JPH01283074A - 進行性波動モータの圧電素子電極構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は進行性波動モータの電極構造に関するものであ
る。

〔発明の概要〕

本発明はたわみ進行波成分を利用した進行性波動モータ
において、進行波発生のための中心に穴を有する円板状
圧電素子の片側の面に円周方向に４の倍数で等間隔に分
割された扇形の電極パターンを設け、該電極パターンの
隣接する２つを同方向に分極し、次に隣接する２つの逆
方向に分極するというように円周方向に順次２つずつの
組で互いに逆方向の圧電効果を示すように分極処理を行
った後、一つおきに逆方向に分極されたパ多−ンを短絡
させるように圧電素子の外周に沿うパターンを形成し、
残りの一つおきに逆方向に分極されたパターンを短絡さ
せるように内周に沿うパターンを形成し、外周で短絡さ
れた電極群と内周で短絡された電極群のそれぞれに時間
的に位相の異なる信号を印加することにより、簡単な構
造で性能の高い進行性波動モータが実現できるようにし
たものである。

〔従来の技術〕 従来の進行性波動モータにおける圧電素子の電極構造は
、例えば周方向に３つの波を励振させようとした場合に
は、第４図に示すように中心に穴のある円板状圧電素子
４０１の片側の面の略半内部に等間隔に分割された電極
パターン群４０２ａを設け、残りの略半内部は一方の端
部に１つの電極パターンの０．５ピンチの空白領域４０
２ｂ、　さらに残るもう一方の端部に１．５ピンチの空
白領域４０２ｃを介して同様に等間隔に分割された電極
パターン群４０２ｄを設け、互いに隣接する電極パター
ンを逆方向に分極するものが一般的であワた。この場合
実装に際。

しては、４０２ａおよび４０２ｄの各電極パターン群を
それぞれ電気的に接続したうえで、互いに９０’位相の
異なる信号を印加することにより、進行波を発生させる
ようにしていた。

また、他の例として第５図に示すように中心に穴を有す
る円板状圧電素子５０１の片側の面に円周方向に等間隔
に分割された５０２ａ〜５０２ｄを設け、該電極パター
ン５０２８〜５０２ｄの隣接する２つの５０２ａ　。

５０２ｂを同方向に分極し、次に隣接する２つの５０２
ｃ。

５０２ｄを逆方向に分極するようにし、実装の場合は第
６図に示すようにそれぞれの電極パターンにリード線６
０１を取りつけ、一つおきに５０２ａ、　５０２ｃのグ
ループ６０１ａと、５０２ｂ、　５０２ｄのグループ６
０１ｂに束ね、双方に時間的に９０°位相の異なる信号
を印加することにより進行波を発生させるようにした。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記のような進行性波動モータでは、例えば第４図に示
す電極構造を有する圧電素子を用いた場合、一方の略半
内部で１つの定在波を発生させ、もう一方の略半内部で
９０°位相の異なる定在波を発生させ、それぞれの異な
る定在波を互いに反対側の半円部に伝帳させ、全体で２
つの定在波の合成により進行波を発生させるため、途中
の電極を設けていない部分等で位相ずれ等を起こして、
均一な進行波が発生できない、このことは、特に周方向
に励振する進行波の波数が少ない時に顕著である。この
ような現象は主共振点以外の周波数でのスプリアス振動
という問題を生じるために、進行性波動モータの駆動時
に共振周波数を追尾する際、該追尾するという問題を生
じるとか、主共振での振幅量を低下させることにつなが
ることになる。

又、第６図に示す電極パターンの場合には電極パターン
の一つおきに９０′″位相の異なる信号を加えることに
より、全周にわたって均一に２つの定在波を発生させる
ことができるため、均一な進行波が生じ、スプリアス等
も見られなくなる。しかし、隣接する電極パターンに異
なる信号を印加する必要があるため、電極パターンの数
だけリード線の取り付けが必要となる。例えば、ロータ
の機械的に安定に摩擦送りするために最低必要な３つの
山を発生させる場合、４つの電極パターンで一周期の波
を構成するため３Ｘ４＝１２個のパターンを必要とし、
従って１２本のリード線を取り付けなければならない、
このためリード線からの振動モレやハンダの重量増加に
よる特性の変動などが見られ、モータの電気〜機械変換
が低下するとともに、数多くのリード線をハンダ付けす
るための工数増にもつながるなどの課題を有していた。

そこで本発明の目的は上記のような課題を解決し、簡単
な実装構造でスプリアスや振動モレ等の少ない高効率の
波動モータを提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記課題を解決するために、本発明では中心に穴を有す
る円板状圧電素子の片側の面に円周方向に４つの倍数で
等間隔に分割された扇形の電極パターンを設け、該電極
パターンの隣接する２つを同方向に分極し、次に隣接す
る２つを逆方向に分極するというように円周方向に順次
２つずつの組で互いに逆方向になるように分極処理を行
った後、一つおきに逆方向に分極されたパターンを短絡
させるように圧電素子の外周に沿うパターンを形成し、
残りの一つおきに逆方向に分極されたパターンを短絡さ
せるように内周に沿うパターンを形成し、外周で短絡さ
れた電極群と内周で短絡された電極群のそれぞれに位相
の異なる信号を印加することにより、２本のリード線を
取り付けるだけで進行波を発生できるようにした。

〔作用〕

上記のような構成によれば、進行波の波の数に関係なし
に２本のリード線を取り付けるだけで、機械的進行波を
発生させることが可能であるとともに、圧電素子の全周
にわたり均一に２つの定在波を発生させることができる
ため、均一な進行波が生じ、スプリアス振動等も見られ
なくなる。このため、電気〜機械変換効率が向上すると
ともに、リード線の本数が少なく構造が簡単なため、小
型化及び製造上の工数削減にとっても大変有利となる。

〔実施例〕

以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。なお
、圧電振動子は利用した波動モータについては定在波方
式と進行波方式などが考えられるが（たとえば「新方式
／新原理モータ開発・実用化の要点」昭和５９年日本工
業技術センター発行を参照）１本発明は振動体と移動体
との摩擦駆動面の摩耗が比較的少なく、正逆転駆動が容
易な進行波方式を利用した進行性波動モータを対象とし
ている。

第２図は進行性波動モータにおける進行波発生原理の一
例を示した図である。２０１は圧電セラミック、圧電性
結晶体からなる圧電素子で、図示するように幅すにて等
間隔に分極されており、隣りどうしの分極方向は互いに
逆方向となっている。

各圧電素子にはクロム、ニッケル、金などの導電材料を
蒸着、スパッタリング等の手法により２０２に示す電極
が形成されており、それらをリード線２０３．２０４で
結線し、それぞれ異なるリード信号源から高周波電圧が
印加されることになる。また、リード線２０３，２０４
でそれぞれ結線された電極群の間には、幅Ｃなる空隙部
分を設ける。この際、幅Ｃなる空隙部分は分極の有無な
らびに電極の有無はどちらでも構わないこととする。こ
こで、説明の都合上Ｃをはさむ電極の中心間距離はａと
する０以上の図および信号をもとに以下に進行波発生の
メカニズムについて説明する０図中■の電極部分の中点
を基準に考えると進行波と後退波からなる屈曲振動波は
次のように表わせる。

Ａｓｉｎ（ｗｔ−ｋｘ）　＋Ａｓｉｎ（ｗｔ＋ｋｘ）　
　　　　−−−−＝（１１式ここで（１１式はいわゆる
定在波を示していることになる。これに対して■に示す
電極部分による屈曲振動波は次のように表わせる。

Ｂｓｉｎ（ｗｔ−Ｋ（ｘ＋ａ）＋φ）＋Ｂｓ１ｎ（Ｈｔ
＋Ｋ（ｗｔ＋Ｋ（ｘ＋ａ）＋φ・−０式％式％ λ：波長、φ：■に対する位相差角 とおくと、（２）式は次のように表わせる。

Ｂｓｉｎ（ｗｔ−ｋｘ＋ｃｒπ）＋Ｂｓｉｎ（ｗｔ＋ｋ
ｔ＋βπ）　　−（４１式従って、■、■より励振され
る屈曲振動波は（１）式と（４）式を加え合わせた型で
表わされる。

ここで、進行波成分だけが存在するための条件を（４）
式の展開式から考えるとαが偶数、βが奇数の場合であ
ることがわかる。ここで（３１式よりａとφについてα
とβの式で表わすと次のようになる。

すなわち、（α＋β）　−（０，１）、　（２，３）の
れぞれのａ、φを同時に満足する時に進行波成分のみが
存在することになる。−例をあげると、（１）式＋（２
）式は次のようになる。

八ｓｉｎ（ｗｔ−ｋｘ）＋Ａｓｉｎ（ｗｔ＋ｋｘ）＋Ｂ
ｓｉｎ（ｗｔ−ｋｘ）−Ｂｓｉｎ（ｗｔ＋ｋｘ）　　−
＝−−−［６１式ここで駆動回路より出される高周波電
圧信号の振幅Ａ及びＢがＡ＝Ｂならば（６）式は２Ａｓ
ｉｎ（ｗｔ−ｋｘ）となり、進行波成分のみが残ること
がわかる。また、逆転駆動させるためには後退波成分の
みを残せば良いわけであるから、（５）式におけるαと
βを逆にしてαが奇数、βが偶数となるようにすれば良
い。

実際上は■を基準にして考えると、■に加える信号の位
相を正転駆動させる時に比べて１８ｏ°ずらせば良いこ
とになる。

第３図は進行性波動モータが進行波成分によって回転す
る原理を示した図である。３０１は振動体で、圧電素子
が弾性部材に接着されているために屈曲振動が生じるこ
とになる。ここで、振動体３０１は第２図に示した原理
で右方向への進行波が生じると表面部と１点は左方向へ
の楕円軌跡を描くために、ロータ３０２は進行波の進行
方向とは逆方向に移動するわけである０以上ば日経メカ
ニカル（１９Ｂ５．９．２３）などに掲載されており、
振動体３０１の表面上の１点が楕円軌跡を描くことに関
する詳細な説明も同文献に記されている。

第１図は本発明に係る圧電素子の電極構造を示すもので
、中心に穴を有する圧電素子１０１の片側の面には円周
方向に等間隔に分割された扇形の電極パターン１０２ａ
〜３１０２　ｄが形成されており、この状態で図に示す
ように隣接する２つのパターン１０２ａと１０２ｂが同
方向の圧電効果を示すように、またその次の２つのパタ
ーン１０２ｃと１０２ｄが１０２ａ及び１０２ｂと逆方
向の圧電効果を示すようにそれぞれ分極処理を行い、分
極処理後に各電極パターンの一つおきに１０２ａと１０
２ｃを電気的に導通するための外周に沿う電極パターン
１０２ｅ及び１０２ｂとＩＱ２ｄを電気的に導通ずるた
めの内周に沿う電極パターン１０２ｆとが形成されてい
る０以上により電気的な極性については外周短絡電極と
内周短絡電極の２つの異なる電極が交互に配置され、分
極方向については２つずつの組で交互に逆方向になるよ
うに配置され、これらの組合わせで４つの電極パターン
で一組となっている。ここで外周短絡電極と内周短絡電
極に時間的にほぼ９０”位相の異なる信号を印加するこ
とによって、４つの電極パターン１０２ａ〜ＩＱ２ｄで
一波長を形成するような機械的進行波が発生する。

第７図は本発明に係る電極構造を有する進行性波動モー
タの縦断面図を示すもので、圧電素子７０１を接着して
なる振動体７０２は金属等からなる弾性部材で、中心軸
７０３に打ち込み等により支持され、該中心軸７０３は
固定台７０４に固定されている。ロータ７０５は振動体
７０２の上方から中心軸７０３を案内として組み込まれ
、上方にある加圧ばね７０６により振動体７０２に加圧
接触するように配置されている。２本のリード線７０７
のうちの１′本７０７ａが第１図における外周短絡電極
１０２ａ、　１０２ｃ、　１０２ｅの一部に、もう１本
７０７ｂが内周短絡電極１０２ｂ、　１０２ｄ。

１０２Ｆの一部にハンダ付は等により取り付けられてい
る。ここで、２本のリード線７０７に時間的位相がほぼ
９０°異なる信号を印加することによって、圧電素子７
０１と振動体７０２は屈曲振動による機械的進行波を発
生し、振動体７０２に加圧接触されたロータ７０５が回
転運動することになる。

第８図は、第７図に示した進行性波動モータの２本のリ
ード線７０７のうち１本のリード線７０７　ａと振動体
７０２との間に高周波電圧を印加した際のインピーダン
ス特性の一例を示したものである。なお、図に示したイ
ンピーダンス特性はロータ７０５を取りはずした状態す
なわち振動体７０２が上下方向に対してフリーな状態で
測定したものである。

対象としたモータ仕様の概略は以下の通りである。

図より第４図に示した圧電素子の電極構造の説明の際に
示した主共振点以外でのスプリアス振動が見られないこ
とがわかる。さらに第７図に示した進行性波動モータを
電気的な等価回路に置き換えて考えると、第９図のよう
になるが、ここでり、９０１は等価回路の直列インダク
タンス、Ｃ＋９０２は等価回路の直列容量、Ｒ＋　９０
３は等価回路の直列抵抗、Ｃ６９０４は等価回路の並列
容量、ＲＬは負荷抵抗をそれぞれ表わすものである。こ
れによりＲｌ　９０３は進行性波動モータにおける種々
の損失すなわち、振動子の内部損失や支持部での損失等
を表わすものであると同時に、圧電素子の電極構造の優
劣を判断するのに都合よい、そこで第７図に示した進行
性波動モータの圧電素子に第１図に示した本発明に係る
電極構造と第４図に示した従来の電極構造によるものと
をそれぞれ用いた場合の等価定数の比較を以下に示す。

これよりＲ３の値より明らかなように本発明における圧
電素子の電極構造が従来に比べて、非常に有効であるこ
とが裏付けされる。

第１０図は第７図に示した仕様の本発明に係る圧電素子
の電極構造を有する進行性波動モータの周波数〜回転数
特性の一例を示したもので、駆動電圧は正弦波形で約６
　Ｖｐ−ｐ、振動体７０２へのロータ７０５の加圧力は
約１０ｇｆでの特性である０回転周波数領域も比較的広
く、最大回転数も３０００　（ｒ−ｐ　−＋１）以上と
高速なことから、中速〜高速領域における進行性波動モ
ータの適用も可能である。いずれに甘よ本発明に係る圧
電素子の電極構造により、径小薄型な進行性波動モータ
においても、高効率化が実現できるようになる。

第１１図から第１３図は本発明に係る圧電素子の電極構
造の他の実施例を示したものである。

第１１図は圧電素子１１０１の裏面に、先の第１図で説
明した内容に従って外周短絡電極パターン群１１０２及
び内周短絡電極パターン群１１０３を形成する際に、外
周部と内周部それぞれに電極部を形成しない余白部分ａ
　１１０４ならびに余白部分ｂｌ１０５を設けたもので
ある。一般に進行性波動モータに用いる円板状の圧電素
子は薄くすることにより電界強度が強くなり、先のモー
タ等価回路における直列抵抗Ｒ８も減少することがらモ
ータ効率が向上する。

しかしながら、薄くすることにより圧電素子１１０１の
内外周端まで電極パターンを形成すると、どうしても蒸
着やスパッタリング等の際に端部から電極材のブレが生
じ、リークまたは分極処理時の高電圧印加にともなうス
パーク等の問題が生じることになる。そこで本実施例で
は内外径端部に電極パターンを形成しない周状の余白部
分を設けることで上記不都合を解決した。

尚、圧電素子１１０１のもう一方の面の電極パターン１
１０６は全面電極パターンでも良いが、図示のごとく外
周部に余白を設けておくならば、先の裏面の説明におい
て外周部に余白部分を設ける必要性はないことになる。

また、裏面の電極パターン１１０６は本発明に係る圧電
素子の電極構造の場合には、裏面に形成された各分割電
極部との実質的な重なり部分の面積の大小により、各電
極パターン群の容量比が異なり、モータ特性に差異を生
じることにもなるため適時設定されることになる。

第１２図は圧電素子１２０１の片面に形成された各短絡
電極パターン群のうち、外周短絡電極パターン群１２０
２または内周短絡電極パターン群１２０３の少ないとも
１カ所に、反対面側に設けられている電極パターンと重
なり合っていない部分を利用してマーキング１２０４を
施した例を示したものである。マーキング１２０４は電
極パターンの形状を一部分変更することで実現したもの
であるが、マーキング形状は本実施例における円弧状の
ものである必要性はなく、他の形状でも良い、尚、マー
キング１２０４０目的は分権処理時における各分割電極
の分極方向の識別、目安とする他に、モータアセンブル
時にリード線取付時の極性識別用としても有効に利用さ
れることになる。また、マーキング１２０４を圧電素子
１２０１０反対面側に設けられている電極パターンと重
なり合っていない部分に設ける必要性はないが、マーキ
ング１２０４の形状ならびに大きさによっては、部分的
な実効面積の減少ならびにアンバランスを生じることに
なり、結果的にスプリ７゜大振動を生じる等モータ特性
１好ましくない現象も生じるため掻力本実施例のように
すのるが好ましい。

第１３図は、圧電素子１３０１の片面に形成された各電
極パターンのうち、外周短絡電極パターン群１３０２の
内周部分を利用して電気的に導通がないように扇形形状
に検出用ｉ極パターン１３０４を設けた例を示したもの
である０本発明に係る進行性波動モータは、機械振動を
その源とするがために、負荷、電源電圧、温度環境等の
変動でモータの周波数特性が刻々と変化し、モータ制御
するにあたっては、常に周波数の自動的な追尾手段が要
求されることになる。追尾手段としては種々考えられる
が、圧電素子の圧電現象から生じる逆起電圧をモニタし
て自助発振回路を形成するのは有効な手段である。そこ
で本実施例においては、逆起電圧モニタ用の検出電極パ
ターン１３０４を本発明に係る圧電素子の電極構造の一
部に設けた例を示した。この際、検出用電極パターン１
３０４は図示するように、なるべく圧電素子１３０１の
中心孔近（に設けてかつ、面積を小さく抑制するのがモ
ータ効率上必要不可欠である。尚、検出用電極パターン
１３０４は必要に応じて複数箇所設けても良いし、分極
処理方向も用途に応じて設定されるべきものである。

第１４図および第１５図は本発明に係る圧電素子の電極
構造の製法の一例を示したものである０本発明において
は、周方向に分割形成された電極パターンに対して互い
に逆方同に圧電効果を示すように分極処理されたものど
うしを圧電素子の内外周を利用してパターン接続すると
いう手法を用いているために、始めから第１図に示すよ
うな電極パターンを一度に形成することはできない、す
なわち、分極処理の前後各１回ずつのパターン形成が必
要となるわけである。そこで−船釣に圧電素子への薄膜
形成技術として利用されるのが、莞着ならびにスパッタ
リングであり、以下に製法の一例について説明を加える
。

第１４図に示した例は分極処理前後に各１回の蒸着によ
り本発明に係る電極構造を実現する手法を示したもので
ある。まず図ｆａｔに示す分極処理前に圧電素子１４０
１に適当なマスクパターンを用いて分割電極パターン１
４０２　ａ〜１４０２　ｊ！を形成する。この際、パタ
ーン−つおきに外周部まではり出しているパターン群１
４０２ａ、　１４０２ｃ、　１４０２ａ、　１４０２ｇ
。

１４０２　ｉ　、　１４０２にと逆に内周部まではり出
しているパターン群１４０２ｂ、　１４０２ｄ、　１４
０２ｆ、　１４０２ｈ。

１４０２ｈ、　１４０２ｊ、　１４０２７が作られる。

ここで、分割電極パターン１４０２　ｂおよび１４０２
　ｈの内周部には、分極処理後の蒸着の際に圧電素子１
４０２自体がわずかな回転ずれを起こすことも考慮して
周方向にパターン面積をはり出して形成しておく、また
、蒸着時のパターン材質としては種々あるが、圧電素子
とのコンタクトメタルとしてクロムを形成し、その上に
リード線のハンダ付は性を増すためにニッケルを形成し
、さらに酸化および導通性を増す意味で金を形成すると
いう三層構造が極めて良好である０次に図伽）に示す分
極処理後に再度蒸着手段により図中、黒い太線で示すよ
うな外周短絡パターン１４０３ａ　−１４０３ｒおよび
内周短絡パターン１４０４ａ、　１４０４ｂを形成すれ
ば本発明に係る電極構造が容易に実現可能となる。尚、
内周短絡パターンが１４０４　ａと１４０４　ｂとに２
分割されている理由としては、圧電素子１４０１の内周
部に電極パターンを形成しない余白部分を設ける際には
、このようにしないとマスクパターンが形成されないた
めであり、場合によっては２分割以外でも問題はない、
さらに図中、（＋）あるいは（−）とあるのは分極方向
を示したものであり、圧電素子１４０１の反対面側に形
成された電極パターンに対して正の電界は印加して分極
処理したものを（＋）とし、負の電界を印加して分極処
理したものを（−）としている。

第１５図に示した例は、図（ａ）で示すごとく分極処理
前の蒸着によるパターン形成で、あらかじめ分割電極パ
ターン１５０２　ａ〜１５０２１を一つおきに内外周を
利用してわずかな隙間を介して形成しておき、分極処理
後、図（ｂ）に示すように導電性接着剤、ボンディング
等で接続する手法を示したものである。

本手法によれば、分極処理後に形成するパターン面積が
少ないので、再度蒸着等を行う必要性もなく、製造コス
トの削減も考えられることになる。

以上のように本発明では時間的位相の異なる２つの定在
波の発生源が第４図のように半円ずつにかたよることが
なく、第１図に示すように全周にわたり２波長ごとに交
互に均等に配置されているため、全周にわたり均一な進
行波が発生する。また、圧電素子に取付けるリード線は
常に２本あれば良いため、リード線からの振動モレ及び
ハンダの重量増加による特性変動が最小限に抑えられる
。

これにより、電気〜機械変換効率が極めて高い進行性波
動モータが実現するとともに、モータの小型化及び製造
工数の削減にとっても大変有利となる。

尚、上記実施例についてはすべて分割電極数１２の場合
、すなわちモータの周方向に励振される波数３の場合に
ついて説明してきたが、この他の波数の場合についても
本発明は容易に実施可能であり、本発明の範囲に含まれ
るものである。

〔発明の効果〕

本発明は以上説明したように、圧電素子の電極パターン
を分極処理後に一つおきに外周に沿うパターンと内周に
沿うパターンで短絡させるという簡単な構造で、スプリ
アスのない振動特性が得られるとともに、リード線の数
が２本で済むため振動モレも少なくなり、電気〜機械変
換効率の高い進行性波動モータが得られるという効果を
有する。

さらに、リード線が２本で済むことから構造が簡単でモ
ータの小型化及び製造工数の削減にとって有利であると
いう効果も有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る圧電素子の電極構造を示す平面図
、第２図は進行波発生の原理図の一例を示す説明図、第
３図は進行性波動モータの回転原理図の一例を示す説明
図、第４図、第５図は従来の圧電素子の電極構造の一例
を示す平面図、第６図は従来の電極構造を有する進行性
波動モータの縦断面図、第７図は本発明に係る電極構造
を有する進行性波動モータの縦断面図、第８図は本発明
に係る電極構造を有する進行性波動モータのインピーダ
ンス特性の一例を示す説明図、第９図は本発明に係る進
行性波動モータの等価回路図、第１０図は本発明に係る
進行性波動モータの周波数一回転特性の一例を示す説明
図、第１１図、第１２図、第１３図は本発明に係る圧電
素子の電極構造の他の実施例を示す平面図、第１４図ｔ
ａｇ、　（ｂｌ、第１５図（ａｌ、　（ｂｌは本発明に
係る圧電素子の電極構造の製法の一例を示す平面図であ
る。 １０１．２０１，４０１．５０１．７０１，１１０１，
１２０１゜１３０１、１４０１．１５０１・・圧電素子
１０２．２０２，４０２，５０２，１１０６，１４０２
．１５０２・・・電極パターン １１０２、１２０２．１３０２・・外周短絡電極パター
ン群１１０３、１２０３．１２０４・・内周短絡電極パ
ターン群１４０３、１５０３・・・・・外周短絡パター
ン１４０４、１５０４・・・・・内周短絡パターン１１
０４、１１０５・・・・・余白部分１２０４・・・・・
・・・マーキング １３０４・・・・・・・・検出用電極パターン２０３、
　２０４．　６０１．　７０７・・・リード線３０１、
７０２・・・・・・振動体 ３０２、７０５・・・・・・ロータ ７０３　　・・・・・・・・中心軸 ７０４　　・・・・・・・・固定台 ７０６　　・・・・・・・・加圧ばね 以上 出願人　セイコー電子工業株式会社 第２図 ｉ廿ｒｇ＝皮まか七−ヴめ８＊？蓼理図の一例吃り界Ｔ
徴ヶ月図第３図 Ｍ来ｏ４１に＝嘴造りｎ−ｔｅｊｔ打狂；反動七−夕の
蝦前面図第　　６　　図 易　　’７［２！Ｊ 回転数（ｒρ／ｎ、） 見反較（ＫＨ２） 参伎明ｌ二係５１予１ｔ；耐ｈモータの闇ニ皮叡〜回貞
ＪＦ主の一例おホ１謎ロ同図 第）Ｏ閉 １２０３内周蛇絶霞栂ハ０ターレ郡 示す平面図　（，３） 汚　１３　　図

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）　圧電素子と、該圧電素子と金属等からなる弾性
   体を接合した振動体と、該振動体に圧接され、前記圧電
   素子の伸縮運動によるたわみ進行波で摩擦駆動するロー
   タとを有する進行性波動モータにおいて、前記圧電素子
   は中心穴を有して円形状に形成すると共に、前記圧電素
   子の一平面に４の倍数で等間隔に分割された扇形の電極
   パターンを形成し、隣接する２つずつの電極パターンを
   １組として交互に逆方向の圧電効果を示すように分極処
   理を施こし、さらに前記電極パターンを各々一つおきに
   ２つのグループを形成するごとく短絡し、各電極パター
   ン群にそれぞれ位相差をもって信号の印加を行うように
   したことを特徴とする進行性波動モータの圧電素子電極
   構造。
2. （２）　前記各電極パターン群と、前記圧電素子の内外
   径端との間に、電極パターンを形成しない周状の余白部
   分を設けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
   の進行性波動モータの圧電素子電極構造。
3. （３）　前記各電極パターン群のうち、前記圧電素子を
   介して反対面側に設けられる電極パターンと重なり合っ
   ていない部分の少なくとも１ヵ所に、前記電極パターン
   の形状を変えることによってマーキングを設けたことを
   特徴とする特許請求の範囲第１項記載の進行性波動モー
   タの圧電素子電極構造。
4. （４）　前記電極パターンの少なくとも１つに、前記各
   電極パターン群のいずれとも電気的に導通がないように
   扇形の電極パターン部分を設けたことを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載の進行性波動モータの圧電素子電
   極構造。