JPH01266882A - System of working coated film of magnetic disk - Google Patents

System of working coated film of magnetic disk

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JPH01266882A
JPH01266882A JP9350588A JP9350588A JPH01266882A JP H01266882 A JPH01266882 A JP H01266882A JP 9350588 A JP9350588 A JP 9350588A JP 9350588 A JP9350588 A JP 9350588A JP H01266882 A JPH01266882 A JP H01266882A
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JP
Japan
Prior art keywords
magnetic disk
speed
head
tape
circumferential side
Prior art date
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Pending
Application number
JP9350588A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Enokido
榎戸 寛
Hideaki Yamamoto
英昭 山本
Hiroshi Okada
弘 岡田
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Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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Publication of JPH01266882A publication Critical patent/JPH01266882A/en
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Abstract

PURPOSE:To additionally improve working accuracy by constituting the system in such a manner that at least either of the moving speed of a pressing head in the radial direction of a magnetic disk or the feed speed of a polishing tape in addition to the rotating speed of the magnetic disk can be varied and control ling these speeds. CONSTITUTION:A revolving shaft 2 is revolved by operating a motor 3 for rotation and the polishing tape 4 is fed by operating a take-up motor 10. The pressing head 5 is moved toward the radial direction of the magnetic disk 1 by operating a head moving motor 13. The movement of the head 5 is detected by an encoder 14 an the signal relating to the position of the head 5 is inputted to a control circuit. The results of the computations of the rotating speeds of the respective motors 3, 10, 13 based on the input signal are inputted to respective controllers. The rotating speeds of the motors 3, 10, 13 are changed in accordance with such input signals, by which the rotating speed of the disk 1, the feed speed of the tape 4 and the speed of the head 5 are changed.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分Yf1 本発明は、磁気ディスクに磁性体被膜を形成した後に行
われるバニッシング等の塗膜加工を行うための方式に関
するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Yf1] The present invention relates to a method for performing coating processing such as burnishing after forming a magnetic coating on a magnetic disk.

[従来の技術1 磁気ディスクは、アルミニウム等からなる円盤状の基板
の表面に磁性体被膜を形成してなるものであって、情報
記録媒体として広く用いられている。この磁気ディスク
は、磁性体被膜を形成した後に、その表面を研摩加工し
て、それを完全に平滑化する必要かある。この研摩加工
を行うために、研磨テープか用いられ、磁気ディスクを
回転軸に装架して回転させるようになし、この磁気ディ
スクの回転中に、研摩テープをその表面に押し当てて、
この研摩テープを該磁気ディスクの半径方向に移動させ
ることにより加工を行う方式か一般的に用いられている
[Prior Art 1] A magnetic disk is formed by forming a magnetic film on the surface of a disc-shaped substrate made of aluminum or the like, and is widely used as an information recording medium. After forming a magnetic coating on this magnetic disk, it is necessary to polish the surface to make it completely smooth. In order to perform this polishing process, an abrasive tape is used, a magnetic disk is mounted on a rotating shaft and rotated, and while the magnetic disk is rotating, the abrasive tape is pressed against the surface of the magnetic disk.
A commonly used method is to move the abrasive tape in the radial direction of the magnetic disk.

ここで、磁気ディスクを回転させたときにおける周速は
、その外周側と内周側とては差があるために、該磁気デ
ィスクの回転速度を一定にした場合には、加工むらか発
生することになる。このために、磁気ディスクの回転速
度を、その外周側に研摩テープが当接しているときには
低速となし、研摩テープが内周側に移行するに応じて磁
気ディスクの回転速度も高速化するようにしたものは、
従来から知られている。
Here, when the magnetic disk is rotated, there is a difference in the circumferential speed between the outer circumferential side and the inner circumferential side, so if the rotational speed of the magnetic disk is kept constant, machining unevenness will occur. It turns out. For this purpose, the rotational speed of the magnetic disk is set to be low when the abrasive tape is in contact with the outer circumferential side, and the rotational speed of the magnetic disk is set to increase as the abrasive tape moves to the inner circumferential side. What you did is
It has been known for a long time.

[発明か解決しようとする問題点1 ところで、近年においては、磁気ディスクにおける記憶
密度の高度化等の要請から、その記録膜の膜厚をより厳
格に管理することか要求されるようになってきており、
前述した従来技術の如く磁気ディスクの回転速度を変化
させるようにしたたけては、加工の均一化には限度があ
った。
[Problem to be solved by the invention 1] Incidentally, in recent years, due to the demand for higher storage density in magnetic disks, it has become necessary to more strictly control the thickness of the recording film. and
If the rotational speed of the magnetic disk is varied as in the prior art described above, there is a limit to the uniformity of processing.

本発明は叙J二のへに鑑みてなされたちので、その目的
とするところは、磁気ディスクの全面に対する研摩テー
プの接触条件を極めて正確に制御することかできるよう
にした磁気ディスクの塗膜前り方式を提供することにあ
る。
The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a coating film for a magnetic disk that is capable of extremely accurately controlling the contact conditions of the abrasive tape on the entire surface of the magnetic disk. The objective is to provide a new method.

[問題点を解決するための手段1 if■述した目的を達成するために、本発明は、回転軸
の回転速度を可変となすと共に、前記押し付けヘラI−
の移動速度または前記研磨テープの巻き取り速度のうち
少なくとも一方を可変となし、前記押し付けヘットか前
記磁気ディスクの外周側から内周側に向かうに従ってそ
の回転速度を1昇させるようになし、これと共に前記押
し付けヘッドを外周側から内周側に向けて移動速度を大
きくするか、または前記研摩テープの送り速度を外周側
から内周側に向けて遅くするようにしたことをその特徴
とするものである。
[Means for Solving the Problems 1 if■ In order to achieve the above-mentioned object, the present invention makes the rotational speed of the rotating shaft variable, and the pressing spatula I-
At least one of the moving speed of the magnetic disk and the winding speed of the polishing tape is made variable, and the rotational speed of the pressing head is increased by 1 as it goes from the outer circumferential side to the inner circumferential side of the magnetic disk, and at the same time, It is characterized in that the moving speed of the pressing head is increased from the outer circumferential side toward the inner circumferential side, or the feeding speed of the abrasive tape is decreased from the outer circumferential side toward the inner circumferential side. be.

[作用] 前述したように、磁気ディスクの回転速度たけでなく、
それに加えて押し付けヘッドの磁気ディスクの半径方向
への移動速度または研摩テープの送り速度のうちの少な
くとも一方を可変ならしめて、これらを制御することに
より、さらに加圧精度を向上させることができるように
なる。
[Function] As mentioned above, not only the rotational speed of the magnetic disk but also
In addition, by making at least one of the moving speed of the pressing head in the radial direction of the magnetic disk or the feeding speed of the abrasive tape variable and controlling these, it is possible to further improve the pressing accuracy. Become.

1実施例】 以下、本発明の実施例を図面に基づい゛C詳細に説明す
る。
1 Embodiment Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail based on the drawings.

まず、第1図に磁気ディスクの塗膜加工袋mlの全体構
成を示す。
First, FIG. 1 shows the overall structure of a magnetic disk coating bag ml.

図中において、1は磁気ディスクを示し、該磁気ディス
ク1は回転@2に取り付けられて、該回転軸2は回転用
モータ3により回転駆動されるようになっている。そし
て、この磁気ディスクlの両側における塗膜を両側から
研摩加工するために、研摩テープ4が用いられ、該研摩
テープ4を磁気ディスク1に押し付けるために、押し付
けへウド5が設けられている。そして、研摩テープ4は
供給リール6から繰り出されて、ガイドローラ7.7間
を通って押し付けヘッド5を通過し、ガイトローラ8,
8間から巻き取り軸9により巻き取られるようになって
いる。そして、この巻取軸9にはテープ巻取モータ10
が連結されており、該テープ巻取モータ10により研摩
テープ4を送ることができるようになっている。
In the figure, 1 indicates a magnetic disk, the magnetic disk 1 is attached to a rotating shaft 2, and the rotating shaft 2 is rotationally driven by a rotating motor 3. A polishing tape 4 is used to polish the coating film on both sides of the magnetic disk 1 from both sides, and a pressing pad 5 is provided to press the polishing tape 4 against the magnetic disk 1. The abrasive tape 4 is then unwound from the supply reel 6, passes between the guide rollers 7, 7, the pressing head 5, the guide rollers 8,
It is adapted to be wound up by a winding shaft 9 from between 8 and 8. A tape winding motor 10 is attached to this winding shaft 9.
are connected so that the abrasive tape 4 can be fed by the tape winding motor 10.

また、押し付けヘッド5は往復動ブロック11に装着さ
れて、該往復動ブロック11はボールねじ12と、該ボ
ールねじ12を回転させるヘッド移動用モータ13によ
って磁気ディスク1の半径方向に往復移動させることか
できるようになっている。そして、この往復動フロック
11の位置を検出するために、エンコータ14が設けら
れるようになっている。
Further, the pressing head 5 is attached to a reciprocating block 11, and the reciprocating block 11 is reciprocated in the radial direction of the magnetic disk 1 by a ball screw 12 and a head moving motor 13 that rotates the ball screw 12. It is now possible to do this. In order to detect the position of this reciprocating flock 11, an encoder 14 is provided.

ここで、前述した回転軸2を回転駆動するための回転用
モータ3.研摩テープ4を送るための巻取モータ10及
び押し付けへウド5を移動させろためのへウド移動用モ
ータ13はいずれも可変速モータから構成されている。
Here, a rotation motor 3. for rotating the rotation shaft 2 described above is used. A take-up motor 10 for feeding the abrasive tape 4 and a tape moving motor 13 for moving the pressing tape 5 are both constituted by variable speed motors.

そして、第2図に示したように、エンコーダ14によっ
て押し付けヘッド5の位置を検出し、このエンコーダ1
4からの信号を制御回路15に入力することによって、
該制御回路15で所定の演算を行って、それぞれコント
ローラ16〜18に速度制御信号を入力し、これら各コ
ントローラ16〜18により各モータ3 、10.1:
lの回転速度か制御されるようになっている。
Then, as shown in FIG. 2, the position of the pressing head 5 is detected by the encoder 14, and this encoder 1
By inputting the signal from 4 to the control circuit 15,
The control circuit 15 performs predetermined calculations and inputs speed control signals to the respective controllers 16 to 18, and these controllers 16 to 18 control the motors 3, 10.1:
The rotation speed of l is controlled.

本実施例による磁気ディスクの塗膜加工装置は前述のよ
うに構成されるが、次にこの塗膜加工装置を用いて磁気
ディスク1の塗膜の研磨加工な行う方法について説明す
る。
The magnetic disk coating processing apparatus according to this embodiment is constructed as described above. Next, a method of polishing the coating film of the magnetic disk 1 using this coating film processing apparatus will be described.

まず、磁気ディスク1を回転軸2に装着し、該磁気ディ
スク1の両面に研磨テープ3を当接させて、該研磨テー
プ3を押し付けヘット5により磁気ディスク1の表面に
押し付けるようになす。そして、この研磨テープ3は磁
気ディスク1の外周側に配設しておく。
First, the magnetic disk 1 is mounted on the rotating shaft 2, the polishing tape 3 is brought into contact with both surfaces of the magnetic disk 1, and the polishing tape 3 is pressed against the surface of the magnetic disk 1 by the pressing head 5. This polishing tape 3 is placed on the outer peripheral side of the magnetic disk 1.

そこで、回転用モータ3を作動させて、回転軸2を回転
させると共に、巻取モータ10を作動させて、研磨テー
プ4を送りを行い、またヘッド移動用モータ13を作動
させて、押し付けへウド5を磁気ディスク1の半径方向
内方に向けて移動させる。そして、この押し付けヘッド
5の移動をエンコーダ14により検出し、該エンコーダ
14からの押し付けヘッド5の位置に関する信号を制御
回路15に入力する。そして、該制御回路15において
は、この入力信号に基づいて各モータ3 、10.13
の回転速度を演算し、この演算結果に基づいて各コント
ローラ16〜18に入力して、この入力信号に基づいて
各モータ3 、 +0.1:lの回転速度か変化して、
磁気ディスク1の回転速度、研磨テープ4の送り速度及
び押し付けへウド5の移動速度が変化せしめられるよう
になる。
Therefore, the rotation motor 3 is activated to rotate the rotating shaft 2, the take-up motor 10 is activated to feed the abrasive tape 4, and the head movement motor 13 is activated to move the polishing tape to the pressing field. 5 inward in the radial direction of the magnetic disk 1. The movement of the pressing head 5 is detected by the encoder 14, and a signal from the encoder 14 regarding the position of the pressing head 5 is input to the control circuit 15. Then, in the control circuit 15, each motor 3, 10.13
calculates the rotational speed of each motor 3, inputs it to each controller 16 to 18 based on this calculation result, changes the rotational speed of each motor 3 by +0.1:l based on this input signal,
The rotational speed of the magnetic disk 1, the feeding speed of the polishing tape 4, and the moving speed of the pressing pad 5 can be changed.

而して、第2図から明らかなように、磁気ディスク1の
回転速度は押し付けへウド5か最外周の位置にあるとき
には、最も遅く、内周側に変位するに従ってt統帥に速
度を上昇させるようにする。また、押し付けヘッド5の
移動は、それか最外周位置にあるときには、最も遅く、
内周側に向かうに従って移動速度を上昇させるようにす
る。
As is clear from FIG. 2, the rotational speed of the magnetic disk 1 is slowest when it is at the outermost position of the pressing pad 5, and increases rapidly as it moves toward the inner circumference. do it like this. Further, the movement of the pressing head 5 is slowest when it is at the outermost circumferential position;
The moving speed is increased toward the inner circumference.

さらに、研磨テープ4の送り速度は押し付けへウド5の
外周側から内周側に向けて連続的に低速化するようにす
る。これによって、研磨テープ4の磁気ディスク1に対
する接触時間及び該研磨テープ4の磁気ディスク1表面
に対する周速か一定となり、該磁気ディスク1の全体を
均一に加工することかできるようになる。
Further, the feeding speed of the polishing tape 4 is made to decrease continuously from the outer circumferential side to the inner circumferential side of the pressing pad 5. As a result, the contact time of the abrasive tape 4 with the magnetic disk 1 and the circumferential speed of the abrasive tape 4 with respect to the surface of the magnetic disk 1 are constant, and the entire magnetic disk 1 can be processed uniformly.

なお、前述した実施例においては、磁気ディス′)1の
回転速度と、研磨テープ4の送り速度と、押し付けへ・
・!ト5の移動速度との3つの要素な可変ならしめるよ
うにしたが、磁気ディスク1の回転速度な可変ならしめ
ると共に、研磨テープ4の送り速度または押1ノ付けへ
ラド5の移動速度のうちのいずれか一方の速度との2つ
の要素を可変ならしめることによっても、磁気ディスク
1の加工の均一化を図ることができるようになる。また
、例えば磁気読み取りヘットの停止時に、該磁気読み取
りヘットか位置する磁気ディスクの内周側の位置を他の
位置とは異なる状態に加工する場合においても、前述し
た2つ乃至3−)の要素を可変にすれば、かかる変則前
]二も円滑に行うことかてきるようになる。
In the embodiment described above, the rotational speed of the magnetic disk 1, the feeding speed of the polishing tape 4, and the
・! The rotating speed of the magnetic disk 1 is made variable, and the feeding speed of the polishing tape 4 or the moving speed of the polishing pad 5 is made variable. By making either one of the speeds variable, it becomes possible to uniformize the processing of the magnetic disk 1. For example, when the magnetic reading head is stopped and the inner peripheral side of the magnetic disk where the magnetic reading head is located is processed to be different from other positions, the above-mentioned elements 2 to 3-) can be applied. By making variable, it becomes possible to smoothly perform such irregularities.

[発明の効果] 以上説明したように、本発明によれば、磁気ディスクの
回転速度と、研磨テープの送り速度と、押し付けヘラl
<の移動速度との3つの要素のうち、少なくとも磁気デ
ィスクの回転速度と、研磨テープの送り速度または押し
付けヘッドの移動速度のうちのいずれかとの少なくとも
2つの要素を可変ならしめるようにしたので、磁気ディ
スクの加工精度を著しく向上させることかできるように
なる。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention, the rotating speed of the magnetic disk, the feeding speed of the polishing tape, and the pressing spatula l
Among the three elements of the moving speed, at least two of the rotating speed of the magnetic disk and either the polishing tape feeding speed or the pressing head moving speed are made variable. It becomes possible to significantly improve the processing accuracy of magnetic disks.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

図面は本発明の一実施例を示すもので、第1図は磁気デ
ィスクの研磨加工装置の構成説明図、第2図はその制御
回路をそれぞれの速度特性線図と共に示す説明図である
。 1 :磁気ディスク、2 二回転軸、3 :回転円モー
タ、5 :押し付けヘッド、6 :供給リール、9 :
巻取軸、10:巻取モータ、11:往復動フロック、1
2二ボールねし、13  ヘット移動用モータ、14:
エンコーダ、15:制御回路、16〜18:コントロー
ラ。
The drawings show one embodiment of the present invention, and FIG. 1 is an explanatory diagram of the configuration of a magnetic disk polishing apparatus, and FIG. 2 is an explanatory diagram showing the control circuit thereof together with respective speed characteristic diagrams. 1: Magnetic disk, 2: Two rotating shafts, 3: Rotating circular motor, 5: Pushing head, 6: Supply reel, 9:
Winding shaft, 10: Winding motor, 11: Reciprocating flock, 1
22 ball screws, 13 head movement motor, 14:
Encoder, 15: Control circuit, 16-18: Controller.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)磁気ディスクを回転軸に装着し、該回転軸を回転
させる間に前記磁気ディスクの表面に研磨テープを押し
付けヘッドにより押し付けた状態で、該押し付けヘッド
を前記磁気ディスクの半径方向に移動させながら、前記
研摩テープを送ることによって、該磁気ディスクの表面
を研摩加工するものにおいて、前記回転軸の回転速度を
可変となすと共に、前記押し付けヘッドの移動速度また
は前記研磨テープの巻き取り速度のうち少なくとも一方
を可変となし、前記押し付けヘッドが前記磁気ディスク
の外周側から内周側に向かうに従ってその回転速度を上
昇させるようになし、これと共に前記押し付けヘッドを
外周側から内周側に向けて移動速度を大きくするか、ま
たは前記研摩テープの送り速度を外周側から内周側に向
けて遅くするようにしたことを特徴とする磁気ディスク
の塗膜加工方式。
(1) A magnetic disk is mounted on a rotating shaft, and while the rotating shaft is rotating, an abrasive tape is pressed against the surface of the magnetic disk by a head, and the pressing head is moved in the radial direction of the magnetic disk. However, in a device that polishes the surface of the magnetic disk by feeding the polishing tape, the rotation speed of the rotating shaft is made variable, and the speed of movement of the pressing head or the winding speed of the polishing tape is adjusted. At least one of them is made variable, and the rotational speed of the pressing head is increased as it goes from the outer circumferential side to the inner circumferential side of the magnetic disk, and at the same time, the pressing head is moved from the outer circumferential side to the inner circumferential side. A coating film processing method for a magnetic disk, characterized in that the speed is increased or the feeding speed of the abrasive tape is decreased from the outer circumferential side toward the inner circumferential side.
(2)前記磁気ディスクの回転速度と研磨テープの巻き
取り速度を可変にすることによって、前記磁気ディスク
の表面全体を等しい加工密度で加工するようにしたこと
を特徴とする請求項(1)の磁気ディスクの塗膜加工方
式。
(2) The entire surface of the magnetic disk is processed with equal processing density by making the rotational speed of the magnetic disk and the winding speed of the abrasive tape variable. Coating film processing method for magnetic disks.
(3)前記磁気ディスクの回転速度と、前記押し付けヘ
ッドと、前記研磨テープの巻き取り速度とを可変ならし
めることによって、前記磁気ディスクの表面全体を等し
い加工密度で加工するようにしたことを特徴とする請求
項(1)の磁気ディスクの塗膜加工方式。
(3) The entire surface of the magnetic disk is processed with equal processing density by making the rotational speed of the magnetic disk, the pressing head, and the winding speed of the polishing tape variable. A coating film processing method for a magnetic disk according to claim (1).
(4)前記研磨テープの巻き取り速度を可変にすること
によって、前記磁気ディスクの表面の所定の部分を他の
部分より加工密度を高くするようにしたことを特徴とす
る請求項(1)の磁気ディスクの塗膜加工方式。
(4) The method according to claim (1), characterized in that by making the winding speed of the abrasive tape variable, a predetermined portion of the surface of the magnetic disk is processed at a higher density than other portions. Coating film processing method for magnetic disks.
(5)前記前記磁気ディスクの回転速度と、前記研磨テ
ープの巻き取り速度と、前記研磨テープの巻き取り速度
とを可変にすることによって、前記磁気ディスクの表面
の所定の部分を他の部分より加工密度を高くするように
したことを特徴とする請求項(1)の磁気ディスクの塗
膜加工方式。
(5) By varying the rotational speed of the magnetic disk, the winding speed of the abrasive tape, and the winding speed of the abrasive tape, a predetermined portion of the surface of the magnetic disk is made more flexible than other portions. The coating film processing method for a magnetic disk according to claim 1, characterized in that the processing density is increased.
JP9350588A 1988-04-18 1988-04-18 System of working coated film of magnetic disk Pending JPH01266882A (en)

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