JPH01213599A - 反射型回折格子 - Google Patents
反射型回折格子Info
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- JPH01213599A JPH01213599A JP3852188A JP3852188A JPH01213599A JP H01213599 A JPH01213599 A JP H01213599A JP 3852188 A JP3852188 A JP 3852188A JP 3852188 A JP3852188 A JP 3852188A JP H01213599 A JPH01213599 A JP H01213599A
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Landscapes
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は軟Ｘ線領域で用いる反射型の回折格子に関する
ものである。
ものである。
従来の反射型回折格子としては、第６図および第７図に
示すように、基板上に矩形の凸部１や月形の溝２を周期
的に形成し、これらの凸部１又は溝２の反射面上に反射
率の高い白金や金などの金属薄膜を蒸着した回折格子が
一般的である。回折格子の回折光強度は回折光相互の干
渉と回折格子の反射面からの反射強度の積によって決ま
る。
示すように、基板上に矩形の凸部１や月形の溝２を周期
的に形成し、これらの凸部１又は溝２の反射面上に反射
率の高い白金や金などの金属薄膜を蒸着した回折格子が
一般的である。回折格子の回折光強度は回折光相互の干
渉と回折格子の反射面からの反射強度の積によって決ま
る。
従って、軟Ｘ線などの短波長光を用いた場合には、反射
面の反射率が０．１〜０．０１程度に低下し、凸部１又
は溝２の反射面からの反射強度が低下してしまうため、
回折光強度も著しく低下してしまう。また、同じ回折条
件を満たす波長λと次数ｍの回折光はすべて同一方向に
回折してしまうため、特定の波長の単色光を得るために
は、回折格子以外に適切なフィルタおよびミラーを用い
て不必要な高次回折光を取り除かなければならなくなり
、装置全体が複雑かつ大型化してしまうという欠点があ
った。
面の反射率が０．１〜０．０１程度に低下し、凸部１又
は溝２の反射面からの反射強度が低下してしまうため、
回折光強度も著しく低下してしまう。また、同じ回折条
件を満たす波長λと次数ｍの回折光はすべて同一方向に
回折してしまうため、特定の波長の単色光を得るために
は、回折格子以外に適切なフィルタおよびミラーを用い
て不必要な高次回折光を取り除かなければならなくなり
、装置全体が複雑かつ大型化してしまうという欠点があ
った。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、そ
の目的とするところは、高い回折光強度が得られ、かつ
高次回折光の除去の可能な反射型回折格子を提供するこ
とにある。
の目的とするところは、高い回折光強度が得られ、かつ
高次回折光の除去の可能な反射型回折格子を提供するこ
とにある。
このような目的を達成するために本願の第１の発明は、
基板上に周期的な溝を形成することによって得られる反
射型回折格子において、異なる元素の薄膜を交互に重ね
た多層膜を反射面上に形成するようにしたものである。
基板上に周期的な溝を形成することによって得られる反
射型回折格子において、異なる元素の薄膜を交互に重ね
た多層膜を反射面上に形成するようにしたものである。
また本願の第２の発明は、基板上に周期的な溝を形成す
ることによって得られる反射型回折格子において、周期
と層数の異なる複数種の単位多層膜を反射面上に積層す
るようにしたものである。
ることによって得られる反射型回折格子において、周期
と層数の異なる複数種の単位多層膜を反射面上に積層す
るようにしたものである。
本発明による反射型回折格子においては、回折光強度が
高く、かつ高次回折光の除去が可能である。
高く、かつ高次回折光の除去が可能である。
まず本発明の概要について説明する。本発明は前述の目
的を達成するために、回折格子の反射面上に異なる元素
の薄膜を交互に重ねた多層膜を形成し、回折光強度を従
来と比べ２桁程度高くしていると同時に高次回折光の除
去を可能としている。
的を達成するために、回折格子の反射面上に異なる元素
の薄膜を交互に重ねた多層膜を形成し、回折光強度を従
来と比べ２桁程度高くしていると同時に高次回折光の除
去を可能としている。
また、本発明による回折格子の反射面上に形成される多
層膜の構成材料としてＢあるいはＢｅを用いることによ
り４０Å以下の波長領域でより高い回折光強度を得るこ
とができる。また、多層膜の構造として周期の異なる単
位多層膜を複数積層したものとすることにより、周期の
一定な多層膜構造をとった場合に比べ、より広い入射角
度範囲で高い回折光強度を得ることができる。また、こ
の効果を高めるために、各々の該単位多層膜の周期を基
板側から上に向かって順に増大した構造とすることによ
り、多層膜構成元素による軟Ｘ線の長波長側の吸収をよ
り小さくすることができる。
層膜の構成材料としてＢあるいはＢｅを用いることによ
り４０Å以下の波長領域でより高い回折光強度を得るこ
とができる。また、多層膜の構造として周期の異なる単
位多層膜を複数積層したものとすることにより、周期の
一定な多層膜構造をとった場合に比べ、より広い入射角
度範囲で高い回折光強度を得ることができる。また、こ
の効果を高めるために、各々の該単位多層膜の周期を基
板側から上に向かって順に増大した構造とすることによ
り、多層膜構成元素による軟Ｘ線の長波長側の吸収をよ
り小さくすることができる。
本発明による反射型回折格子の実施例を図面と共に説明
する。第１図は、本発明による回折格子の一実施例を示
す断面図である。本実施例は、矩形の断面形状を有する
溝数Ｎｇ、周期ｄｇの矩形回折格子３の反射面上に、反
射層である厚さｄｒの重元素薄膜４とスペーサ層である
厚さｄｓの軽元素薄膜５とから成る周期ｄｍの２層膜を
回折格子３の反射面側から順にＮｍ層積層したものであ
る。この回折格子の光学特性の原理を、入射光として軟
Ｘ線を用いた場合を例に挙げて以下に説明する。
する。第１図は、本発明による回折格子の一実施例を示
す断面図である。本実施例は、矩形の断面形状を有する
溝数Ｎｇ、周期ｄｇの矩形回折格子３の反射面上に、反
射層である厚さｄｒの重元素薄膜４とスペーサ層である
厚さｄｓの軽元素薄膜５とから成る周期ｄｍの２層膜を
回折格子３の反射面側から順にＮｍ層積層したものであ
る。この回折格子の光学特性の原理を、入射光として軟
Ｘ線を用いた場合を例に挙げて以下に説明する。
反射面に白金薄膜等が蒸着されている通常の溝数Ｎｇ、
周期ｄｇの回折格子に白色軟Ｘ線を所定の入射角αで入
射した時に回折角βで回折される波長λの軟Ｘ線の強度
は、ｓｉｎβ−５ｉｎα＝ｐとした場合、第３図（ａ）
に示すような回折格子の各凸部からの回折光相互の干渉
を表わす関数Ｈ（ｐ）＝ （１−ｃｏｓ （Ｎｇｘ２
πｘｄｇ／λ））／（１−ｃｏｓ（２πｘｄｇ／λ））
と、第３図（ｂｌの曲線６に示すような単一の溝から反
射した軟Ｘ線の強度を表わす関数１ｏ（ｐ）との積によ
って表せることが知られている（参考文献二Ｍ ポルン
、Ｅウォルフ著、光学原理第８章“Ｐｒ１ｎｃｉｐｌｅ
ｓ ｏｆＯｐｔｉｃｓ、ＰＥＲＧＡＭＯＮ ＰＲＥＳＳ
ＬＴＤ、１９７５″）。即ち、回折された波長λの軟
Ｘ線は第３図（ｂ）の曲線７に示す回折光強度分布を示
す。
周期ｄｇの回折格子に白色軟Ｘ線を所定の入射角αで入
射した時に回折角βで回折される波長λの軟Ｘ線の強度
は、ｓｉｎβ−５ｉｎα＝ｐとした場合、第３図（ａ）
に示すような回折格子の各凸部からの回折光相互の干渉
を表わす関数Ｈ（ｐ）＝ （１−ｃｏｓ （Ｎｇｘ２
πｘｄｇ／λ））／（１−ｃｏｓ（２πｘｄｇ／λ））
と、第３図（ｂｌの曲線６に示すような単一の溝から反
射した軟Ｘ線の強度を表わす関数１ｏ（ｐ）との積によ
って表せることが知られている（参考文献二Ｍ ポルン
、Ｅウォルフ著、光学原理第８章“Ｐｒ１ｎｃｉｐｌｅ
ｓ ｏｆＯｐｔｉｃｓ、ＰＥＲＧＡＭＯＮ ＰＲＥＳＳ
ＬＴＤ、１９７５″）。即ち、回折された波長λの軟
Ｘ線は第３図（ｂ）の曲線７に示す回折光強度分布を示
す。
本実施例の回折格子は第１図に示すような構造を有し、
回折格子の反射面上に多層膜が形成されている。所定の
周期の多層膜は所定の入射角において、所定のピーク波
長とスペクトル帯域幅から成る軟Ｘ線を高い反射率で反
射することが知られている。第３図（Ｃ）の曲線８に回
折格子の反射面上に多層膜を形成した際に得られるＬ（
ｐｉの分布例を示す。多層膜を形成しない場合に比べ、
著しく高い１．（Ｐ）を得ることができる。例えば、本
発明者の計算によれば、溝数２４００本／ ｍ ｍの矩
形回折格子の反射面上に周期ｄｍ＝２９人、層数Ｎｍ＝
３０のＷ／Ｂｅ多層膜を形成した場合、通常の回折格子
によくみられるような反射面上に白金薄膜を蒸着した場
合と比較し、ｐ＝ｏにおける強度Ｉ０゜（ｐｉは波長１
０人において１５０倍程度である（入射角５度）。また
、回折格子の反射面上に多層膜を形成することにより、
高次の回折光を除外することが可能である。
回折格子の反射面上に多層膜が形成されている。所定の
周期の多層膜は所定の入射角において、所定のピーク波
長とスペクトル帯域幅から成る軟Ｘ線を高い反射率で反
射することが知られている。第３図（Ｃ）の曲線８に回
折格子の反射面上に多層膜を形成した際に得られるＬ（
ｐｉの分布例を示す。多層膜を形成しない場合に比べ、
著しく高い１．（Ｐ）を得ることができる。例えば、本
発明者の計算によれば、溝数２４００本／ ｍ ｍの矩
形回折格子の反射面上に周期ｄｍ＝２９人、層数Ｎｍ＝
３０のＷ／Ｂｅ多層膜を形成した場合、通常の回折格子
によくみられるような反射面上に白金薄膜を蒸着した場
合と比較し、ｐ＝ｏにおける強度Ｉ０゜（ｐｉは波長１
０人において１５０倍程度である（入射角５度）。また
、回折格子の反射面上に多層膜を形成することにより、
高次の回折光を除外することが可能である。
次に、その原理について説明する。ｍを１以上の整数、
λを回折光の波長、ｄｇを回折格子の溝の周期、αを回
折格子に対する光の入射角、βを回折角とした場合、従
来の回折格子においてはｍλ−ｄｇ（ｓｉｎα−５ｉｎ
β）の回折条件を満たす波長の軟Ｘ線はすべて回折角β
の方向に回折する。即ち、回折角βの方向にはｍ＝１次
の回折光の他に、ｍ＝２次以上の高次の回折光も回折し
、これらはｍ＝１次の回折光の整数分の１の波長を有す
る。とるこが回折格子の反射面に多層膜を形成した場合
、多層膜は特定の波長範囲の軟Ｘ線のみを反射するため
、多層膜の構造パラメータである周期ｄｍ、層数Ｎｍを
適切に選び、最も回折光強度の高い１次の回折光のみ反
射させるようにすれば、２次以上の高次回折光を除去す
ることが可能である。たとえば、発明者らの計算によれ
ば、ｄｍ＝５７人、Ｎｍ＝３０とすることにより、β−
５度の方向にはλ＝１０人の単色軟Ｘ線のみ取り出すこ
とが可能である。
λを回折光の波長、ｄｇを回折格子の溝の周期、αを回
折格子に対する光の入射角、βを回折角とした場合、従
来の回折格子においてはｍλ−ｄｇ（ｓｉｎα−５ｉｎ
β）の回折条件を満たす波長の軟Ｘ線はすべて回折角β
の方向に回折する。即ち、回折角βの方向にはｍ＝１次
の回折光の他に、ｍ＝２次以上の高次の回折光も回折し
、これらはｍ＝１次の回折光の整数分の１の波長を有す
る。とるこが回折格子の反射面に多層膜を形成した場合
、多層膜は特定の波長範囲の軟Ｘ線のみを反射するため
、多層膜の構造パラメータである周期ｄｍ、層数Ｎｍを
適切に選び、最も回折光強度の高い１次の回折光のみ反
射させるようにすれば、２次以上の高次回折光を除去す
ることが可能である。たとえば、発明者らの計算によれ
ば、ｄｍ＝５７人、Ｎｍ＝３０とすることにより、β−
５度の方向にはλ＝１０人の単色軟Ｘ線のみ取り出すこ
とが可能である。
なお、以上の説明において、回折格子は断面形状が矩形
の平面回折格子であるとしたが、これを断面形状が月形
の曲面回折格子とすることにより軟Ｘ線を集光すること
もでき、回折軟Ｘ線の強度を増大することができる。ま
た、ブレーズ効果により特定の次数（−次あるいは二次
）のみの光を集めることができる（参考文献：アール・
ダブリュー・ウッド、ネイチャア−（Ｎａｔｕｒｅ）
、 １９３７゜７２３頁）。特に、上記曲面回折格子の
反射面上に、所定の周期と層数からなる多層膜を単位多
層膜として、周期と層数の異なる複数種の上記単位多層
膜を複数個積層した複合構造の多層膜を反射面に形成す
ると、回折光強度をより高めることができる。
の平面回折格子であるとしたが、これを断面形状が月形
の曲面回折格子とすることにより軟Ｘ線を集光すること
もでき、回折軟Ｘ線の強度を増大することができる。ま
た、ブレーズ効果により特定の次数（−次あるいは二次
）のみの光を集めることができる（参考文献：アール・
ダブリュー・ウッド、ネイチャア−（Ｎａｔｕｒｅ）
、 １９３７゜７２３頁）。特に、上記曲面回折格子の
反射面上に、所定の周期と層数からなる多層膜を単位多
層膜として、周期と層数の異なる複数種の上記単位多層
膜を複数個積層した複合構造の多層膜を反射面に形成す
ると、回折光強度をより高めることができる。
次に、その原理について説明する。第２図に、複合構造
の多層膜１０を固形回折格子１１の反射面上に形成した
本発明による反射型回折格子の一実施例を示す。第４図
に、複合構造の多層膜の概念図を示す。回折格子の反射
面上に、反射層である厚さＡｍの重元素薄膜１２と、ス
ペーサ層である厚さＢｍの軽元素薄膜１３とから成る周
ｖＪｄ ｍの２Ｎ膜をＮｍ層重ねた周期的な単位多層膜
Ｅｍを基板側から順にＥｌ、 ・・・、Ｅｍ、 ・
・・。
の多層膜１０を固形回折格子１１の反射面上に形成した
本発明による反射型回折格子の一実施例を示す。第４図
に、複合構造の多層膜の概念図を示す。回折格子の反射
面上に、反射層である厚さＡｍの重元素薄膜１２と、ス
ペーサ層である厚さＢｍの軽元素薄膜１３とから成る周
ｖＪｄ ｍの２Ｎ膜をＮｍ層重ねた周期的な単位多層膜
Ｅｍを基板側から順にＥｌ、 ・・・、Ｅｍ、 ・
・・。
ＥＭというようにＭ個積層したものである。このような
複合構造多層膜の光学原理をＭ＝２の場合を例に挙げて
説明する。所定の周期の多層膜は、所定の入射角度にお
いて所定のピーク波長と帯域幅を有する軟Ｘ線を高い反
射率で反射するので、第４図に示すような構造において
、Ｍ＝２の場合、即ち周期の異なる２個の単位多層膜を
積層した多層膜は、第５図に示すように、各々の単位多
層膜に対応する異なる反射角α１．α２にピークを有す
るスペクトル１４．１５を合成した広い入射角度範囲に
わたり高い反射率を実現し得る。また、−ｉに光源の長
波長成分は短波長成分よりも多層膜の構成材料に吸収さ
れ易いので、短波長側に反射率スペクトルのピーク波長
を有する単位多層膜から順に上に向かってｄｍが増大す
るように基板上に積層することにより、長波長成分が上
層の単位多層膜で、短波長成分が下層の単位多層膜で主
に反射されるために、吸収の影響を小さくでき、より高
い反射率が実現できる。また、Ｍ種の単位多層膜がそれ
ぞれ最大のピーク反射率が得られるような最適のＡ ｍ
／ ｄ ｍ比を有している。以上のような複合構造の
多層膜の特徴は、広い入射角度範囲にわたり高い反射率
が実現できることである。
複合構造多層膜の光学原理をＭ＝２の場合を例に挙げて
説明する。所定の周期の多層膜は、所定の入射角度にお
いて所定のピーク波長と帯域幅を有する軟Ｘ線を高い反
射率で反射するので、第４図に示すような構造において
、Ｍ＝２の場合、即ち周期の異なる２個の単位多層膜を
積層した多層膜は、第５図に示すように、各々の単位多
層膜に対応する異なる反射角α１．α２にピークを有す
るスペクトル１４．１５を合成した広い入射角度範囲に
わたり高い反射率を実現し得る。また、−ｉに光源の長
波長成分は短波長成分よりも多層膜の構成材料に吸収さ
れ易いので、短波長側に反射率スペクトルのピーク波長
を有する単位多層膜から順に上に向かってｄｍが増大す
るように基板上に積層することにより、長波長成分が上
層の単位多層膜で、短波長成分が下層の単位多層膜で主
に反射されるために、吸収の影響を小さくでき、より高
い反射率が実現できる。また、Ｍ種の単位多層膜がそれ
ぞれ最大のピーク反射率が得られるような最適のＡ ｍ
／ ｄ ｍ比を有している。以上のような複合構造の
多層膜の特徴は、広い入射角度範囲にわたり高い反射率
が実現できることである。
従って、入射角および出射角に一定の広がりのある曲面
回折格子の反射面上に上記複合構造の多層膜を形成する
と、第１図の実施例で示したようなｄｍが一定の場合と
比べ、回折光強度をさらに高めることができる。発明者
らの簡単な計算によると、ｄｌ＝３７人とｄ２＝４３人
の複合構造のＷ／Ｂｅ多層膜反射鏡を前記曲面回折格子
の反射面上に形成することにより、形成しない場合と比
べ、−次の回折軟Ｘ線（波長１０人）の強度を５０倍程
度高めることができる（入射角５度）。
回折格子の反射面上に上記複合構造の多層膜を形成する
と、第１図の実施例で示したようなｄｍが一定の場合と
比べ、回折光強度をさらに高めることができる。発明者
らの簡単な計算によると、ｄｌ＝３７人とｄ２＝４３人
の複合構造のＷ／Ｂｅ多層膜反射鏡を前記曲面回折格子
の反射面上に形成することにより、形成しない場合と比
べ、−次の回折軟Ｘ線（波長１０人）の強度を５０倍程
度高めることができる（入射角５度）。
次に、本発明による反射型回折格子の反射面上に形成す
る多層膜の軽元素薄膜の材料としてＢあるいはＢｅを用
いた場合の効果について説明する。
る多層膜の軽元素薄膜の材料としてＢあるいはＢｅを用
いた場合の効果について説明する。
多層膜構成材料の複素屈折率を１−δ−１βとした場合
、多層膜界面における複素振幅反射率は入射角αが一定
の条件下では（Δδ＋ｉΔβ）に比例する。ただし、Δ
δとΔβは重元素薄膜と軽元素薄膜の屈折率および吸収
係数の差である。また、より高いピーク反射率を得るた
めにはスペーサ層材料による軟Ｘ線の吸収は小さい方が
望ましい。
、多層膜界面における複素振幅反射率は入射角αが一定
の条件下では（Δδ＋ｉΔβ）に比例する。ただし、Δ
δとΔβは重元素薄膜と軽元素薄膜の屈折率および吸収
係数の差である。また、より高いピーク反射率を得るた
めにはスペーサ層材料による軟Ｘ線の吸収は小さい方が
望ましい。
Ｘ線分光学およびＸ線露光に重要な軟Ｘ線領８域におい
てはＢあるいはＢｅの吸収係数は従来スペーサ層材料と
して広く用いられているＣの吸収係数に比べ低い値を示
している。Ｂｅの吸収係数は特にＣの吸収係数との差が
著しい。また、屈折率に関しても軟Ｘ線に比べ低い値を
示している（参考文献：ビー・エル・ヘンケ他著、原子
と核のデータ表（Ａｔｏｍｉｃ Ｄａｔａ ａｎｄ Ｎ
ｕｃｌｅａｒ Ｄａｔａ Ｔａｂｌｅｓ）。
てはＢあるいはＢｅの吸収係数は従来スペーサ層材料と
して広く用いられているＣの吸収係数に比べ低い値を示
している。Ｂｅの吸収係数は特にＣの吸収係数との差が
著しい。また、屈折率に関しても軟Ｘ線に比べ低い値を
示している（参考文献：ビー・エル・ヘンケ他著、原子
と核のデータ表（Ａｔｏｍｉｃ Ｄａｔａ ａｎｄ Ｎ
ｕｃｌｅａｒ Ｄａｔａ Ｔａｂｌｅｓ）。
１９８２、第２７巻）。従って、従来スペーサ層材料に
一般的に用いられているＣの代わりにＢあるいはＢｅを
用いることにより、軟Ｘ′！ｔＩＡ領域においてΔδお
よびΔβが増大し、かつスペーサ層材料による軟Ｘ線の
吸収が低減するので、非常に高い反射率が得られる。例
えば、周期ｄｍ＝４１人のＷ／Ｂｅ多層膜はピーク波長
１１人においてＷ／Ｃ多層膜と比較し、２倍近くのピー
ク反射率が得られる。
一般的に用いられているＣの代わりにＢあるいはＢｅを
用いることにより、軟Ｘ′！ｔＩＡ領域においてΔδお
よびΔβが増大し、かつスペーサ層材料による軟Ｘ線の
吸収が低減するので、非常に高い反射率が得られる。例
えば、周期ｄｍ＝４１人のＷ／Ｂｅ多層膜はピーク波長
１１人においてＷ／Ｃ多層膜と比較し、２倍近くのピー
ク反射率が得られる。
以上のような、多層膜を反射面上に形成した回折格子の
提案はかってなされたことがあった（参考文献：イー・
スピラー、ＡＩＰ会議議事録（ＡＩＰＣｏｎｆ、 Ｐｒ
ｏｃ、） 、 １９８１． Ｎｏ、７５，１２４頁）。
提案はかってなされたことがあった（参考文献：イー・
スピラー、ＡＩＰ会議議事録（ＡＩＰＣｏｎｆ、 Ｐｒ
ｏｃ、） 、 １９８１． Ｎｏ、７５，１２４頁）。
しかし、多層膜の構造や材料に関する提案は全くなされ
ておらず、本発明におけるような周期と層数の異なる複
数種の単位多層膜を複数個積層した複合構造に関する提
案や、上記単位多層膜のスペーサ層材料にＢあるいはＢ
ｅを用いる提案は全（なされていない。
ておらず、本発明におけるような周期と層数の異なる複
数種の単位多層膜を複数個積層した複合構造に関する提
案や、上記単位多層膜のスペーサ層材料にＢあるいはＢ
ｅを用いる提案は全（なされていない。
前述したように、本発明による反射型回折格子において
は、従来分光することが困難であった５人〜４０人程度
の軟Ｘ線領域において高い回折光強度が得られる。従っ
て、この領域における分光素子として有用である。
は、従来分光することが困難であった５人〜４０人程度
の軟Ｘ線領域において高い回折光強度が得られる。従っ
て、この領域における分光素子として有用である。
以上説明したように本発明による反射型回折格子は、異
なる元素の薄膜を交互に重ねた多層膜を反射面上に形成
したことにより、あるいは周期と層数の異なる複数種の
単位多層膜を反射面上に積層したことにより、特定の波
長範囲の軟Ｘ線のみ ′を高い反射率で反射す
ることができるので、回折光強度が高く且つ高次回折光
の除去が可能な反射型回折格子を得ることができる効果
がある。従って、本発明による反射型回折格子は各種の
分光素子、分散素子、帯域フィルタとして有用である。
なる元素の薄膜を交互に重ねた多層膜を反射面上に形成
したことにより、あるいは周期と層数の異なる複数種の
単位多層膜を反射面上に積層したことにより、特定の波
長範囲の軟Ｘ線のみ ′を高い反射率で反射す
ることができるので、回折光強度が高く且つ高次回折光
の除去が可能な反射型回折格子を得ることができる効果
がある。従って、本発明による反射型回折格子は各種の
分光素子、分散素子、帯域フィルタとして有用である。
第１図は本発明による反射型回折格子の一実施例の構造
を示す断面図、第２図は本発明による反射型回折格子の
第２の実施例の構造を示す断面図、第３図は本発明によ
る反射型回折格子の光学特性の原理を説明するための特
性図、第４図は本発明による反射型回折格子における多
層膜構造の一実施例である複合構造の多層膜構造を示す
斜視図、第５図は第４図に示す複合構造の多層膜の光学
原理を説明するための特性図、第６図および第７図は従
来の反射型回折格子の構造を示す斜視図である。 ３・・・矩形回折格子、４・・・重元素薄膜、５・・・
軽元素薄膜、ＩＯ・・・複合構造の多層膜、１１・・・
月形回折格子。 第１図 第２図 第３図 第６図 ゛）７図 反射子
を示す断面図、第２図は本発明による反射型回折格子の
第２の実施例の構造を示す断面図、第３図は本発明によ
る反射型回折格子の光学特性の原理を説明するための特
性図、第４図は本発明による反射型回折格子における多
層膜構造の一実施例である複合構造の多層膜構造を示す
斜視図、第５図は第４図に示す複合構造の多層膜の光学
原理を説明するための特性図、第６図および第７図は従
来の反射型回折格子の構造を示す斜視図である。 ３・・・矩形回折格子、４・・・重元素薄膜、５・・・
軽元素薄膜、ＩＯ・・・複合構造の多層膜、１１・・・
月形回折格子。 第１図 第２図 第３図 第６図 ゛）７図 反射子
Claims (2)
- （１）基板上に周期的な溝を形成することによって得ら
れる反射型回折格子において、異なる元素の薄膜を交互
に重ねた多層膜を反射面上に形成した反射型回折格子。 - （２）基板上に周期的な溝を形成することによって得ら
れる反射型回折格子において、周期と層数の異なる複数
種の単位多層膜を反射面上に積層した反射型回折格子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3852188A JPH01213599A (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 | 反射型回折格子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3852188A JPH01213599A (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 | 反射型回折格子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01213599A true JPH01213599A (ja) | 1989-08-28 |
Family
ID=12527578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3852188A Pending JPH01213599A (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 | 反射型回折格子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01213599A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001077738A2 (en) * | 2000-04-07 | 2001-10-18 | Zolo Technologies, Inc. | Apparatus and method for the reduction of polarization sensitivity in diffraction gratings used in fiber optic communications devices |
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| WO2004081620A1 (ja) * | 2003-03-13 | 2004-09-23 | Asahi Glass Company Limited | 回折素子および光学装置 |
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| US8318288B2 (en) | 2003-11-06 | 2012-11-27 | Asml Netherlands B.V. | Optical element, lithographic apparatus including such optical element and device manufacturing method, and device manufactured thereby |
| JP2013210485A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-10 | Kuraray Co Ltd | 再帰反射性を有する波長選択フィルタ及び窓材 |
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-
1988
- 1988-02-23 JP JP3852188A patent/JPH01213599A/ja active Pending
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