JPH01247581A - 継ぎ目無し金属ベルトの製造方法 - Google Patents
継ぎ目無し金属ベルトの製造方法Info
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- JPH01247581A JPH01247581A JP7751188A JP7751188A JPH01247581A JP H01247581 A JPH01247581 A JP H01247581A JP 7751188 A JP7751188 A JP 7751188A JP 7751188 A JP7751188 A JP 7751188A JP H01247581 A JPH01247581 A JP H01247581A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/02—Local etching
- C23F1/04—Chemical milling
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、強アルカリ、強酸によるエツチング装置内に
於いて、搬送系に用いられる耐食性の継ぎ目無し金属ベ
ルトの製造方法に関する。
於いて、搬送系に用いられる耐食性の継ぎ目無し金属ベ
ルトの製造方法に関する。
（従来の技術）
従来、強アルカリ、強酸によるエツチング装置内に於い
て搬送系に用いられる金属ヘルドを作るには、帯板を丸
め、両端を溶接し、厚さを全周均一にする為、研摩加工
して金属ベルトを作っていた。
て搬送系に用いられる金属ヘルドを作るには、帯板を丸
め、両端を溶接し、厚さを全周均一にする為、研摩加工
して金属ベルトを作っていた。
（発明が解決しようとする問題点）
然し乍ら、上記の方法で作った金属ベルトは、溶接部が
高温にさらされて結晶粒が大きく成長したり、歪が生じ
たりする為、溶接部での疲労破壊、変形等が多発し、従
って金属ベルトの寿命が短かった。また上記の方法で作
った金属ベルトは、ベルト長の寸法精度が悪かった。
高温にさらされて結晶粒が大きく成長したり、歪が生じ
たりする為、溶接部での疲労破壊、変形等が多発し、従
って金属ベルトの寿命が短かった。また上記の方法で作
った金属ベルトは、ベルト長の寸法精度が悪かった。
この為、強アルカリ、強酸によるエツチング装置内の搬
送系に用いる金属ベルトとしては、結晶粒の均一な歪の
少ない耐食性のある金属ベルトが求められている。
送系に用いる金属ベルトとしては、結晶粒の均一な歪の
少ない耐食性のある金属ベルトが求められている。
（発明の目的）
本発明は上記のような問題点が無く、上記要求を満たす
ことのできる金属ベルトの製造方法を提供することを目
的とするものである。
ことのできる金属ベルトの製造方法を提供することを目
的とするものである。
（問題点を解決するための手段）
上記問題点を解決するための本発明による継ぎ目無し金
属ベルトの製造方法は、銅、ニッケル、鉄等の化学的に
溶解除去し易い金属で円柱型を作り、この円柱型を回転
させ乍ら外周面に蒸着法、スパッタリング法等により所
要の耐食性金属の堆積層を形成し、然る後円柱型を化学
的に溶解除去して継ぎ目無し金属ベルトを作ることを特
徴とするものである。
属ベルトの製造方法は、銅、ニッケル、鉄等の化学的に
溶解除去し易い金属で円柱型を作り、この円柱型を回転
させ乍ら外周面に蒸着法、スパッタリング法等により所
要の耐食性金属の堆積層を形成し、然る後円柱型を化学
的に溶解除去して継ぎ目無し金属ベルトを作ることを特
徴とするものである。
（作用）
上述の如く本発明の継ぎ目無し金属ベルトの製造方法は
、溶解除去し易い金属より成る円柱型を回転させ乍ら外
周面に蒸着法、スパッタリング法等により所要の耐食性
金属の堆積層を形成するので、溶接個所が無く、つまり
継ぎ目が無く、結晶粒が全周均一で歪の少ない耐食性の
ある金属ベルトが作られ、円柱型を化学的に溶解除去す
ることにより、容易に金属ベルトが取り出せる。
、溶解除去し易い金属より成る円柱型を回転させ乍ら外
周面に蒸着法、スパッタリング法等により所要の耐食性
金属の堆積層を形成するので、溶接個所が無く、つまり
継ぎ目が無く、結晶粒が全周均一で歪の少ない耐食性の
ある金属ベルトが作られ、円柱型を化学的に溶解除去す
ることにより、容易に金属ベルトが取り出せる。
（実施例）
本発明による継ぎ目無し金属ベルトの製造方法の一実施
例を図面を参照して説明する。第１図に示す如く銅より
成る外径４９．８ｍｍ、厚さ０．５胴、長さ３００ａａ
の銅バイブ１を円柱型として、第２図に示す如くスパッ
タリング装置２内のテーブル３上にて回転体４．５に支
持し、この回転体４．５を図示せぬモータにて１０ｒｐ
ｍにて回転し、銅パイプ１を共に回転した。次にテーブ
ル３の上方に対向して設けた白金ターゲット６を６００
Ｖ、３Ａで２５０分スパッタリングして、銅パイプ１
の外周面に幅２００ｍｍに白金の堆積層７を０．１ｍｍ
厚に形成した。
例を図面を参照して説明する。第１図に示す如く銅より
成る外径４９．８ｍｍ、厚さ０．５胴、長さ３００ａａ
の銅バイブ１を円柱型として、第２図に示す如くスパッ
タリング装置２内のテーブル３上にて回転体４．５に支
持し、この回転体４．５を図示せぬモータにて１０ｒｐ
ｍにて回転し、銅パイプ１を共に回転した。次にテーブ
ル３の上方に対向して設けた白金ターゲット６を６００
Ｖ、３Ａで２５０分スパッタリングして、銅パイプ１
の外周面に幅２００ｍｍに白金の堆積層７を０．１ｍｍ
厚に形成した。
次いで第３図に示す如く銅バイブ１の外周面に形成され
た白金の堆積層７を幅４ｏＩ！１Ｉ１１間隔にカットし
た。然る後銅パイプ１を塩化第二鉄水溶液に１時間浸漬
し、銅バイブ１を溶解除去して第４図に示す外径５０胴
、内径４９．８ｍｍ、幅４０ｍｍの継ぎ目無し白金ベル
ト８を得た。
た白金の堆積層７を幅４ｏＩ！１Ｉ１１間隔にカットし
た。然る後銅パイプ１を塩化第二鉄水溶液に１時間浸漬
し、銅バイブ１を溶解除去して第４図に示す外径５０胴
、内径４９．８ｍｍ、幅４０ｍｍの継ぎ目無し白金ベル
ト８を得た。
こうして得られた白金ベルト８について４個断面検査を
した処、全て結晶粒が全周にわたって均一であった。ま
た形状、寸法を検査した処、歪が極めて少なく、ベルト
長のばらつきが極めて少なかった。
した処、全て結晶粒が全周にわたって均一であった。ま
た形状、寸法を検査した処、歪が極めて少なく、ベルト
長のばらつきが極めて少なかった。
尚、上記実施例は白金ベルトの場合であるが、チタン、
金、パラジウム等の耐食性の金属のベルトを作った場合
も同様である。
金、パラジウム等の耐食性の金属のベルトを作った場合
も同様である。
（発明の効果）
以上の説明で判るように本発明の継ぎ目無し金属ベルト
の製造方法によれば、溶接個所つまり継ぎ目が無く、結
晶粒が全周にわたって均一で歪が極めて少なく、寸法精
度の高い耐食性の金属ベルトを作ることができるという
優れた効果がある。
の製造方法によれば、溶接個所つまり継ぎ目が無く、結
晶粒が全周にわたって均一で歪が極めて少なく、寸法精
度の高い耐食性の金属ベルトを作ることができるという
優れた効果がある。
第１図は銅パイプより成る円柱型を示す斜視図、第２図
は第１図の円柱型をスパッタリング装置の回転体に支持
して白金ベルトを作る状態を示す図、第３図は第１図の
円柱型に形成された白金の堆積層をカットした状態を示
す斜視図、第４図は第３図の円柱型を溶解除去して得た
白金ベルトを示す斜視図である。 出願人 田中貴金属工業株式会社 第３図
は第１図の円柱型をスパッタリング装置の回転体に支持
して白金ベルトを作る状態を示す図、第３図は第１図の
円柱型に形成された白金の堆積層をカットした状態を示
す斜視図、第４図は第３図の円柱型を溶解除去して得た
白金ベルトを示す斜視図である。 出願人 田中貴金属工業株式会社 第３図
Claims (1)
- １、銅、ニッケル、鉄等の化学的に溶解除去し易い金属
で円柱型を作り、この円柱型を回転させ乍ら外周面に蒸
着法、スパッタリング法等により所要の耐食性金属の堆
積層を形成し、然る後円柱型を化学的に溶解除去して継
ぎ目無し金属ベルトを作ることを特徴とする継ぎ目無し
金属ベルトの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7751188A JPH01247581A (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 継ぎ目無し金属ベルトの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7751188A JPH01247581A (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 継ぎ目無し金属ベルトの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01247581A true JPH01247581A (ja) | 1989-10-03 |
Family
ID=13635991
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7751188A Pending JPH01247581A (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 継ぎ目無し金属ベルトの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01247581A (ja) |
-
1988
- 1988-03-30 JP JP7751188A patent/JPH01247581A/ja active Pending
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