JPH01263195A - 溶剤組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は１．１．２−トリクロロ−１，２，２−トリフ
ルオロエタン（以下、フロン−１１３という）と炭化水
素とからなる難燃ないし不燃性溶剤組成物に関する。

［従来の技術］ 従来より、クロロフルオロエタン系化合物であるフロン
−１１３は不燃性で生体毒性が少ないほか、プラスチッ
クやゴムなどの高分子物質を侵すことなく、油脂、グリ
ース、ワックスなどを溶解するという選択溶解性に優れ
ており、単独または他の有機溶剤との混合あるい゛は共
沸組成物の形で溶剤、洗浄剤などに広く用いられている
。

［発明が解決しようとする課題］ 近年、半導体などの電子部品の急成長に伴い、それらの
部品の製造工程で仮止め用として用いられるワックス類
の洗浄除去が重要な問題となっている。こうしたワック
ス類の除去には、従来トリクロロエチレンや１，１．１
−トリクロロエタンなどが使用されているが、生体への
毒性が高く、大気や地下水などの環境汚染の点などに問
題がある。一方、炭化水素類は可燃性であるため洗浄の
用途には使用しにくいものとされている。

Ｅ課題を解決するための手段］ 本発明は、フロン−１１３に比してワックス類の溶解性
に優れ、しかも組成が難燃ないし不燃性領域の溶剤組成
物に関するものであり、フロン−１１３と炭化水素とか
らなることを要旨とするものである。

【作用および実施例］ 本発明で用いる炭化水素としては、１種単独でもよいが
２種以上混合して用いるのが好ましい。またその沸点範
囲は３０〜１００℃、好ましくは混合物としての沸点範
囲が４５〜７０°Ｃのものが適当であり、特に炭素原子
数５〜８の飽和、不飽和または環状の炭化水素が好まし
く用いられる。

配合する炭化水素としては、たとえばｎ−ペンクン（Ｉ
！１ＩＩ１点：　３Ｂ、ｌ”Ｃ０以下、カッコ内は沸点
をいう）、ｎ−ヘキサン（８８，７℃）、２−メチルペ
ンタン（［ｉｏ、３℃）、３−メチルペンタン（６３，
０℃）、２．２−ジメチルブタン（４９，７℃）　、２
．３−ジメチルブタン（５８，０℃）、ｎ−へブタン（
９８，４℃）、■−ペンテン（３０，０℃）、２−ペン
テン（３８，９℃）、■−ヘキセン（８３，５℃）、■
−ヘプテン（９３，［ｉｏＣ）、シクロペンタン（４９
，３℃）、メチルシクロペンタン（７１，８℃）、シク
ロヘキサン（８０，７℃）、シクロヘキセン（８３℃）
などの１種または２種以上があげられる。

なお、この炭化水素の沸点が高くなりすぎると液中の炭
化水素の比率が高くなって大きく組成変化して可燃性と
なるし、低すぎるばあいは蒸気中の炭化水素の比率が高
くなって大きく組成変化し、やはり可燃性となる。

かかる炭化水素とフロン−１１３との混合割合は難燃な
いし不燃性領域の組成とするために、５〜２０／９５〜
８０とするのが好ましい。

本発明の組成物は組成により共沸様を呈することがある
ほど比較的組成が難燃ないし不燃性領域で安定しており
、したがって安全性はもとより液管理、回収、再使用が
容易であり、循環洗浄、蒸気洗浄にも適用できる。また
、ワックス類の溶解能においても少量（５〜２０％）の
炭化水素混合物の配合でフロン−１１３の単独使用に比
して大きく向上し、しかも炭化水素類では侵されやすい
ゴムやプラスチック類への影響を抑えることができ、丸
洗いも可能となる。さらに、オゾン層の破壊の原因とい
われているパーハロエタンの１つであるフロン−１１３
の使用量も低減することができるという効果も奏される
。

本発明の組成物は化学的には比較的安定であるが、さら
に安定剤を添加してもよい。

このような安定剤として好ましい性質とじては、本発明
の組成物を安定化する効果の大きいことはもちろんであ
るが、蒸留操作により同伴留出されるものや、さらには
共沸様を呈するものが望ましいが、これらに限定される
ものではない。

前記のごとき安定剤の具体例としては、たとえばニトロ
メタン、ニトロエタン、ニトロプロパンなどの脂肪族ニ
トロ化合物、３−メチル−１−ブチン−３−オール、３
−メチル−１−ペンチン−３−オールなどのアセチレン
アルコール類、グリシドール、メチルグリシジルエーテ
ル、アリルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエ
ーテル、■、２〜ブチレンオキシド、シクロヘキセンオ
キシド、エピクロルヒドリンなどのエポキシド類、ジメ
トキシメタン、１．２−ジメトキシエタン、１．４−ジ
オキサン、１，３．５−）ジオキサンなどのエーテル類
、アリルアルコール、■−ブテンー３−オール、３−メ
チル−１−ブテン−３−オールなどのオレフィン系アル
コール類、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アク
リル酸ブチルなどのアクリル酸エステル類などがあげら
れ、これらは単独で用いてもよく、２種以上併用しても
よい。

またこれらとフェノール、トリメチルフェノール、シク
ロヘキシルフェノール、チモール、２゜６−ジ〜ｔ−ブ
チル−４−メチルフェノール、ブチルヒドロキシアニソ
ール、イソオイゲノールなどのフェノール類や、ヘキシ
ルアミン、ペンチルアミン、ジプロピルアミン、ジイソ
プロピルアミン、ジイソブチルアミン、トリエチルアミ
ン、トリブチルアミン、ピリジン、Ｎ−メチルモルホリ
ン、シクロヘキシルアミン、２，２，８．６−チトラメ
チルピベリジ、ン、Ｎ、Ｎ’−ジアリル−ｐ−フェニレ
ンジアミンなどのアミン類、ベンゾトリアゾール、２−
（２°−ヒドロキシ　−５゛−メチルフェニル）ベンゾ
トリアゾール、クロロベンゾトリアゾールなどのトリア
ゾール類などと併用してもよく、併用するとさらに優れ
た相乗的安定化効果が発揮される。

前記安定剤の使用量としては、安定剤の種類により異な
るため一概にはきめられないが、通常、本発明の組成物
に対して０．１−１０％用いるのが好ましく、０，５〜
５％用いるのがさらに好ましい。

こうした利点を有する本発明の溶剤組成物は、油脂やグ
リースの除去のほか、半導体に用いるシリコンウェハー
や水晶、セラミックスなどのカッティングや研磨などの
加工時の仮止め用ワックス類の除去などに用いる洗浄剤
として有用である。

つぎに実施例をあげて本発明の難燃ないし不燃性溶剤組
成物を説明するが、本発明はかかる実施例のみに限定さ
れるものではない。

実施例１ フロン−１１３とつぎの炭化水素混合物（沸点：４９〜
５２℃）を９０／１０（重量比）で混合し、本発明の組
成物（沸点：　４５．４〜４８．０℃）を調製した。

このものは、不燃性であった。

（炭化水素混合物の組成） （重量％） シクロペンタン　　　　　　　　　　８９２−メチルペ
ンタン　　　　　　　　１０ｎ−ヘキサン　　　　　　
　　　　　　１実施例２ フロン−１１３と実施例１で用いた炭化水素混合物（沸
点：４９〜５２℃）を８５／１５（重量比）で混合し、
本発明の組成物（沸点：　４５．１３〜４Ｂ、２℃）を
調製した。このものは、不燃性であった。

実施例３ フロン−１１３とつぎの炭化水素混合物（沸点：５４〜
５８℃）を９０７１０（重量比）で混合し、本発明の組
成物（沸点：　４８．０〜４６．８”Ｃ）を調製した。

このものは、不燃性であった。

（炭化水素混合物の組成） （重量％） シクロペンタン　　　　　　　　　　６４２−メチルペ
ンタン　　　　　　　　２２２．３−ジメチルブタン　
　　　　　　　４３−メチルペンタン　　　　　　　　
　７ｎ−ヘキサン　　　　　　　　　　　　２メチルシ
クロヘキサン　　　　　　　１実施例４ フロン−１１３とつぎの炭化水素混合物（Ｉｉｌｌｉ点
：５９〜Ｂ２℃）を９０／１０（重量比）で混合し、本
発明の組成物（沸点：　４［ｉ、５〜４７．３℃）を調
製した。

このものは、不燃性であった。

（炭化水素混合物の組成） （重量％） シクロペンタン　　　　　　　　　　　４２．３−ジメ
チルブタン、　　　　　　　７２−メチルペンタン　　
　　　　　　６６３−メチルペンタン　　　　　　　　
２０ｎ−ヘキサン　　　　　　　　　　　　２メチルシ
クロヘキサン　　　　　　　１実施例５ 実施例１〜４の組成物の組成変化をつぎ゛のようにして
調べた。結果を第１〜４表に示す。

第１図に示す３層式洗浄機を用い、循環サイクル： 蒸気槽−７Ａ　Ｑ→水分離器−一−−−−−→凝縮 浸漬槽（１）−まニニ乙［ニニ乙」し二÷浸／Ｉ！Ｉ槽
（１１イ」ニヱＳ二二乙」し＝、蒸気槽 に従って各組成物を３日間循環（８時間／日）させ、蒸
気槽および浸漬槽（ＩＩ）中の組成物の組成変化を調べ
た。測定は８時間、１０時間および２４時間経過時にそ
れぞれ１日目、２日目および３日目として行なった。

［以下余白］ 第　１　表（実施例１） 第　２　表（実施例２） 第　３　表（実施例３） 第　４　表（実施例４） 実施例６ 実施例３で調製した溶剤１００ｇを容量２００ｃｃのと
一カに入れ、室温で攪拌しながら、粉末にした融点の異
なる４種のパラフィンワックス（融点５２〜６５℃。日
本精蝿■製）を徐々に加えて溶解性を観察した。

結果を第５表に示す。

溶解性の評価はつぎの基準に従って行なった。

◎：ワックス濃度２％以上溶解 ○：ワックス濃度１〜２％溶解 △ニ一部溶解 ×：不溶 実施例７ 実施例３で調製した溶剤につき、素材（プラスチック）
に対する影響（膨制度）をっぎの要領で調べた。

１００ｃｃの耐圧ガラスビンに溶剤１００ｇと第５表に
示すプラスチック試験片（５Ｘ５０Ｘ２關）を入れて、
温度５０℃の恒温槽中に４時間放置し、度山したのち、
ただちに重量増加および体積増加を調べた。

結果を第５表に示す。

評価は Ｏ：重量または体積増加０〜２％ △；重量または体積増加２〜５％ ×：重量または体積増加５％以上 とした。

［以下余白］ ［発明の効果］ 本発明の溶剤組成物は、炭化水素の配合によりフロン−
１１３のワックス類に対する溶解力を大きく向上させる
ことができ、難燃ないし不燃性でしかも比較的組成が安
定しているので使用時の液管理や回収、再使用における
取り扱い容易性を兼ね備えた極めて優れた溶剤組成物で
あり、さらにゴム、プラスチック類を侵さないので丸洗
いも可能で被溶解物質の幅をも拡げることもでき、オゾ
ン層破壊のおそれがあるフロン−１１３の使用量を低減
できるという優れた効果を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例５における循環サイクルによる溶剤組成
物の組成変化を調べるために用いた３槽式洗浄機のブロ
ック図である。 第１　園

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　１，１，２−トリクロロ−１，２，２−トリフルオ
   ロエタンと炭化水素とからなる溶剤組成物。 ２　炭化水素が沸点３０〜１００℃の範囲のものである
   請求項１記載の溶剤組成物。 ３　炭化水素が炭素原子数５〜８の飽和、不飽和または
   環状の炭化水素の単独または２種以上の混合物である請
   求項１記載の溶剤組成物。 ４　炭化水素が２種以上の炭化水素の混合物である請求
   項１記載の溶剤組成物。 ５　炭化水素の混合物が沸点４５〜７０℃の範囲にある
   請求項４記載の溶剤組成物。 ６　炭化水素が沸点５８℃を超え６２℃以下の範囲のも
   のである請求項４または５記載の溶剤組成物。 ７　１，１，２−トリクロロ−１，２，２−トリフルオ
   ロエタンと炭化水素との組成比が重量比で８０〜９５／
   ２０〜５である請求項１記載の溶剤組成物。