JPH01282478A - 物品検査方法 - Google Patents
物品検査方法Info
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- JPH01282478A JPH01282478A JP11284688A JP11284688A JPH01282478A JP H01282478 A JPH01282478 A JP H01282478A JP 11284688 A JP11284688 A JP 11284688A JP 11284688 A JP11284688 A JP 11284688A JP H01282478 A JPH01282478 A JP H01282478A
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- Pending
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 22
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、半導体製品の製造工程などで行なわれる物
品検査方法に関するものである。
品検査方法に関するものである。
例えば半導体製品の製造工程において行なわれる各種の
テスト項目に対する規格は、製品の製造工程におけるバ
ラツキと最終製品に要求される水準１に基にしである範
囲をもって設定されている。
テスト項目に対する規格は、製品の製造工程におけるバ
ラツキと最終製品に要求される水準１に基にしである範
囲をもって設定されている。
そして、このテスト規格が、一定基準値としてテストプ
ログラムに設定されると、この一定の規格内にある物を
良品、外れている物？不良品と判断する検査が、テスト
プログラムを変更しない限り１行ない続けられる。
ログラムに設定されると、この一定の規格内にある物を
良品、外れている物？不良品と判断する検査が、テスト
プログラムを変更しない限り１行ない続けられる。
従来のテストプログラムでは、以上の様に色々な、バラ
ツキを考慮に入れたテスト規格で検査するように構成さ
れているので、これを例えば半導体ａｍの製造工程にお
けるテストに用ｒた場合、特性バラツキの少ないｇＳ図
の様な分布特性？もつロフトも第３図の様な主分布の他
に特異な分布をもつロットも同等のものとして検査する
ために特異な特性をもつとして判断されるなどの問題が
あった。
ツキを考慮に入れたテスト規格で検査するように構成さ
れているので、これを例えば半導体ａｍの製造工程にお
けるテストに用ｒた場合、特性バラツキの少ないｇＳ図
の様な分布特性？もつロフトも第３図の様な主分布の他
に特異な分布をもつロットも同等のものとして検査する
ために特異な特性をもつとして判断されるなどの問題が
あった。
この発明は上記の様な問題点を解消するためになされた
もので、特異な特性をもつ製品？排除することで品質バ
ラツキの小さい製品を得られる物品検査方法を得ること
？目的とする。
もので、特異な特性をもつ製品？排除することで品質バ
ラツキの小さい製品を得られる物品検査方法を得ること
？目的とする。
この発明による方法は、あらかじめ定められた規格で良
品と判定された製品Ｎ個のテスト結果の分布から得られ
た、平均値−とバラツキＩを使って、新規の規格をあら
かじめ定められた規格内に、再設定するようにしたもの
である。
品と判定された製品Ｎ個のテスト結果の分布から得られ
た、平均値−とバラツキＩを使って、新規の規格をあら
かじめ定められた規格内に、再設定するようにしたもの
である。
この発明における方法では、あらかじめ定められた規格
内で、製品のバラツキを考慮して、規格を再設定して検
査を実行することにより品質バラツキの小さい製品が得
られる。
内で、製品のバラツキを考慮して、規格を再設定して検
査を実行することにより品質バラツキの小さい製品が得
られる。
第１図は、６製品の被検査品について所定回数Ｎ回のテ
スト結果から各ロットごとの品質にあわせた基準値と再
設定し、それ以後の検＊を行う物品検査方法のフロチャ
ートである。その手順は、以下の通りである。
スト結果から各ロットごとの品質にあわせた基準値と再
設定し、それ以後の検＊を行う物品検査方法のフロチャ
ートである。その手順は、以下の通りである。
第１図にお６て、最初の製品が流れてき、テスターにス
タート信号が入ると、ステップＳ１でテスターの内蔵す
る回数計算用カウンターＣの頭が、所定回数Ｎに達した
かどうかの判定が行なわれる。ここでカウンターＣの値
は、初期設定によりＯにしてあり、実行は、ステップ８
２に移り、従来の規格値での検査が行なわれ、良品の場
合にのみステップＳ３でカウンターＣの値が１次は加算
される。以上で１番目の製品についての検査が終了する
。以後の検査も、従来の規格［を用いて前回同様に行な
われる。そしてステップＳ１で、カウンタＣの値がＮＫ
達したと判゛こされると、ステップ８４〜Ｓ８へと実行
の流れが移り、Ｎ ４＋６１の良品から得られたデータ
の平均値μ、標準偏差＃を用いて品質にあわせた基準値
Ａ、ＢがステップＳ４で算出される。
タート信号が入ると、ステップＳ１でテスターの内蔵す
る回数計算用カウンターＣの頭が、所定回数Ｎに達した
かどうかの判定が行なわれる。ここでカウンターＣの値
は、初期設定によりＯにしてあり、実行は、ステップ８
２に移り、従来の規格値での検査が行なわれ、良品の場
合にのみステップＳ３でカウンターＣの値が１次は加算
される。以上で１番目の製品についての検査が終了する
。以後の検査も、従来の規格［を用いて前回同様に行な
われる。そしてステップＳ１で、カウンタＣの値がＮＫ
達したと判゛こされると、ステップ８４〜Ｓ８へと実行
の流れが移り、Ｎ ４＋６１の良品から得られたデータ
の平均値μ、標準偏差＃を用いて品質にあわせた基準値
Ａ、ＢがステップＳ４で算出される。
ここで、Ａ、Ｂは八−μｍ３σ、Ｂ−μ十８σとした。
次に８５〜８Ｂでは、Ａ、Ｂが規格＠Ｚｌ、Ｚ２の間に
あるかどうかの判定を行い、それぞれについて、規格１
向内の場合には、規ｔ＄値の再設定を行う。以上で基準
値の再設定処理が終わり。
あるかどうかの判定を行い、それぞれについて、規格１
向内の場合には、規ｔ＄値の再設定を行う。以上で基準
値の再設定処理が終わり。
以後のテストが続けられる。そして１次のロットが流れ
てき、基準値の再設定処理が必要な場合にはカウンター
０のｆ直ｔＯにして行なう。又、今回基準（ｌｉＡ、Ｂ
の算出方法としてＲｇｆ用いたが、このｌＩ！け任意で
１Ｓリ−，２１等でもよい。
てき、基準値の再設定処理が必要な場合にはカウンター
０のｆ直ｔＯにして行なう。又、今回基準（ｌｉＡ、Ｂ
の算出方法としてＲｇｆ用いたが、このｌＩ！け任意で
１Ｓリ−，２１等でもよい。
この方法では、上記したように各ロフトにあわせな基準
値の再設定処理を行っているので、と 半導体装置の検査に上記方法を用いた場合、優れた品質
の向上が行なえる。
値の再設定処理を行っているので、と 半導体装置の検査に上記方法を用いた場合、優れた品質
の向上が行なえる。
以上のように、この発明によれば、凸製品にあった基準
値を、所定個数の良品のテスト結果から氷め検査を行な
うので、主分布の他に、特異な分布をり６格内にもつよ
うな製品の検査に適用した場合、この特異な特性をもつ
製品を不良品として排除することができ品質の向上が図
られる。
値を、所定個数の良品のテスト結果から氷め検査を行な
うので、主分布の他に、特異な分布をり６格内にもつよ
うな製品の検査に適用した場合、この特異な特性をもつ
製品を不良品として排除することができ品質の向上が図
られる。
第１図は、この発明の一実施例である物品検査法を適用
した自動検査用テスターのテストプログラムを示すフロ
ー図である。 第８図、第３図は例として一般的な半導体装置の良品の
みのテスト結果の分布特性である。 図において、ｚ１゛は規格値のＭＩＮ値％ｚ２ｒ／′ｉ
規格唯のＭＡＸ値、Ａは品質にあわせた基準値のＭＩＮ
［、Ｂは品質にあわせた基＊ＷのＭＡＸ値である。 ステップ８１は、所定回数Ｎ回のチエツクステップ、ス
テップ５２Ｈ１製品のテスト、ステップＳ３は、良品数
の、カウントステップ、ステップＳ４は、品質にあわせ
た基準値の計算ステップ、ステップＳ５は、求めたＭＩ
Ｎ値がＪ見格内にあるか否かのチエツクステップ、ステ
ップ８６はＭＩＮ値の置き換えステップ、ステップ日７
は、求めたＭＡＸ値が規格内にあるか否かのチエツクス
テップ、ステップ８８は％ＭＡＸ値の置き換えステップ
である。
した自動検査用テスターのテストプログラムを示すフロ
ー図である。 第８図、第３図は例として一般的な半導体装置の良品の
みのテスト結果の分布特性である。 図において、ｚ１゛は規格値のＭＩＮ値％ｚ２ｒ／′ｉ
規格唯のＭＡＸ値、Ａは品質にあわせた基準値のＭＩＮ
［、Ｂは品質にあわせた基＊ＷのＭＡＸ値である。 ステップ８１は、所定回数Ｎ回のチエツクステップ、ス
テップ５２Ｈ１製品のテスト、ステップＳ３は、良品数
の、カウントステップ、ステップＳ４は、品質にあわせ
た基準値の計算ステップ、ステップＳ５は、求めたＭＩ
Ｎ値がＪ見格内にあるか否かのチエツクステップ、ステ
ップ８６はＭＩＮ値の置き換えステップ、ステップ日７
は、求めたＭＡＸ値が規格内にあるか否かのチエツクス
テップ、ステップ８８は％ＭＡＸ値の置き換えステップ
である。
Claims (1)
- 連続して流れてくる各被検査品ごとに、共通するテス
ト項目の検査を行う物品検査方法において、あるテスト
項目についての検査規格を、予かじめ定められた規格で
良品と判定されたＮ個の被測定品の分布データを基にし
て再設定することを特徴とする物品検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11284688A JPH01282478A (ja) | 1988-05-10 | 1988-05-10 | 物品検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11284688A JPH01282478A (ja) | 1988-05-10 | 1988-05-10 | 物品検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01282478A true JPH01282478A (ja) | 1989-11-14 |
Family
ID=14596995
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11284688A Pending JPH01282478A (ja) | 1988-05-10 | 1988-05-10 | 物品検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01282478A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008002900A (ja) * | 2006-06-21 | 2008-01-10 | Nec Electronics Corp | 半導体装置のスクリーニング方法と装置並びにプログラム |
| JP2008128949A (ja) * | 2006-11-24 | 2008-06-05 | Kawasaki Microelectronics Kk | 半導体装置の静的電源電流の判定値を定める方法およびその判定値を定める方法を用いた半導体装置の故障検出方法 |
| US7557598B2 (en) | 2006-03-09 | 2009-07-07 | Panasonic Corporation | Method of inspecting quiescent power supply current in semiconductor integrated circuit and device for executing the method |
-
1988
- 1988-05-10 JP JP11284688A patent/JPH01282478A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7557598B2 (en) | 2006-03-09 | 2009-07-07 | Panasonic Corporation | Method of inspecting quiescent power supply current in semiconductor integrated circuit and device for executing the method |
| JP2008002900A (ja) * | 2006-06-21 | 2008-01-10 | Nec Electronics Corp | 半導体装置のスクリーニング方法と装置並びにプログラム |
| JP2008128949A (ja) * | 2006-11-24 | 2008-06-05 | Kawasaki Microelectronics Kk | 半導体装置の静的電源電流の判定値を定める方法およびその判定値を定める方法を用いた半導体装置の故障検出方法 |
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