JPH01296121A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPH01296121A JPH01296121A JP12642488A JP12642488A JPH01296121A JP H01296121 A JPH01296121 A JP H01296121A JP 12642488 A JP12642488 A JP 12642488A JP 12642488 A JP12642488 A JP 12642488A JP H01296121 A JPH01296121 A JP H01296121A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- injection port
- pressure
- pin
- sealing
- diameter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims abstract description 44
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims abstract description 44
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 28
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims abstract description 25
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 17
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 10
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 abstract description 5
- 238000007906 compression Methods 0.000 abstract description 5
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 abstract 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- BBEAQIROQSPTKN-UHFFFAOYSA-N pyrene Chemical compound C1=CC=C2C=CC3=CC=CC4=CC=C1C2=C43 BBEAQIROQSPTKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 241000283726 Bison Species 0.000 description 1
- 229920005177 Duracon® POM Polymers 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N fluoranthrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=C22)=C3C2=CC=CC3=C1 GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008014 freezing Effects 0.000 description 1
- 238000007710 freezing Methods 0.000 description 1
- 235000011389 fruit/vegetable juice Nutrition 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000005001 laminate film Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、浴槽等の水位を圧力として検知する圧力検知
センサに関するものであり、浴槽へ自動的に湯張りを行
う自動風呂等に用いられるものである。
センサに関するものであり、浴槽へ自動的に湯張りを行
う自動風呂等に用いられるものである。
従来の技術
従来のこの種の圧力検知センサを第7図及び第8図に示
す。1は浴槽もしくは浴槽に連通したパイプであり、水
が充填していて浴槽の水位に応じてその圧力が変化する
ものであり、2はセンサ取付台である。3は圧力検知素
子であり、圧力導入口4を有する。5は圧力検知素子3
を支持する素子支持体であり、圧力導入口4を開口にさ
しこませて圧力導入口4に連通させた圧力伝達室6を有
する。7はゴムダイヤフラムであり、センサ取付台2と
素子支持体5とをビス8で給金するときに圧力伝達室6
を密閉し、バイブ1内の充填水と圧力検知素子3とを隔
離すると同時に圧力を伝達させる役目を果す。9はゴム
ダイヤフラム7で密閉された圧力伝達室θ内を充填した
流動性の充填材であり、例えばシリコンオイル等を用い
る。そして、ダイヤフラム7で水と圧力検知素子3とを
隔離する理由は、汚れた浴槽水で圧力検知素子3が腐蝕
したり、圧力導入口4がつまったり、水の凍結で異常を
おこしたり、電圧サージが水を伝搬して圧力検知素子3
を破壊したりするのを防止し、かつ、圧力を正確に伝達
させるためである。また充填材9を用いる理由は、もし
充填材を用いないで空気層を形成させている場合には水
の圧力変化で空気の圧縮度合が大きく変化してゴムダイ
ヤフラム7の動作点が移動し圧力伝達特性に影響をおよ
ぼして好ましくないからであり、また水の温度は大きく
変化するがその時空気の体積も大きく変化し前記と同様
の悪影響をおよぼすのを防止するためである。10は圧
力検知素子3の信号を処理する回路、11はそれらを支
持するプリント板、12は蓋である。
す。1は浴槽もしくは浴槽に連通したパイプであり、水
が充填していて浴槽の水位に応じてその圧力が変化する
ものであり、2はセンサ取付台である。3は圧力検知素
子であり、圧力導入口4を有する。5は圧力検知素子3
を支持する素子支持体であり、圧力導入口4を開口にさ
しこませて圧力導入口4に連通させた圧力伝達室6を有
する。7はゴムダイヤフラムであり、センサ取付台2と
素子支持体5とをビス8で給金するときに圧力伝達室6
を密閉し、バイブ1内の充填水と圧力検知素子3とを隔
離すると同時に圧力を伝達させる役目を果す。9はゴム
ダイヤフラム7で密閉された圧力伝達室θ内を充填した
流動性の充填材であり、例えばシリコンオイル等を用い
る。そして、ダイヤフラム7で水と圧力検知素子3とを
隔離する理由は、汚れた浴槽水で圧力検知素子3が腐蝕
したり、圧力導入口4がつまったり、水の凍結で異常を
おこしたり、電圧サージが水を伝搬して圧力検知素子3
を破壊したりするのを防止し、かつ、圧力を正確に伝達
させるためである。また充填材9を用いる理由は、もし
充填材を用いないで空気層を形成させている場合には水
の圧力変化で空気の圧縮度合が大きく変化してゴムダイ
ヤフラム7の動作点が移動し圧力伝達特性に影響をおよ
ぼして好ましくないからであり、また水の温度は大きく
変化するがその時空気の体積も大きく変化し前記と同様
の悪影響をおよぼすのを防止するためである。10は圧
力検知素子3の信号を処理する回路、11はそれらを支
持するプリント板、12は蓋である。
13は充填材9を充填する注入口であり、この注入口1
3より径小な注入路13暑を介して圧力伝達室6に充填
材9を充填する。この径大な注入口13はその内径より
若干大きな栓としてのボール14を気密に圧入して空気
が入らないようにしである。ボール14の材質としては
、SUS 304や樹脂製のものとしてナイロンやポリ
プロピレン製のものがある。又、素子支持体5は樹脂を
用いて、絶縁性能を確保させている。
3より径小な注入路13暑を介して圧力伝達室6に充填
材9を充填する。この径大な注入口13はその内径より
若干大きな栓としてのボール14を気密に圧入して空気
が入らないようにしである。ボール14の材質としては
、SUS 304や樹脂製のものとしてナイロンやポリ
プロピレン製のものがある。又、素子支持体5は樹脂を
用いて、絶縁性能を確保させている。
発明が解決しようとする課題
しかしながら上記のような構成では、素子支持−体5の
注入口13の径のバラツキを小さくすることは、素子支
持体5が樹脂性であるために非常に困難であった。即ち
樹脂特有の課題として熱収縮率が大きい欠点があった。
注入口13の径のバラツキを小さくすることは、素子支
持体5が樹脂性であるために非常に困難であった。即ち
樹脂特有の課題として熱収縮率が大きい欠点があった。
たとえば熱収縮率はジュラコンでは8 X I Q−5
〜10 X I Q−s であり、ボリプJピレンで
は11XIO−5であり、温度によって穴径が異なる欠
点があった。一方、ボール14の外径については、たと
えば5uS304の場合には、公差は3〜4μの加工が
可能であるが、常温下で素子支持体5の注入口13の径
を適正値に設定しても、低温(たこえば−20℃)にな
ると、素子支持体5の熱収縮率が大きくなり、結果とし
て素子支持体5の許容応力を越えてメカニカルクラック
を生じて破断し、シール不良に至る欠点があった。同様
に、ボール14をポリプロピレン等で作ることも可能で
あるが熱収縮率が大きいために、寸法精度が出に<<、
素子支持体5の注入口13の径に対し、ボール14の外
径の設定が困難で、時には圧入代が大きく、時には圧入
代が少くなるという欠点があり、圧入代が大きいと低温
で許容応力を越えてメカニカルクラックとなり、圧入代
があまいと高温でシール不良となる欠点を有していたも
のである。
〜10 X I Q−s であり、ボリプJピレンで
は11XIO−5であり、温度によって穴径が異なる欠
点があった。一方、ボール14の外径については、たと
えば5uS304の場合には、公差は3〜4μの加工が
可能であるが、常温下で素子支持体5の注入口13の径
を適正値に設定しても、低温(たこえば−20℃)にな
ると、素子支持体5の熱収縮率が大きくなり、結果とし
て素子支持体5の許容応力を越えてメカニカルクラック
を生じて破断し、シール不良に至る欠点があった。同様
に、ボール14をポリプロピレン等で作ることも可能で
あるが熱収縮率が大きいために、寸法精度が出に<<、
素子支持体5の注入口13の径に対し、ボール14の外
径の設定が困難で、時には圧入代が大きく、時には圧入
代が少くなるという欠点があり、圧入代が大きいと低温
で許容応力を越えてメカニカルクラックとなり、圧入代
があまいと高温でシール不良となる欠点を有していたも
のである。
本発明はかかる従来の課題を解消するもので、樹脂性の
素子支持体の充填材注入口にシール性の良い構成を提供
するものである。
素子支持体の充填材注入口にシール性の良い構成を提供
するものである。
課題を解決するための手段
上記課題を解決するために本発明の圧力センサは、素子
支持体の圧力伝達室へ充填する流動性充填材を注入する
素子支持体の注入口の第2の穴径φD2よりも大きい外
径fllD7を有し、前記注入口の第3の穴径1110
3よりも外径φD7を小さくした注入口封止用のゴム製
の封止体を有し、前記封止体の頭部にはφD5の座ぐり
を有し、下部には曲面を有する構成である。
支持体の圧力伝達室へ充填する流動性充填材を注入する
素子支持体の注入口の第2の穴径φD2よりも大きい外
径fllD7を有し、前記注入口の第3の穴径1110
3よりも外径φD7を小さくした注入口封止用のゴム製
の封止体を有し、前記封止体の頭部にはφD5の座ぐり
を有し、下部には曲面を有する構成である。
作 用
本発明は上記構成によって、座ぐり部に棒等を差し込ん
で封止体を注入口に挿入させるようにし、且つ、下部に
は曲面を有しているので、封止体を流動性充填材中に挿
入する時空気をかみに<<シ、かつ流動性充填材の圧縮
代を小さくできる。
で封止体を注入口に挿入させるようにし、且つ、下部に
は曲面を有しているので、封止体を流動性充填材中に挿
入する時空気をかみに<<シ、かつ流動性充填材の圧縮
代を小さくできる。
実施例
以下、本発明の実施例を第1図、第2図、第3図、第4
図、第5図、第6図に基づいて説明する。
図、第5図、第6図に基づいて説明する。
なお、従来技術と同一部分には同一符号を符して詳細な
説明は省略し、異なる細分を中心に説明する。
説明は省略し、異なる細分を中心に説明する。
また、第2図は第1図のダイヤフラム端部の要部拡大断
面図である。そして、第7図と異る点は、ダイヤフラム
15としては少なくとも金属層16と樹脂層17の2層
からなる多層構造のつまりラミネートフィルムによるダ
イヤフラムを用い、かつ素子支持体5の圧力伝達室6側
にその樹脂層17を配設し、その端部18を素子支持体
5にヒートシールして圧力伝達室6を密閉した点にある
。
面図である。そして、第7図と異る点は、ダイヤフラム
15としては少なくとも金属層16と樹脂層17の2層
からなる多層構造のつまりラミネートフィルムによるダ
イヤフラムを用い、かつ素子支持体5の圧力伝達室6側
にその樹脂層17を配設し、その端部18を素子支持体
5にヒートシールして圧力伝達室6を密閉した点にある
。
また19はセンサ取付台2から外部に水が洩れるのを防
止するためダイヤフラム15とセンサ取付台2の間に介
在した0リングである。そして第3図において、明らか
な如く素子支持体5には注入路13a側より径小部13
b、径大部13cの2段階径よりなり、かつ最外方に素
子支持体5の外面より一段低い座ぐり平面部25を有す
る充填材注入口13があり、その径はφD1<φo2<
φD3くφD4の関係となっており、充填材9は2点鎖
線20まで真空中で注入する。第3図は注入した後、大
気中に戻した状態を示しである。21は注入口13の封
止用のピン(封止体ともいう)であり、フッソゴム等か
らなっている。ピン21はその外径φD7を前記径小部
13bの内径φD2より大きく10%〜20%の圧縮代
をとっである。
止するためダイヤフラム15とセンサ取付台2の間に介
在した0リングである。そして第3図において、明らか
な如く素子支持体5には注入路13a側より径小部13
b、径大部13cの2段階径よりなり、かつ最外方に素
子支持体5の外面より一段低い座ぐり平面部25を有す
る充填材注入口13があり、その径はφD1<φo2<
φD3くφD4の関係となっており、充填材9は2点鎖
線20まで真空中で注入する。第3図は注入した後、大
気中に戻した状態を示しである。21は注入口13の封
止用のピン(封止体ともいう)であり、フッソゴム等か
らなっている。ピン21はその外径φD7を前記径小部
13bの内径φD2より大きく10%〜20%の圧縮代
をとっである。
第4図はピン21の詳細図であり、頭部21bにはφD
5の座ぐり部21mを有しているので、その径φD5よ
り小さい棒で前記注入口13にピン20を挿入し易くし
である。また頭部21bの外径φD6は前記注入口13
の径大部13aの内径φD3より小さくしてあり、且つ
、ピン21の下端にはR1の曲面を有しているので、ピ
ン21を前記注入口13の流動性の充填材9中に注入す
る時にピン21の曲面部R1に空気が付着しにくく且つ
、ピン21は注入口13の径大部13oの内径φD3中
を降下する時には、内径φD3>φD7のため充填材9
が過圧縮されないという利点がある。この充填材9の過
圧縮を少くするには、第3図の1寸法(径小部13bの
深さ)を限りなく小さくすれば良い。そして流動性充填
材9の過圧縮を少くすることは、圧力センサの温度特性
を改善するためには必要である。
5の座ぐり部21mを有しているので、その径φD5よ
り小さい棒で前記注入口13にピン20を挿入し易くし
である。また頭部21bの外径φD6は前記注入口13
の径大部13aの内径φD3より小さくしてあり、且つ
、ピン21の下端にはR1の曲面を有しているので、ピ
ン21を前記注入口13の流動性の充填材9中に注入す
る時にピン21の曲面部R1に空気が付着しにくく且つ
、ピン21は注入口13の径大部13oの内径φD3中
を降下する時には、内径φD3>φD7のため充填材9
が過圧縮されないという利点がある。この充填材9の過
圧縮を少くするには、第3図の1寸法(径小部13bの
深さ)を限りなく小さくすれば良い。そして流動性充填
材9の過圧縮を少くすることは、圧力センサの温度特性
を改善するためには必要である。
第5図はキヤ、ツブ22の詳細図であり、注入口13の
座ぐり平面部25に対向して裏面外周のφD9の部分に
α0キ90°でm中0.8mmのビード部24が全周に
設けである。このキャップ22を素子支持体5の注入口
13に超音波溶着するようにしである。超音波溶着の状
態は第6図に示すが、キャップ22の出代部22aのn
寸法によって、ピン21の移動を防止しである。
座ぐり平面部25に対向して裏面外周のφD9の部分に
α0キ90°でm中0.8mmのビード部24が全周に
設けである。このキャップ22を素子支持体5の注入口
13に超音波溶着するようにしである。超音波溶着の状
態は第6図に示すが、キャップ22の出代部22aのn
寸法によって、ピン21の移動を防止しである。
ここで、ピン21とキャップ22の取付力について説明
すると、まず流動性充填材9を注入路13mより圧力伝
達室6に真空中で注入し、その後、大気中でピン21を
注入口1aに封止した後さらに注入口13の座ぐり平面
部25にキャップ22をのせ、それから真空容器に圧力
センサを入れて、真空容器内を真空度を徐々に高くして
、空間23の空気を抜くようにする。前記空間23の空
気を抜くには、キャップ22の出代部22mの内径φD
9<注入口13の径大部13oの内径φD3とし、キャ
ップ22が2点鎖線の22′の位置に動くだけのクリア
ランスを有することによって、前記空間23の空気を効
果的に抜くことができる。
すると、まず流動性充填材9を注入路13mより圧力伝
達室6に真空中で注入し、その後、大気中でピン21を
注入口1aに封止した後さらに注入口13の座ぐり平面
部25にキャップ22をのせ、それから真空容器に圧力
センサを入れて、真空容器内を真空度を徐々に高くして
、空間23の空気を抜くようにする。前記空間23の空
気を抜くには、キャップ22の出代部22mの内径φD
9<注入口13の径大部13oの内径φD3とし、キャ
ップ22が2点鎖線の22′の位置に動くだけのクリア
ランスを有することによって、前記空間23の空気を効
果的に抜くことができる。
前記空間23中の空気が残っていると、空気がフッソゴ
ム製のピン21を通して空気が充填材9中に入り、圧力
伝達を疎外する要因となり好ましくない。
ム製のピン21を通して空気が充填材9中に入り、圧力
伝達を疎外する要因となり好ましくない。
このように空間23の空気を抜いたら、その後は真空中
で超音波溶着によりキャップ22のビード部24を溶か
し座ぐり平面部25に一体化して完了する。
で超音波溶着によりキャップ22のビード部24を溶か
し座ぐり平面部25に一体化して完了する。
発明の効果
以上のように、本発明の圧力センサは、素子支持体の圧
力伝達室へ充填する流動性充填材を注入する素子支持体
の注入口の穴径φD2よりも大きい外径φD7を有し、
前記注入口の第3の穴径φD3よりも外径φD7を小さ
くした注入口封止用のゴム製の封止体とからなり、前記
封止体の頭部にはφD5の座ぐり部を有し、下面には曲
面を持たせているので、下記の効果を有する。
力伝達室へ充填する流動性充填材を注入する素子支持体
の注入口の穴径φD2よりも大きい外径φD7を有し、
前記注入口の第3の穴径φD3よりも外径φD7を小さ
くした注入口封止用のゴム製の封止体とからなり、前記
封止体の頭部にはφD5の座ぐり部を有し、下面には曲
面を持たせているので、下記の効果を有する。
(1)樹脂性の素子支持体に形成した注入口にゴム製の
封止体を圧縮代10%〜20%で挿入しであるので、素
子支持体にメカニカルクラックを生じる大きな応力が加
わらない。
封止体を圧縮代10%〜20%で挿入しであるので、素
子支持体にメカニカルクラックを生じる大きな応力が加
わらない。
@)座ぐり部に棒をさし込んで、注入口に封止体を押し
込めるので挿入作業が容易にできる。
込めるので挿入作業が容易にできる。
(3)封止体の下面に曲面を持たせているので、封止体
の挿入時空気のかみこみがない。
の挿入時空気のかみこみがない。
4)流動性充填材は注入口の第3の穴径φD3の部分で
は過圧縮されないので圧力上昇がなく、過圧縮になるの
は注入口の第2の穴径1+102の部分のみであり、こ
の1寸法を小さくすればするほど充填材注入量が一定量
の過圧縮に押えることができる。
は過圧縮されないので圧力上昇がなく、過圧縮になるの
は注入口の第2の穴径1+102の部分のみであり、こ
の1寸法を小さくすればするほど充填材注入量が一定量
の過圧縮に押えることができる。
第1図は本発明の一実施例における圧力センサの断面図
、第2図は同センサダイヤフラム端部の拡大断面図、第
3図は同圧力センサの充填材注入部の詳細断面図、第4
図は同圧力センサのピンの詳細断面図、第5図は同セン
サのキャップの詳細断面図、第6図は同圧力センサのキ
ャップ溶着時の断面図、第7図は従来の圧力センサの断
面図、第8図は従来の圧力センサの充填材封印部の断面
図である。 3・・・・・・圧力検出素子、4・・・・・・圧力導入
口、5・・・・・・素子支持体、6・・・・・・圧力伝
達室、9・・・・・・流動性充填材、1:3・・・・・
・注入口、φD2・・・・・・注入口の第2の穴径、φ
D3・・・・・・注入口の第3の穴径、21・・・・・
・ピン(封止体)、22・・・・・・キャップ、φo7
・・・・・・ピンの外径、R1・・・・・・ピン下面の
曲面。 3−“−圧力検出素子 4−・−圧13弄スロ 汁・−票子支#体 6〜氏力伝fL宣 13a−−注入路 15−・ダイヤフラム 21・・−ピン 枢坦)r?! 補ヰi
: 1i1 1/) 、OL!2ミ5
りい〜 句 句 ( 第4図 21−ヒ° ン 第5図 ど1−−− ビ ソ n・・・キV−ツブ 四−空間 24− ビード部 25−s < リ−tcms 第6図 第7図 第8図
、第2図は同センサダイヤフラム端部の拡大断面図、第
3図は同圧力センサの充填材注入部の詳細断面図、第4
図は同圧力センサのピンの詳細断面図、第5図は同セン
サのキャップの詳細断面図、第6図は同圧力センサのキ
ャップ溶着時の断面図、第7図は従来の圧力センサの断
面図、第8図は従来の圧力センサの充填材封印部の断面
図である。 3・・・・・・圧力検出素子、4・・・・・・圧力導入
口、5・・・・・・素子支持体、6・・・・・・圧力伝
達室、9・・・・・・流動性充填材、1:3・・・・・
・注入口、φD2・・・・・・注入口の第2の穴径、φ
D3・・・・・・注入口の第3の穴径、21・・・・・
・ピン(封止体)、22・・・・・・キャップ、φo7
・・・・・・ピンの外径、R1・・・・・・ピン下面の
曲面。 3−“−圧力検出素子 4−・−圧13弄スロ 汁・−票子支#体 6〜氏力伝fL宣 13a−−注入路 15−・ダイヤフラム 21・・−ピン 枢坦)r?! 補ヰi
: 1i1 1/) 、OL!2ミ5
りい〜 句 句 ( 第4図 21−ヒ° ン 第5図 ど1−−− ビ ソ n・・・キV−ツブ 四−空間 24− ビード部 25−s < リ−tcms 第6図 第7図 第8図
Claims (1)
- 圧力導入口を有する圧力検出素子と、前記圧力導入口に
連通した圧力伝達室を形成する圧力伝達膜を設け、かつ
、この圧力伝達室へ充填する流動性充填材を注入する注
入口を有する樹脂製の素子支持体と、少くとも3段階の
異なる穴径を有する前記注入口の第2の穴径φD_2よ
りも大きい外径φD_7を有し、前記注入口の第3の穴
径φD_3よりも外径φD_7を小さくした注入口封止
用のゴム製の封止体とからなり、前記封止体の頭部には
φD_5の座ぐり部を有し、下部には曲面を有する圧力
センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12642488A JPH01296121A (ja) | 1988-05-24 | 1988-05-24 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12642488A JPH01296121A (ja) | 1988-05-24 | 1988-05-24 | 圧力センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01296121A true JPH01296121A (ja) | 1989-11-29 |
Family
ID=14934834
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12642488A Pending JPH01296121A (ja) | 1988-05-24 | 1988-05-24 | 圧力センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01296121A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014517923A (ja) * | 2011-05-30 | 2014-07-24 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 圧力センサおよび圧力センサの製造方法 |
-
1988
- 1988-05-24 JP JP12642488A patent/JPH01296121A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014517923A (ja) * | 2011-05-30 | 2014-07-24 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 圧力センサおよび圧力センサの製造方法 |
US9625336B2 (en) | 2011-05-30 | 2017-04-18 | Epcos Ag | Pressure sensor and method for producing a pressure sensor |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR930011091B1 (ko) | 압력 센서 | |
JP4320963B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP5292687B2 (ja) | 圧力センサ | |
US20100255723A1 (en) | Electric Plug Having Sealed-Off Metal Insert Parts | |
JPH01296121A (ja) | 圧力センサ | |
JP6903510B2 (ja) | タイヤ空気圧検知装置 | |
JP3892065B2 (ja) | センサ装置及びセンサチップの固着方法 | |
JPH01296122A (ja) | 圧力センサ | |
JP2003004754A (ja) | 回転検出センサ | |
JPH01296123A (ja) | 圧力センサ | |
JPH01311234A (ja) | 圧力センサ | |
JP2689489B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2008241327A (ja) | 圧力センサ | |
JP2009047533A (ja) | 圧力センサ | |
KR20020065583A (ko) | 압력 센서 모듈 | |
JPH04215026A (ja) | 水圧センサの製造方法 | |
JP2568666B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP3835317B2 (ja) | 圧力センサ | |
JPH0288922A (ja) | 圧力センサ | |
JPS6054845B2 (ja) | トランスファ−モ−ルド装置 | |
JP2583968B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2008111859A (ja) | 半導体圧力センサ装置 | |
JPH0198936A (ja) | 圧力センサ | |
JP2005351842A (ja) | 圧力センサ | |
JPH02170030A (ja) | 圧力センサ |