JPH01298073A

JPH01298073A - ホウ化物系セラミックス

Info

Publication number: JPH01298073A
Application number: JP63127631A
Authority: JP
Inventors: Tomohiko Ogata; 知彦尾形; Takako Mori; 貴子森; Keisuke Kobayashi; 小林　啓佑
Original assignee: Toray Industries Inc
Current assignee: Toray Industries Inc
Priority date: 1988-05-25
Filing date: 1988-05-25
Publication date: 1989-12-01

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野この発明は、自動車用エンジン部品等の高温構造用材料
や、各種ダイス用材料や、各種金型用材料や、各種切削
工具用材料等として好適なホウ化物系セラミックスに関
する。

従来の技術ＴｉＢｚやＺｒＢ２を主成分とする、いわゆるホウ化物
系セラミックスは、たとえば、特開昭６１−２７０２６
５号公報や特開昭６１−４４７６９号°公報に記載され
ている。これらは、いずれも、ＳｉＣヤＴｉＣ等の炭化
物を複合してなるもので、緻密で高硬度であるといわれ
ているが、一方で、破壊靭性が低く、衝撃で容易に欠け
たり、微細なりラックを生じて強度が低下するという問
題があり、構造用材料としては実用性に劣る。

一方、特開昭６１　２８１０７６＠公報や特開昭６２−
４１７７６号公報には、靭性を向上させるために、Ｚｒ
Ｏ２の相変態と、ウィスカーによる強化とを利用した、
Ａｌ２Ｏ３等をマトリクスとするジルコニア複合ウィス
カー強化セラミックスが記載されているが、常温ではウ
ィスカーによる強化効果が期待できるものの、２００〜
３００°Ｃ以上の温度では、ＺｒＣ２の熱劣化と応力誘
起変態による強化機構の消滅とが起こるため、耐熱性が
要求される用途には向かない。

ざらに、特開昭６２−２６５１７３号公報には、耐熱性
に優れたＳｉ３Ｎ４等をマトリクスとし、それにＳｉＣ
ウィスカーを複合してなるセラミックスが記載されてい
る。しかしながら、このようなセラミックスは、緻密化
のために大量の酸化物焼結助剤を必要とするため、高温
ではその焼結助剤がマトリクスの酸化を促進し、強度を
低下させてしまう。ウィスカーの複合によるマトリクス
強化は周知でおるが、ウィスカーの添加は、同時に焼結
性を低下させることにもなる。そのため、大量の酸化物
焼結助剤を使用して緻密化を図ることになるのであるが
、そうすると耐熱性が低下してくるのである。

発明が解決しようとする課題この発明の目的は、従来のセラミックスの上述した問題
点を解決し、高硬度、高強度、高靭性で、しかも耐熱性
に優れたホウ化物系セラミックスを提供するにある。

課題を解決するための手段上述した目的を達成するために、この発明においては、
ＴｉＢ２およびＺｒＢ２から選ばれた金属ホウ化物と、
１０〜７０体積％のＳｉＣと、１〜５重量％のＡｌ２Ｏ
３と、５〜２０体積％のセラミックスウィスカーとを含
むことを特徴とするホウ化物系セラミックスが提供され
る。

また、この発明においては、ＴｉＢ２およびＺｒＢ２か
ら選ばれた金属ホウ化物と、１０〜７０体積％の、Ｓｉ
ＣならびにＷＣ，Ｔ　ｉ　Ｃ，Ｂ４ＣおよびＺｒＣから
選ばれた金属炭化物と、５〜２０体積％のセラミックス
ウィスカーとを含むことを特徴とするホウ化物系セラミ
ックスが提供される。

さらに、この発明においては、上述した目的を達成する
ために、ＴｉＢ２＃よびＺｒＢ２から選ばれた金属ホウ
化物と、１０〜７０体積％の、ＷＣ，ＴｉＣ，Ｂ＋Ｃお
よびＺｒＣから選ばれた金属炭化物と、５〜２０体積％
のセラミックスウィスカーとを含むことを特徴とするホ
ウ化物系セラミックスが提供される。

以下、この発明のセラミックスをその製造方法とともに
ざらに詳細に説明する。

この発明のセラミックスは、ＴｉＢ２か、ＺｒＢ２か、
それらＴｉＢ２とＺｒＢ２とからなる金属ホウ化物と、
ＳｉＣ，ＷＣ，ＴｉＣ，Ｂ４ＣおよびＺｒＣから選ばれ
た金属炭化物と、セラミックスウィスカーとを複合して
なる。金属炭化物としてＳｉＣを選択する場合には、Ａ
ｌ２Ｏ３か、ＷＣ，ＴｉＣ，Ｂ４ＣおよびＺｒＣから選
ばれた金属炭化物を併用する。

ＴｉＢ２やＺ　、ｒ　Ｂ　２は、いわゆる母材を形成す
るものである。これらは、０．５〜５μｍ程度の粒子径
をもつ粉末の形で用意される。そのような粉末は、Ｔ　
ｉ　０２やＺｒＣ２の粉末を１６００’Ｃ以上の高温下
でＢと反応させる等の方法によって用意することができ
る。

金属炭化物、すなわちＳ　ｉ　Ｃ，ＷＣ，Ｔ　ｉ　Ｃ１
Ｂ４Ｃ，ＺｒＣは、上述した金属ホウ化物の難焼結性を
改善する焼結助剤として作用し、また、粒子の成長を抑
制したり、複合効果を促進する作用を有するものでおる
。難焼結性等の改善のためには、これらの金属炭化物の
量は１０〜７０体積％でなければならない。１０体積％
未満では、緻密化効果が期待できない。また、７０体積
％を越えても、やはり緻密化は期待できない。これは、
金属ホウ化物や金属炭化物は、いずれも高融点化合物で
おり、したがって難焼結性でおるのであるか、金属ホウ
化物と金属炭化物とを適当量複合させることにより、そ
れらの界面に新たな境界層ができ、緻密化が促進される
ものと推定されるからである。

金属炭化物の好ましい量的範囲は、２０〜５０体積％で
おる。

金属炭化物としてＳｉＣを選択、使用する場合には、１
〜５唄但％の掻く少量のＡｌ２Ｏ３をざらに添加づる。

すなわら、ＳｉＣを複合する場合、緻密化は相対密度が
９５％程度まで進行するものの、顕微鏡で観察すると数
十μｍ程度のミクロポアが残存している。これをほとん
ど消滅させるためには、焼結助剤として、１〜５重四％
、好ましくは２〜４重量％の範囲でさらにＡｌ２Ｏ３を
添加する必要がある。この程度のＡｌ２Ｏ３の添加では
、上述した高温での強度低下はけとんと問題にならない
。

同様の理由で、金属炭化物としてＳｉＣを選択、使用す
る場合には、それとの合に−ｉ量として、１０〜７０体
積％、好ましくは２０〜５０体積％の範囲で、ＷＣ，Ｔ
ｉＣ，Ｂ４ＣおよびＺｒＣから選ばれた金属炭化物を併
用することができる。

上記金属炭化物もまた、粉末の形で用意される。

粒子径は、セラミックス中における気孔を少なくし、緻
密になるよう、０．１〜７μｍ程度のものを使用するの
が好ましい。

ウィスカーは、ＳｉＣ，Ｂ４Ｃ，Ｓｉ３Ｎ４等のセラミ
ックスからなっている。なかでも、ヤング率や剛性に優
れ、しかも高温における耐酸化性に優れたＳｉＣウィス
カーが最も好ましい。しかして、ウィスカーは、後述す
る作用を十分に発現させるためには、０．１〜０．５μ
ｍ程度の太さをもち、長さが５〜２０μｍで、アスペク
ト比が２０以上であるようなものであるのが好ましい。

上述したウィスカーは、セラミックスの使用時に、７１
−リクス中に発生する微細なりラックを偏向してそれが
複雑な経路をたどって伝播するようにし、また、クラッ
クを分岐して互いに干渉させ、破壊強度や破壊靭性を向
上させる。また、一般に、ウィスカーを複合したセラミ
ックスにおいては、マトリクスとの界面における濡れ性
が問題であり、全く濡れないと、ウィスカー大の欠陥を
導入したことと同じことになり、逆に濡れすぎると、マ
トリクスとの化学反応によって強固な界面層が形成され
なくなって、いわゆる引火効果を期待できなくなるが、
上述したようなセラミックスウィスカーは、マトリクス
との濡れ性が適度で、大きな引火効果による、機械的強
度の大きな向上効果が期待できる。

上述した作用を発現させるためには、ウィスカーは５〜
２０体積％の範囲で使用されなければならない。５体積
％未満では、破壊強度や破壊靭性の向上効果が期待でき
ない。また、２０体積％を越えると、セラミックスの緻
密化が阻害されるようになる。

さて、上述した金属ホウ化物の粉末と、金属炭化物の粉
末と、Ａｌ２Ｏ３と、ウィスカーとは、上記組み合せで
選択され、混合される。この混合は、たとえば次のよう
にして行う。

すなわち、まず、金属ホウ化物の粉末と、金属炭化物の
粉末と、Ａｌ２Ｏ３の粉末とを、それらが上記組み合せ
になるように、かつ金属炭化物やＡｌ２Ｏ３が所定の量
になるように計り取り、こ、　　れにエチルアルコール
やイソプロピルアルコール等の有機分散媒を加え、アト
リションミルで混合する。ｆＪ機分散媒を使用するのは
、有機分散媒は水等の他の分散媒にくらべて表面活性が
高いために、粉末が凝集していてもその内部にまでよく
浸透し、凝集状態を破壊する効果が大きいからである。

一方、ウィスカーを、エチルアルコール等の有機分散媒
に、ウィスカー１０に対して分散媒が５〜２Ｑｍ１程度
になるように入れ、数十ｋＨ２程度の超音波を加えて分
散させる。このとき、ポリエチレンイミンやスチレン等
の分散助剤を添加するのも好ましい。これは、ウィスカ
ー同士は、ファンデルワールス力によって凝集し、一方
、表面の電気二重層なる電荷（ゼータ電位）の大きざに
比例して反発し合っているが、ポリエチレンイミンやス
チレン等を添加して分散媒の水素イオン濃度を制御する
と、ゼータ電位が大きくなってウィスカー同士の反発力
を大きくすることができ、分散性が向上するからである
。

次に、この、ウィスカーを含む混合物と、金属ホウ化物
の粉末等を含む上記混合物とを、ウィスカーが所定の量
になるように再びアトリションミルで混合した後、乾燥
して分散媒を飛ばし、いわゆる成形原料を調製する。乾
燥は、乾燥時間を短くするとともに、攪拌作用をも併用
して粉末やつイスカーが偏析するのを防止することがで
きる、ロータリーエバポレーター等による減圧乾燥によ
るのが好ましい。

成形原料は、次いで任意の形状に成形される。

成形は、ラバープレス法や金型成形法によることができ
る。このとき、成形圧力は、成形体中に気孔ができたり
、座屈（断層クラック）を生じないように、１〜１０ト
ン／Ｃｍ２程度にするのが好ましい。

成形体は、次いで、真空中または窒素ガスやアルゴンガ
ス等による不活性雰囲気中にて１８００〜２２００’Ｃ
で常圧または加圧焼結される。昇温速度は、５〜ｂ５°Ｃよりも低い速度では、生産性が低くて実用的でな
い。また、１０’Ｃよりも高い速度で昇温すると、成形
体の表面と内部との温度差が大きくなり、表面の緻密化
に伴って内部に気孔が閉じ込められてしまうことがおる
。加圧焼結の場合には焼結温度において１０〜１００Ｋ
Ｍｃｍ２の力が加わるようにする。なあ、焼結時間は１
〜２時間程度で必る。かくして、この発明のセラミック
スが得られる。

もつとも、成形と焼結とは同時に行うことができる。す
なわち、成形原料を所望の形状のカーボンダイス等に充
填し、真空または不活性雰囲気下でホットプレスする方
法によることができる。加える圧力は１００〜３００Ｋ
Ｍｃｍ２程度、温度は１７００〜２０００′Ｃ程度、ホ
ットプレス時間は３０分から２時間程度である。この方
法によれば、上記常圧焼結や７３０圧焼結よりも１００
〜２００　’Ｃ程度低い温度でセラミックスを十分に緻
密化することができる。

実施例実施例１一次粒子径が１．２５μｍであるＴｉＢ２の粉末と、Ａ
ｌ２Ｏ３の粉末を５巾聞％含む、−次粒子径が０．２８
μｍであるＳｉＣの粉末とを、ＳｉＣの粉末が４０体積
％になるようにとり、これをＳｉＣのボールをメディア
とするアトリションミルに入れ、エタノール中で６旧間
扮砕、混合した。

次に、上記混合物に、ポリエチレンイミンの１重量％エ
タノール溶液中で分散させたＳｉＣウィスカーを、ウィ
スカーが１０体積％になるように加え、ボールミルで１
２時間混合した後、ロータリーエバポレーターで減圧乾
燥し、成形材料を得た。

次に、上記成形材１１を、真空中にて１９００’Ｃの温
度下に２００　Ｋ（Ｊ／Ｃｍ２の圧力で１時間ホットプ
レスした。かくして得られたセラミックスの相対密度は
、９８％であった。

次に、上記セラミックスから試験片を作り、曲げ強度と
、ビッカース硬度と、破壊靭性とを測定した。曲げ強度
は、３点曲げ試験法によった。ビッカース硬度は、荷重
を５００ｇｆとして測定した。

破壊靭性は、荷ｆｆ１５ｋ（ｌｆにてマイクロインデン
テーション法によって測定した。また、１０００℃にお
ける曲げ強度とビッカース硬度とを測定した。

曲げ強度の測定には、東洋精懇株式会社製高温曲げ試験
機“テンシロン”ＵＴＭ−４１を使用した。

ビッカース硬度は、株式会社明石製作所製高温ビッカー
ス硬度計ＡＶＫ−ＨＦによった。測定結果を以下に示す
。

曲げ強Ｗ　：　１２８Ｋｇｆ　／ｍｍ２　（常温）’ｌ
　１２Ｋ（ｉｆ　／ｍｍ２　（１０ｏ　ｏ　°ｃ　＞硬
　　　度：　３０００ｋｇｆ　　／ｍｍ２　　（常温）
１２５０ｋｏｆ　／ｍｍ２　（１０００’Ｃ）破壊靭性
：　７．２ＨＰａ　ｍ１／２実施例２実施例１において、ＳｉＣの量を４５体積％とし、また
、ウィスカーの量を５体積％とした。得られたセラミッ
クスは、相対密度が９８％で市り、また、実施例１と同
様に測定した結果は次のとおりでおった。

曲げ強度：１１４にｇｆ　／ｍｍ２　（常温）１１２に
ｇｆ　／ｍｍ２　　（１０００’Ｃ）硬　　度：　３１
８０ｋｇｆ　／ｍｍ２　（常温）１１８０ｋｇｆ　／ｍ
ｍ２　　（１０００’Ｃ）破壊靭性：　６．８ＭＰａ　
ｍ”２実施例３実施例１において、ＳｉＣの量を３０体積％とし、また
、ウィスカーの量を２０体積％とした。

得られたセラミックスは、相対密度が９６％であり、ま
た、実施例１と同様に測定した結果は次のとおりであっ
た。

曲げ強度：１０６にｇｆ　７ｍｍ２　（常温）９７にｇ
ｆ　７ｍｍ２　（１０００℃）硬　　度：　２９４０ｋ
ｏｆ　７ｍｍ２　（常温）１０６０ｋｏｆ　７ｍｍ２　
（１０００℃）破壊靭性：　７．６ＭＰａ　ｍ”２実施例４一次粒子径が１．７１μｍであるＺｒＢ２の粉末と、Ａ
ｌ２Ｏ３の粉末を５重量％含む、−次粒子径が０．２８
μｍであるＳｉＣの粉末とを、ＳｉＣの粉末が４０体積
％になるようにとり、これをＳｉＣのボールをメディア
とするアトリションミルに入れ、エタノール中で６時間
粉砕、混合した。以下、実施例１と同様にしてセラミッ
クスを得た。このセラミックスは、相対密度が９９％で
おり、また、実施例１と同様に測定した結果は次のとお
りであった。

曲げ強度：　１１４Ｋｏｆ　７ｍｍ２　（常温）１０６
Ｋｏｆ　７ｍｍ２　（１０００℃）硬　　度：　１８６
０ｋｏｆ　７ｍｍ２　（常温）９１０ｋｏｆ　７ｍｍ２
　（１０００℃）破壊靭性：　６．５）ＩＰａ　ｍ１／
２実施例５実施例４において、ＳｉＣの母を４５体積％とし、また
、ウィスカーの量を５体積％とした。得られたセラミッ
クスは、相対密度がほぼ１００％であり、また、実施例
１と同様に測定した結果は次のとおりであった。

曲げ強度＝８２にｑｆ　７ｍｍ２　（常温）７７にｇｆ
　７ｍｍ２　（１０００℃）硬　　度：　２０９０ｋｏ
ｆ　７ｍｍ２　（常温）１０６０ｋｏｆ　７ｍｍ２　（
１０００℃〉破壊靭性：　７．２）ＩＰａ　ｍ”” 実施例６実施例４において、ＳｉＣの量を３０体積％とし、また
、ウィスカーの量を２０体積％とした。

曲げ強度：８６にｇｒ　７ｍｍ２　（常温）７５Ｋｏｆ
　７ｍｍ２　（１０００℃）硬　　度：　１６６０ｋｏ
ｆ　７ｍｍ２　（常温）８８０ｋｏｆ　７ｍｍ２　（１
０００℃）破壊靭性：　５．４ＭＰａ　ｍ１／２実施例７一次粒子径が１．２５μｍであるＴｉＢ２の粉末と、−
次粒子径が０．９７μｍであるＺｒＣの粉末とを、Ｚｒ
Ｃの粉末が４０体積％になるようにとり、これをＳｉＣ
のボールをメディアとするアトリションミルに入れ、エ
タノール中で６時間粉砕、混合した。以下、実施例１と
同様にしてセラミックスを１ｑだ。このセラミックスは
、相対密度が９９％であり、また、実施例１と同様に測
定した結果は次のとおりであった。

曲げ強度：　９５Ｋｏｆ　７ｍｍ２　（常温）８９Ｋｃ
＋ｆ　７ｍｍ２　（１０００’Ｃ）硬　　度：　１７４
０ｋｏｆ　７ｍｍ２　（常温）８４０ｋｏｆ　７ｍｍ２
　　（１０００’Ｃ）破壊靭性：　５．６）ＩＰａ　ｍ
１／２実施例８実施例７において、ＺｒＣの量を３０体積％とし、また
、ウィスカーの但を２０体積％とした。

得られたセラミックスは、相対密度が９８％であり、ま
た、実施例１と同様に測定した結果は次のとおりであっ
た。

曲げ強度：８７にｇｒ　７ｍｍ２　（常温）７８Ｋｏｆ
　７ｍｍ２　（１０００℃）硬　　度：　１６２０ｋｏ
ｆ　７ｍｍ２　（常温）８１０ｋｏｆ　７ｍｍ２　（１
０００℃）破壊靭性：　６．４）４Ｐａ　ｍ１／”実施
例９一次粒子径が１．２７μｍであるＴｉＢ２の粉末と、−
次粒子径が１．２０μｍであるＢ４Ｃの粉末とを、８４
Ｃの粉末が４０体積％になるようにとり、これをＳｉＣ
のボールをメディアとするアトリションミルに入れ、エ
タノール中で６時間粉砕、混合した。以下、実施例１と
同様にしてセラミックスを得た。このセラミックスは、
相対密度がほぼ１００％でおり、また、実施例１と同様
に測定した結果は次のとおりでめった。

曲げ強度：１３４に（Ｉｆ　７ｍｍ２　（常温）１２２
Ｋｇｆ　７ｍｍ２　（１０００’Ｃ）硬　　度：　２６
００ｋｑｆ　７ｍｍ２　（常温）１１８０ｋｇｆ　７ｍ
ｍ２　（１０００’Ｃ）破壊靭性：　６．４ＭＰａ　ｍ
１／２実施例１０実施例９において、Ｂ４Ｃの但を３０体積％とし、また
、ウィスカーの量を２０体積％とした。

得られたセラミックスは、相対密度が９７％でおり、ま
た、実施例１と同様に測定した結果は次のとありであっ
た。

曲げ強度：　１１２ＫＣＩｆ　７ｍｍ２　（常温）１０
６にｃｌｆ　７ｍｍ２　　（１０００’Ｃ）硬　　度：
　２２００ｋｑｆ　７ｍｍ２　（常温）１０６０ｋｏｆ
　７ｍｍ２　　（１０００’Ｃ）破壊靭性：　７．０ｌ
−ＩＰａ　ｍ””実施例１１一次粒子径が１．２５μｍでおるＴｉＢ２の粉末と、−
次粒子径が０．７９μｍでおるＴｉＣの粉末とを、Ｔｉ
Ｃの粉末が４０体積％になるようにとり、これをＳｉＣ
のボールをメディアとする７１〜リシヨンミルに入れ、
エタノール中で６時間粉砕、混合した。以下、実施例１
と同様にしてセラミックスを得た。このセラミックスは
、相対密度が９９％であり、また、実施例１と同様に測
定した結果は次のとおりであった。

曲げ強度：１０７に（ｌｆ　７ｍｍ２　（常温〉９８に
ｃ＋ｆ　７ｍｍ２　（１０００’Ｃ）硬　　度：　１９
８０ｋｇｆ　７ｍｍ２　（常温）１０６０ｋｃ＋ｆ　７
ｍｍ２　（１０ｏ　ｏ　’ｃ　＞破壊靭性：　６．５Ｍ
Ｐａ　ｍ１／２実施例１２実施例１１において、成形材料を、まず、１トン／ｃｍ
２の圧力でラバープレス成形した後、窒素雰囲気中にて
２０００　’Ｃで１時間常圧焼結した。

得られたセラミックスは、相対密度が９６％で必り、ま
た、実施例１と同様に測定した結果は次のとおりでおっ
た。

曲げ強度：　８６Ｋｇｆ　７ｍｍ２　（常温）８４Ｋｇ
ｆ　７ｍｍ２　　（１０００℃）硬　　度：　１８４０
ｋｇｆ　７ｍｍ２　（常温）１０２０ｋｇｆ　７ｍｍ２
　　（１０００’Ｃ）破壊靭性：　７．２ＭＰａ　ｍ”
２実施例１３実施例１１において、ＴｉＣの量を３０体積％とし、ま
た、ウィスカーの量を２０体積％とした。

曲げ強度：　８８に！ｌｌｆ　７ｍｍ２　（常温）８７
Ｋｇｆ　７ｍｍ２　（１０００’Ｃ）硬　　度：　１８
６０ｋｇｆ　７ｍｍ２　（常温）９９０ｋｇｆ　７ｍｍ
２　（１０００’Ｃ）破壊靭性：　７．２）ＩＰａ　ｍ
”２実施例１４実施例１３において、成形材料を、まず、１トン／ｃｍ
２の圧力でラバープレス成形した後、窒素雰囲気中にて
２０００℃で１時間常圧焼結した。

得られたセラミックスは、相対密度が９４％でおり、ま
た、実施例１と同様に測定した結果は次のとおりであっ
た。

曲げ強度：　６４Ｋｇｆ　７ｍｍ２　（常温）６７にｇ
ｒ　７ｍｍ２　（１０００’Ｃ）硬　　度：　１７５０
ｋｇｆ　７ｍｍ２　（常温）８９０ｋｇｆ　７ｍｍ２　
（１０００’Ｃ）破壊靭性：　７．０ＨＰａ　ｍ１／２実施例１５一次粒子径が１．２７μｍであるＴｉＢ２の粉末と、−
次粒子径が０．７７μｍで必るＷＣの粉末とを、ＷＣの
粉末が４０体積％になるようにとり、これをＳｉＣのボ
ールをメディアとするアトリションミルに入れ、エタノ
ール中で６時間粉砕、混合した。以下、実施例１と同様
にしてセラミックスを得た。このセラミックスは、相対
密度が９９％であり、また、実施例１と同様に測定した
結果は次のとおりであった。

曲げ強度：９４にｏｒ　７ｍｍ２　（常温）９６にａｔ
　７ｍｍ２　　（１０００℃）硬　　度：　２２６０ｋ
ｏｆ　７ｍｍ２　（常温）１０４０ｋＯｆ　７ｍｍ２　
　（１０００℃）破壊靭性：　６．０ＭＰａ　ｍ１／２実施例１６実施例１５において、ＷＣの量を３０体積％とし、また
、ウィスカーの母を２０体積％とした。

得られたセラミックスは、相対密度が９７％であり、ま
た、実施例１と同様に測定した結果は次のとおりであっ
た。

曲げ強度：８７にｇｒ　７ｍｍ２　（常温）６９Ｋｇｆ
　７ｍｍ２　（１０００℃）硬　　度：　１９５０ｋｏ
ｆ　７ｍｍ２　（常温）９７０ｋｏｆ　７ｍｍ２　（１
０００℃）破壊靭性：　７．０ＭＰａ　ｍ”２実施例１７一次粒子径が１．７１μｍであるＺｒＢ２の粉末と、−
次粒子径が０．９７μｍであるＺｒＣの粉末とを、Ｚｒ
Ｃの粉末が４０体積％になるようにとり、これをＳｉＣ
のボールをメディアとするアトリションミルに入れ、エ
タノール中で６時間粉砕、混合した。以下、実施例１と
同様にしてセラミックスを得た。このセラミックスは、
相対密度が９９％であり、また、実施例１と同様に測定
した結果は次のとおりであった。

曲げ強度：１０６Ｋｏｒ　７ｍｍ２　（常温）１０４に
ｇｒ　７ｍｍ２　（１０００℃）硬　　度：　１８２０
ｋｏｆ　７ｍｍ２　（常温）９３０ｋｏｆ　７ｍｍ２　
（１０００℃）破壊靭性：　６．０ＭＰａ　ｍ１／２実施例１８実施例１７において、ＺｒＣの量を３０体積％とし、ま
た、ウィスカーの量を２０体積％とした。

得られたセラミックスは、相対密度が９８％であり、ま
た、実施例１と同様に測定した結果は次のとおりでめっ
た。

曲げ強度：　８４　Ｋｇｆ　７ｍｍ２　（常温）８１　
Ｋｇｆ　７ｍｍ２　　（１０００℃）硬　　度：　１６
６０ｋｏｆ　７ｍｍ２　（常温）８２０ｋＯｆ　７ｍｍ
２　　（１０００℃）破壊靭性：　５．２ＭＰａ　ｍ”
２実施例１９一次粒子径が１．７５μｍであるＺｒＢ２の粉末と、−
次粒子径が１．２０μｍである８４Ｇの粉末とを、８４
Ｃの粉末が４０体積％になるようにとり、これをＳｉＣ
のボールをメディアとするアトリションミルに入れ、エ
タノール中で６時間粉砕、混合した。以下、実施例１と
同様にしてセラミックスを得た。このセラミックスは、
相対密度がほぼ１００％であり、また、実施例１と同様
に測定した結果は次のとおりであった。

曲げ強度：１２７にｇｆ　７ｍｍ２　（、常温）１１６
Ｋｏｆ　７ｍｍ２　（１０００℃）硬　　度：　２３９
０ｋｏｆ　７ｍｍ２　（常温）１０８０ｋＯｆ　７ｍｍ
２　（１０００℃）破壊靭性：　４．５ＭＰａ　ｍ”２実施例２０実施例１９において、８４Ｇの量を３０体積％とし、ま
た、ウィスカーの量を２０体積％とした。

得られたセラミックスは、相対密度が９９％であり、ま
た、実施例１と同様に測定した結果は次のとおりであっ
た。

曲げ強度：９８に（Ｊｆ　７ｍｍ２　（常温）９３にｔ
ａｒ　７ｍｍ２　（１０００℃）硬　　度：　２２９０
ｋｏｆ　７ｍｍ２　（常温）９７０ｋｏｆ　７ｍｍ２　
（１０００℃）破壊靭性：　５．６ＭＰａ　ｍ１／２実施例２１一次粒子径が１　＊、　７１μｍであるＺｒＢ２の粉末
と、−次粒子径が０．７９μｍであるＴｉＣの粉末とを
、ＴｉＣの粉末が４０体積％になるようにとり、これを
ＳｉＣのボールをメディアとするアトリションミルに入
れ、エタノール中で６時間粉砕、混合した。以下、実施
例１と同様にしてセラミックスを得た。このセラミック
スは、相対密度が９９％であり、また、実施例１と同様
に測定した結果は次のとおりであった。

曲げ強度：　９３Ｋｏｆ　７ｍｍ２　（常温）８８Ｋｏ
ｆ　７ｍｍ２　（１０００℃）硬　　度：　１８８０ｋ
ｃ＋ｆ　／ｍｍ２　（常温）９１０ｋｃ＋ｆ　／ｍｍ２
　　（１０００’Ｃ）破壊靭性：　６．２ＭＰａ　ｍ１
／２実施例２２実施例２１において、成形材料を、まず、１トン／Ｃｍ
２の圧力でラバープレス成形した後、窒素雰囲気中にて
２０００　’Ｃで１時間常圧焼結した。

得られたセラミックスは、相対密度が９８％でおり、ま
た、実施例１と同様に測定した結果は次のとおりでめっ
た。

曲げ強度：　８６Ｋｑｆ　／Ｈ２（常温）７９にｇｆ　
／ｍｍ２　　（１０００℃）硬　　度：　１８２０ｋ（
ｌｆ　／ｍｍ２　（常温）８８０ｋｃ＋ｆ　／ｍｍ２　
　（１０００’Ｃ）破壊靭性：　５．７ＭＰａ　ｍ１／
２実施例２３実施例２１において、ＴＩＣの但を３０体積％とし、ま
た、ウィスカーの量を２０体積％とした。

曲げ強度ニア８にｇｆ　／ｍｍ２　（常温）７６にｇｆ
　／ｍｍ２　（１０００’Ｃ）硬　　度：　１７４０ｋ
ｇｆ　／ｍｍ２　（常温）９３０ｋｇｆ　／ｍｍ２　　
（１０００’Ｃ）破壊靭性：　７　、１　ＭＰａ　ｍ１
／２実施例２４実施例２３において、成形材料を、まず、１トン／ｃｍ
２の圧力でラバープレス成形した後、窒素雰囲気中にて
２０００　’Ｃで１時間常圧焼結した。

ｊｑられたセラミックスは、相対密度が９８％であり、
また、実施例１と同様に測定した結果は次のとおりであ
った。

曲げ強度：　６６Ｋｑｆ　／ｍｍ２　（常温〉７０Ｋｑ
ｆ　／ｍｍ２　（１０００’Ｃ）硬　　度：　１７１０
ｋｃ＋ｆ　／ｍｍ２　（常温）８９０ｋｃ＋ｆ　／ｍｍ
２　（１０００’Ｃ）破壊靭性ニア、０ＭＰａ　ｍ”２実施例２５一次粒子径が１．８５μｍであるＺｒＢ２の粉末と、−
次粒子径が０．７７μｍであるＷＣの粉末とを、ＷＣの
粉末が４０体積％になるようにとり、これをＳｉＣのポ
ールをメディアとするアトリションミルに入れ、エタノ
ール中で６時間粉砕、混合した。以下、実施例１と同様
にしてセラミックスを得た。このセラミックスは、相対
密度が９６％でおり、また、実施例１と同様に測定した
結果は次のとおりでおった。

曲げ強度：　８６に！Ｉｆｆ　／ｍｍ２　（常温）９２
にｇｆ　／ｍｍ２　（１０００’Ｃ）硬　　度：　１９
６０ｋｇｆ　／ｍｍ２　（常温）９６０ｋｇｆ／ｍｍ２
　（１０００’Ｃ）破壊靭性：　６．０ＭＰａ　ｍ”２実施例２６実施例２５において、ＷＣ（７）量を３０体積％とし、
また、ウィスカーの量を２０体積％とした。

曲げ強度：　７０Ｋｃ＋ｆ　／ｍｍ２　（常温）６６に
（Ｉｆ　／ｍｍ２　　（１０００’Ｃ）硬　　度：　１
８４０ｋｃ＋ｆ　／ｍｍ２　（常温）９２０ｋｏｆ　／
ｍｍ２　　（１０００’Ｃ）破壊靭性ニア、０ＭＰａ　
ｍ”２実施例２７一次粒子径が１．８５μｍで必るＴｉＢ２の粉末と、−
次粒子径が０．７９μｍであるＴｉＣの粉末と、平均粒
子径が１．２０μｍで必るＢ４Ｃの粉末とを、ＴｉＣの
粉末が２５体積％、８４Ｃの粉末が２０体積％になるよ
うにとり、これをＳｉＣのポールをメディアとするアト
リションミルに入れ、エタノール中で６時間粉砕、混合
した。

次に、上記混合物に、ポリエチレンイミンの１重量％エ
タノール溶液中で分散させたＳｉＣウィスカーを、ウィ
スカーが５体積％になるように加え、ボールミルで１２
時間混合した後、ロータリーエバポレーターで減圧乾燥
し、成形材料を得た。

以下、実施例１と同様にしてセラミックスを１ｑだ。

このセラミックスは、相対密度が９９％であり、また、
実施例１と同様に測定した結果は次のとおりであった。

曲げ強度：　９３Ｋｃｌｆ　／ｍｍ２　（常温）９６Ｋ
ｇｆ　／ｍｍ２　（１０００℃）硬　　度：　２４１０
ｋｏｆ　／ｍｍ２　（常温）１１３０ｋｃ＋ｆ　／ｍｍ
２　（１０００℃）破壊靭性：　５．０）ＩＰａ　ｍ”
２実施例２８実施例２７において、ＴｉＣの但を２０体積％、８４Ｃ
の吊を１０体積％とし、また、ウィスカーの量を２０体
積％とした。得られたセラミックスは、相対密度が９９
％でおり、また、実施例１と同様に測定した結果は次の
とおりであった。

曲げ強度：　８６ＫＣＩｆ　／ｍｍ２　（常温）７９Ｋ
ｇｆ　／ｍｍ２　（１０００℃）硬　　度：　２２６０
ｋｏｆ　／ｍｍ２　（常温）１０７０ｋｏｆ　／ｍｍ２
　（１０００℃）破壊靭性：　６．１　ＭＰａ　ｍ１／
２実施例２９一次粒子径が１．２７μｍであるＴｉＢ２の粉末と、−
次粒子径が１．８５μｍであるＺｒＢ２の粉末と、平均
粒子径が０．７９μｍであるＴｉＣの粉末とを、ＴｉＢ
ｚの粉末が２５体積％、ＺｒＢ２の粉末が２５体積％、
ＴｉＣの粉末が４０体積％になるようにとり、これをＳ
ｉＣのボールをメディアとするアトリションミルに入れ
、エタノール中で６時間粉砕、混合した。以下、実施例
１と同様にしてセラミックスを得た。このセラミックス
は、相対密度が９９％であり、また、実施例１と同様に
測定した結果は次のとおりであった。

曲げ強度：１０３Ｋｌｌｌｆ　／ｍｍ２　（常温〉８９
Ｋｇｆ　／ｍｍ２　（１０００℃）硬　　度：　１８９
０ｋｏｆ　／ｍｍ２　（常温）１０６０ｋｏｆ　／ｍｍ
２　（１０００’Ｃ）破壊靭性：　６．３）ＩＰａ　ｍ
１／２実施例３０一次粒子径が１．２７μｍであるＴｉＢ２の粉末と、−
次粒子径が０．９７μｍであるＺｒＣの粉末と、平均粒
子径が０．２８μｍであるＳｉＣの粉末とを、ＺｒＣの
粉末が５体積％、ＳｉＣの粉末が３５体積％になるよう
にとり、これを３ｉＣのポールをメディアとするアトリ
ションミルに入れ、エタノール中で６時間粉砕、混合し
た。以下、実施例１と同様にしてセラミックスを得た。

曲げ強度：　１１０Ｋ（Ｉｆ　／ｍｍ２　（常温）１０
６にｇｆ　／ｍｍ２　（１０００’Ｃ）硬　　度：　２
６２０ｋｏｆ　／ｍｍ２　（常温）１１２０ｋｏｆ　／
ｍｍ２　（１０００’Ｃ）破壊靭性：　６．８）ＩＰａ
　ｍ１／２実施例３１実施例３０において、ＳｉＣの量を４０体積％とじ、ま
た、ウィスカーの量を５体積％とした。

曲げ強度：　８９Ｋｃ＋ｆ　／ｍｍ２　（常温）８７Ｋ
ｏｆ　／ｍｍ２　（１０００’Ｃ）硬　　度：　２８６
０ｋｃ＋ｆ　／ｍｍ２　（常温）１２３０ｋｏｆ　／ｍ
ｍ２　　（１０００℃）破壊靭性：　５．３ＭＰａ　ｍ
１／２実施例３２実施例３０において、ＳｉＣの量を２５体積％とし、ま
た、ウィスカーの量を２０体積％とした。

得られたセラミックスは、相対密度が９８％でおり、ま
た、実施例１と同様に測定した結果は次のとおりであっ
た。

曲げ強度：　１０７Ｋｇｆ　／ｍｍ２　（常温）７９に
ｇｆ　／ｍｍ２　（１０００℃）硬　　度：　２２５０
ｋｏｆ　／ｍｍ２　（常温）１０５０ｋｃ＋ｆ　／ｍｍ
２　（１０００″Ｃ）破壊靭性：　７．４ＭＰａ　ｍ１
／２実施例３３一次粒子径が１．２７μｍであるＴｉＢ２の粉末と、−
次粒子径が１．２０μｍである８４Ｃの粉末と、平均粒
子径が０．２８μｍであるＳｉＣの粉末とを、８４Ｇの
粉末が５体積％、ＳｉＣの粉末が３５体積％になるよう
にとり、これを３ｉＣのボールをメディアとするアトリ
ションミルに入れ、エタノール中で６時間粉砕、混合し
た。以下、実施例１と同様にしてセラミックスを得た。

このセラミックスは、相対密度がほぼ１００％であり、
また、実施例１と同様に測定した結果は次のとおりでめ
った。

曲げ強度：　１０６Ｋ（Ｉｆ　／ｍｍ２　（常温）９４
Ｋｇｆ　／ｍｍ２　（１０００℃）硬　　度：　２９７
０ｋｇｆ　／ｍｍ２　（常温）１１２０ｋｇｆ　／ｍｍ
２　（１０００’Ｃ）破壊靭性：　６．５）ＩＰａ　ｍ
”” 実施例３４実施例３３において、ＳｉＣの量を４０体積％とし、ま
た、ウィスカーの量を５体積％とした。

得られたセラミックスは、相対密度が９９％であり、ま
た、実施例１と同様に測定した結果は次のとおりでめっ
た。

曲げ強度：　１０４Ｋｇｆ　／ｍｍ２　（常温）９７Ｋ
ｏｆ　／ｍｍ２　　（１０００℃）硬　　度：　３０７
０ｋｃ＋ｆ　／ｍｍ２　（常温）１２６０ｋｏｆ　／ｍ
ｍ２　　＜　１０００’Ｃ）破壊靭性’　５．７ＭＰａ
　ｍｌ／２実施例３５実施例３３に６いて、ＳｉＣの但を２５体積％とし、ま
た、ウィスカーの量を２０体積％とした。

（ｑられたセラミックスは、相対密度が９９％であり、
また、実施例１と同様に測定した結果は次のとおりであ
った。

曲げ強度：　１１２Ｋｏｆ　／ｍｍ２　（常温）８６Ｋ
ｇｆ　／ｍｍ２　（１０００’Ｃ）硬　　度：　２６６
０ｋｇｆ　／ｍｍ２　（常温）１０８０ｋｇｆ　／ｍｍ
２　（１０００℃）破壊靭性：　６．９ＭＰａ　ｍ１／
２実施例３６一次粒子径が１．２５μｍで必るＴｉ３２の粉末と、−
次粒子径が０．７９μｍであるＴｉＣの粉末と、平均粒
子径が０．２８μｍであるＳｉＣの粉末とを、ＴｉＣの
粉末が５体積％、ＳｉＣの粉末が３５体積％になるよう
にとり、これをｓＩＣのボールをメディアとするアトリ
ションミルに入れ、エタノール中で６時間粉砕、混合し
た。以下、実施例１と同様にしてセラミックスを得た。

このセラミックスは、相対密度がほぼ１００％であり、
また、実施例１と同様に測定した結果は次のとおりであ
った。

曲げ強度：１２４にｇｆ　／ｍｍ２　（常温）１０６に
ｇｆ　／ｍｍ２　（１０００℃）硬　　度：　２１５０
ｋｇｆ　／ｍｍ２　（常温）１０７０ｋｃ＋ｆ　／ｍｍ
２　（１０００℃）破壊靭性：　７．４ｔ４Ｐａ　ｍ”
２実施例３７実施例３６において、ＳｉＣの量を４０体積％とし、ま
た、ウィスカーの量を５体積％とした。

得られたセラミックスは、相対密度がほぼ１００％であ
り、また、実施例１と同様に測定した結果は次のとおり
でめった。

曲げ強度：１１１にｇｆ　／ｍｍ２　（常温）９４にｇ
ｆ　／ｍｍ２　（１０００’Ｃ）硬　　度：　２２４０
ｋｇｆ　／ｍｍ２　（常温）１１４０ｋｇｆ　／ｍｍ２
　（１０００’Ｃ）破壊靭性：　６．９ＭＰａ　ｍ１／
２実施例３８実施例３６において、ＳｉＣの量を２５体積％とし、ま
た、ウィスカーの量を２０体積％とした。

得られたセラミックスは、相対密度が９９％でおり、ま
た、実施例１と同様に測定した結果は次のとおりであっ
た。

曲げ強度：　１３３ＫＣｌｆ　／ｍｍ２　（常温）１１
５にｇｆ／ｍｍ２　（１０００℃）硬　　度：　１９７
０ｋｇｆ　／ｍｍ２　（常温）９８０ｋｃ＋ｆ　／ｍｍ
２　（１０００’Ｃ）破壊靭性：　７．８ＨＰａ　ｍ’
／２実施例３つ一次粒子径が１．２５μｍであるＴｉＢｚの粉末と、−
次粒子径が０．７７μｍで必るｗｃの粉末と、平均粒子
径が０．２８μｍであるＳｉＣの粉末とを、ＷＣの粉末
が５体積％、ＳｉＣの粉末が３５体積％になるようにと
り、これをｓｉｃのボールをメディアとするアトリショ
ンミルに入れ、エタノール中で６時間粉砕、混合した。

以下、実施例１と同様にしてセラミックスを得た。この
セラミックスは、相対密度が９８％であり、また、実施
例１と同様に測定した結果は次のとおりであった。

曲げ強度：　１０６Ｋｇｆ　７ｍｍ２　（常温）９７Ｋ
ｏｆ　７ｍｍ２　　（１０００℃）硬　　度：　２１１
０ｋｏｆ　７ｍｍ２　（常温）１０６０ｋｃ＋ｆ　７ｍ
ｍ２　　（１０００℃）破壊靭性：　６．３ＭＰａ　ｍ
１／２実施例４０実施例３９において、ＳｉＣの量を４０体積％とし、ま
た、ウィスカーの量を５体積％とした。

曲げ強度：　９８Ｋｇｆ　７ｍｍ２　（常温）８４Ｋｏ
ｆ　７ｍｍ２　　（１０００℃〉硬　　度：　２３８０
ｋｇｆ　７ｍｍ２　（常温）１１３０ｋｏｆ　７ｍｍ２
　　（１００（Ｅ）℃）破壊靭性：　５．６ＨＰａ　ｍ
１／２実施例４１実施例３９において、ＳｉＣの量を２５体積％とし、ま
た、ウィスカーの量を２０１本積％とした。

１ｑられたセラミックスは、相対密度が９８％であり、
また、実施例１と同様に測定した結果は次のとおりであ
った。

曲げ強度：１１２に（ｉｆ　７ｍｍ２　（常温）９６に
ｇｆ　７ｍｍ２　（１０００℃）硬　　度：　１９００
ｋｏｆ　７ｍｍ２　（常温）８７０ｋｇｆ　７ｍｍ２　
（１０００℃）破壊靭性：　６．５ＭＰａ　ｍ１／２実施例４２一次粒子径が１．８５μｍであるＺｒＢ２の粉末と、−
次粒子径が０．９７μｍであるＺｒＣの粉末と、平均粒
子径が０．２８μｍでおるＳｉＣの粉末とを、ＺｒＣの
粉末が５体積％、ＳｉＣの粉末が３５体積％になるよう
にとり、これを３ｉＣのボールをメディアとするアトリ
ションミルに入れ、エタノール中で６時間粉砕、混合し
た。以下、実施例１と同様にしてセラミックスを得た。

このセラミックスは、相対密度が９６％であり、また、
実施例１と同様に測定した結果は次のとおりであった。

曲げ強度：　１０４Ｋ（ｌｆ　７ｍｍ２　（常温）１０
６Ｋｏｆ　７ｍｍ２　（１０００’Ｃ）硬　　度：　２
４５０ｋｇｆ　７ｍｍ２　（常温）１０３０ｋｇｆ　７
ｍｍ２　（１０００℃）破壊靭性：　７．０ＭＰａ　ｍ
１／２実施例４３実施例４２において、ＳｉＣの量を４０体積％とし、ま
た、ウィスカーの量を５体積％とした。

曲げ強度：　８０Ｋｇｆ　７ｍｍ２　（常温）８６にｇ
ｆ　７ｍｍ２　　（１０００’Ｃ）硬　　度：　２２０
０ｋｇｆ　７ｍｍ２　（常温）１０２０ｋ（Ｉｆ　７ｍ
ｍ２　（１０００℃）破壊靭性：　５．２ＭＰａ　ｍ”
” 実施例４４実施例４２において、ＳｉＣの量を２５体積％とし、ま
た、ウィスカーの量を２０体積％とした。

得られたセラミックスは、相対密度が９５％であり、ま
た、実施例１と同様に測定した結果は次のとおりであっ
た。

曲げ強度：　７１　Ｋｇｆ　７ｍｍ２　（常温〉８２に
ｇｆ　７ｍｍ２　（１０００’Ｃ）硬　　度：　１９６
０ｋｇｆ　７ｍｍ２　（常温）８８０ｋｇｆ　７ｍｍ２
　（１０００’Ｃ）破壊靭性：　４．３ＭＰａ　ｍ１／
２実施例４５一次粒子径が１．８５μｍであるＺｒＢ２の粉末と、Ａ
ｌ２Ｏ３を２重量％含む、−次粒子径が０．２８μｍで
あるＳｉＣの粉末とを、ＳｉＣの粉末が４０体積％にな
るようにとり、これを３ｉＣのボールをメディアとする
アトリションミルに入れ、エタノール中で６時間粉砕、
混合した。

次に、上記混合物に、エタノール中で分散させたＳｉ３
Ｎ４ウィスカーを、ウィスカーが１０（本積％になるよ
うに加え、ボールミルで１２時間混合した後、ロータリ
ーエバポレーターで減圧乾燥し、成形材料を得た。

次に、上記成形材料を、真空中にて１８００’Ｃの温度
下に２００ＫＭｃｍ２の圧力で１時間ホットプレスした
。かくして得られたセラミックスの相対密度は、９８％
でめった。また、実施例１と同様に測定した結果は次の
とおりであった。

曲げ強度：　Ｂ　７　Ｋｇｆ　／ｍｍ２　（常温）８２
にｇｒ　／ｍｍ２　（１０００’Ｃ）硬　　度：　１８
２０ｋｇｆ　／ｍｍ２　（常温）８９０ｋｏｆ　／ｍｍ
２　（１０００’Ｃ）破壊靭性：　６．８）ＩＰａ　ｍ
”２実施例４６実施例４５において、ＳｉＣの量を３０体積％とし、ま
た、ウィスカーの量を２０体積％とした。

得られたセラミックスは、相対密度が９７％であり、ま
た、実施例１と同様に測定した結果は次のとおりでおっ
た。

曲げ強度：　７４Ｋ（ｌｆ　／ｍｍ２　（常温）７７Ｋ
（Ｉｆ　／ｍｍ２　（１０００’Ｃ）硬　　度：　１７
７０ｋｇｆ　／ｍｍ２　（常温）８８０ｋｇｆ　／ｍｍ
２　（１０００’Ｃ）破壊靭性：　７．４ＨＰａ　ｍ１
／２発明の効果この発明のセラミックスは、Ｔ’１Ｂ２ｃｔ３よびＺｒ
Ｂ２から選ばれた金属ホウ化物と、１０〜７０体積％の
、ＷＣ，Ｔ　ｉ　Ｃ，８４Ｃ，ＺｒＣおよびＳｉＣから
選ばれた金属炭化物と、５〜２０体積％のセラミックス
ウィスカーとを含むものでおり、金属炭化物としてＳｉ
Ｃが選択される場合には、１〜５重量％のＡｌ２Ｏ２か
、ＳｉＣとの合計量として１０〜７０体積％の、ＷＣ，
Ｔ　ｒ　ｃ、Ｂ４ＣおよびＺｒＣから選ばれた金属炭化
物を含むものであるから、実施例にも示したように、高
硬度、高強度、高靭性で、しかも耐熱性が大変優れてい
る。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ＴｉＢ＿２およびＺｒＢ＿２から選ばれた金属ホ
ウ化物と、１０〜７０体積％のＳｉＣと、１〜５重量％
のＡｌ＿２Ｏ＿３と、５〜２０体積％のセラミックスウ
ィスカーとを含むことを特徴とするホウ化物系セラミッ
クス。
（２）ＴｉＢ＿２およびＺｒＢ＿２から選ばれた金属ホ
ウ化物と、１０〜７０体積％の、ＳｉＣならびにＷＣ、
ＴｉＣ、Ｂ＿４ＣおよびＺｒＣから選ばれた金属炭化物
と、５〜２０体積％のセラミックスウィスカーとを含む
ことを特徴とするホウ化物系セラミックス。
（３）ＴｉＢ＿２およびＺｒＢ＿２から選ばれた金属ホ
ウ化物と、１０〜７０体積％の、ＷＣ、ＴｉＣ、Ｂ＿４
ＣおよびＺｒＣから選ばれた金属炭化物と、５〜２０体
積％のセラミックスウィスカーとを含むことを特徴とす
るホウ化物系セラミックス。