JPH01272982A - 基板の検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、プリント基板の断線や短絡等を検査する基板
の検査装置に関する。

（従来の技術） 近年の高密度実装化により、多層プリント基板が広く普
及しているが、このような基板の多層化により回路パタ
ーンの短絡や断線が原因のトラブルも増加している。そ
こで、このような高密度化されたプリント基板をローコ
ストで検査し、品質保証するための基板検査装置が急速
に普及している。

第３図は、このような従来の両面実装用プリント配線基
板の検査装置の正面図である。

テストヘッド１上には、格子交点状に多数のプローブピ
ンが植設されており、このプローブピン２と被検査プリ
ント基板３の下面の電極端子例えばパッドは夫々測定部
となるテスタ４へと接続されている。

一方、テストヘッド上方には、上部テストヘッド５が昇
降可能に配設されており、この上部テストヘッド５下面
に、被検査プリント配線基板３が両面実装用基板の場合
には測定用プローブピン７が植設された例えば箱形のｉ
’１ｌｌＪ定用アダプタ８が例えばボルト９等により取
付けられている。また、被検査プリント基板３か片面実
装用基板の場合には、上記測定用アダプタ８は不要とな
るので、測定用アダプタの代イつりにほぼ同形状の枠体
であるダミー用アダプタを取付けておく。

このような基板検査装置による検査方法は、ます、テス
トヘット１上に被検査プリント基板３を載置した後、上
部テストヘッド５を下降させて基板の電極とプローブピ
ン２．９とを押圧させて基板両面の検査を同時に行う。

このときの測定結果は、装置ＣＰＵｌ０にて処理し、異
常値の判断を行う。

（発明か解決しようとする課題） ところで、上述測定用アダプタは、基板の品種毎に合わ
せて交換する必要があり、近年の基板の多品種・少量生
産化にともない、この測定用アダプタの交換作業は頻繁
に行われるようになり、交換時の位置決め作業を迅速か
つ確実に行うことが要求されている。

しかしながら、上述した従来の検査装置では、測定用ア
ダプタの取付は構造が、４１す走用アダプタ上面のフラ
ンジ部を上部テストヘッドに多数のボルトで固定する構
造となっているため、測定用アダプタ交換時における位
置決めは、このボルトを１本１本ゆるめながら測定用ア
ダプタのＸ方向、Ｙ方向およびθの調整を行わなければ
ならず、迅速な位置決め作業ができないという問題があ
った。

また、作業員が多数のボルト全てを確実に締付けなけれ
ばならず、ボルト締付は時に締め忘れや位置ずれ等が発
生しやすく、取付は作業の正確さにも問題があった。

本発明は、上述した問題点を解決するためになされたも
ので、測定用アダプタの位置合せ作業を迅速にかつ確実
に行うことができる基板の検査装置を提供することを目
的とする。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明の基板の検査装置は、多数のプローブピンを植設
した下部テストヘッドと、この下部テストヘット上方に
対向して配置された上部テストヘッドと、この上部テス
トヘッド下面に取付けられ、被検査基板の所定の電極部
に対応するプローブピンを下面に植設した７１１１ｊ定
用アダプタとを備え、上記下部テストヘッドのプローブ
ピンと上記測定用アダプタのプローブピンを被検査基板
の電極部に接触させて測定する基板の検査装置において
、前記上部テストヘットと前記測定用アダプタ間に、７
Ｉ［ｌＩ定用アダプタを基板表面に対してＸ方向、Ｙ方
向およびθ方向に移動させるδＩＩＩ定用アダプタ位置
合せ機構を設けたことを特徴とするものである。

（作　用） 基板検査装置の上部テストヘッドとｐｊ定走用ダプタ間
に、ｆｌｌｌｌ定用アダプタを基板表面に対してＸ方向
、Ｙ方向およびθ方向に移動させる測定用アダプタ位置
合せ機構を設けることで、測定用アダプタの位置合せ作
業を迅速にがっ確実に行うことができる。

（実施例） 以下、本発明の一実施例について図を参照して説明する
。

例えば長さ１０ｍｍのプローブピン１１を、例えば１９
２ピン×１３０ピンの格子交点状に植設したテストヘッ
ド１２上方には、箱状の測定用アダプタ１３がアダプタ
位置合せ機構１４を介して昇降自在の上部テストヘッド
１５に配設されている。

上記測定用アダプタ１５下面には、テストヘッド１２と
同様にプローブピン１６が多数植設されており、７１Ｉ
ｌ定用アダプタ１３およびテストヘッド１２の両プロー
ブピン１１．１６とも図示を省略したテスタに配線接続
されている。

上記アダプタ位置合せ機構１４は、上部テストヘッド１
５下面に減衰機構例えば複数のバネ］７により吊設され
ており、このアダプタ位置合せ機構１４に設けられたＸ
方向調整つまみ１８、Ｙ方向調整つまみ１９およびθ方
向調整っまみ２０により、測定用アダプタ１３のＸ−Ｙ
−θ方向の位置合せが可能となっている。

また、上部テストヘッド１５下面には、アダプタ位置合
せ機構１４の両側面方向を覆うように、アダプタ押圧ブ
ロック２１が取付けられている。

そして、上部テストヘッド１５が下降してプローブピン
１６かテストヘッド１２上の基板２２に当接した際に、
上記抑圧ブロック２２の下面が、アダプタ位置合せ機構
１４のアダプタ取付板２３上面を押圧することにより、
アダプタ取付板２３下面に取付けられた測定用アダプタ
１３か基板２２をテストヘッド１２上に押圧するように
構成されている。

以下、このアダプタ位置合せ機構のさらに詳細な説明を
第２図の上平面図を参照して説明する。

アダプタ位置合せ機構１４の基台となるベース枠２４は
、４本のベースプレート２５　ａ、　２５　ｂ。

２５ｃ、２５ｄにより矩形に形成した枠体２５と、この
枠体２５上面の各コーナ一部に突設したブロック体２６
により構成されている。

ベース枠２４正面および背面のベースプレート２５ａ、
２５ｂ上には、Ｘ方向スライド機構例えばＬＭローラ２
７が取付けられており、これらＬＭフローラ７上に矩形
の第１テーブル２８が上記ベース枠２４の各ブロック体
２６と間隙をもうけて搭載されている。

第１テーブル２８の下側面部には、夫々Ｙ方向スライド
機構例えばＬＭローラ２９が取付けられており、これら
ＬＭローラ２９により矩形の第２テーブル３０が吊設さ
れている。

この第２テーブル３０のほぼ中央部には、回転機構例え
ばベアリング３１が取付けられており、このベアリング
３１により上記第２プレート３０が回転可能となってい
る。

ところで、Ｘ方向調整つまみ１８のシャフト〕８ａ先端
部は、１組のベベルギア３２に接続されており、このベ
ベルギア３２を介して、一端が第２テーブル３０の一側
辺と当接し、他端が上記シャフト１８ａに直交するよう
に伸縮機構例えばボールスクリュー３３が接続されてい
る。即ち、第２テーブル３０のＸ方向の調整は、Ｘ方向
調整つまみ１８を回転させてボールスクリュー３３を伸
縮させることにより、第１テーブル２８をＬＭフローラ
７上でスライドさせて行う。

また、Ｙ方向調整つまみ１９はボールスクリューで構成
されており、そのシャフト先端部１９ａは、第２テーブ
ル３０の正面中央端部に当接している。このＹ方向調整
つまみ１９を回転させることにより、第２テーブル３０
がＬＭローラ２９上をＹ方向に移動する。

また、θ方向調整つまみ２０は、上記Ｙ方向調整つまみ
１９と同様にボールスクリューで構成されており、その
シャフト先端部２０ａは、第２テーブル３０の正面角部
に当接している。このθ方向調整つまみ２０を回転させ
ることにより、第２テーブル３０かベアリング３１を中
心にして回転する。

また、第２テーブル３０両側辺には、ばね取付は治具３
４が設けられており、このばね取付は治具３４は、両側
面のベースプレート２５ｂ、２５ｄに固定されたばね機
構３５に接続されている。

これらばね機構３５の弾性により、θ方向調整つまみシ
ャフト先端部２０ａの進退に第２テーブル３０か追従す
るように構成されている。

上述構成により、第２テーブル３０下面に取伺けられた
アダプタ取付板２３の位置合せは、上記Ｘ方向調整つま
み１８、Ｙ方向調整つまみ１９およびθ方向調整つまみ
２０により簡単に行うことができる。

このような測定用アダプタの位置合せ機構を設けること
により、従来のように、測定用アダプタと上部テストヘ
ッドとの固定ボルトを全てゆるめながら位置合せを行う
必要がなくなり、位置合せ作業の大幅な簡略化が可能と
なる。また、ボルトの締め忘れやボルト締め時の位置ず
れ等のトラブルの発生もなくなり、確実な位置合せ作業
か行える。

ところで、検査時には、プローブビン１本当りに例えば
１００グラムの圧力を加えるため、プローブピン数が例
えば２４０００本植設されている場合には、約２．４ト
ンの圧力が測定用アダプタに全体に加イつることになり
、このような高圧条件下では、上記位置合せ機構の耐久
性に問題が生じる。そこで、本例では、上部テストヘッ
ド１５下面にアダプタ位置合せ機構１４の両側面方向を
覆うように、アダプタ抑圧ブロック２２を取付け、この
抑圧ブロック２２の下面がアダプタ取付板２３の上面を
抑圧することにより、測定用アダプタ１３が基板２２に
圧接するように構成したので、アダプタ位置合せ機構１
４には圧力が加わらず、上記問題はない。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の基板の検査装置によれば
、７ｊ［ｌＩ定用アダプタの位置合せ作業を迅速にかつ
確実に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による一実施例の基板検査装置のｆｌｌ
ｌｌｌｌｌｌ型部面図、第２図は第１図のアダプタ位置
合せ機構を示す上平面図、第３図は従来の基板の検査装
置の正面図である。 １１．１６・・・プローブピン、１３・・・・測定用ア
ダプタ、１４・・・・位置合せ機構、１５・・・・上部
テストヘッド、１８・・・・・・Ｘ方向調整つまみ、］
９・・・・・Ｙ方向調整つまみ、２０・・・・・・θ方
向調整つまみ、２２・・・・・・基板、２４・・・・ベ
ース枠、２８・・・・・第１テーブル、３０・・・・・
第２テーブル。 出願人　　　　　　チル山梨株式会社 代理人　弁理士　　須　山　佐　−

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 多数のプローブピンを植設した下部テストヘッドと、こ
   の下部テストヘッド上方に対向して配置された上部テス
   トヘッドと、この上部テストヘッド下面に取付けられ、
   被検査基板の所定の電極部に対応するプローブピンを下
   面に植設した測定用アダプタとを備え、上記下部テスト
   ヘッドのプローブピンと上記測定用アダプタのプローブ
   ピンを被検査基板の電極部に接触させて測定する基板の
   検査装置において、 前記上部テストヘッドと前記測定用アダプタ間に、測定
   用アダプタを基板表面に対してＸ方向、Ｙ方向およびθ
   方向に移動させる測定用アダプタ位置合せ機構を設けた
   ことを特徴とする基板の検査装置。