JPH01210253A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
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- JPH01210253A JPH01210253A JP3244488A JP3244488A JPH01210253A JP H01210253 A JPH01210253 A JP H01210253A JP 3244488 A JP3244488 A JP 3244488A JP 3244488 A JP3244488 A JP 3244488A JP H01210253 A JPH01210253 A JP H01210253A
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- polishing
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Links
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 10
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 22
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 3
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B19/00—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group
- B24B19/22—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
- B24B19/226—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground of the ends of optical fibres
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は、研磨盤を自転させながら公転させて、光ファ
イバなどのワークを精密に研磨する装置に関する。
イバなどのワークを精密に研磨する装置に関する。
従来技術
特公昭５９−４３２６”９号の発明は、研磨板に自転運
動および公転運動を与えることによって、光ファイバな
どの端面を高精度で研磨することを開示している。上記
従来技術によると、自転運動および公転運動は、１つの
モータの回転力を遊星歯車機構によって発生させている
。そして、加工対象のワークは、定位置にあって、自転
および公転運動中の研磨板に接触し、全方向より均一に
研磨される。
動および公転運動を与えることによって、光ファイバな
どの端面を高精度で研磨することを開示している。上記
従来技術によると、自転運動および公転運動は、１つの
モータの回転力を遊星歯車機構によって発生させている
。そして、加工対象のワークは、定位置にあって、自転
および公転運動中の研磨板に接触し、全方向より均一に
研磨される。
ところが上記従来技術によれば下記の欠点がある。すな
わち、自転運動および公転運動が１つのモータおよび遊
星歯車機構によって与えられるため、研磨板の高速回転
ができず、研磨の能率が悪い。また、回転伝達系に遊星
歯車機構が介在するため、ノイズや振動がでて、加工面
の仕上がりが悪い。さらに、実施例のような具体的な構
造では、両性が低く、高精度の研磨が難しい。
わち、自転運動および公転運動が１つのモータおよび遊
星歯車機構によって与えられるため、研磨板の高速回転
ができず、研磨の能率が悪い。また、回転伝達系に遊星
歯車機構が介在するため、ノイズや振動がでて、加工面
の仕上がりが悪い。さらに、実施例のような具体的な構
造では、両性が低く、高精度の研磨が難しい。
発明の目的
したがって、本発明の目的は、簡単な機械的な構造で、
高剛性、高精度の研磨加工を短時間で、すなわち高能率
の下にできるようにすることである。
高剛性、高精度の研磨加工を短時間で、すなわち高能率
の下にできるようにすることである。
発明の解決手段
上記目的の下に、本発明は、枠体によって回転自在に支
持された中空軸内の偏心位置に自転軸を回転自在に支持
し、これらの中空軸および自転軸をそれぞれ専用のモー
タで回転させるとともに、自転軸の上端部分に研磨盤を
固定し、これによって、研磨盤に必要な高速の自転運動
および低速の公転運動を発生させるようにしている。
持された中空軸内の偏心位置に自転軸を回転自在に支持
し、これらの中空軸および自転軸をそれぞれ専用のモー
タで回転させるとともに、自転軸の上端部分に研磨盤を
固定し、これによって、研磨盤に必要な高速の自転運動
および低速の公転運動を発生させるようにしている。
発明の構成
第１図および第２図は、本発明の研磨装置１の構成を示
している。
している。
この研磨装置１は、枠体２の部分に組み込まれている。
すなわち、枠体２は、円筒状であり、フレーム３に取り
付けられた固定ガイド４に対しシール材５を介在させな
がら、上下方向に摺動自在に支持されている。なお、こ
の枠体２は、この枠体２の下端部分と固定ガイド４の中
間部分との間に取り付けられた複数の付勢ばね７によっ
て上向きに付勢されており、また枠体２の外周で軸線方
向に形成された回り止め溝６およびこれに嵌る枠体２例
の回り止めピン８によって回り止め状態となっている。
付けられた固定ガイド４に対しシール材５を介在させな
がら、上下方向に摺動自在に支持されている。なお、こ
の枠体２は、この枠体２の下端部分と固定ガイド４の中
間部分との間に取り付けられた複数の付勢ばね７によっ
て上向きに付勢されており、また枠体２の外周で軸線方
向に形成された回り止め溝６およびこれに嵌る枠体２例
の回り止めピン８によって回り止め状態となっている。
なお、この枠体２の上端部分に支持板９が取り付けられ
ており、第３図に示す通り、その−側に取り付けられた
ローラ１０が一定の高さのカム１１の下面に当たってい
るため、枠体２の上限は、それらによって規制されてい
る。
ており、第３図に示す通り、その−側に取り付けられた
ローラ１０が一定の高さのカム１１の下面に当たってい
るため、枠体２の上限は、それらによって規制されてい
る。
そして、上記枠体２は、中心位置で中空軸１２を上下の
ベアリング１３によって回転自在に支持しており、さら
にこの中空軸１２は、偏心位置で、上下および中間位置
のベアリング１５によって中空軸１２を上下に貫通する
状態で回転自在に支持している。この自転軸１４は、上
端部分で、取り付は台１６を一体的に形成しており、中
空軸１２側のベアリング押え１７に対しシール材１８を
介在させながら、中空軸１２の上方に突出し、研磨盤２
０を保持している。
ベアリング１３によって回転自在に支持しており、さら
にこの中空軸１２は、偏心位置で、上下および中間位置
のベアリング１５によって中空軸１２を上下に貫通する
状態で回転自在に支持している。この自転軸１４は、上
端部分で、取り付は台１６を一体的に形成しており、中
空軸１２側のベアリング押え１７に対しシール材１８を
介在させながら、中空軸１２の上方に突出し、研磨盤２
０を保持している。
この研磨盤２０は、本体２１、支持環２２および押え環
２３によって組み立てられている。本体２１は皿状であ
り、取り付は台１６の上面に対し固定ピン２９で回り止
めしながら、固定ねじ２５によって取り付けられている
。また、支持環２２、押え環２３は、一体となって、両
者の間で研磨フィルム２４を保持しており、支持環２２
のめねじ部分で本体２１のおねじ部分にねじ込まれてい
る。
２３によって組み立てられている。本体２１は皿状であ
り、取り付は台１６の上面に対し固定ピン２９で回り止
めしながら、固定ねじ２５によって取り付けられている
。また、支持環２２、押え環２３は、一体となって、両
者の間で研磨フィルム２４を保持しており、支持環２２
のめねじ部分で本体２１のおねじ部分にねじ込まれてい
る。
この結果、研磨フィルム２４は、本体２１の上端環状部
分に対し、充分な張力で接し、研磨面を形成している。
分に対し、充分な張力で接し、研磨面を形成している。
上記支持板９は、中空軸１２に対しシール材２６を介在
させながら、研磨液の受は皿２７およびこれと一体のカ
バー２８によって研磨盤２０の周囲を取り囲んでいる。
させながら、研磨液の受は皿２７およびこれと一体のカ
バー２８によって研磨盤２０の周囲を取り囲んでいる。
なお、研磨対象の光ファイバなどのワーク３゜は、水平
面上で移動可能なアーム２９のチャックなどに支持され
、研磨フィルム２４の上面に接する。。
面上で移動可能なアーム２９のチャックなどに支持され
、研磨フィルム２４の上面に接する。。
また、枠体２は、下端部分で第１のモータ３１および第
２のモータ３２を支持するために、モータ取り付は板３
３．３４を備えている。第１のモータ３Ｉは、中空軸１
２を駆動することによって、自転軸１４に公転運動を与
えるためのものであり、減速機３５と一体となってモー
タ取り付は板３３に取り付けられ、回転伝達手段３６と
して、減速機３５の出力側のギヤ３７、これに噛み合い
中空軸１２の外周部分に取り付けられたギヤ３８によっ
て中空軸１２に低速回転を与える。また、第２のモータ
３２は、自転細工４に高速の自転運動を与えるものであ
り、枠体２の下端部分に取り付けられたモータ取り付は
板３４に対し下向きに取り付けられており、回転伝達手
段３９として、第２のモータ３２側のプーリ４ｏ、自転
軸１４の下端に取り付けられたプーリ４１、これらに巻
き掛けられたベルト４２によって自転軸１４に回転を伝
達する。なお、このベルト４２は、伸縮可能なゴム類で
あり、一対のベルト外れ防止ピン４３によって、プーリ
４０．４１から外れないようになっている。
２のモータ３２を支持するために、モータ取り付は板３
３．３４を備えている。第１のモータ３Ｉは、中空軸１
２を駆動することによって、自転軸１４に公転運動を与
えるためのものであり、減速機３５と一体となってモー
タ取り付は板３３に取り付けられ、回転伝達手段３６と
して、減速機３５の出力側のギヤ３７、これに噛み合い
中空軸１２の外周部分に取り付けられたギヤ３８によっ
て中空軸１２に低速回転を与える。また、第２のモータ
３２は、自転細工４に高速の自転運動を与えるものであ
り、枠体２の下端部分に取り付けられたモータ取り付は
板３４に対し下向きに取り付けられており、回転伝達手
段３９として、第２のモータ３２側のプーリ４ｏ、自転
軸１４の下端に取り付けられたプーリ４１、これらに巻
き掛けられたベルト４２によって自転軸１４に回転を伝
達する。なお、このベルト４２は、伸縮可能なゴム類で
あり、一対のベルト外れ防止ピン４３によって、プーリ
４０．４１から外れないようになっている。
発明の作用
アーム２９がワーク３０を保持して、待機位置から研磨
盤２０の上方位置まで移動して、ローラ２０がカム１１
の凹み部分に位置すると、枠体２は、左右の付勢ばね７
によって上昇するため、研磨盤２０の研磨フィルム２４
は、ワーク３ｏの下面に所定の当接力で接する。
盤２０の上方位置まで移動して、ローラ２０がカム１１
の凹み部分に位置すると、枠体２は、左右の付勢ばね７
によって上昇するため、研磨盤２０の研磨フィルム２４
は、ワーク３ｏの下面に所定の当接力で接する。
この状態で、第１のモータ３１、第２のモータ３２が回
転すると、そのワーク３０は、研磨フィルム２４に接し
、研磨される。すなわち、第１のモータ３１の回転は、
回転伝達手段３６によって、中空軸１２に低速例えば２
０［ｒｐｍ）程度の回転として伝達される。このため、
中空軸１２は、自転軸１４にその偏心量に応じて、公転
運動を与える。一方、第２のモータ３２の回転は、回転
伝達手段３９によって、直接自転軸１４に伝達され、研
磨盤２０に高速例えば１５００（ｒｐｍ’）程度の回転
として伝達される。このようにして、結局、研磨盤２０
は、低速で公転しながら、高速で自転運動を繰り返すこ
とになる。したがって、ワーク３０と研磨盤２０の研磨
フィルム２４とは、相対的に第４図に示すような運動を
繰り返すことになる。なお、この公転運動によって、第
２のモータのモータ軸と自転軸１４との軸間距離が偏心
量の２倍の範囲で変化することになるが、その変化量は
、ベルト４２の伸縮によって吸収される。したかって、
この自転軸１４の偏心量は、ベルト４２の許容範囲内に
設定されている。もちろん、この研磨動作中に、研磨フ
ィルム２４の上面に研磨液が供給される。この研磨液は
、研磨盤２０の回転によって飛散するが、カバー２８の
内周に当たって落下し、受は皿２２の排出口から所定の
位置に流出する。なお、この研磨動作時に、ワーク３０
は、必要に応じ、往復回転運動を行うことによって、軸
心を中心として、全外周部分で同じ仕上げ状態に設定さ
れる。
転すると、そのワーク３０は、研磨フィルム２４に接し
、研磨される。すなわち、第１のモータ３１の回転は、
回転伝達手段３６によって、中空軸１２に低速例えば２
０［ｒｐｍ）程度の回転として伝達される。このため、
中空軸１２は、自転軸１４にその偏心量に応じて、公転
運動を与える。一方、第２のモータ３２の回転は、回転
伝達手段３９によって、直接自転軸１４に伝達され、研
磨盤２０に高速例えば１５００（ｒｐｍ’）程度の回転
として伝達される。このようにして、結局、研磨盤２０
は、低速で公転しながら、高速で自転運動を繰り返すこ
とになる。したがって、ワーク３０と研磨盤２０の研磨
フィルム２４とは、相対的に第４図に示すような運動を
繰り返すことになる。なお、この公転運動によって、第
２のモータのモータ軸と自転軸１４との軸間距離が偏心
量の２倍の範囲で変化することになるが、その変化量は
、ベルト４２の伸縮によって吸収される。したかって、
この自転軸１４の偏心量は、ベルト４２の許容範囲内に
設定されている。もちろん、この研磨動作中に、研磨フ
ィルム２４の上面に研磨液が供給される。この研磨液は
、研磨盤２０の回転によって飛散するが、カバー２８の
内周に当たって落下し、受は皿２２の排出口から所定の
位置に流出する。なお、この研磨動作時に、ワーク３０
は、必要に応じ、往復回転運動を行うことによって、軸
心を中心として、全外周部分で同じ仕上げ状態に設定さ
れる。
発明の他の実施例 −
上記実施例は、回転伝達１手段３９を巻掛は伝達手段に
よって構成しているが、第５図の実施例は、回転伝達手
段３９を回転伝達手段３６と同様に、ギヤ４４．４５に
よって構成した例である。この実施例で、第２のモータ
３２のモータ軸は、中空軸１２の回転中心と一致した状
態で枠体２の下方位置に直接取り付けられている。そし
て、自転軸１４の偏心量は、ギヤ４４．４５のピンチ円
半径の和と一致しており、前記実施例よりも、比較的大
きく設定できる。その他の部分は、構造的に前記実施例
とほとんど同様であり、したがって、同し部分は、同一
の符号で示されている。
よって構成しているが、第５図の実施例は、回転伝達手
段３９を回転伝達手段３６と同様に、ギヤ４４．４５に
よって構成した例である。この実施例で、第２のモータ
３２のモータ軸は、中空軸１２の回転中心と一致した状
態で枠体２の下方位置に直接取り付けられている。そし
て、自転軸１４の偏心量は、ギヤ４４．４５のピンチ円
半径の和と一致しており、前記実施例よりも、比較的大
きく設定できる。その他の部分は、構造的に前記実施例
とほとんど同様であり、したがって、同し部分は、同一
の符号で示されている。
なお、研磨動作時に、中空軸１２は、第１のモータ３１
によって、前記実施例と同様に駆動される。また、自転
軸１４は、第２のモータ３２のモータ軸の周りを公転し
ながら、回転伝達手段３９としてのギヤ４４．４５から
自転のための回転を受けることになる。
によって、前記実施例と同様に駆動される。また、自転
軸１４は、第２のモータ３２のモータ軸の周りを公転し
ながら、回転伝達手段３９としてのギヤ４４．４５から
自転のための回転を受けることになる。
発明の効果
本発明では、研磨盤に対する自転運動および公転運動の
発生部分が構造的に簡略化されており、しかも高剛性で
、高精度の状態で製作できるため、・研磨（仕上げ）加
工が高い精度の下に行える。
発生部分が構造的に簡略化されており、しかも高剛性で
、高精度の状態で製作できるため、・研磨（仕上げ）加
工が高い精度の下に行える。
特に、自転運動、回転運動の駆動源がそれぞれ別に設け
られており、研磨に適切な回転運動がそれぞれ独自に設
定できるため、ワークの材質やその硬度に応じて最も適
切な回転速度が設定でき、また自転運動のための回転も
公転運動の回転と別に任意に設定できるため、短時間で
必要な研磨ができ、仕上げ作業が高能率化できる。
られており、研磨に適切な回転運動がそれぞれ独自に設
定できるため、ワークの材質やその硬度に応じて最も適
切な回転速度が設定でき、また自転運動のための回転も
公転運動の回転と別に任意に設定できるため、短時間で
必要な研磨ができ、仕上げ作業が高能率化できる。
第１図は本発明の研磨装置の一部破断側面図、第２図は
同装置の垂直断面図、第３図はカム部分の一部の側面図
、第４図は自転運動および公転運動の拡大説明図、第５
図は他の実施例の研磨装置の断面図である。 １・・研磨装置、２・・枠体、６・・付勢ばね、１２・
・中空軸、１４・・自転軸、２０・・研磨盤、２４・・
研磨フィルム、３１・・第１のモータ、３２・・第２の
モータ、３６・・回転伝達手段、３９・・回転伝達手段
。
同装置の垂直断面図、第３図はカム部分の一部の側面図
、第４図は自転運動および公転運動の拡大説明図、第５
図は他の実施例の研磨装置の断面図である。 １・・研磨装置、２・・枠体、６・・付勢ばね、１２・
・中空軸、１４・・自転軸、２０・・研磨盤、２４・・
研磨フィルム、３１・・第１のモータ、３２・・第２の
モータ、３６・・回転伝達手段、３９・・回転伝達手段
。
Claims (1)
- 枠体の中心位置に回転自在に支持した中空軸と、この中
空軸を貫通し、中空軸の偏心位置に回転自在に支持した
自転軸と、自転軸の上端に固定した研磨盤と、枠体に設
けた第１のモータおよび第２のモータと、第１のモータ
と中空軸の外周との回転伝達手段と、第２のモータと自
転軸の下端との回転伝達手段とを有することを特徴とす
る研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3244488A JPH01210253A (ja) | 1988-02-15 | 1988-02-15 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3244488A JPH01210253A (ja) | 1988-02-15 | 1988-02-15 | 研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01210253A true JPH01210253A (ja) | 1989-08-23 |
Family
ID=12359134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3244488A Pending JPH01210253A (ja) | 1988-02-15 | 1988-02-15 | 研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01210253A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100897388B1 (ko) * | 2007-07-27 | 2009-05-14 | 정천섭 | 회전판의 편심회전장치 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5033590A (ja) * | 1973-07-28 | 1975-03-31 | ||
| JPS5741154A (en) * | 1980-08-27 | 1982-03-08 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | End face grinder for bar material |
-
1988
- 1988-02-15 JP JP3244488A patent/JPH01210253A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5033590A (ja) * | 1973-07-28 | 1975-03-31 | ||
| JPS5741154A (en) * | 1980-08-27 | 1982-03-08 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | End face grinder for bar material |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100897388B1 (ko) * | 2007-07-27 | 2009-05-14 | 정천섭 | 회전판의 편심회전장치 |
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