で、ロッドの工程移動を読みとるロッ
ド情報読取り器１．１は前記ロッド情報読み取り器１に
よって各ロッドが現在どの工程にあるかを示す工程残フ
ァイル、 １２は品種毎に工ｊ＠が書かれている品名マ
スターファイル、１３は各工程毎に生産能力に対応した
標準手持ち数ファイルで上記１１．１２．１３で示され
るファイルを持つデータベース２、作業者に次にどのロ
ッドを流す事を指示する表示部３、前記全てをコントロ
ールするコントローラ４により構成する。作業室には作
業条件より複数の工程を処理する設備と作業者と複数の
待ちロッドが存在する。まず、ある設備（ｍ／ｃ）が作
業が終了し空きｍ／ｃとなったと仮定する６作業者は、
コントローラ４に対して空きｍ／ｃが存在する事を知ら
せると、コントローラ４は待ちロッドの中からｍ／ｃで
作業できるロッドをまず選択する。次に、前記選択され
たロッド毎に品名マスターファイル１２によりそれぞれ
の後工程を調べ、その工程の実工程残（Ａ）との工程残
ファイル１１、その工程の標準手持ち数（Ｂ）を標準手
持ち数ファイル１３により調べ、前記（Ｂ）−（Ａ）を
、計算する。
すなわち（Ｂ）−（Ａ）の値が大きいロッド程後工程か
らの要求度合が強いものである。（Ｂ）−（Ａ）の値が
同じになったロッドが複数存在する時の優先度ルールは
、例えば、″先入れ先出し″等の各々の生産思想に合っ
た方法を組み込めば良い。コントローラ４は、（Ｂ）−
（Ａ）の値の大きいロッドを作業者に対して表示部３を
使って自動指示するものである。
らの要求度合が強いものである。（Ｂ）−（Ａ）の値が
同じになったロッドが複数存在する時の優先度ルールは
、例えば、″先入れ先出し″等の各々の生産思想に合っ
た方法を組み込めば良い。コントローラ４は、（Ｂ）−
（Ａ）の値の大きいロッドを作業者に対して表示部３を
使って自動指示するものである。
一例として２００を越える工程をもち、多品種で各玉顔
が異なるウェーハプロセス製造工程で人が対応する場合
、各工程のラインバランスをとることは不可能に近い。
が異なるウェーハプロセス製造工程で人が対応する場合
、各工程のラインバランスをとることは不可能に近い。
また、生産計画系から言えば、品種毎に計画系に沿った
流し方が望まれる。そこで、本発明は１作業待ちロッド
の中からどのロッドを選択するかを工程を連結した情報
から計算し、ラインバランス、生産計画系に沿った生産
を可能にする顕著な効果を有する。
流し方が望まれる。そこで、本発明は１作業待ちロッド
の中からどのロッドを選択するかを工程を連結した情報
から計算し、ラインバランス、生産計画系に沿った生産
を可能にする顕著な効果を有する。
第１図は本発明にかかる一実施例の自動生産指示システ
ムの構成を示す図、第２図は半導体ウェーハプロセス工
程の流れの一部を説明するための図である。 １−−−−−−−−−−−一ロッド情報読取り器２−−
−−−−−−−−−−データベース３−−−−−−−−
−−−一表示部 ４−−−−−−−−−−−−コントローラ１１−−−−
−−−−−−−一工程残ファイル１２−−−−−−−−
−−−一品名マスターファイル１３−−−−−−−−−
−−一標準手持ち数ファイル代理人 弁理士 大 胡
典 夫 ｌ ： ロッド・ＦｌｌｌＩ語にり老ト ２ コ
“う゛−７Ｎ−スｊ；Ａホ部 仝：
コ〉とローラｌｌ；工１」残フフイ）し １
２； 品名マスターフ７ｆ＋し１３ ： ｒ準＋ａｓ＆
フフイ）し 第 １ 図 第 ２ 図
ムの構成を示す図、第２図は半導体ウェーハプロセス工
程の流れの一部を説明するための図である。 １−−−−−−−−−−−一ロッド情報読取り器２−−
−−−−−−−−−−データベース３−−−−−−−−
−−−一表示部 ４−−−−−−−−−−−−コントローラ１１−−−−
−−−−−−−一工程残ファイル１２−−−−−−−−
−−−一品名マスターファイル１３−−−−−−−−−
−−一標準手持ち数ファイル代理人 弁理士 大 胡
典 夫 ｌ ： ロッド・ＦｌｌｌＩ語にり老ト ２ コ
“う゛−７Ｎ−スｊ；Ａホ部 仝：
コ〉とローラｌｌ；工１」残フフイ）し １
２； 品名マスターフ７ｆ＋し１３ ： ｒ準＋ａｓ＆
フフイ）し 第 １ 図 第 ２ 図
Claims (1)
- 半導体ウェーハプロセス生産工程において、作業室単
位でロッドの工程移動を読取らせるロッド情報読取り器
、前記読取り器によって各ロッドが所在する工程を示す
工程残ファイル、品種毎に工程順が記されている品名マ
スターファイル、および各工程毎に生産能力に対応した
標準手持ち数ファイルの３ファイルを備えるデータベー
スと、作業者に次のロッドを指示する表示部と、前記全
てを制御するコントローラとを具備し、工程間の情報に
基づきラインバランスをとりつつ、かつ生産計画に沿っ
た生産システムを実行させることを特徴とする自動生産
指示システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63131484A JPH01302738A (ja) | 1988-05-31 | 1988-05-31 | 自動生産指示システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63131484A JPH01302738A (ja) | 1988-05-31 | 1988-05-31 | 自動生産指示システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01302738A true JPH01302738A (ja) | 1989-12-06 |
Family
ID=15059061
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63131484A Pending JPH01302738A (ja) | 1988-05-31 | 1988-05-31 | 自動生産指示システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01302738A (ja) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5945219A (ja) * | 1982-09-06 | 1984-03-14 | Yanmar Diesel Engine Co Ltd | 農用トラクタ−のエンジン防振装置 |
| JPS59208791A (ja) * | 1983-05-12 | 1984-11-27 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | 光電変換素子製造装置 |
| JPS6084819A (ja) * | 1983-10-14 | 1985-05-14 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体製造装置 |
| JPS61123150A (ja) * | 1985-10-23 | 1986-06-11 | Hitachi Ltd | 製造装置 |
| JPS62137874A (ja) * | 1985-12-12 | 1987-06-20 | Mitsubishi Electric Corp | 光起電力素子の製造装置 |
-
1988
- 1988-05-31 JP JP63131484A patent/JPH01302738A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5945219A (ja) * | 1982-09-06 | 1984-03-14 | Yanmar Diesel Engine Co Ltd | 農用トラクタ−のエンジン防振装置 |
| JPS59208791A (ja) * | 1983-05-12 | 1984-11-27 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | 光電変換素子製造装置 |
| JPS6084819A (ja) * | 1983-10-14 | 1985-05-14 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体製造装置 |
| JPS61123150A (ja) * | 1985-10-23 | 1986-06-11 | Hitachi Ltd | 製造装置 |
| JPS62137874A (ja) * | 1985-12-12 | 1987-06-20 | Mitsubishi Electric Corp | 光起電力素子の製造装置 |
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