JPH01289910A - 光ビーム分割方法及び光ビーム分割変調方法 - Google Patents

光ビーム分割方法及び光ビーム分割変調方法

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JPH01289910A
JPH01289910A JP63120169A JP12016988A JPH01289910A JP H01289910 A JPH01289910 A JP H01289910A JP 63120169 A JP63120169 A JP 63120169A JP 12016988 A JP12016988 A JP 12016988A JP H01289910 A JPH01289910 A JP H01289910A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、例えば、原画を光電操作して得た画像信号に
よって、記録側の露光手段を制御して、記録材料上に網
目版複製画像を記録する場合、特に、複数本のビームを
画像信号に基いてそれぞれ独立に変調することにより網
目版画像を記録する際に必要な光ビーム分割方法及び光
ビーム分割変調方法に関する。
［従来技術］ 従来、−列に並ぶ多数本の光ビームを画像信号に基いて
独立変調するようにして記録材料上に相対的に走査して
網目版画像を記録することが行われているが、多くの場
合、該多数本の光ビームは、多数の全反射ミラーと半反
射ミラーを配設して、これらにアルゴンレーザから発振
する一本のレーザビームを反射させて分割される。各光
ビームは、多チャンネル形超音波変調器によってそれぞ
れ独立に変調され、結晶光学系で小さく絞り、記録材料
上に照射される。
［発明が解決しようとする課題］ 超音波変調器における変調に少々のクロストーク現象が
生しることを許容する場合には、例えば、カラスビーム
のビーム径を　１．２ｍｍφとすれば、音波電極の間隔
及びビー１、の間隔は１．１ｍｍとされ、音波電極は　
１．２ｍｍφとされ、かつ、変調器の側面にジグザグな
１列状に配設される。そして、超音波変調器のすぐ後で
結晶光学系によって小さく絞られて、記録材料上に照射
される。
しかし、−木の光ビームの変調により両隣りの光ビーム
に対しクロストーク現象が生じないようにするためには
、超音波変調器を通過するカラスビームのビーム径（記
録材料の露光に有効な強度分布のビーム径）は、重なら
ないように離れていることが要求される。例えば、カラ
スビームのビーム径を　１．２ｍｍφとすれば、音波電
極は　１．５ｍｍφとされ、音波電極の間隔及びビーム
の間隔は２．０ｍｍとされる。こうして、間隔が離れて
一列に並ぶ多数本の光ビームは、隣り合う光ビーム同士
が若干型なるように光ファイバー等を用いて間隔を接近
され結晶光学系によって小さく絞られて、記録材料上に
照射される。
この場合、超音波変調器で各ビーム毎の独立変調される
光ビームは、直ちに、結晶光学系で小さく絞って記憶材
料に露光することはできず、互いに隣接する光ビームの
カラス径の円が若干の重なりをもって連鎖するように光
ファイバーまたはミラー群を用いてビーム間隔を狭める
必要があり、その後に、結晶光学系で小さく絞り、記録
材料」二に照射させている。これは、−列に並ぶ多数本
の光ビームが、連鎖状態に重ならずに離れていると、記
録材料」二に作られるドツトの列がつながらないものと
なり、これでは、多数本の光ビームを画像信号に基いて
独立変調しても記録材料上に種々の大きさの網目画像の
形成が不可能となる。
反対に、隣り合う光ビームの重なりが大き過ぎると、前
述したように、後置き設置される多チャンネル形超音波
変調器で各ビーム毎の独立変調に際してクロストーク現
象が生しる。すなわち、音波電極が、それぞれ対応する
光ビームをドライブするだけでなく、両隣りの光ビーム
もドライブしてしまうことになる。
しかるに、日本特許公開昭和５２年第１２２１３５号の
光ビーム分割器を使用する場合には、超音波変調器にお
ける変調に少々のクロストーク現象が生じることを許容
しなければならない。もしも、許容したくなければ、超
音波変調器に対し、光ファイバー等を後置きして間隔が
離れた光ビームを若干型ならせるようにしてから、結晶
光学系によって小さく絞って、記録材料上に照射させる
必要があり、スペースを多く取ることになる。
これに対し、日本特許公開昭和５８年第１０７１３号の
光ビーム分割器を使用する場合には、該光ビーム分割器
によって間隔を開けて分割された一列状に多数本の光ビ
ームを、多チャンネル形超音波変調器で各ビーム毎に独
立変調した後、直ちに、結晶光学系で小さく絞って記憶
材料に露光することができるので、日本特許公開昭和５
２年第１２２１３５号に比べて優れている。これは、前
述したように、複数本の光ビームが光ビーム分割器から
離れるに従いビーム間隔を漸次接近していくようになっ
ているからである。しかしながら、多数本の光ビームを
多チャンネル形超音波変調器で各ビーム毎に独立変調す
る際に問題点が残されている。すなわち、多数本の光ビ
ームは、平行でないために、変調器の変調効率が低下す
るとともに、漏れ光が生ずる場合があり、さらに変調器
の音波電極の形成も難しい。また、該光ビーム分割器の
両面の交差角及び厚さを所定の数値に超高精度に保つこ
とは難かしく、該光ビーム分割器の製作は、困難を極め
ることとなる。該光ビーム分割器の両面の交差角及び厚
さが僅かでも異なれば、多数本の光ビームの集光距離は
大きく異なることになり、該光ビーム分割器と変調器と
の設置間隔、及び変調器と結晶光学系変調器との設置間
隔は、装置毎に異なることが避けられない。
さらにまた、日本特許公開昭和５２年第１２２１３５号
の光ビーム分割器と、日本特許公開昭和５８年第１０７
１３号の光ビーム分割器は、いずれも、１木の光ビーム
を２０本前後に分割するのが実用的な限界とされている
。それ以上分割数を大きくして解像度を上げることはで
きない。分割数を２０前後よりも大きくすると、変調器
結晶内に熱が籠り耐熱性、耐久性を欠く虞れが出てくる
。また、日本特許公開昭和５２年第１２２１３５号の光
ビーム分割器では、分割数を大きくすると、光学結晶系
を大きくしなければならない。
本発明は、多数本の光ビームを一列に平行して入射させ
てそれぞれ二本に分割することができ、かつ、多チャン
ネル超音波変調器においてクロストーク現象が生ずるこ
となく各党ビームを独立変調させることができ、しかも
、光ビーム分割器に対して後置きされる多チャンネル超
音波変調器及び光学結晶系を従来より大きくする必要は
なく、また多チャンネル超音波変調器と光学結晶系との
間にミラー群や光ファイバー酸けなくて済む小型で簡素
、組付調整が簡単な光ビーム分割方法及び光ビーム分割
変調方法を提供することを目的としている。
［課題を解決するための手段］ 本願第一発明の光ビーム分割方法は、 厚さが高精度に均一な所要枚数ｎの透明平行板ＰＬ、Ｐ
２．Ｐ３．・ａ　Ｐｎ−１，Ｐｎが重ねられ、これら透
明平行板の中、光ビームＬＯの入射側より見て一番背後
の透明平行板Ｐｒ＋の背面には全反射膜Ｍｎがコーティ
ングされ、また他の全ての透明平行板Ｐ１、Ｐ２．Ｐ３
．＊　＊　Ｐｎ−１の背面には、透明平行板の枚数ｎに
関係して前側のものから順にそれぞれ反射率が１　／　
ｎ　、　１　／　（ｎ−１）、　１　／　（ｎ−２）。
１／（ｎ−３）、・・−１／４．１／３．１／２という
ような数列で次第に大きくなるように異なる半反射Ｍ　
Ｍ　１．Ｍ２．Ｍ３．　・・Ｍｎ−２，Ｍｒ＋−１がコ
ーティングされ、かつ、全反射膜Ｍｎと半反射ｆｉＭ１
．Ｍ２゜Ｍ３．・・Ｍｎ−１のコーティング領域が、透
明平行板Ｐ１〜Ｐｎの内部を斜目に進行する光ビームＬ
Ｏが照射される斜目配列に位置させてなる第一の光ビー
ム分割器８に対し、 該光ビームＬＯを照射させ、該光ビームＬＱを各半反射
膜Ｍ１、Ｍ２．Ｍ３．・赤Ｍｎ−１において一部反射さ
せるとともに、全反射膜Ｍｎにおいて余尺射させること
により光度が均等で透明平行板の数と同じ本数ｎの分光
ビームＬ１、Ｌ２．Ｌ３．・・Ｌ　ｎ−１，Ｌ　ｎとし
て、各分光ビームが前方の半反射膜に突当ることなく最
初入射してきた光ビームの側へ一列状に平行に出射させ
、 次いで、光伝達材料９ａの一方の面に部分的に帯状にコ
ーティングされた全反射膜９ｂを有し。
また他方の平行な面に部分的に帯状にコーティングされ
た反射率が５０％の反射膜９ｃを有し、前記第一の光ビ
ーム分割器８でビーム分割された分割ビームの光軸に対
して全反射膜９ｂがコーティングされた面が二次元方向
に所要領いた光ビーム分割器９に対して入射させること
により、該半反射膜９ｃより入射ビームの５０％の強度
の分割ビームの列Ｌａを一列状に平行に分割出射させる
とともに、残りの５０％の強度の分割ビームＬｂを該半
反射膜９ａにおける内部反射と全反射膜９ｂにおける全
反射を経て、再び該半反射膜９ｃがコーティングされた
側の面より該半反射膜９ｃを寄けて一列状に平行に出射
させ、かつ、前記分割ビームの列Ｌｂに対して所要間隔
離れ、かつ、ほぼ半ピッチずれるようにすることを特徴
と厚さが高精度に均一な所要枚数ｎの透明平行板Ｐ１、
Ｐ２．Ｐ３．＊　ｅ　Ｐｎ−１，Ｐｎが重ねられ、これ
ら透明平行板の中、光ビームＬＯの入射側より見て一番
背後の透明平行板Ｐｎの背面には全反射膜Ｍｎがコーテ
ィングされ、また他の全ての透明平行板Ｐ１、Ｐ２．Ｐ
３．＊　ａ　Ｐｎ−１の背面には、透明平行板の枚数ｎ
に関係して前側のものから順にそれぞれ反射率が１　／
　ｎ　、　１．／　（ｎ−１）、　１　／　（ｎ−２）
。
１／（ｎ−３）、・Φ・１／４　、１／３　、１　／２
というような数列で次第に大きくなるように異なる半反
射膜Ｍ１、Ｍ２．Ｍ３．＊　ａ　Ｍｎ−２，Ｍｎ−１が
コーティングされ、かつ、全反射膜Ｍｎと半反射膜Ｍ１
、Ｍ２゜Ｍ３．・・Ｍｎ−１のコーティング領域が、透
明平行板Ｐ１〜Ｐｎの内部を斜目に進行する光ビームＬ
Ｏが照射される斜目配列に位置させてなる第一の光ビー
ム分割器８に対し、 該光ビームＬＯを照射させ、該光ビームＬＯを各半反射
膜Ｍ　１、Ｍ２．Ｍ３．・・Ｍｎ−１において一部反射
させるとともに、全反射膜Ｍｎにおいて全反射させるこ
とにより光度が均等で透明平行板の数と同じ本数ｎの分
光ビームＬ１、Ｌ２．Ｌ３．・・Ｌｎ−１，Ｌｎとして
、各分光ビームが前方の半反射膜に突当ることなく最初
入射してきた光ビームの側へ一列状に平行に出射させ、 次いで、光伝達材料９ａの一方の面に部分的に帯状にコ
ーティングされた全反射膜９ｂを有し、また他方の平行
な面に部分的に帯状にコーティングされた反射率が５０
％の反射膜９ｃを有し、前記第一の光ビーム分割器８で
ビーム分割された分割ビームの光軸に対して全反射膜９
ｂがコーティング之れだ面が二次元方向に所要傾いた光
ビーム分割器９に対して入射させることにより、該半反
射膜９ｃより入用ビームの５０％の強度の分割ビームの
列Ｌａを一列状に平行に分割出射させるとともに、残り
の５０％の強度の分割ビームＬｂを該半反射膜９ａにお
ける内部反射と企及用膜９ｂにおける全反射を経て、再
び該半反射膜９ｃがコーティングされた側の面より該半
反射膜９ｃを寄けて一列状に平行に、かつ、前記分割ビ
ームの列Ｌｂに対して所要間隔離れ、かつ、ほぼ半ピッ
チずれるように出射させ、 続いて、各光ビームに対して直角に位置して光ビームを
独立変調する音波電極が、光ビームの本数及びピッチに
対応して備えられた二個の多チャンネル超音波変調器を
、音波電極が外側に来るようにして近接して並設し、一
方の超音波変調器に、前記反射率が５０％の半反射膜よ
り出射する５０％の強度の光ビームの列を通過させると
ともに、他方の多チャンネル超音波変調器に、前記コー
ティングされていない部分より出射する５０％の強度の
光ビームの列を通過させ、画像信号に基いてこれら光ビ
ームの一本一木を独立変調し、かつ、一方の列の光ビー
ムは遅延処理をかけて変調することを特徴とするもので
ある。
［実施例・・φ第１図ないし第５図１ この実施例は、木願第−及び第二発明に共通するもので
、感光膜を塗布したグラビア製版ロールに、アルゴンレ
ーザを一列八木に分割しさらに二列十六木に分割した光
ビームとし、これら光ビームを網目版画像信号に基いて
それぞれ独立に変調してかつ一方の光ビーム列は位相ず
れに対応した遅延をかけて信号を送り、結晶光学系でビ
ームを絞り、回転する感光膜を塗布したグラビア製版ロ
ールに対して露光し、かつ面長方向に走査移動するダイ
レクトｘ光装置を示す。
符合１は製版ロールであり、一対の回転チャックによっ
て両端チャックされて高速回転される。
符合２はＸテーブルであり、製版ロール１の面長方向に
該製版ロール１の回転に対応して移動自在である。符合
３はＹテーブルであり、Ｘテーブル２」二に設けられ制
御モータ４によって製版ロール１に対して接近及び離隔
移動自在である。
この装置は、図示されていない固定設置されたアルゴン
レーザの光ビーム（レーザ光線）を、Ｘテーブル２上に
設けられた全反射ミラー５と、Ｙテーブル３上に設けら
れた全反射ミラー６．７によって１ｍ曲し、Ｙテーブル
３上に設けられた第一の光ビーム分割器８に導き、該第
−の光ビーム分割器８により水平面上に平行に並ぶ八木
の光ビームに分割し、さらに、Ｙテーブル３上に設けら
れた第二の光ビーム分割器９により一列が八木で、互い
に半ピッチずれた一列状の十六木の光ビームに分割し、
次いで、上下二段重ねのバチャンネル形超音波変調器１
０．１１において網目版画像信号に基いてそれぞれ独立
して変調制御し、結晶光学系１２で小さなビーム径に絞
り、かつオートフォーカスレンズ１２ａで感光膜がコー
ティングされた製版ロール１にブ、１３点を合わせ、Ｘ
テーブル２の移動に従い走査露光するものである。
本願第一発明の光ビーム分割方法は、光ビーム分割器８
を用いて一木の光ビームを一列状の複数本に分割し、次
いで、光ビーム分割器９を用いて該−列状の分割ビーム
をそれぞれ二本に分割し、かつ、互いに半ピンチずれた
一列状に分割する貨、について特定したものであり、 本願第二発明の光ビーム分割変調方法は、」−記第−発
明の光ビーム分割方法に加えて、一列状の分割ビームを
列を分けて多チャンネル形超音波変調器１０．１１に導
き、各光ビームを独立して変調制御し、一方の列を遅延
変調させて記録対象物に連鎖状に一列状となるように変
調する点について発明として特定したものである。
光ビーム分割器８は、厚さが高精度に均一な所要枚数ｎ
の透明平行板Ｐ１、Ｐ２．Ｐ３．・・Ｐｎ−１゜Ｐｎが
重ねられ、これら透明平行板の中、光ビームＬＯの入射
側より見て一番背後の透明平行板Ｐｎの背面には全反射
膜Ｍｎがコーティングされ、また他の全その透明平行板
Ｐ１、Ｐ２．Ｐ３．・・Ｐｎ−１の背面には、透明平行
板の枚数ｎに関係して前側のものから順にそれぞれ反射
率が１／ｎ。
１　／　（ｎ”１）、　１　／　（ｎ−２’）、　１’
／（ｎ−３）、’　・−１／　４　。
１／３．１／２というような数列で次第に大きくなるよ
うに異なる半反射膜Ｍ１、Ｍ２．Ｍ３．・・Ｍ　ｎ−２
、Ｍ　ｎ−１がコーティングされ、これらコーティング
された全反射膜Ｍｎと半反射膜Ｍｒ、Ｍ２゜Ｍ３．・・
Ｍｎ−１のコーティング領域が、透明平行板Ｐ１〜Ｐｎ
の内部を斜目に進行する光ビームＬＯが照射される斜目
配列に位置され、かつ、該光ビームＬＯが各半反射膜Ｍ
１、Ｍ２．Ｍ３．・・Ｍｎ−１での一部反射と全反射膜
Ｍｎでの全反射により光度が均等で透明平行板の数と同
じ本数ｎの分光ビームＬＬ、Ｌ２．Ｌ３．’ａ　ａ　Ｌ
ｎ１、Ｌｎとなり。
各分光ビームが前方の半反射膜に突当ることなく最初入
射してきた光ビームの側へ平行に出射するようになって
いる。
光ビー肩分割器８は、第２図に示すように、ｎ枚の透明
平行板Ｐ１、Ｐ２．Ｐ３．＊　ａ　Ｐｎ−１，Ｐｎを有
してなり、これらは、単一の透明平行基板Ｐをｎ枚に分
割して重ねることにより超精密に厚さが均一とされてい
る。そして、ｎ枚に分割される前に、半反射膜Ｍ１、Ｍ
２．Ｍ３．・・Ｍｎ−２，Ｍｎ−１及び全反射膜Ｍｎが
コーティングされる。図示例では、半反射膜Ｍ１〜Ｍｎ
−１の数は７個であり、半反射膜Ｍｌは１／８の反射率
（−７７８の透過率）、半反射膜Ｍ２は１／８の反射率
（−７／８の透過率）、半反射膜Ｍ３はｌ／７の反射率
（＝６／７の透過率）、・・・拳半反射膜Ｍｎ−２は１
／３の反射率（＝　２７３の透過率）、半反射ＩＩＩ　
Ｍ　ｎはｌ／２の反射率（＝１’／’２の透過率）とさ
れている。このため、第１図（ａ）に示す本数ｎの分光
ビームＬ１、Ｌ２．Ｌ３．＊　＊　Ｌｎ−１，Ｌｎは、
いずれも光ビームＬＯのｎ等分の−の光量となる。。
この実施例では、半反射膜Ｍ１〜Ｍｎ−１は、矩形であ
り、次第に微小寸法ｇずつ大きくなるように階段状にコ
ーティングされている。しかし、半反射膜Ｍ　１−　Ｍ
　ｎ−１がいずれも直径が等しく、かつ、小さくとも光
ビームＬＯのビーム径よりも大きい円形にコーティング
されている。この微小寸法ｇは、第１図に示す微小寸法
りの１／２とされている。
該光ビーム分割器９は、第３図に示すように、入射する
八木の光ビームと直交する面に関して比較的大きな角度
β（例えば、４５°）傾いて設けられてい−る。そして
、該光ビーム分割器９は、光伝達材料９ａの一方の面に
部分的に帯状にコーティングされた全反射膜９ｂがあり
、光ビーム分割器８により分割された八木の光ビームは
、それぞれ全反射膜９ｂの下側に入射するようになって
おり、また光伝達材料９ａの他方の面は、全反射膜９ｂ
がコーティングされた面と平行していて部分的に帯状に
コーティングされた反射率が５０％の半反射膜９ｃがあ
り、該反射率が５０％の半反射膜９ｃが、光伝達材料９
ａに対して前記全反射膜９ｂの下側に入射し内部を進ん
でくる八木の光の半分の光量を透過させるととも残り半
分の光量を前記全反射Ｍ９ｂへ向うように反射させる。
光伝達材料９ａの内部を全反射膜９ｂへ向う光ビームは
、該全反射膜９ｂにより反射され、反対側の面の反射率
が５０％の半反射膜９ｃの上側を透過する。
しかして、光ビーム分割器９は、八木の光ビームを全反
射膜９ｂの下側に入射させてそれぞれ各ビームを光量が
５０％ずつとなるように上下に二分割して反射率が５０
％の半反射膜９ｃより八木の光ビームを出射させるとと
もに、反射率が５０％の半反射膜９ｃの上より八木の光
ビームを出射させる。
光ビーム分割器９は、第１図に示すように、入射する八
木の光ビームの列に沿った方向に小さな角度γを有して
傾斜設置される。このため、光ビーム分割器９より出射
する上段列の（反射率が５０％の半反射膜９ｃの上より
出射する）八木の光ビームの出射位置は、内部反射を経
るので、下段列の（反射率が５０％の半反射膜９ｃより
出射する）八木の光ビームよりも大きく横方向へずれる
。そこで、前記角度γを微調整して、光ビーム分割器９
より出射する上段列の八木の光ビームの出射位置を、下
段列の八木の光ビームの出射位置に対して半ピッチ大き
く横方向へずらす。
光ビーム分割器９で十六木に分割された均等な光量の光
ビームは、例えば、１．０ｍｍの隙間を開けて」−下二
段重ねとしたハチャンネル形超音波変調器１０．１１に
入射する。上側の変調器１０ｔ−４：、光ビーム分割器
９より出射する上段列の八木の光ビームを入射し、下側
の変調器１１は、下段列の八木の光ビームを入射する。
変調器１０の上面に、各光ビームを独立に変調するため
の超音波を発振する音波電極１０ａ〜Ｌｏｇが設けられ
、また、変調器１１の下面に、各光ビームを独立に変調
するための超音波を発振する音波電極１１ａ〜１１ｇが
設けられている。これら音波電極１０ａ〜Ｌｏｇ、ｌｌ
ａ〜ｌ１ｇは、変調器を透過する光ビームに対して直角
方向の側面に、各光ビームに垂直に位置して設けられ、
画像信号に基いて各党ビームを独立に変調する。光ビー
ムのビーム径と音波電極の大きさと電極間隔の相対的関
係は、例えば、ビーム径は０．８ｍｍ　、音波電極の大
きさはり、Ｏｍｍ　、電極間隔は１．５■である。
上側の変調器１０を透過する八木の光ビームと、下側の
変調器１１を透過する八木の光ビームは、記録材料であ
るグラビア製版ロール１に対して位相がずれている。こ
のため、グラビア製版ロール１が矢印の方向に回転する
場合には、下側の変調器１１の音波電極１１ａ〜ｌ１ｇ
に必要な遅延処理をかけた変調信号を送る。これにより
、第５図に示すように、上側の変調器１０により先に変
調制御された八本の光ビームにより、グラビア製版ロー
ル１に一列状に間隔が聞いた八個のドラ）　１３ａ〜１
３ｇを先に露光し、次いで、グラビア製版ロール１が位
相ずれ分だけ回転した超瞬間に、下側の変調器１０によ
り変調制御された八木の光ビームにより、グラビア製版
ロール１に一列状に間隔が開いた八個のドラ）　１４ａ
〜１４ｇを露光すると、これらドツト１４ａ〜１４ｇは
、先に露光されたドラ）１３ａ〜１３ｇに対して半ピッ
チずつずれて一列に重なることになる。そこで、これら
音波電極１０ａ〜１０ｇ。
１１ａ〜ｌ１ｇに、画像信号に基いた変調信号を送るよ
うにし、かつ、音波電極１１ａ−ｆｉｇには位相ずれに
対応して変調信号を送るタイミングを遅延させるように
すれば、グラビア製版ロールｌには網画像を露光できる
。
［発明の効果］ 以上説明してきたように、本願発明の光ビーム分割方法
及び光ビーム分割変調方法によれば以下の効果を有する
。
■二つの光ビーム分割器を用いることにより一木の光ビ
ームをビーム同士が重ならないように一列状に、かつ１
列が互いに半ピッチずれた状態となる多数本の分割ビー
ムを７することかできる。そして、二段重ねの多チャン
ネル超音波変調器に導いて変調し、かつ一方の列は遅延
変調するので、クロストーク現象が生じないように各分
割ビームを独立に変調させることができ、画像処理が良
好にできる。
■多チャンネル超音波変調器が二段積みなので、該多チ
ャンネル超音波変調器及び光学結晶系を従来とほぼ同じ
大きさに保ちつつ、変調し得る分割ビーム本数を従来の
倍にすることかできる。このため、記録対象物」−のド
ツトの大きさを小さくできて、解像度を著しく鮮明に向
上ｙせることができるとともに、画像出力時間をほぼ半
減できる。
■多チャンネル超音波変調器の二列の音波電極の中、一
方の列について遅延変調することにより二列のビームを
連鎖状に一列にするので、多チャンネル超音波変調器と
光学結晶系との間にミラー群や光ファイバー酸けなくて
済み、小型で簡素、組付調整が簡単である。
【図面の簡単な説明】
図面は、本願節−及び第二発明の光ビーム分割方法及び
光ビーム分割変調方法に共通する実施例として示す、グ
ラビア製版ロール用ダイレクトレーザー露光装置に係り
、第１図は平面図、第２図は、第一段のビーム分割を行
う光ビーム分割器の製作に用いられるマルチコーティン
グプレートの裏面図である。第３図は第１図中の矢印■
より見た矢視図、第４図は第１図中の矢印ＩＴ−ＩＶよ
り見た矢視図である。第５図は、二列十六本の光ビーム
が記録材料上に一列状に露光される状態を示す記録面の
光ビームドツトの配列状態図である。 ■＠・・製版ロール、 ２１・Ｘテーブル、 ３◆争・Ｙテーブル、 ４−・・制御モータ、 ５．６．７・・・全反射ミラー、 ８・・・光ビーム分割器、 ９・・・光ビーム分割器、 ９ａ−Φ・光伝達材料、 ９ｂ−・・全反射膜、 ９ｃ・・・反射率が５０％の半反射膜、１０．１１−・
・バチャンネル形超音波変調器、１０ａ　〜Ｌｏｇ、ｌ
ｌａ−１１ｇ・・音波電極、１２・・・結晶光学系、 １２ａΦ・・オートフォーカスレンズ、１３ａ　〜１３
ｇ、１４ａ−１４ｇ−・・光ビームの記録面上の露光ド
ツト、 Ｐ１、Ｐ２．Ｐ３．＊　＊　Ｐｎ−１，Ｐｎ　ｍ　壷＊
透明平行板、Ｐ−拳・透明平行基板、 Ｍ１、Ｍ２．Ｍ３．＊　＊　Ｍｎ−２，Ｍｎ−１ａ　ｍ
　ｍ半反射膜、Ｍｎ　・・・全反射膜、 Ｌ１、Ｌ２．Ｌ３．ｓ　＊　Ｌｎ−１，Ｌｎ　６６６分
光ビーム、第４図 第５図 １３ｋ　１３λ　１３．　１３に 昭和６３年１１月４日

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）厚さが高精度に均一な所要枚数ｎの透明平行板Ｐ
    １、Ｐ２、Ｐ３、・・Ｐｎ−１、Ｐｎが重ねられ、これ
    ら透明平行板の中、光ビームＬ０の入射側より見て一番
    背後の透明平行板Ｐｎの背面には全反射膜Ｍｎがコーテ
    ィングされ、また他の全ての透明平行板Ｐ１、Ｐ２、Ｐ
    ３、・・Ｐｎ−１の背面には、透明平行板の枚数ｎに関
    係して前側のものから順にそれぞれ反射率が１／ｎ、１
    ／（ｎ−１）、１／（ｎ−２）、１／（ｎ−３）、・・
    ・１／４、１／３、１／２というような数列で次第に大
    きくなるように異なる半反射膜Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３、・・
    Ｍｎ−２、Ｍｎ−１がコーティングされ、かつ、全反射
    膜Ｍｎと半反射膜Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３、・・Ｍｎ−１のコ
    ーティング領域が、透明平行板Ｐ１〜Ｐｎの内部を斜目
    に進行する光ビームＬ０が照射される斜目配列に位置さ
    せてなる第一の光ビーム分割器８に対し、 該光ビームＬ０を照射させ、該光ビームＬ０を各半反射
    膜Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３、・・Ｍｎ−１において一部反射さ
    せるとともに、全反射膜Ｍｎにおいて全反射させること
    により光度が均等で透明平行板の数と同じ本数ｎの分光
    ビームＬ１、Ｌ２、Ｌ３、・・Ｌｎ−１、Ｌｎとして、
    各分光ビームが前方の半反射膜に突当ることなく最初入
    射してきた光ビームの側へ一列状に平行に出射させ、 次いで、光伝達材料９ａの一方の面に部分的に帯状にコ
    ーティングされた全反射膜９ｂを有し、また他方の平行
    な面に部分的に帯状にコーティングされた反射率が５０
    ％の反射膜９ｃを有し、前記第一の光ビーム分割器８で
    ビーム分割された分割ビームの光軸に対して全反射膜９
    ｂがコーティングされた面が二次元方向に所要傾いた光
    ビーム分割器９に対して入射させることにより、 該半反射膜９ｃより入射ビームの５０％の強度の分割ビ
    ームの列Ｌａを一列状に平行に分割出射させるとともに
    、残りの５０％の強度の分割ビームＬｂを該半反射膜９
    ａにおける内部反射と全反射膜９ｂにおける全反射を経
    て、再び該半反射膜９ｃがコーティングされた側の面よ
    り該半反射膜９ｃを寄けて一列状に平行に、かつ、前記
    分割ビームの列Ｌｂに対して所要間隔離れ、かつ、ほぼ
    半ピッチずれるように出射させることを特徴とする光ビ
    ーム分割方法。
  2. （２）厚さが高精度に均一な所要枚数ｎの透明平行板Ｐ
    １、Ｐ２、Ｐ３、・・Ｐｎ−１、Ｐｎが重ねられ、これ
    ら透明平行板の中、光ビームＬ０の入射側より見て一番
    背後の透明平行板Ｐｎの背面には全反射膜Ｍｎがコーテ
    ィングされ、また他の全ての透明平行板Ｐ１、Ｐ２、Ｐ
    ３、・・Ｐｎ−１の背面には、透明平行板の枚数ｎに関
    係して前側のものから順にそれぞれ反射率が１／ｎ、１
    ／（ｎ−１）、１／（ｎ−２）、１／（ｎ−３）、・・
    ・１／４、１／３、１／２というような数列で次第に大
    きくなるように異なる半反射膜Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３、・・
    Ｍｎ−２、Ｍｎ−１がコーティングされ、かつ、全反射
    膜Ｍｎと半反射膜Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３、・・Ｍｎ−１のコ
    ーティング領域が、透明平行板Ｐ１〜Ｐｎの内部を斜目
    に進行する光ビームＬ０が照射される斜目配列に位置さ
    せてなる第一の光ビーム分割器８に対し、 該光ビームＬ０を照射させ、該光ビームＬ０を各半反射
    膜Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３、・・Ｍｎ−１において一部反射さ
    せるとともに、全反射膜Ｍｎにおいて全反射させること
    により光度が均等で透明平行板の数と同じ本数ｎの分光
    ビームＬ１、Ｌ２、Ｌ３、・・Ｌｎ−１、Ｌｎとして、
    各分光ビームが前方の半反射膜に突当ることなく最初入
    射してきた光ビームの側へ一列状に平行に出射させ、 次いで、光伝達材料９ａの一方の面に部分的に帯状にコ
    ーティングされた全反射膜９ｂを有し、また他方の平行
    な面に部分的に帯状にコーティングされた反射率が５０
    ％の反射膜９ｃを有し、前記第一の光ビーム分割器８で
    ビーム分割された分割ビームの光軸に対して全反射膜９
    ｂがコーティングされた面が二次元方向に所要傾いた光
    ビーム分割器９に対して入射させることにより、 該半反射膜９ｃより入射ビームの５０％の強度の分割ビ
    ームの列Ｌａを一列状に平行に分割出射させるとともに
    、残りの５０％の強度の分割ビームＬｂを該半反射膜９
    ａにおける内部反射と全反射膜９ｂにおける全反射を経
    て、再び該半反射膜９ｃがコーティングされた側の面よ
    り該半反射膜９ｃを寄けて一列状に平行に前記分割ビー
    ムの列Ｌｂに対して所要間隔離れ、かつ、ほぼ半ピッチ
    ずれるように出射させ、 続いて、各光ビームに対して直角に位置して光ビームを
    独立変調する音波電極が、光ビームの本数及びピッチに
    対応して備えられた二個の多チャンネル超音波変調器を
    、音波電極が外側に来るようにして近接して並設し、一
    方の超音波変調器に、前記反射率が５０％の半反射膜よ
    り出射する５０％の強度の光ビームの列を通過させると
    ともに、他方の多チャンネル超音波変調器に、前記コー
    ティングされていない部分より出射する５０％の強度の
    光ビームの列を通過させ、画像信号に基いてこれら光ビ
    ームの一本一本を独立変調し、かつ、一方の列の光ビー
    ムは遅延処理をかけて変調することを特徴とする光ビー
    ム分割変調方法。
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