JPH01301869A - ニッチング促進添加剤 - Google Patents
ニッチング促進添加剤Info
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- JPH01301869A JPH01301869A JP13118988A JP13118988A JPH01301869A JP H01301869 A JPH01301869 A JP H01301869A JP 13118988 A JP13118988 A JP 13118988A JP 13118988 A JP13118988 A JP 13118988A JP H01301869 A JPH01301869 A JP H01301869A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、塩化第二鉄又は塩化第二鋼エツヂング剤水溶
液に添加してエツチング効果を向−１、促進するエツチ
ング促進添加剤に関するものである。
液に添加してエツチング効果を向−１、促進するエツチ
ング促進添加剤に関するものである。
（従来の技術）
従来エツチング技術は産業用型ｒ機器の急速な発展にと
もない広い需要対応と、さらに高度な精密処理対応が要
求されている。
もない広い需要対応と、さらに高度な精密処理対応が要
求されている。
エツチング速度は塩化第二鉄または塩化第二銅潤度とそ
のエツチング温度に起因することは知られている。しか
し、高濃度になると、逆にエツチング速度を低ドさせる
ことも知られ、その管理に多大の労力を要し、精密度を
要求される用途への展開は限界をイーＹする。一方温度
には設備的な制約があり、例えば塩化ビニル製スプレー
設備の場合４０〜５０℃が、その限界で実用的濃度、塩
度しベルでのエツチング速度の向上が強く突望されてい
る。処理条件に限定のある場合、［」的効果を効率的に
発揮し得る手段として界面活性剤の添加が有用である。
のエツチング温度に起因することは知られている。しか
し、高濃度になると、逆にエツチング速度を低ドさせる
ことも知られ、その管理に多大の労力を要し、精密度を
要求される用途への展開は限界をイーＹする。一方温度
には設備的な制約があり、例えば塩化ビニル製スプレー
設備の場合４０〜５０℃が、その限界で実用的濃度、塩
度しベルでのエツチング速度の向上が強く突望されてい
る。処理条件に限定のある場合、［」的効果を効率的に
発揮し得る手段として界面活性剤の添加が有用である。
界面活性剤はその湿潤、浸透作用からエツチング促進お
よび精密処理に有用である。
よび精密処理に有用である。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながらエツチング促進を目的とする界面活性剤は
比較的高濃度レベルの塩化第二鉄または塩化第二銅水溶
液に安定に溶解し、エツチング促進、精密処理の発現お
よび操作」二、問題となる発泡の抑制が要求される。
比較的高濃度レベルの塩化第二鉄または塩化第二銅水溶
液に安定に溶解し、エツチング促進、精密処理の発現お
よび操作」二、問題となる発泡の抑制が要求される。
はとんどの７ニオン界而活性剤、ノニオン界面活性剤、
カチオン界面活性剤および両性界面活性剤はエツチング
液への溶解安定性が劣り溶解安定性に優れた一部アニオ
ン界面活性剤も、３？泡等の問題を有する。
カチオン界面活性剤および両性界面活性剤はエツチング
液への溶解安定性が劣り溶解安定性に優れた一部アニオ
ン界面活性剤も、３？泡等の問題を有する。
この発明は、このような従来の問題点に着目してなされ
たものである。すなわち、本発明は塩化第二鉄又は塩化
第二銅水溶液に（ａ）アセチレンアルコール又はそのア
ルキレンオキシド付加物及び（ｂ）アルカンスルホン酸
、アルカンスルホン酸１１１、アルカノールスルホン酸
又はアルカノールスルホンＭ Ｉｌｍから成るエツチン
グ促進添加剤を０゜０５〜５屯量％添加使用すること、
さらにはアセチレンアルコール又はそのアルキレンオキ
シド付加物をエツチング促進添加剤中５〜５０重量％、
アルカンスルホン ルカノールスルホン酸又はアルカノールスルホン酸塩を
エツチング促進添加剤中５０〜９５重量％で構成する事
を特徴とするエツチング促進添加剤を新たに提供するも
のである。
たものである。すなわち、本発明は塩化第二鉄又は塩化
第二銅水溶液に（ａ）アセチレンアルコール又はそのア
ルキレンオキシド付加物及び（ｂ）アルカンスルホン酸
、アルカンスルホン酸１１１、アルカノールスルホン酸
又はアルカノールスルホンＭ Ｉｌｍから成るエツチン
グ促進添加剤を０゜０５〜５屯量％添加使用すること、
さらにはアセチレンアルコール又はそのアルキレンオキ
シド付加物をエツチング促進添加剤中５〜５０重量％、
アルカンスルホン ルカノールスルホン酸又はアルカノールスルホン酸塩を
エツチング促進添加剤中５０〜９５重量％で構成する事
を特徴とするエツチング促進添加剤を新たに提供するも
のである。
（課題を解決するための手段）
本発明に使用するアセチレンアルコールあるいはアセチ
レンアルコールアルキレンオキシド付加物は分子内にア
セチレン結合（炭素三重結合）を持つ不飽和アルコール
、プロパルギルアルコール、ブチンジオール等が挙げら
れ、アルギレンオキシト付／ＩＩＩ ｆｈ ハアセチレ
ンアルコールにエチレンオキシド、プロピレンオキシド
、ブチレンオキシド等を付加重合せしめ得られるもので
ある。
レンアルコールアルキレンオキシド付加物は分子内にア
セチレン結合（炭素三重結合）を持つ不飽和アルコール
、プロパルギルアルコール、ブチンジオール等が挙げら
れ、アルギレンオキシト付／ＩＩＩ ｆｈ ハアセチレ
ンアルコールにエチレンオキシド、プロピレンオキシド
、ブチレンオキシド等を付加重合せしめ得られるもので
ある。
アルカンスルホン酸はメタンスルホン酸、エタンスルホ
ン酸，プロパンスルホン酸，ブタンスルホン酸、デカン
スルホン酸等でアルカノールスルホン酸は２−ヒドロキ
シエタン−１−スルホン酸、２−ヒドロキシプロパン−
１−スルホン酸、１−ヒドロキシプロパン−２−スルホ
ン酸、４〜ヒドロキシブタン−１−スルホン酸，２−ヒ
ドロキシデカン−１−スルホン酸等でそれ等の塩はナト
リウム、カリウム等アルカリ金属イオン又はアンモニウ
ム等である。
ン酸，プロパンスルホン酸，ブタンスルホン酸、デカン
スルホン酸等でアルカノールスルホン酸は２−ヒドロキ
シエタン−１−スルホン酸、２−ヒドロキシプロパン−
１−スルホン酸、１−ヒドロキシプロパン−２−スルホ
ン酸、４〜ヒドロキシブタン−１−スルホン酸，２−ヒ
ドロキシデカン−１−スルホン酸等でそれ等の塩はナト
リウム、カリウム等アルカリ金属イオン又はアンモニウ
ム等である。
（作用）
本発明エツチング促進添加剤を添加することにより多く
の界面活性剤には放られない優れた溶解安定性とともに
湿潤性、浸透性の向上が計られエツチングスピードの向
上，精密処理性の向−ヒがみられ、さらには界面活性剤
に基因する発泡は実用Ｅ問題とならない。
の界面活性剤には放られない優れた溶解安定性とともに
湿潤性、浸透性の向上が計られエツチングスピードの向
上，精密処理性の向−ヒがみられ、さらには界面活性剤
に基因する発泡は実用Ｅ問題とならない。
（実施例）
１、エツチング効果（１）
Ｉｎ化第二ｔＮ５０％水溶液に第１表に示すエツチング
促進添加剤を１．０％添加し４０°Ｃに保持、１５分後
の銅板テストピースのエツチング減量を次式により表わ
す。
促進添加剤を１．０％添加し４０°Ｃに保持、１５分後
の銅板テストピースのエツチング減量を次式により表わ
す。
２、エツチング効果（２）
塩化第二鉄５０％水溶液に第２表に示すエツチング促進
添加剤を２．５％添加したエツチング液を４５℃に保持
、スプレー圧２．５Ｋｇ／ｃｍ２にて噴−４ ２ ０分
後のステンレステストピース（アクリル系レジストを塗
布後所定パターン紫外線露光したｌｏｃｍＸｌＯｃｍ片
）のエツチング性を以下基準により評価した。
添加剤を２．５％添加したエツチング液を４５℃に保持
、スプレー圧２．５Ｋｇ／ｃｍ２にて噴−４ ２ ０分
後のステンレステストピース（アクリル系レジストを塗
布後所定パターン紫外線露光したｌｏｃｍＸｌＯｃｍ片
）のエツチング性を以下基準により評価した。
基準
０ １００％均質貫通孔が得られその仕上り性はスム
ーズ。
ーズ。
Ｑ＋−００％均質貫通孔が得られその仕上り性はほぼス
ムーズ。
ムーズ。
Δ ８０〜９５％レベルの貫通孔が得られる。
× ７５％以下レベルの貫通孔が得られる。
（以下余白）
（発明の効果）
以上の結果より１本発明品はエツチング液への溶解安定
性と濡れ性改善をはかり、エツチング効率の向上と精密
処理をはかることができ、且つエツチング促進添加剤、
即ち、界面活性剤に起因する発泡を実用上１問題となら
ない程度まで抑制し、実用的、極めて優れたエツチング
促進添加剤を提供することができる。
性と濡れ性改善をはかり、エツチング効率の向上と精密
処理をはかることができ、且つエツチング促進添加剤、
即ち、界面活性剤に起因する発泡を実用上１問題となら
ない程度まで抑制し、実用的、極めて優れたエツチング
促進添加剤を提供することができる。
特許出願人 第一工業製薬株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、（ａ）アセチレンアルコール又はアセチレンアルコ
ールアルキレンオキシド付加物及び （ｂ）アルカンスルホン酸、アルカンスルホン酸塩、ア
ルカノールスルホン酸又はアルカノールスルホン酸塩を
必須成分とするエッチング促進添加剤 ２、アセチレンアルコール又は、アセチレンアルコール
アルキレンオキシド付加物がエッチング促進添加剤中５
重量％以上５０重量％以下で、アルカンスルホン酸、ア
ルカンスルホン酸塩、アルカノールスルホン酸又はアル
カノールスルホン酸塩がエッチング促進添加剤中５０重
量％以上９５重量％以下であることを特徴とする請求項
１記載のエッチング促進添加剤。 ３、塩化第二鉄又は塩化第二銅水溶液に請求項１記載の
添加剤を添加使用することを特徴とするエッチング処理
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13118988A JPH01301869A (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 | ニッチング促進添加剤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13118988A JPH01301869A (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 | ニッチング促進添加剤 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01301869A true JPH01301869A (ja) | 1989-12-06 |
| JPH0377877B2 JPH0377877B2 (ja) | 1991-12-11 |
Family
ID=15052100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13118988A Granted JPH01301869A (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 | ニッチング促進添加剤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01301869A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009149903A (ja) * | 2006-04-27 | 2009-07-09 | Intezyne Technologies Inc | 化学的に異なる末端基を含むポリ（エチレングリコール） |
| US8557711B2 (en) | 2003-12-03 | 2013-10-15 | Kanto Kagaku Kabushiki Kaisha | Etching solution composition for metal films |
| WO2016006373A1 (ja) * | 2014-07-08 | 2016-01-14 | メック株式会社 | エッチング剤および補給液 |
-
1988
- 1988-05-27 JP JP13118988A patent/JPH01301869A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8557711B2 (en) | 2003-12-03 | 2013-10-15 | Kanto Kagaku Kabushiki Kaisha | Etching solution composition for metal films |
| JP2009149903A (ja) * | 2006-04-27 | 2009-07-09 | Intezyne Technologies Inc | 化学的に異なる末端基を含むポリ（エチレングリコール） |
| JP2011058001A (ja) * | 2006-04-27 | 2011-03-24 | Intezyne Technologies Inc | 化学的に異なる末端基を含むポリ（エチレングリコール） |
| WO2016006373A1 (ja) * | 2014-07-08 | 2016-01-14 | メック株式会社 | エッチング剤および補給液 |
| JP2016017209A (ja) * | 2014-07-08 | 2016-02-01 | メック株式会社 | エッチング剤および補給液 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0377877B2 (ja) | 1991-12-11 |
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