JPH01278741A

JPH01278741A - 移載装置

Info

Publication number: JPH01278741A
Application number: JP63108800A
Authority: JP
Inventors: Teruo Asakawa; 輝雄浅川; Tsutomu Hiroki; 勤広木
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1988-04-30
Filing date: 1988-04-30
Publication date: 1989-11-09

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】発明の目的（産業上の利用分野）本発明は、被配列体を移載するする移載装置に関する。

（従来の技術）拡散やＣＶＤ等の処理の際に、石英ボートを利用するが
、この石英ボートは、拡散、ＣＶＤ等の種々の処理の種
類によってウェハを載置するピッチが異なる。そのため
、石英ボートには、適用に応じてウェハの載置溝のピッ
チが異なる各種のものがある。例えば、ＣｖＤの場合は
、ガスの回り込みを良くするために、他の場合よりもウ
ェハのピッチを広くする必要があり、また、炉内でＣｖ
Ｄ等を行なわずに単に均一に加熱する条件の場合は、上
記の例よりもウェハ間のピッチを狭くしても良い場合も
ある。このような理由から、従来は、各種のピッチに応
じた移載機構を必要とし、或は、ウェハを、例えば、３
／１６インチピッチのキャリアから６／１６インチピッ
チの石英ボートに移載する場合、先ず２把持機構によっ
て一枚おきにウェハを握持して移載し、次いで、残りの
１枚おきのウェハを更に移載機構により移載するように
している。

（発明が解決しようとする課題）本発明は、上記の実情に鑑みて開発したもので、一定枚
数分の被配列体を一括で所望するピッチ間隔に移載でき
るようにし、もって、移載工程の迅速化を図り、更に、
既設の移載機構の一部に簡単な構造の装置を設けるのみ
で実効可能とした移載装置を提供することを目的とした
ものである。

発明の構成（課題を解決するための手段）上記の目的を達成するために、本発明は、第１のピッチ
間隔で配列された各被配列体を同時に把持するごとく対
向配置された一対のハンド部片を配置し、これら各ハン
ド部片と交叉する位置にリンク構成部を設けて平行リン
ク機構を構成し、上記のリンク構成部を傾斜方向に移動
させることにより、第２のピッチ間隔に被配列体を配列
する構成を採用した移載装置である。

更に、上記のリンク構成部は、並列配置されているハン
ド部片に対して適宜の傾斜角度で連結する手段を採用す
るのが好ましい。

（作　用）本発明によると、先ず、必要に応じて傾斜面を有するプ
ッシャーを押し上げて、プッシャー上の被配列体を第１
のピンチ間隔に合うようリンク構成部を傾けて握持し、
次いで、このリンク動作により各ハンド部片の間隔を第
２のピッチ間隔に変化させ、第２のピッチ間隔に被配列
体を配列し。

このように、１回の工程により一括分の被配列体を移載
し、数回の必要な移載工程により被配列体を移載するよ
うにする。

また、上記の移載工程と逆の場合にも当然に適用でき、
更に、ピッチ間隙を拡げる場合のみならず、狭める場合
にも当然に適用できる。

（実施例）本発明を半導体ウェハの移載装置に適用した実施例を第
１図乃至第１０図に基づいて説明する。

先ず、第１のピッチ間隔、例えば、３７１６インチピッ
チのキャリアからピッチの異なる第２のピッチ間隔、例
えば、４７１６インチピッチの石英ボート上にウェハを
移載する場合について説明すると、第１図（ａ）及び第
３図に示すように、例えば、２５枚のウェハ１を収納し
たキャリア２の下方位置に、必要ならば、一定の傾斜面
を有し、傾斜面にウェハ１の下面が嵌まる嵌合溝３ａを
形成したプッシャー３を設ける。このプッシャー３は、
ウェハ１の表面とキャリア２との面で不用意に擦らない
場合は必ずしも傾斜面とせずにフラット面でも良い。ま
た、プッシャー３は、キャリア２内のウェハ２を第１図
（ｂ）、第４図及び第５図に示すように傾斜状態に押し
上げ、この状態において、第６図乃至第９図に示すよう
に駆動アーム６を駆動させて、一対のハンド部片５のピ
ッチ間隔をプッシャー３に載置されているウェハ１のピ
ッチ間隔に合わせると共に、ウェハ１を各ハンド部片５
で握持し１次いで、第９図に示すように駆動アーム６と
リンク構成部７を連結した接合部８を作動させてリンク
構成部７を角度を持たせ、リンク構成部７とハンド部片
５とを連結した連結部１１を介してリンク構成部７をハ
ンド部片５に対して。

所望の位置、例えば直交する状態に移動させる。

すると、ハンド部片５のピッチ間隔が４７１６インチピ
ッチになり、ウェハ１のピッチ間隔も４７１６インチピ
ッチになるので、石英ボート９のピッチ間隔に合致する
。

次いで、第１０図に示すようにアーム機構を移動させて
、溝１０を有する石英ボート９の位置で、アーム機構の
ウェハ１の把持を解除して石英ボート９上にウェハ１載
置すると、ウェハ１は石英ボート９の溝１ｏ上に移載さ
れ、ウェハ１のピッチ間隔は、４７１６インチピッチで
載置される。

上記とは逆にプロセス用キャリア、即ち石英ボート９か
らウェハ１に移載する場合にも上記と同様に適用され、
また、実施に応じて適宜にピッチ間隔も調整することが
できる。

次に、上記実施例の作用を説明する。

先ず、必要に応じて傾斜面を有するプッシャー３を第１
図（ａ）に示すように、押し上げて、キャリア２内に３
７１６インチピッチで配列されているウェハ１を傾斜状
にプッシャー３の各溝３ａ上ニー枚ずつ順次持ち上げ、
次いで、駆動系に連動した第９図、第１０図に示すアー
ム機構４を用い、ブツシャ−３上のウェハ１のピンチに
合うよう、駆動アーム６を駆動させ、リンク構成部７を
傾け、このリンク作動により各ハンド部片５の間隔を変
化させ、併せてウェハ１を把持し、石英ボート等のプロ
セス用キャリア９までウェハ１を移動させ、プロセス用
キャリア９でアーム機構４を駆動させて、ハンド部片５
のピッチ間隔を、例えば上記の場合よりも拡げるには、
リンク構成部７を介してハンド部片５のピッチ間隔を拡
げた状態において、移載位置でアーム機構４によりウェ
ハ１を載置すると、１回の工程により例えば１キャリア
２５枚分のウェハｌをボート９に移載し、必要な数回の
工程によりウェハを移載することができる。また、−上
記の移載工程と逆の場合にも当然に適用でき、更に、ピ
ンチ間隙を拡げる場合のみならず、狭める場合にも当然
に適用できる。

また、第２図（ａ）に示すように、リンク構成部７を並
列配置されているハンド部片５に対して例えば、３６．
９°傾斜した状態に連結すると、リンク機構の動作をよ
り小さくすることができる。

これを、第２図（ｂ）及び（ｃ）に従って説明する。第
２図（ｂ）において、ハンド部片５のピッチ間隔を３＝
４の割合で拡げる際には、リンク構成部７を４１．４°
の角度で傾斜させなければならない。そこで、第２図（
ｃ）に示すように、リンク構成部７を予めハンド部片５
に対して３６．９゜の傾斜状態に設置し、上記と同様の
割合にハンド部片５を拡げるには１６．２３″′の角度
で傾斜させれば良く、この場合は、上下方向に７９ｎｍ
も移動させてしまうのに比較して、この手段によると、
２３．７ｍで済むので、駆動機構や把持機構の移動範囲
が極めて少なくて済むばかりでなく、ウェハの擦りが少
なくて済むので、それだけクリーン性と共に迅速性にも
優れている。

第１１図は移載装置の具体例を示した斜視図であり、駆
動系は、アーム機構４とは離間した位置に配設されて、
アーム機構４の近傍に配するクリーンエアーに支障を与
えない位置に設けており、図示しないボックス内をクリ
ーン度を保持するためにエアーを吸引する構成の駆動系
である。ボックス内にはベース１２、固定ブロック１２
ａ、ｉｆｌ動ヘース１２ｂを設け、固定ブロック１２ａ
には、ねじれ方向の異なる一対のボールスクリュー１３
をモータ１４の駆動力をタイミングベルト１５を介して
駆動させている。１６ａ、１６ｂは一対の可動ブロック
であり、この可動ブロック１６ａ、１６ｂは、ベース１
２と駆動ベース１２ｂに設けたリニアガイド１７ａ、１
’７ｂにガイドされ、可動ブロック１６ａ、１６ｂはボ
ールスクリュー１３を逆方向に螺合しながらそれぞれ逆
方向に移動し、可動ブロック１６ａ、１６ｂに固着した
長短の駆動アーム６．６が互いに反対方向に移動するよ
うに設けられ、一対の平行リンク機構を拡げたり狭めた
りするように構成している。また、各可動ブロック１６
ａ、１６ｂの上下には、一対のリンク１８ａ、１８ｂを
回動自在に設け、ベース１２に設けたアクチュエータ１
９により、駆動ベース１２ｂを上下させ、この駆動ベー
ス１２ｂの上下移動によって、駆動ベース１２ｂ側に設
けた可動ブロック１６ａ、１６ｂが上下し、他側の可動
ブロック１６ａ、１６ｂに軸着したリンク１８ａ、１８
ｂを支点としてリンク作動して、−側の可動ブロック１
６ａ、１６ｂに固着した駆動アーム６が上下移動してア
ーム機構４の平行リンク機構をリンク動作させるように
構成されている。

第１２図は、平行リンク機構の部分拡大図であり、同図
において、（駆動アーム６とリンク構成部７とは、板ば
ね８ａで接合され、リンク構成部７と把持溝を有するア
ーム部材５は夫々板ばねｌｌａで連結されている。

第１３図は、平行リンク機構の他側を示す一側の部分拡
大図であり、本例は、ポリアセタール樹脂材等による一
体での削り出し、或は型等によって形成したものであり
、アーム部材５ａとリンク構成部７ａ、７ａとは括れ部
１１ｂにより連結され、駆動アーム６とリンク構成部７
ａ、７ａとは括れ部８ｂにより接合されている。アーム
部材５ａにそれぞれ把持溝５ｃを形成している。

第１５図はリンク構成部７に第１３図とは異なって溝５
ｃを有するアーム部材５ｂを個別に形成して連結され、
アーム部材５ｂとリンク構成部７、７とは括れ部１１ｃ
により連結され、１１動アーム６とリンク構成部７．７
とは括れ部８ｃにより接合されている。

上記した各側の動作は、第１図乃至第１０図に従って説
明した作用と同様である。

上記実施例では、半導体ウェハの移載について説明した
が、製造工程など複数枚配列された被配列体のピッチを
変える手段であれば何れでも良く、例えば駆動回路が形
成される液晶基板でもよいことは説明するまでもないこ
とである。

発明の効果以上のことから明らかのように、本発明によると次のよ
うな優れた効果を有する即ち、ピッチの異なる移載間において被配列体を一括で
移載できるようにして移載工程の迅速化を図り、しかも
、既設の移載機構の一部に簡単な構造の装置を設けるの
みでよいため、既設機構との整合性も良好であって、経
済性の点にも優れ、更には、クリーン度の点にも優れて
いる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第１５図は本発明におけるウェハの移載装置
の実施例を示したもので、第１図ａ　−ｅはウェハを移
載する工程を説明するための工程説明図、第２図ａ　’
＝　ｃはウェハの移載装置の他例を説明するための説明
図、第３図乃至第１０図はウェハの移載工程を示す斜視
図、第１１図は移載装置の斜視図、第１２図は第１１図
の平行リンク機構を示した部分拡大斜視図、第１３図は
平行リンク機構の他例を示した部分斜視図、第１４図は
第１３図の部分断面図、第１５図は平行リンク機構の他
例を示した部分斜視図である。１・・・・被配列体５・・・・ハンド部片７・・・・リンク構成部特　許　出　願　人　東京エレクトロン株式会社第１図第３図第４図第５図第７図第８図第１０図第１２図第１５図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）第１のピッチ間隔で配列された各被配列体を同時
に把持するごとく対向配置された一対のハンド部片を配
置し、これら各ハンド部片と交叉する位置にリンク構成
部を設けて平行リンク機構を構成し、上記のリンク構成
部を傾斜方向に移動させることにより、第２のピッチ間
隔に被配列体を配列することを特徴とする移載装置。
（２）リンク構成部は、並列配置されているハンド部片
に対して適宜の傾斜角度で連結した請求項１記載の移載
装置。