JP2001157960A - 研磨方法および研磨装置並びに軸受装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 研磨具の全面がワークに均一に接触するよう
にして研磨加工精度を向上する。 【解決手段】 駆動シャフト２２には研磨パッド２５を
有する上定盤２４がサスペンション２３を介して揺動自
在に装着されており、駆動シャフト２２の回転によって
上定盤２４が回転駆動される。駆動シャフト２２には球
面内輪４１が設けられ、サスペンション２３の筒体２６
には凹状球面が形成された球面外輪４２が設けられてい
る。それぞれの球面の曲率中心Ｏは研磨パッド２５の研
磨面の位置となっている。上定盤２４を回転駆動する際
に、駆動シャフト２２の傾きなどによって上定盤２４が
駆動シャフト２２に対して揺動運動するときには、上定
盤２４の揺動中心は内外輪４１，４２から離れた曲率中
心Ｏの位置となるので、研磨面は径方向にずれることが
ない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はワークの平坦な表面
を研磨具の平坦な研磨面により研磨加工する研磨技術お
よび特に研磨装置に適用して有用な軸受装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】複数枚の磁気ディスク用基板の両面を同
時に研磨加工する研磨装置としては、上面に環状の下側
砥石が設けられた下定盤と、下面に環状の上側砥石が下
側砥石に対向するようにして設けられた上定盤とを有す
るものがある。ワークである磁気ディスク用基板は、下
側砥石の上に配置される複数のキャリアの保持孔に保持
されるようになっており、それぞれのキャリアは、下定
盤の回転中心部に回転自在に設けられた太陽歯車に噛み
合うとともに、下定盤の外側に設けられた内歯歯車にも
噛み合っている。

【０００３】太陽歯車を回転させて太陽歯車の周りにキ
ャリアを自転させながら公転させた状態のもとで上下両
定盤を回転させると、キャリアに保持されたワークは、
上下の砥石により所定の押し付け力が加えられた状態の
もとで、両面が同時に研磨加工されることになる。この
ような磁気ディスク用基板の研磨装置としては、たとえ
ば、特許第２５３５０８９号公報に記載されるものがあ
る。

【０００４】このように、キャリアを用いてワークを砥
石に沿って自転させながら公転させるようにしたタイプ
の研磨装置にあっては、上定盤を回転駆動するために、
下定盤の上方に上下動自在に配置されたコラムに垂直方
向の回転中心軸を有する上定盤駆動シャフトを設け、こ
の駆動シャフトに取り付けられたフランジにサスペンシ
ョンを介して上定盤を取り付けるようにしている。

【０００５】磁気ディスク用基板を一枚ずつその両面を
研磨加工するようにした研磨装置としては、たとえば、
特開昭54-81591号公報に記載されるのがあり、２本の駆
動シャフトの先端に平面研磨具を取り付け、ワークを両
方の平面研磨具によって挟み付けるようにして、平面研
磨具の回転運動をワークの回転運動に伝達しながらワー
クを研磨加工するようにしている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】いずれのタイプの研磨
装置においても、ワーク表面の研磨精度を高めることが
この分野の重要な解決課題となっており、複数枚のワー
クを同時に研磨加工するようにしたタイプの研磨装置に
おいては、各ワーク相互の加工誤差のばらつきを少なく
することが重要な解決課題となっている。

【０００７】従来の研磨装置においては、研磨具と駆動
シャフトとの間にユニバーサルジョイントや球面継手を
組み込んで、研磨具が駆動シャフトの回転中心軸に対し
て揺動運動するようにしているが、いずれも研磨面から
離れた位置が揺動中心となっている。このため、回転中
心軸の振れなどによって研磨具が揺動した場合に、研磨
面がワークに沿ってずれる方向に変位することになり、
研磨面がワークに均一に接触しなくなることが考えら
れ、その結果、研磨加工精度の向上に限度があったと推
測される。

【０００８】本発明の目的は、研磨具の全面がワークに
均一に接触するようにして研磨加工精度を向上すること
にある。

【０００９】本発明の他の目的は、駆動シャフトにより
回転駆動される研磨具などの従動部材の揺動中心点を従
動部材側に設定し得るようにすることにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の研磨方法は、ワ
ークが接触する平坦な研磨面を有する研磨具を中心軸周
りに回転駆動して前記ワークを研磨加工する研磨方法で
あって、駆動シャフトの回転を前記中心軸に対して揺動
自在に前記研磨具の回転に伝達し、前記研磨面側に曲率
中心を有する凸状球面が形成され前記駆動シャフトに設
けられた球面内輪に対して、前記凸状球面に対向する凹
状球面が形成され前記研磨具に設けられた球面外輪を前
記研磨具とともに揺動させるようにしたことを特徴とす
る。

【００１１】本発明の研磨装置は、ワークが接触する平
坦な研磨面を有する研磨具を中心軸周りに回転駆動して
前記ワークを研磨加工する研磨装置であって、前記研磨
具を前記中心軸に対して揺動自在に回転駆動する駆動シ
ャフトと、前記駆動シャフトに設けられ、前記研磨面側
に曲率中心を有する凸状球面が形成された球面内輪と、
前記研磨具に設けられ、前記凸状球面に対向する凹状球
面が形成された球面外輪とを有し、前記研磨具を前記曲
率中心を中心として揺動させるようにしたことを特徴と
する。

【００１２】本発明の研磨装置は、ワークの一方面が接
触する平坦な研磨面を有し、中心軸周りに回転する第１
の研磨具と、前記ワークの他方面が接触する平坦な研磨
面を有し、中心軸周りに回転する第２の研磨具と、前記
第１と第２の研磨具のうち一方の研磨具が中心軸に対し
て揺動自在に装着される駆動シャフトと、前記駆動シャ
フトに設けられ、前記研磨面側に曲率中心を有する凸状
球面が形成された球面内輪と、一方の前記研磨具に設け
られ、前記凸状球面に対向する凹状球面が形成された球
面外輪とを有し、一方の前記研磨具を前記曲率中心を中
心として揺動させるようにしたことを特徴とする。

【００１３】本発明の軸受装置は、駆動シャフトにより
回転駆動される従動部材を前記駆動シャフトにその中心
軸に対して揺動自在に支持する軸受装置であって、前記
駆動シャフトに設けられ、前記従動部材の基準面側に曲
率中心を有する凸状球面が形成された球面内輪と、前記
従動部材に設けられ、前記凸状球面に対向する凹状球面
が形成された球面外輪とを有し、前記従動部材を前記駆
動シャフトにより回転駆動するようにしたことを特徴と
する。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。

【００１５】図１は本発明の一実施の形態である研磨装
置を示す側面図であり、図２は図１におけるＡ−Ａ線方
向の断面図であり、図３は図１に示すベース内に組み込
まれた下定盤を示す斜視図であり、図４は図３の断面図
である。

【００１６】この研磨装置は、図１および図２に示すよ
うに、コラム１１が固定されたベース１２と、コラム１
１に上下方向に移動自在に設けられた加工ヘッド１３と
を有している。

【００１７】ベース１２内には、図３および図４に示す
ように、下定盤１４が水平面内において回転自在に組み
込まれており、この下定盤１４の上面には下側研磨具と
してのバフ、つまり研磨パッド１５が環状に取り付けら
れている。

【００１８】下定盤１４の回転中心部には外径が研磨パ
ッド１５の内径よりもやや小径となった太陽歯車１６が
回転自在に設けられ、研磨パッド１５の外側には、この
外径よりもやや大径となった環状の内歯歯車１７が下定
盤１４を囲むように回転筒体１８に固定され、内歯歯車
１７は回転筒体１８によって回転駆動されるようになっ
ている。

【００１９】下定盤１４の研磨パッド１５の上面には、
図３に示すように、１０個のキャリア１９が配置される
ようになっており、それぞれのキャリア１９の外周部に
形成された歯車は、太陽歯車１６と内歯歯車１７とに噛
み合っている。それぞれのキャリア１９には、ワークＷ
を保持するための円形の保持孔２０が、１０個ずつ形成
されている。この研磨装置は、それぞれ１０個の保持孔
２０を有するキャリア１９が１０枚配置されるようにな
っているので、同時に１００枚のワークＷを加工するこ
とができる。

【００２０】ただし、キャリア１９の数はこれに限定さ
れることなく、たとえば、８枚でも５枚でも任意の数の
キャリア１９を設けることができる。同様に、１つのキ
ャリア１９に形成される保持孔２０の数についても、図
示する場合には１０個となっているが、５つでも８つで
も良く、任意の数とすることができる。

【００２１】図２に示すように、加工ヘッド１３には駆
動シャフト２２が中心軸Ｐ周りに回転自在に装着されて
おり、この駆動シャフト２２にはサスペンション２３を
介して上定盤２４が取り付けられている。この上定盤２
４の下面には研磨パッド２５が設けられている。なお、
それぞれの研磨パッド１５，２５としては、それぞれの
定盤１４，２４の表面に取り付けるようにしても良く、
金属製の定盤１４，２４の表面に格子状の溝を形成する
ことによって、定盤１４，２４の表面側の部分に直接研
磨具を形成するようにしても良い。

【００２２】駆動シャフト２２の回転を上定盤２４に伝
達するためのサスペンション２３は、筒体２６とその下
端に固定されたフランジつまり駆動板２７とを有してお
り、駆動板２７の下面には駆動板２７の円周方向に等間
隔に１０個の支持ブロック２８が固定されている。支持
ブロック２８に対応して上定盤２４にはホルダー２９が
固定されており、ホルダー２９に設けられたローラ３１
は支持ブロック２８に設けられた突起部３２に係合する
ようになっている。図５は支持ブロック２８とホルダー
２９とを拡大して示す分解斜視図である。

【００２３】駆動シャフト２２には歯車３３が固定さ
れ、この歯車３３には図示しないモータにより駆動され
る歯車が噛み合っており、上定盤２４はそのモータによ
って回転駆動される。

【００２４】図４に示すように、太陽歯車１６は駆動シ
ャフト１６ａにより回転駆動され、下定盤１４は中空の
駆動シャフト１４ａにより回転駆動され、内歯歯車１７
は回転筒体１８によって回転駆動されるようになってお
り、それぞれの駆動シャフト１６ａ，１４ａおよび回転
筒体１８は図示しないモータに連結されている。

【００２５】したがって、それぞれのキャリア１９を太
陽歯車１６と内歯歯車１７とに噛み合わせた状態で太陽
歯車１６と内歯歯車１７と回転させると、それぞれのキ
ャリア１９は自転しながら太陽歯車１６の周りを公転す
ることになる。この状態のもとで、上定盤２４の研磨パ
ッド２５をワークＷを介して下定盤１４の研磨パッド１
５に押し付けると、ワークＷはキャリア１９によって水
平面内において上下の研磨パッド２５，１５の間でこれ
らに接触しながら、サイクロイド曲線ないしトロコイド
曲線を描いて水平方向に移動することになる。ただし、
太陽歯車１６と内歯歯車１７は相対的に回転する関係に
あれば良く、太陽歯車１６のみを回転させ、内歯歯車１
７を静止させるようにしても良く、内歯歯車１７のみを
回転させるようにしても良い。研磨加工時には、ワーク
Ｗに研磨液が塗布されるようになっており、研磨パッド
２５，１５により、研磨液の存在下のもとでワークＷと
してのディスク用基板のラッピング加工やポリッシング
加工が行われる。

【００２６】図１および図２に示すように、加工ヘッド
１３には上定盤２４からワークＷに加えられる押し付け
力を調整するために、空気圧シリンダ３４が取り付けら
れ、この空気圧シリンダ３４のピストンロッド３５が駆
動シャフト２２に連結されている。ピストンロッド３５
と駆動シャフト２２とを、図示するように直接連結する
ようにしても良く、押し付け力を変化させるリンク機構
を介して連結するようにしても良い。

【００２７】駆動シャフト２２の回転を駆動板２７に伝
達するために、駆動シャフト２２の先端には径方向外方
に突出して複数の係合突起３６が設けられ、それぞれの
係合突起３６は駆動板２７に形成された係合溝３７に係
合している。

【００２８】駆動シャフト２２には凸状球面が形成され
たリング状の球面内輪４１が固定されており、凸状球面
の曲率中心Ｏは研磨パッド２５の表面内にほぼ一致する
ようになっている。一方、サスペンション２３の筒体２
６には球面内輪４１の凸状球面に対向する凹状球面が形
成されたリング状の球面外輪４２が固定されており、こ
の凹状球面の曲率中心は凸状球面の曲率中心Ｏと一致し
ている。これらの球面内輪４１と球面外輪４２との間に
は、摺動抵抗を小さくするために、鋼球つまりボール４
３が複数個配置されており、これらの内外輪４１，４２
によってボール軸受となっている。ただし、それぞれの
ボール４３を内外輪４１，４２の表面に放射方向に形成
した溝に入り込ませるようにしても良く、ボール４３を
用いずに、凸状球面と凹状球面とを直接接触させるよう
に滑り軸受としても良い。

【００２９】球面内輪４１は曲率中心Ｏから半径Ｒ1 の
凸状球面を有し、球面外輪４２は曲率中心から半径Ｒ2
の凹状球面を有しており、両方の球面の間にはそれぞれ
の半径の差の寸法の隙間が設けられている。

【００３０】このように、内外輪４１，４２により構成
される球面軸受の曲率中心Ｏが軸受の部分から離れた研
磨面の位置となるように、球面軸受を駆動シャフト２２
と上定盤２４との間に組み込むようにしたので、研磨加
工時に駆動シャフト２２が傾斜しても、上定盤２４は曲
率中心Ｏを中心として図２に矢印Ｑで示すように揺動運
動することになり、研磨面がワークＷの表面に対して径
方向にずれることがなく、研磨面全体がワークＷに対し
て均一な押し付け力となって接触することになる。これ
により、研磨精度を向上することが可能となった。

【００３１】曲率中心Ｏは球面の位置よりも研磨面側に
ずれていれば良く、曲率中心Ｏが図２において研磨面よ
りも上方あるいは下方の位置となっていても、研磨面の
径方向のずれはある程度除去することができるが、研磨
パッド２５の研磨面とほぼ一致する位置に設定すること
が加工精度の向上のためにより好ましい。また、図示す
る研磨装置にあっては、上定盤２４を駆動板２７に対し
て支持ブロック２８とホルダー２９とを介して取り付け
るようにしているが、上定盤２４を駆動板２７に対して
直接取り付けるようにしても良い。

【００３２】この研磨装置を用いてワークＷを研磨加工
するには、それぞれのキャリア１９の保持孔２０の中に
ワークＷを装填した後に、上定盤２４を下定盤１４に向
けて下降移動させ、上定盤２４の研磨パッド２５と下定
盤１４の研磨パッド１５とによりワークＷを挟んだ状態
のもとで、下定盤１と上定盤２４と太陽歯車１６と内歯
歯車１７とを回転駆動する。この研磨加工時に、下定盤
１４や上定盤２４の回転中心軸が傾いたとしても、上定
盤２４は駆動シャフト２２に対して揺動自在となってお
り、しかも、内外輪４１，４２の球面の曲率中心Ｏが揺
動中心となっているので、上定盤２４の回転中心は常に
所定の位置を維持することになる。これにより、上定盤
２４は径方向にずれ移動することなく、研磨面全体がワ
ークＷの表面に均一な押し付け力となって接触した状態
のもとで研磨加工を行うことができる。

【００３３】図６（Ａ）は本発明の他の実施の形態であ
る研磨装置の外観を示す正面図であり、図６（Ｂ）は同
図（Ａ）の右側面図であり、図７は図６に示された研磨
装置の要部を拡大して示す断面図であり、図８は図７に
おけるＢ−Ｂ線に沿う断面図である。

【００３４】この研磨装置はベース４５とコラム４６と
加工ヘッド４７とからなる装置本体を有し、加工ヘッド
４７には第１の駆動ユニット４８と第２の駆動ユニット
４９とが設けられている。ベース４５には着脱ユニット
５０が設けられ、この着脱ユニット５０には所定枚数の
ワークＷである磁気ディスク用基板を収容したカセット
が保持され、このユニット５０から１枚ずつワークＷが
研磨位置まで抜き上げられてローディングされ、研磨後
には元の位置に戻されてアンローディングされるように
なっている。ワークＷは中心部に貫通孔Ｈが形成され、
その円形の内周面Ｓa と同心となった円形の外周面Ｓb
を有している。

【００３５】駆動ユニット４８には、図６に示すように
駆動シャフト５１が設けられ、駆動ユニット４９には駆
動シャフト５２が設けられ、これらは相互にほぼ同心状
となって水平方向を向いている。加工ヘッド４７には駆
動源としてサーボモータからなる駆動モータ５３が組み
込まれており、この駆動モータ５３の回転が動力伝達機
構５４を介してそれぞれの駆動シャフト５１，５２に伝
達されるようになっている。

【００３６】駆動シャフト５１の先端にはリング状のホ
ルダー５５が取り付けられ、駆動シャフト５２の先端に
は同様にリング状のホルダー５６が取り付けられ、それ
ぞれのホルダー５５，５６には、ワークＷの両面を同時
にポリッシング加工するために、研磨パッド５７，５８
が装着されている。

【００３７】それぞれの駆動シャフト５１，５２は、図
７に示すように、同一の方向に回転駆動され、一方の駆
動シャフト５１は他の駆動シャフト５２に対して接近離
反するように軸方向に往復動自在となっている。両方の
研磨パッド５７，５８を離した状態のもとで、ワークＷ
を両方の研磨パッド５７，５８の間にまで上昇移動させ
た後に、駆動シャフト５１を接近移動させると、ワーク
Ｗは両方の研磨パッド５７，５８の間で挟まれて支持つ
まり挟持されることになる。

【００３８】図８に示すように、両方の研磨パッド５
７，５８により挟持されて回転されるワークＷはその回
転中心ＯW が両方の駆動シャフト５１，５２の回転中心
ＯG に対して偏心量Ｅだけずれるように位置決めされる
ようになっている。このように、偏心していることか
ら、ワークＷを両方の研磨パッド５７，５８により挟持
した状態で駆動シャフト５１，５２を回転駆動すると、
研磨パッド５７，５８の回転運動はワークＷの回転運動
に変換されるとともに、研磨パッド５７，５８の研磨面
はワークＷの表面に対して滑り移動することになる。

【００３９】ワークＷの回転中心ＯW が所定の位置とな
るように、駆動ユニット４９には位置決め部材としての
２つのガイドローラ６１，６２が取り付けられ、これら
のガイドローラ６１，６２は駆動シャフト５２に形成さ
れた中空孔６３内に配置されて貫通孔Ｈの内周面Ｓa に
接触するようになっている。したがって、ワークＷはガ
イドローラ６１，６２によって案内されてその回転中心
ＯW がずれないようにして矢印で示す方向に回転駆動さ
れる。

【００４０】図８に示すように、それぞれの研磨パッド
５７，５８の外径はワークＷの外径よりも小さく、かつ
貫通孔Ｈの内径よりも大きい内径を有する環状つまりリ
ング状となっており、それぞれの研磨パッド５７，５８
の端面が平坦となった研磨面となっている。研磨面の外
径と内径は、ワークＷの回転中心ＯW と研磨パッド１
５、１６の回転中心ＯG とが偏心量Ｅだけずれてそれぞ
れが回転したときに、研磨面の外径がワークＷの外周面
Ｓb よりも外方に迫り出さすことなく、しかも、研磨面
の内径がワークＷの内周面Ｓa よりも内方に迫り出さな
い状態となって、貫通孔Ｈを偏心方向に跨ぐ寸法に設定
されている。

【００４１】ポリッシング加工がなされる際には、図示
しないノズルからポリッシング砥粒を含む研磨液がワー
クＷに供給される。ノズルからの供給に代えるか、ノズ
ルからの供給とともに、駆動シャフト５２に形成された
中空孔６３内および駆動シャフト５１に形成された中空
孔内に研磨液供給用の流路を設け、その部分からワーク
Ｗの表面に研磨液を供給するようにしても良い。

【００４２】ガイドローラ６１，６２は前述した２つに
限定されるものではなく、この数および取付位置は適宜
設定できる。また、ガイドローラ６１，６２を内周面Ｓ
a に接触させることなく、ワークＷの外周面Ｓb に接触
させるようにしても良い。

【００４３】駆動シャフト５２の外側には筒体２６が配
置され、この筒体２６の先端にはホルダー５６を介して
研磨パッド５８が固定されている。

【００４４】駆動シャフト５２の回転をホルダー５６を
介して研磨パッド５８に伝達するために、駆動シャフト
５２の先端には径方向外方に突出して複数の係合突起３
６が設けられ、それぞれの係合突起３６はホルダー５６
に形成された係合溝３７に係合している。

【００４５】駆動シャフト５２には凸状球面が形成され
たリング状の球面内輪４１が軸方向に摺動自在に取り付
けられており、凸状球面の曲率中心Ｏは研磨パッド５８
の表面内にほぼ一致するようになっている。一方、筒体
２６には球面内輪４１の凸状球面に対向する凹状球面が
形成されたリング状の球面外輪４２が固定されており、
この凹状球面の曲率中心は凸状球面の曲率中心Ｏと一致
している。これらの球面内輪４１と球面外輪４２との間
には、摺動抵抗を小さくするために、鋼球つまりボール
４３が複数個配置されており、これらの内外輪によって
ボール軸受となっている。ただし、凸状球面と凹状球面
とを直接接触させるようにして滑り軸受としても良い。
球面内輪４１を球面外輪４２に押し付けるために、筒体
２６内には圧縮コイルばね６４が組み込まれている。

【００４６】この研磨装置にあっても、研磨面が曲率中
心Ｏとなるような球面軸受を駆動シャフト５２と研磨パ
ッド５８との間に組み込むようにしたので、研磨加工時
に駆動シャフト５１，５２が傾斜しても、研磨パッド５
８は曲率中心Ｏを中心として揺動運動し、研磨面がワー
クＷの表面に対してずれる方向に変位することがなくな
り、研磨面全体がワークＷに対して均一な押し付け力と
なって接触することになる。

【００４７】なお、この研磨装置にあっては、ワークＷ
を両方の研磨パッド５７，５８の下方から上昇させて両
方の研磨パッドの間に搬送するようにしているが、上方
から下降させて搬入させるようにしても良く、それぞれ
の駆動シャフト５１，５２を垂直としても良い。

【００４８】この研磨装置を用いてワークＷの表面を研
磨加工するには、駆動シャフト５１が後退して両方の研
磨パッド５７，５８の間に大きな隙間が形成された状態
のもとで、着脱ユニット５０から図示しない治具によっ
てワークＷは上昇して搬送される。次いで、ガイドロー
ラ６１，６２を前進移動させてそれぞれの先端部を貫通
孔Ｈ内に進入させる。

【００４９】この状態のもとで、駆動シャフト５１を前
進移動させると、ワークＷは両方の研磨パッド５７，５
８により挟み付けられて支持された状態となる。このよ
うにして、２つの研磨パッド５７，５８によりワークＷ
が挟持された後に、治具をワークＷから下方に退避移動
させ、両方の駆動シャフト５１，５２を回転駆動するこ
とにより、２つの研磨パッド５７，５８の回転運動がワ
ークＷの回転運動に変換されながら、研磨パッド５７，
５８の表面がワークＷの両面に滑り接触してポリッシン
グ加工が行われる。

【００５０】前述したそれぞれの研磨装置にあっては、
研磨パッドとして不織布などからなる研磨パッドを用い
てワークのポリッシング加工を行う場合について説明し
たが、他の磨き加工や研削加工を行う場合にも図示する
研磨装置を適用することができる。研削加工と磨き加工
とを総称して研磨加工と言われ、研削加工を行う場合に
は、砥石が使用される。磨き加工には、ワークの表面に
高度の鏡面を形成するためのポリッシング以外に、ディ
スクの寸法誤差を調整したり、表面仕上げ状態を改善す
るために行うラッピングがあり、ラッピングに際して
は、ポリッシングと同様にアルミナ粉末、炭化ケイ素粉
末、ガラス粉末、あるいはダイヤモンド粉末などがラッ
ピング砥粒として使用されるが、ラッピング砥粒はポリ
ッシング砥粒よりも粒度の粗いものが使用される。

【００５１】本発明は前記実施の形態に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
あることはいうまでもない。

【００５２】たとえば、球面内輪と球面外輪とからなる
軸受が研磨装置に使用されているが、この軸受は研磨装
置に限られず種々の装置に使用することができる。その
場合には、駆動シャフトにより回転駆動される従動部材
を駆動シャフトに対して揺動自在に装着し、駆動シャフ
トに球面内輪を設ける一方、従動部材側に球面外輪を設
け、それぞれの球面の曲率中心を、内外輪から離れた位
置つまり従動部材の基準面側に位置させることにより、
従動部材が揺動する際に従動部材の先端部が径方向にず
れるように変位することを防止できる。

【００５３】

【発明の効果】本発明によれば、駆動シャフトにより回
転駆動される研磨具を駆動シャフトに対して揺動自在に
装着し、駆動シャフトと研磨具との間に球面内輪と球面
外輪とを有する球面軸受を組み込むようにし、それぞれ
の球面の曲率中心が軸受から離れた研磨面側となるよう
にしたので、研磨具が揺動したときに研磨具の回転中心
位置は径方向にずれることがない。これにより、研磨面
全面がワークの表面に均一な押し付け力となって接触
し、研磨加工精度を向上させることができる。

【００５４】球面内輪と球面外輪とを有する軸受を従動
部材を回転駆動する駆動シャフトに対して揺動自在に装
着し、球面の曲率中心を軸受から離れた従動部材の基準
面側に位置させることにより、従動部材が揺動したとき
にその先端部が径方向にずれて変位することを防止でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態である研磨装置を示す側
面図である。

【図２】図１におけるＡ−Ａ線方向の断面図である。

【図３】図１に示すベース内に組み込まれた下定盤を示
す斜視図である。

【図４】図３の断面図である。

【図５】支持ブロックとホルダーとを拡大して示す分解
斜視図である。

【図６】（Ａ）は本発明の他の実施の形態である研磨装
置の外観を示す正面図であり、（Ｂ）は同図（Ａ）の右
側面図である。

【図７】図６に示された研磨装置の要部を拡大して示す
断面図である。

【図８】図７におけるＢ−Ｂ線に沿う断面図である。

【符号の説明】

１１ コラム １２ ベース １３ 加工ヘッド １９ キャリア ２０ 保持孔 ２２ 駆動シャフト ２３ サスペンション ２４ 上定盤 ２５ 研磨パッド ２６ 筒体 ２７ 駆動板 ３６ 係合突起 ３７ 係合溝 ５１，５２ 駆動シャフト ５７，５８ 研磨パッド Ｏ 曲率中心 Ｗ ワーク（磁気ディスク用基板）

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワークが接触する平坦な研磨面を有する
   研磨具を中心軸周りに回転駆動して前記ワークを研磨加
   工する研磨方法であって、 駆動シャフトの回転を前記中心軸に対して揺動自在に前
   記研磨具の回転に伝達し、 前記研磨面側に曲率中心を有する凸状球面が形成され前
   記駆動シャフトに設けられた球面内輪に対して、前記凸
   状球面に対向する凹状球面が形成され前記研磨具に設け
   られた球面外輪を前記研磨具とともに揺動させるように
   したことを特徴とする研磨方法。
2. 【請求項２】 ワークが接触する平坦な研磨面を有する
   研磨具を中心軸周りに回転駆動して前記ワークを研磨加
   工する研磨装置であって、 前記研磨具を前記中心軸に対して揺動自在に回転駆動す
   る駆動シャフトと、 前記駆動シャフトに設けられ、前記研磨面側に曲率中心
   を有する凸状球面が形成された球面内輪と、 前記研磨具に設けられ、前記凸状球面に対向する凹状球
   面が形成された球面外輪とを有し、 前記研磨具を前記曲率中心を中心として揺動させるよう
   にしたことを特徴とする研磨装置。
3. 【請求項３】 ワークの一方面が接触する平坦な研磨面
   を有し、中心軸周りに回転する第１の研磨具と、 前記ワークの他方面が接触する平坦な研磨面を有し、中
   心軸周りに回転する第２の研磨具と、 前記第１と第２の研磨具のうち一方の研磨具が中心軸に
   対して揺動自在に装着される駆動シャフトと、 前記駆動シャフトに設けられ、前記研磨面側に曲率中心
   を有する凸状球面が形成された球面内輪と、 一方の前記研磨具に設けられ、前記凸状球面に対向する
   凹状球面が形成された球面外輪とを有し、 一方の前記研磨具を前記曲率中心を中心として揺動させ
   るようにしたことを特徴とする研磨装置。
4. 【請求項４】 駆動シャフトにより回転駆動される従動
   部材を前記駆動シャフトにその中心軸に対して揺動自在
   に支持する軸受装置であって、 前記駆動シャフトに設けられ、前記従動部材の基準面側
   に曲率中心を有する凸状球面が形成された球面内輪と、 前記従動部材に設けられ、前記凸状球面に対向する凹状
   球面が形成された球面外輪とを有し、 前記従動部材を前記駆動シャフトにより回転駆動するよ
   うにしたことを特徴とする軸受装置。