JPH01276789A - 金属ベース基板 - Google Patents
金属ベース基板Info
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- JPH01276789A JPH01276789A JP10580488A JP10580488A JPH01276789A JP H01276789 A JPH01276789 A JP H01276789A JP 10580488 A JP10580488 A JP 10580488A JP 10580488 A JP10580488 A JP 10580488A JP H01276789 A JPH01276789 A JP H01276789A
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Links
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims abstract description 48
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims abstract description 48
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims abstract description 31
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 claims abstract description 25
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 22
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 20
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 19
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 10
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 claims abstract description 10
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000010953 base metal Substances 0.000 claims abstract description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 18
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 claims description 9
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 7
- 238000005476 soldering Methods 0.000 abstract description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 abstract 2
- 239000004848 polyfunctional curative Substances 0.000 abstract 1
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 12
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical group [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 7
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N dicyandiamide Chemical compound NC(N)=NC#N QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920003223 poly(pyromellitimide-1,4-diphenyl ether) Polymers 0.000 description 6
- ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 5K8XI641G3 Chemical compound CCC1=NC=C(C)N1 ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- PQAMFDRRWURCFQ-UHFFFAOYSA-N 2-ethyl-1h-imidazole Chemical compound CCC1=NC=CN1 PQAMFDRRWURCFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1h-imidazole Chemical compound CC1=NC=CN1 LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-1h-imidazole Chemical compound C1=CNC(C=2C=CC=CC=2)=N1 ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 description 1
- 229920001646 UPILEX Polymers 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 239000004841 bisphenol A epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000003851 corona treatment Methods 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000000866 electrolytic etching Methods 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 1
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 that is Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/05—Insulated conductive substrates, e.g. insulated metal substrate
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Insulated Metal Substrates For Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ハイブリッドICを製造するために用いられ
る新規な金属ベース基板に関する。
る新規な金属ベース基板に関する。
最近の電子装置の小型化に伴い、各種の部品、例えば抵
抗、コンデンサ、トランジスタ等を混成して一つの基板
上に設置して電子的機能を持たすハイブリッドICが重
視されている。ハイブリッドICは、その回路上にパワ
ートランジスターや抵抗体などの発熱部品を搭載するた
め、その絶縁層は、耐電圧強度の他に、回路の稼働中に
発生する熱を効果的に放出すべく熱伝導性も良好である
ことが要求される。
抗、コンデンサ、トランジスタ等を混成して一つの基板
上に設置して電子的機能を持たすハイブリッドICが重
視されている。ハイブリッドICは、その回路上にパワ
ートランジスターや抵抗体などの発熱部品を搭載するた
め、その絶縁層は、耐電圧強度の他に、回路の稼働中に
発生する熱を効果的に放出すべく熱伝導性も良好である
ことが要求される。
従来ハイブリッドICとして、その絶縁層がアルミナを
主体とするセラミックが主として使用されてきた。しか
しセラミックは割れやすいために大型基板の製造が困難
であり、又ベース金属板との接着も工程的に複雑である
ため、最近、セラミックに代わって耐熱性の優れたポリ
イミドフィルムをベース金属板と回路形成用導電性金属
箔との間の絶縁層形成材料として使用する所謂金属ベー
ス基板が重視されつつある。
主体とするセラミックが主として使用されてきた。しか
しセラミックは割れやすいために大型基板の製造が困難
であり、又ベース金属板との接着も工程的に複雑である
ため、最近、セラミックに代わって耐熱性の優れたポリ
イミドフィルムをベース金属板と回路形成用導電性金属
箔との間の絶縁層形成材料として使用する所謂金属ベー
ス基板が重視されつつある。
この場合、ポリイミドフィルムをベース金属板並びに回
路形成用導電性金属箔と接着する必要があり、またポリ
イミドフィルムは接着性があまり良好ではないので、従
来はそのための接着剤としてエポキシ樹脂にニトリルゴ
ム、ポリビニルブチラール、ポリアミド樹脂等を混合し
であるいは反応させて得た特殊なものが開発使用されて
いた。
路形成用導電性金属箔と接着する必要があり、またポリ
イミドフィルムは接着性があまり良好ではないので、従
来はそのための接着剤としてエポキシ樹脂にニトリルゴ
ム、ポリビニルブチラール、ポリアミド樹脂等を混合し
であるいは反応させて得た特殊なものが開発使用されて
いた。
しかしながらそれら接着剤は耐熱性や耐湿熱性等が充分
でないので、従来のポリイミド絶縁金属ベース基板は、
回路に各種部品を半田付する際の高温度、あるいはプレ
ッシャー・クツカー試験(PCT)時の温熱によって回
路層が剥離する問題がある。又更に、ハイブリッドIC
としての放熱性を良くするために接着剤に無機フィラー
を混合してその熱伝導性を向上せしめんとすると、接着
効果が大きく低下する問題もある。
でないので、従来のポリイミド絶縁金属ベース基板は、
回路に各種部品を半田付する際の高温度、あるいはプレ
ッシャー・クツカー試験(PCT)時の温熱によって回
路層が剥離する問題がある。又更に、ハイブリッドIC
としての放熱性を良くするために接着剤に無機フィラー
を混合してその熱伝導性を向上せしめんとすると、接着
効果が大きく低下する問題もある。
従って本発明の目的は、耐半田付性、耐PCT性の改善
されたポリイミド絶縁金属ベース基板を提供することに
ある。
されたポリイミド絶縁金属ベース基板を提供することに
ある。
本発明は、(1)回路形成用導電性金属箔とベース金属
板との間にポリイミドフィルムからなる絶縁層が接着剤
により接着された金属ベース基板において、接着剤とし
て(A)ノボラック型エポキシ樹脂とエポキシ当N18
0〜200のビスフェノールA型エポキシ樹脂とを反応
させて得られたエポキシ樹脂、(B)エポキシ当量90
0〜2100のビスフェノールA型エポキシ樹脂、(C
)硬化剤、及び(D)促進剤とからなり、前記(A)成
分と(B)成分との使用比率は(A)成分30〜80重
量部、(B)成分70〜20重量部であるエポキシ樹脂
組成物を使用してなることを特徴とする金属ベース基板
、あるいは(2)ポリイミドフィルムとして両面無処理
のものあるいは両面をコロナ処理したものを使用し、ま
た接着剤として上記のエポキシ樹脂組成物と当該組成物
100重量部あたり40〜400重量部の無機フィラー
とからなるものを用いる金属ベース基板に関する。
板との間にポリイミドフィルムからなる絶縁層が接着剤
により接着された金属ベース基板において、接着剤とし
て(A)ノボラック型エポキシ樹脂とエポキシ当N18
0〜200のビスフェノールA型エポキシ樹脂とを反応
させて得られたエポキシ樹脂、(B)エポキシ当量90
0〜2100のビスフェノールA型エポキシ樹脂、(C
)硬化剤、及び(D)促進剤とからなり、前記(A)成
分と(B)成分との使用比率は(A)成分30〜80重
量部、(B)成分70〜20重量部であるエポキシ樹脂
組成物を使用してなることを特徴とする金属ベース基板
、あるいは(2)ポリイミドフィルムとして両面無処理
のものあるいは両面をコロナ処理したものを使用し、ま
た接着剤として上記のエポキシ樹脂組成物と当該組成物
100重量部あたり40〜400重量部の無機フィラー
とからなるものを用いる金属ベース基板に関する。
前記(A)〜(D)成分から得られるエポキシ樹脂は、
単独あるいは熱伝導性を向上する作用をなす無機微粉末
を多量に配合した状態でポリイミドフィルム、特に表面
をコロナ処理したポリイミドフィルムと回路形成用導電
性金属箔又はベース金属板とを強固に接着する作用をな
し、しかも接着状態において耐熱性、耐湿熱性、及び電
気絶縁性に優れている。
単独あるいは熱伝導性を向上する作用をなす無機微粉末
を多量に配合した状態でポリイミドフィルム、特に表面
をコロナ処理したポリイミドフィルムと回路形成用導電
性金属箔又はベース金属板とを強固に接着する作用をな
し、しかも接着状態において耐熱性、耐湿熱性、及び電
気絶縁性に優れている。
まず本発明において接着剤として使用するエポキシ樹脂
組成物につき説明する。
組成物につき説明する。
ノボラック型エポキシ樹脂の例としては、フェノールノ
ボラック型エポキシ樹脂、タレゾールノボラック型エポ
キシ樹脂などであり、就中エポキシ当量が170〜23
0程度のものが好適である。
ボラック型エポキシ樹脂、タレゾールノボラック型エポ
キシ樹脂などであり、就中エポキシ当量が170〜23
0程度のものが好適である。
フェノールノボラック型エポキシ樹脂の市販品では、東
部化成社のYDPN−638(エポキシ当量:170〜
190 g/eq) 、ダウケミカル社のDEN−43
1(エポキシ当量= 172〜179g/eq)等があ
り、タレゾールノボラック型エポキシ樹脂の市販品では
、東部化成社のYDCN−701(エポキシ当量:20
0〜230 g/eq)、同YDCN−703(エポキ
シ当4200〜230 g/eq) 、住友化学社のE
SCN220 (エポキシ当量: 220g/ eq)
D等がある。
部化成社のYDPN−638(エポキシ当量:170〜
190 g/eq) 、ダウケミカル社のDEN−43
1(エポキシ当量= 172〜179g/eq)等があ
り、タレゾールノボラック型エポキシ樹脂の市販品では
、東部化成社のYDCN−701(エポキシ当量:20
0〜230 g/eq)、同YDCN−703(エポキ
シ当4200〜230 g/eq) 、住友化学社のE
SCN220 (エポキシ当量: 220g/ eq)
D等がある。
エポキシ当量180〜200のビスフェノールA型エポ
キシ樹脂の市販品では、東部化成社のYD128(エポ
キシ当量:184〜194 g/eq) 、三菱油化社
のエピコート828(エポキシ当量; 184〜194
g/eq)等がある。
キシ樹脂の市販品では、東部化成社のYD128(エポ
キシ当量:184〜194 g/eq) 、三菱油化社
のエピコート828(エポキシ当量; 184〜194
g/eq)等がある。
また上記2種類のエポキシ樹脂を反応させて得られたエ
ポキシ樹脂即ち(A)成分の市販品では、東部化成社の
ZX−661(エポキシ当l:4B2g/eq)等があ
る。
ポキシ樹脂即ち(A)成分の市販品では、東部化成社の
ZX−661(エポキシ当l:4B2g/eq)等があ
る。
エポキシ当ff1900〜2100のビスフェノールA
型エポキシ樹脂即ち(B)成分の市販品では、東部化成
社のYDO14(エポキシ当ffi:900〜1000
g/eq)、同YDO17(エポキシ当量:1750〜
2100g/eq)等がある。
型エポキシ樹脂即ち(B)成分の市販品では、東部化成
社のYDO14(エポキシ当ffi:900〜1000
g/eq)、同YDO17(エポキシ当量:1750〜
2100g/eq)等がある。
(C)硬化剤、及び(D)促進剤としては、それぞれエ
ポキシ樹脂用として周知のものを使用してよく、硬化剤
としては、例えばジシアンジアミド、ヘンゾグアナミン
等のアミンまたはアミド類、促進剤としては、2−フヱ
ニルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチ
ル−4−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール
等のイミダゾール類を例示出来る。
ポキシ樹脂用として周知のものを使用してよく、硬化剤
としては、例えばジシアンジアミド、ヘンゾグアナミン
等のアミンまたはアミド類、促進剤としては、2−フヱ
ニルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチ
ル−4−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール
等のイミダゾール類を例示出来る。
前記(A)成分と(1))成分とは、(A)成分30〜
80重量部、(B)成分70〜20重量部の比率で使用
される。(A)成分の使用比率が上記範囲より多いとB
ステージでの可撓性が悪くなる問題があり、逆に(B)
成分の使用比率が上記範囲より多いと耐ハンダ性が低下
する問題がある。
80重量部、(B)成分70〜20重量部の比率で使用
される。(A)成分の使用比率が上記範囲より多いとB
ステージでの可撓性が悪くなる問題があり、逆に(B)
成分の使用比率が上記範囲より多いと耐ハンダ性が低下
する問題がある。
硬化剤の使用量は、(A)成分と(B)成分との合計物
のエポキシ1当量あたり0.2〜1.0当量程度であり
、促進剤の使用量は硬化剤1重量部あたり0.O1〜5
重量部程度である。なお硬化剤としてジシアンジアミド
を、また促進剤として2−エチル−4−メチルイミダゾ
ールをそれぞれ使用すると、エポキシ樹脂の硬化が速く
てしがもBステージ状態で可撓性並びに安定性の優れた
ものが得られる。その場合のジシアンジアミドの好まし
い使用量は、(A)成分と(B)成分との合計物のエポ
キシ1当量あたり0.5〜0.7当量程度であり、2−
エチル−4−メチルイミダゾールの使用量はジシアンジ
アミド1重量部あたり0.05〜1重量部程度である。
のエポキシ1当量あたり0.2〜1.0当量程度であり
、促進剤の使用量は硬化剤1重量部あたり0.O1〜5
重量部程度である。なお硬化剤としてジシアンジアミド
を、また促進剤として2−エチル−4−メチルイミダゾ
ールをそれぞれ使用すると、エポキシ樹脂の硬化が速く
てしがもBステージ状態で可撓性並びに安定性の優れた
ものが得られる。その場合のジシアンジアミドの好まし
い使用量は、(A)成分と(B)成分との合計物のエポ
キシ1当量あたり0.5〜0.7当量程度であり、2−
エチル−4−メチルイミダゾールの使用量はジシアンジ
アミド1重量部あたり0.05〜1重量部程度である。
上記のエポキシ樹脂組成物は、単独で使用してもよいが
、熱伝導性を向上させるために無機フィラー、特ニ平均
粒度(SEDIGRAPI+ 50000 ニよる積算
重量が50%となる値)0゜1〜10μm程度のアルミ
ナ粉、シリカ粉、千フ化ホウ素粉、チッ化アルミニウム
粉、マイカ粉等を当該エポキシ樹脂100重量部あたり
40〜400重盪部程度配合して使用することが好まし
い。
、熱伝導性を向上させるために無機フィラー、特ニ平均
粒度(SEDIGRAPI+ 50000 ニよる積算
重量が50%となる値)0゜1〜10μm程度のアルミ
ナ粉、シリカ粉、千フ化ホウ素粉、チッ化アルミニウム
粉、マイカ粉等を当該エポキシ樹脂100重量部あたり
40〜400重盪部程度配合して使用することが好まし
い。
本発明において使用するポリイミドフィルムとしては、
各種のポリイミドからなるフィルム、あるいは前記した
無機フィラー、特に平均粒度0.1〜10μ鴫程度のも
のを10〜70重量%含有してなるポリイミドからなる
フィルムが例示される。なおポリイミドとして特に好ま
しいものは、下記構造式(1)または(2)を有するも
のである。
各種のポリイミドからなるフィルム、あるいは前記した
無機フィラー、特に平均粒度0.1〜10μ鴫程度のも
のを10〜70重量%含有してなるポリイミドからなる
フィルムが例示される。なおポリイミドとして特に好ま
しいものは、下記構造式(1)または(2)を有するも
のである。
本発明において使用するエポキシ樹脂組成物が良好な接
で作用を示すので、前記ポリイミドフィルムは両面無処
理のままで使用してもよいが、両面をコロナ処理したも
のは特に優れた接着性を示す。一般に無機フィラー入り
ポリイミドフィルムは、接着性が良好であるので両面無
処理のままで使用してもよいが、無機フィラー無しのポ
リイミドフィルムの場合、その両面をコロナ処理したも
のが好ましい。前記構造式(1)のポリイミドフィルム
の市販品では、Kapton 100H(Du Pon
t社製、無機フィラー無しの両面コロナ処理品) 、K
aptonlooXT、 Kapton 200XT、
Kapton 100MT(いずれもDu Pont
社製、アルミナ含有の両面コロナ無処理品) 、Kap
ton 200X−M2S(Du ’PontPont
社製含有の両面コロナ無処理品)等があり、前記構造式
(2)のポリイミドフィルムの市販品では、ユービレッ
クス25R(宇部興産社製、無機フィラー無しの両面コ
ロナ処理品)等がある。
で作用を示すので、前記ポリイミドフィルムは両面無処
理のままで使用してもよいが、両面をコロナ処理したも
のは特に優れた接着性を示す。一般に無機フィラー入り
ポリイミドフィルムは、接着性が良好であるので両面無
処理のままで使用してもよいが、無機フィラー無しのポ
リイミドフィルムの場合、その両面をコロナ処理したも
のが好ましい。前記構造式(1)のポリイミドフィルム
の市販品では、Kapton 100H(Du Pon
t社製、無機フィラー無しの両面コロナ処理品) 、K
aptonlooXT、 Kapton 200XT、
Kapton 100MT(いずれもDu Pont
社製、アルミナ含有の両面コロナ無処理品) 、Kap
ton 200X−M2S(Du ’PontPont
社製含有の両面コロナ無処理品)等があり、前記構造式
(2)のポリイミドフィルムの市販品では、ユービレッ
クス25R(宇部興産社製、無機フィラー無しの両面コ
ロナ処理品)等がある。
以下、実施例および比較例により本発明を具体的に説明
する。
する。
実施例1
フェノールノボラック型エポキシ樹脂(東部化成社のY
DPN−638、エポキシ当量:170〜190 g/
eq)とビスフェノール型エポキシ樹脂(東部化成社の
YD128 、エポキシ当i:184〜194 g/e
q) とを反応させて得られたエポキシ樹脂(東部化成
社のZX−661、エポキシ当t:482g/eq>の
60fflfit%メチルエチルケトン溶液と、エポキ
シ当■949のビスフェノールA型エポキシ樹脂の50
重量%メチルセロソルブ/メチルイソブチルケトン1対
1溶液、ジシアンジアミドの10重量%メチルセロソル
ブ/ジメチルホルムアミド1対1!8液、及び2−エチ
ル−4−メチルイミダゾールの1重量%メチルエチルケ
トン溶液とをそれぞれ固形分比で70/30/1.51
0.2の比率で混合してエポキシ樹脂接着剤を調製した
。
DPN−638、エポキシ当量:170〜190 g/
eq)とビスフェノール型エポキシ樹脂(東部化成社の
YD128 、エポキシ当i:184〜194 g/e
q) とを反応させて得られたエポキシ樹脂(東部化成
社のZX−661、エポキシ当t:482g/eq>の
60fflfit%メチルエチルケトン溶液と、エポキ
シ当■949のビスフェノールA型エポキシ樹脂の50
重量%メチルセロソルブ/メチルイソブチルケトン1対
1溶液、ジシアンジアミドの10重量%メチルセロソル
ブ/ジメチルホルムアミド1対1!8液、及び2−エチ
ル−4−メチルイミダゾールの1重量%メチルエチルケ
トン溶液とをそれぞれ固形分比で70/30/1.51
0.2の比率で混合してエポキシ樹脂接着剤を調製した
。
これを35μmff1箔に連続的に塗布し、乾燥してB
ステージ化した後、ポリイミドフィルム(ユーピレック
ス25R1宇部興産社製)を接着した。
ステージ化した後、ポリイミドフィルム(ユーピレック
ス25R1宇部興産社製)を接着した。
次いで上記のポリイミドフィルムの残る片面に同じエポ
キシ樹脂接着剤を塗布し、乾燥してBステージ化した後
、アルミニウム板(接着面は、予め電解エツチングによ
り粗したもの)に接着し、最後に温度180°Cで60
分間熱プレスしてエポキシ樹脂接着剤をCステージ化し
てポリイミド絶縁アルミニウムベース基板を得た。
キシ樹脂接着剤を塗布し、乾燥してBステージ化した後
、アルミニウム板(接着面は、予め電解エツチングによ
り粗したもの)に接着し、最後に温度180°Cで60
分間熱プレスしてエポキシ樹脂接着剤をCステージ化し
てポリイミド絶縁アルミニウムベース基板を得た。
実施例2
実施例1で使用したエポキシ樹脂接着剤と、その固形分
100重量部に対して平均粒径0.6μmのアルミナ粉
を60重量部とを3木ロールにて混合して接着剤を得た
。この接着剤を使用し、実施例と同様にしてポリイミド
絶縁アルミニウムベース基板を得た。
100重量部に対して平均粒径0.6μmのアルミナ粉
を60重量部とを3木ロールにて混合して接着剤を得た
。この接着剤を使用し、実施例と同様にしてポリイミド
絶縁アルミニウムベース基板を得た。
実施例3
ポリイミドフィルムとしてKapton 200χT(
DuPont社製、アルミナ含有量約35重量%の両面
コロナ無処理品)を使用した以外は、実施例1と同様に
してポリイミド絶縁アルミニウムベース基板を得た。
DuPont社製、アルミナ含有量約35重量%の両面
コロナ無処理品)を使用した以外は、実施例1と同様に
してポリイミド絶縁アルミニウムベース基板を得た。
実施例4
ポリイミドフィルムとしてKapton 200XT
(DuPor+L社製、アルミナ含有量約35重量%の
両面コロナ無処理品)を使用した以外は、実施例2と同
様にしてポリイミド絶縁アルミニウムベース基板を得た
。
(DuPor+L社製、アルミナ含有量約35重量%の
両面コロナ無処理品)を使用した以外は、実施例2と同
様にしてポリイミド絶縁アルミニウムベース基板を得た
。
比較例1
実施例1で使用したフェノールノボラック型エポキシ樹
脂とビスフェノール型エポキシ樹脂とを反応させて得ら
れたエポキシ樹脂(東部化成針のZX−661、エポキ
シ当量:482g/eq)の60重量%メチルエチルケ
トン溶液、ジシアンジアミドの10重量%メチルセロソ
ルブ/ジメチルホルムアミド1対1溶液、及び2−エチ
ル−4−メチルイミダゾールの1重量%メチルエチルケ
トン溶液とをそれぞれ固形分比で70/l、510.2
の比率で混合してエポキシ樹脂接着剤を調製し、これを
使用して実施例1と同様にしてポリイミド絶縁アルミニ
ウムベース基板を得た。
脂とビスフェノール型エポキシ樹脂とを反応させて得ら
れたエポキシ樹脂(東部化成針のZX−661、エポキ
シ当量:482g/eq)の60重量%メチルエチルケ
トン溶液、ジシアンジアミドの10重量%メチルセロソ
ルブ/ジメチルホルムアミド1対1溶液、及び2−エチ
ル−4−メチルイミダゾールの1重量%メチルエチルケ
トン溶液とをそれぞれ固形分比で70/l、510.2
の比率で混合してエポキシ樹脂接着剤を調製し、これを
使用して実施例1と同様にしてポリイミド絶縁アルミニ
ウムベース基板を得た。
実施例1〜4、並びに比較例1で得た各ポリイミド絶縁
アルミニウムベース基板の構造と特性を第1表に示す。
アルミニウムベース基板の構造と特性を第1表に示す。
〔以下余白]
Claims (2)
- (1)回路形成用導電性金属箔とベース金属板との間に
ポリイミドフィルムからなる絶縁層が接着剤により接着
された金属ベース基板において、接着剤として(A)ノ
ボラック型エポキシ樹脂とエポキシ当量180〜200
のビスフェノールA型エポキシ樹脂とを反応させて得ら
れたエポキシ樹脂、(B)エポキシ当量900〜210
0のビスフェノールA型エポキシ樹脂、(C)硬化剤、
及び(D)促進剤とからなり、前記(A)成分と(B)
成分との使用比率は(A)成分30〜80重量部、(B
)成分70〜20重量部であるエポキシ樹脂組成物を使
用してなることを特徴とする金属ベース基板。 - (2)ポリイミドフィルムとして両面無処理のもの、あ
るいは両面をコロナ処理したものを使用し、また接着剤
として第1請求項に記載のエポキシ樹脂組成物と当該組
成物100重量部あたり40〜400重量部の無機フィ
ラーとからなるものを用いる第1請求項に記載の金属ベ
ース基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10580488A JPH01276789A (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 金属ベース基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10580488A JPH01276789A (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 金属ベース基板 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01276789A true JPH01276789A (ja) | 1989-11-07 |
Family
ID=14417300
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10580488A Pending JPH01276789A (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 金属ベース基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01276789A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100741615B1 (ko) * | 2004-01-30 | 2007-07-23 | 히다치 가세고교 가부시끼가이샤 | 접착 보조제 부착 금속박, 인쇄 배선판 및 인쇄 배선판의제조 방법 |
CN108282960A (zh) * | 2018-01-08 | 2018-07-13 | 苏州群策科技有限公司 | 一种超薄板的制造方法 |
-
1988
- 1988-04-28 JP JP10580488A patent/JPH01276789A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100741615B1 (ko) * | 2004-01-30 | 2007-07-23 | 히다치 가세고교 가부시끼가이샤 | 접착 보조제 부착 금속박, 인쇄 배선판 및 인쇄 배선판의제조 방법 |
KR100741449B1 (ko) * | 2004-01-30 | 2007-07-23 | 히다치 가세고교 가부시끼가이샤 | 접착 보조제 부착 금속박, 인쇄 배선판 및 인쇄 배선판의제조 방법 |
KR100767177B1 (ko) * | 2004-01-30 | 2007-10-15 | 히다치 가세고교 가부시끼가이샤 | 접착 보조제 부착 금속박, 인쇄 배선판 및 인쇄 배선판의제조 방법 |
US7629045B2 (en) | 2004-01-30 | 2009-12-08 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Adhesion assisting agent-bearing metal foil, printed wiring board, and production method of printed wiring board |
US7862889B2 (en) | 2004-01-30 | 2011-01-04 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | Adhesion assisting agent-bearing metal foil, printed wiring board, and production method of printed wiring board |
US8815334B2 (en) | 2004-01-30 | 2014-08-26 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | Adhesion assisting agent-bearing metal foil, printed wiring board, and production method of printed wiring board |
CN108282960A (zh) * | 2018-01-08 | 2018-07-13 | 苏州群策科技有限公司 | 一种超薄板的制造方法 |
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