JPH01281787A - 半導体レーザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、信号再生用フォトダイオード（以下、信号
再生用ＰＤと略す）とモニタ用フォトダイオード（以下
、モニタ溶ＰＤと略す）とを内蔵した半導体レーザ装置
（以下、ＬＤと略す）に関するものである。

〔従来の技術〉 従来のＬＤｌｏｏの構成を第２図に示す。第２図におい
て、ＬＤチップ１は熱応力緩和材としてのサブマウント
２を介して放熱ブロック３に組立てられ、放熱ブロック
３はモニタ用ＰＤ４が組込まれたステム５に組立てられ
ている。ＬＤチップ１およびモニタ用ＰＤチップ４には
金線６がボンディングされ、リード線７へ接続され電気
的に導通されている。ステム５にはキャップ８が取り付
けられ、ＬＤｌｏｏが構成される。ＬＤｌｏｏはピック
アップに組込まれ、オーディオディスク。

ビデオディスク等の光ディスクの読取り用光源として使
用される。

ピックアップ２００の構成を第３図に示す。すなわち、
ＬＤ　１００の全面にコーリメートレンズ９が設置され
偏光ビームスプリッタ１０．−波長板１１、対物レンズ
１２、集束レンズ１３．信号再生用ＰＤ１４および光デ
ィスク１５によりピックアップ２００が構成されている
。

次に、従来のＬＤｌｏｏの動作について説明する。

第２図に示すＬＤｌｏｏは、リード線７に電圧が印加さ
れるとＬＤチップ１に電流が流れレーザ発振が始まり、
ＬＤチップ１より二方向にレーザ光が図中矢印で示す如
く放射される。一方のレーザ光は光デイスク読取り用光
源として用いられ、他方のレーザ光はモニタ用ＰＤ４に
入射しＬＤ光出力の制御に用いられる。モニタ用ＰＤ４
はレーザ光に対して傾斜しており、レーザ光の入射光が
モニタ用ＰＤ４で反射され、再びＬＤチップ１へ入射す
ることのないように組立てられている。

第３図に示すピックアップ２００では、ＬＤｌｏｏより
放射されたレーザ光がコリメートレンズ９を通り平行光
線となり、偏向ビームスピリッり１０で直線偏光となり
、さらに−波長板１１を通って円偏光となる。対物レン
ズ１２で光デイスク１５上で光スポットに絞られる。光
スポットは光ディスク１５のピットの部分では弱められ
、ランドの部分では弱められずに反射した光は対物しン
ズ１２を通過して平行光線となる。また、−波長板１１
を通過すると、往きでは９０°偏光方向が異なる直線偏
光になるため、偏光ビームスピリツタ−０で反射され、
反射光は集束レンズ１３を通り信号再生用ＰＤ１４に入
射し信号再生が行われることとなる。

（発明が解決しようとする課題〕 上記のような構成の半導体レーザ装置を用いて構成した
従来のピックアップ２００では、第３図に示すように、
部品点数が多くなり、価格が高くなる等の欠点があった
。また、所要の性能を得るため部品の位置調整を必要と
する欠点があった。

この発明は、上記のような欠点を解消するためになされ
たもので、安価で高性能な半導体レーザ装置を得ること
を目的としている。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係る半導体レーザ装置は、サブマウントのレ
ーザダイオードチップが組み付けられた面と同一平面内
に信号再生用フォトダイオードおよびモニタ用フォトダ
イオードを作り込むとともに、この面と同一面にレーザ
ダイオードチップの両端面から出射されるレーザ光およ
びモニタ光を互いに干渉することなく信号再生用フォト
ダイオードおよびモニタ用フォトダイオードにそれぞれ
入射せしめるための反射面を所要角度傾斜せしめたミラ
ーを配置したものである。

〔作用〕

この発明においては、サブマウントとなる半導体基板の
同一面に信号再生用ＰＤおよびモニタ用ＰＤを作り込み
、これを同一面の所定箇所にＬＤチップと反射面を傾斜
させたミラーを設けたことから、ＬＤチップの一端から
出射された各種光源に用いられるレーザ光は信号再生用
ＰＤに他端から出射されたレーザ光はモニタ用ＰＤに互
いに干渉することなく入射する。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を３４１図（ａ）。

（ｂ）により説明する。第１図において、Ｎ形半導体基
板（以下単に基板という）１６をサブマウントとして用
い、この基板１６の同一平面内に写真製版技術および拡
散技術を用いて２カ所にＰ形拡散領域を形成し、信号再
生用ＰＤ１４およびモニタ用ＰＤ４を作成する。また、
基板１６上にＬＤチップ１をダイボンドする。さらに、
信号再生用ＰＤ１４およびモニタ用ＰＤｄ上にその反射
面が位置するように反射面を所要の角度傾斜させたミラ
ー１７を設置する。

このように構成されたこの発明の半導体レーザ装置は、
サブマウントとしての基板１６の同一平面内に信号再生
用ＰＤ１４およびモニタ用ＰＤ４が一体化されて形成さ
れており、基板１６上に載置されたＬＤチップ１から出
射された一方のレーザ光は、図示はしないが、ビームス
プリッタ等の光学部品を用いることにより、光ディスク
に照射され信号光となった戻り光は基板１６上のミラー
１７に反射され、信号再生用ＰＤ１４に入射される。ま
た、他方のレーザ光も同様に基板１６上のミラー１７に
反射されモニタ用ＰＤ４に入射し、ＬＤ光出力を制御す
るために用いられる。

信号再生用ＰＤ１４はモニタ用ＰＤ４への入射光の影響
のない位置に設置される。

なお、基板１６としては、熱応力緩和材、ＰＤを作り込
むことにも適しているシリコンが最適である。

また、上記実施例では、サブマウントとしてＮ形半導体
基板１６を用いたが、これはＰ形半導体基板を用い、Ｎ
形拡散領域を形成してＰＤを作成しても同様の効果が得
られることは言うまでもない。

（発明の効果） 以上説明したようにこの発明は、信号再生用ＰＤおよび
モニタ用ＰＤを同一基板の同一平面内に形成するととも
に、前記基板上に載置されたＬＤチップから出射する各
種光源として用いられるレーザ光および前記レーザ光の
制御に用いられるモニタ光を前記信号再生用ＰＤおよび
モニタ用ＰＤに互いに干渉することなく入射するように
反射面を所要角度傾斜せしめたミラーを設けたので、モ
ニタ用ＰＤへの入射へ影響することなく、信号再生用Ｐ
Ｄにレーザ光を入射させることができ、良好な信号再生
を行うことができる半導体レーザ装置を安価に、かつ高
精度に得ることができ、これを用いてピックアップを構
成する場合には、その組立時の調整が少なくてすむ利点
を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、（ｂ）はこの発明の一実施例を説明する
ための半導体レーザ装置の上面図および側面図、第２図
は従来の半導体レーザ装置の構成図、第３図は従来の第
２図の半導体レーザ装置を用いたピックアップを説明す
るための構成図である。 図において、１はＬＤチップ、４はモニタ用ＰＤ、１４
は信号再生用ＰＤ、１６はＮ形半導体基板、１７はミラ
ーである。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人　大　岩　増　雄　　　　（外２名）第１図 １１　、ミラー １、事件の表示　　　特願昭６３−１１０８１３号２０
発明の名称　　半導体レーザ装置 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 住　所　　　　東京都千代田区丸の内二丁目２番３号。 名　称　　（６０１）三菱電機株式会社代表者志岐守哉 ５、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 ６、補正の内容 （１）　　明細書第２頁２行の［モニタ溶ＰＤＪを、［
モニタ用ＰＤＪと補正する。 （２）　　同じ（第２頁１１行の「モニタ用ＰＤチップ
４」を、［モニタ用ＰＤ４Ｊと補正する。 以　　上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. レーザダイオードチップが熱応力緩和材としてのサブマ
   ウントを介して放熱体に組み付けられた半導体レーザ装
   置において、前記サブマウントの前記レーザダイオード
   チップが組み付けられた面と同一平面内に信号再生用フ
   ォトダイオードおよびモニタ用フォトダイオードを作り
   込むとともに、この面と同一面に前記レーザダイオード
   チップの両端面から出射されるレーザ光およびモニタ光
   を互いに干渉することなく前記信号再生用フォトダイオ
   ードおよびモニタ用フォトダイオードにそれぞれ入射せ
   しめるための反射面を所要角度傾斜せしめたミラーを配
   置したことを特徴とする半導体レーザ装置。