JPH01222862A - 研磨治具 - Google Patents
研磨治具Info
- Publication number
- JPH01222862A JPH01222862A JP63044936A JP4493688A JPH01222862A JP H01222862 A JPH01222862 A JP H01222862A JP 63044936 A JP63044936 A JP 63044936A JP 4493688 A JP4493688 A JP 4493688A JP H01222862 A JPH01222862 A JP H01222862A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- jig
- polishing
- polishing jig
- cylindrical
- workpiece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔分野の概要〕
本発明は片面の研磨加工で、高精度を要求される研磨加
工に用いられる研磨治具に関し、−例として音響光学素
子の作製において、光学素子に接着された圧電板の表面
加工に用い、±１μｍ以下の加工精度を達成する高精度
な平行平面研磨加工を行う研磨治具に関する。
工に用いられる研磨治具に関し、−例として音響光学素
子の作製において、光学素子に接着された圧電板の表面
加工に用い、±１μｍ以下の加工精度を達成する高精度
な平行平面研磨加工を行う研磨治具に関する。
従来このような研磨加工を行なうには、第２図に示す、
円ｆｉ７及び円柱８からなる研磨治具を用い、円柱８の
底部に密ろうにより被加工物４を接着し、平行平面研磨
が行なわれている。
円ｆｉ７及び円柱８からなる研磨治具を用い、円柱８の
底部に密ろうにより被加工物４を接着し、平行平面研磨
が行なわれている。
上記従来の治具による加工方法では、第１図に示す修正
輪式研磨を行なった場合、回転の中心となる研磨治具中
心の被加工面に、１．２μｍの高さの突起を生じていた
。また、修正輪式研磨に揺動を加えた方式では、被加工
面中央に突起は生じないものの、被加工面は２μｍの凸
面形状となる。このため修正輪式研磨に動揺を加えた加
工方法では接着誤差が±１μｍ、加工速度のバラツキに
よる寸法のバラツキが±０．５μｍとなるため、要求品
質の素子を製作することが困難であった。
輪式研磨を行なった場合、回転の中心となる研磨治具中
心の被加工面に、１．２μｍの高さの突起を生じていた
。また、修正輪式研磨に揺動を加えた方式では、被加工
面中央に突起は生じないものの、被加工面は２μｍの凸
面形状となる。このため修正輪式研磨に動揺を加えた加
工方法では接着誤差が±１μｍ、加工速度のバラツキに
よる寸法のバラツキが±０．５μｍとなるため、要求品
質の素子を製作することが困難であった。
本発明は、研磨面の平面度１μ以下、被研磨治具試料の
上下面の平行度を２μｍ以下の精度が容易に得られる研
磨治具を得るにある。
上下面の平行度を２μｍ以下の精度が容易に得られる研
磨治具を得るにある。
回転する定盤上に載置して定盤の回転力によって自転す
る円柱状研磨治具において、該円柱状治具には円柱状研
磨治具の回転中心を除く位置に複数の正方形貫通孔を形
成し、該貫通孔に、底部に被加工物を接着した断面正方
形で直方体の治具を挿入して構成した研磨治具である。
る円柱状研磨治具において、該円柱状治具には円柱状研
磨治具の回転中心を除く位置に複数の正方形貫通孔を形
成し、該貫通孔に、底部に被加工物を接着した断面正方
形で直方体の治具を挿入して構成した研磨治具である。
第１図を参照して本発明の実施例について説明する。
研磨定盤３は径が３００ｍ＋ａの錫製定盤で、１分間５
０回転している。研磨定盤には、径が１４０ｍｍのステ
ンレス製円柱１がのせられローラーパー６により支持さ
れ、ステンレス製円柱は研磨定盤の回転につれローラー
バーにより支持され回転する。ステンレス製円柱１には
、ステンレス製円柱の中心をはずした位置に、ステンレ
ス製円柱の中心と同じ中心を持つ、同心円で同一円周上
の対称位置に４ケ所被加工物４を接着した直方体の研磨
治具２が押入される。研磨材を塗布した研磨定盤３が回
転する時、ステンレス製円柱１は内外周の速度差による
摩擦力の差により自転する。この時、被加工物４は摩耗
し、平面研磨加工が行なわれる。
０回転している。研磨定盤には、径が１４０ｍｍのステ
ンレス製円柱１がのせられローラーパー６により支持さ
れ、ステンレス製円柱は研磨定盤の回転につれローラー
バーにより支持され回転する。ステンレス製円柱１には
、ステンレス製円柱の中心をはずした位置に、ステンレ
ス製円柱の中心と同じ中心を持つ、同心円で同一円周上
の対称位置に４ケ所被加工物４を接着した直方体の研磨
治具２が押入される。研磨材を塗布した研磨定盤３が回
転する時、ステンレス製円柱１は内外周の速度差による
摩擦力の差により自転する。この時、被加工物４は摩耗
し、平面研磨加工が行なわれる。
本発明による研磨加工に於て、研磨材はＧＣ＃３０００
を使用し湿式により研磨する。直方体の研磨治具２は大
きさが断面３０ｎ＋ｍ Ｘ ３０ｍｍで研磨面にニオブ
酸リチウム（ＬｉＮｂ０３）の単結晶を取り付は研磨し
た。
を使用し湿式により研磨する。直方体の研磨治具２は大
きさが断面３０ｎ＋ｍ Ｘ ３０ｍｍで研磨面にニオブ
酸リチウム（ＬｉＮｂ０３）の単結晶を取り付は研磨し
た。
ステンレス製円柱に取り付けられた研磨治具は、断面正
方形の直方体をしており、ステンレスで作られステンレ
ス製円柱の回転と一緒に回転し、直方体の研磨治具はス
テンレス製円柱より被加工物の取りはずし、取りつけが
出来る様、幾らか高い寸法である。
方形の直方体をしており、ステンレスで作られステンレ
ス製円柱の回転と一緒に回転し、直方体の研磨治具はス
テンレス製円柱より被加工物の取りはずし、取りつけが
出来る様、幾らか高い寸法である。
本発明の研磨治具に於て、ステンレス製円柱の高さを変
化し、厚さ２００μｍ、平板の寸法が２５ｎ＋ｍ Ｘ１
６ｍｍのＬｉＮｂＯ３単結晶板を研磨加工した例を第１
表に示す。
化し、厚さ２００μｍ、平板の寸法が２５ｎ＋ｍ Ｘ１
６ｍｍのＬｉＮｂＯ３単結晶板を研磨加工した例を第１
表に示す。
以下余白
第１表
第１表に示す値より、治具高さ４５ｍｍに於て面の大き
さが２５ｍｍＸ １６ｍｍのＬｉＮｂＯ３単結晶の平面
度は、０．１６μｍ、板の厚さ方向の平行度は、２００
μｍ厚さに於て１μｍが可能となった。又厚さ方向に於
ける寸法制御可能範囲として±１μｍの特性を必要とす
る音響光学素子の研磨加工に於て本発明の研磨治具を用
い必要とする研磨精度の研磨治具を得ることが出来た。
さが２５ｍｍＸ １６ｍｍのＬｉＮｂＯ３単結晶の平面
度は、０．１６μｍ、板の厚さ方向の平行度は、２００
μｍ厚さに於て１μｍが可能となった。又厚さ方向に於
ける寸法制御可能範囲として±１μｍの特性を必要とす
る音響光学素子の研磨加工に於て本発明の研磨治具を用
い必要とする研磨精度の研磨治具を得ることが出来た。
本発明では修正輪方式平行平面研磨加工を行う方法で、
円柱の回転中心をはずした位置に断面が四角形の貫通孔
を設け、これに密接して挿入出来る直方体の研磨治具を
収め定盤との研磨面に被加工物を接着し加工するもので
、本発明の研磨精度は、被加工物を取り付ける治具の断
面が四角形であり円柱と同期して定盤上を回転すること
、被加工物を取り付ける直方体の研磨治具は円柱回転中
心位置をはずして取り付けること、又被加工物を取り付
ける直方体の研磨治具と円柱は成る最適の高さ寸法に構
成した研磨治具とすることにより加工面の平面度、平行
度、寸法精度可能範囲は目的とする加工精度に達成され
る。
円柱の回転中心をはずした位置に断面が四角形の貫通孔
を設け、これに密接して挿入出来る直方体の研磨治具を
収め定盤との研磨面に被加工物を接着し加工するもので
、本発明の研磨精度は、被加工物を取り付ける治具の断
面が四角形であり円柱と同期して定盤上を回転すること
、被加工物を取り付ける直方体の研磨治具は円柱回転中
心位置をはずして取り付けること、又被加工物を取り付
ける直方体の研磨治具と円柱は成る最適の高さ寸法に構
成した研磨治具とすることにより加工面の平面度、平行
度、寸法精度可能範囲は目的とする加工精度に達成され
る。
本発明の研磨治具を用いることにより音響光学素子の完
成に必要な、平面度０．１６μｍ、寸法制御可能範囲が
±１μｍの精度が得られる研磨治具が得られた。
成に必要な、平面度０．１６μｍ、寸法制御可能範囲が
±１μｍの精度が得られる研磨治具が得られた。
第１図は本発明による回転研磨装置及び研磨治具を示す
図。 （ａ）は平面図、（ｂ）は正面図。 第２図は従来の円筒型研磨治具。 １・・・円柱。 ２・・・直方体の研磨治具。 ３・・・研磨定盤。 ４・・・被加工物（ＬｉＮｂＯａ ）。 ５・・・支持ローラー。 ６・・・ローラーバー。 ７・・・円筒。 ８・・・円柱型研磨治具。 ９・・・音響光学素子（モリブデン酸鉛）特許出願人
東北金属工業株式会社 第２図
図。 （ａ）は平面図、（ｂ）は正面図。 第２図は従来の円筒型研磨治具。 １・・・円柱。 ２・・・直方体の研磨治具。 ３・・・研磨定盤。 ４・・・被加工物（ＬｉＮｂＯａ ）。 ５・・・支持ローラー。 ６・・・ローラーバー。 ７・・・円筒。 ８・・・円柱型研磨治具。 ９・・・音響光学素子（モリブデン酸鉛）特許出願人
東北金属工業株式会社 第２図
Claims (1)
- 回転する定盤上に載置して定盤の回転力によって自転す
る円柱状研磨治具において、該円柱状治具には円柱状研
磨治具の回転中心を除く位置に複数の正方形貫通孔を形
成し、該貫通孔に、底部に被加工物を接着した断面正方
形で直方体の治具を挿入して構成したことを特徴とする
研磨治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63044936A JPH01222862A (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | 研磨治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63044936A JPH01222862A (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | 研磨治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01222862A true JPH01222862A (ja) | 1989-09-06 |
Family
ID=12705366
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63044936A Pending JPH01222862A (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | 研磨治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01222862A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5012691A (ja) * | 1973-06-04 | 1975-02-08 | ||
| JPS6116263B2 (ja) * | 1978-08-31 | 1986-04-28 | Mitsui Toatsu Chemicals |
-
1988
- 1988-02-26 JP JP63044936A patent/JPH01222862A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5012691A (ja) * | 1973-06-04 | 1975-02-08 | ||
| JPS6116263B2 (ja) * | 1978-08-31 | 1986-04-28 | Mitsui Toatsu Chemicals |
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