JPH01210238A - 円形薄板保持装置 - Google Patents
円形薄板保持装置Info
- Publication number
- JPH01210238A JPH01210238A JP3451088A JP3451088A JPH01210238A JP H01210238 A JPH01210238 A JP H01210238A JP 3451088 A JP3451088 A JP 3451088A JP 3451088 A JP3451088 A JP 3451088A JP H01210238 A JPH01210238 A JP H01210238A
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- Japan
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- circular thin
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- groove
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Links
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- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims abstract description 14
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 6
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば光ディスク等の基板の７オトボリマに
グループを転写して形成するために使用する母材（スタ
ンパ）において、基材上にグールプを有する円形の薄板
を脱着自在に固定して保持するだめの円形薄板保持装置
に関する。
グループを転写して形成するために使用する母材（スタ
ンパ）において、基材上にグールプを有する円形の薄板
を脱着自在に固定して保持するだめの円形薄板保持装置
に関する。
例えば光ディスク等の基板上のフォトポリマにグループ
を転写するためには、プループを有する母材（スタンパ
）の上にフォトポリマを注ぎ、その上から元ディスク等
の基板を押圧してフォトポリマを薄く引延ばすと共にス
タンパのグループに充填し、これに紫外線を照射すると
とによってフォトポリマを硬化させてグループを転写す
ると共にフォトポリマを基板に付着させ、基板を７オト
ポリマと共にスタンパから剥離するという手段を用いて
いる。このだめのスタンパは、グループを有する円形の
薄板と、この円形の薄板を保持する基材とを有し、円形
薄板を基材に着脱自在に固定して一体としている。
を転写するためには、プループを有する母材（スタンパ
）の上にフォトポリマを注ぎ、その上から元ディスク等
の基板を押圧してフォトポリマを薄く引延ばすと共にス
タンパのグループに充填し、これに紫外線を照射すると
とによってフォトポリマを硬化させてグループを転写す
ると共にフォトポリマを基板に付着させ、基板を７オト
ポリマと共にスタンパから剥離するという手段を用いて
いる。このだめのスタンパは、グループを有する円形の
薄板と、この円形の薄板を保持する基材とを有し、円形
薄板を基材に着脱自在に固定して一体としている。
上述のような従来の円形薄板保持装置は、第３図に示す
ような構成を有している。すなわち円柱状の形状を有す
る基材１１は、上面に円環状の溝を有しており、この溝
の中に吸着部材１３を嵌入している。吸着部材１３は、
第４図に示すように、上下方向に貫通する多数の細孔を
設けて空気の通路としている（焼結合金のように多孔質
の材料で孔につながりのある場合はこれを空気通路とし
て利用する場合もある）３．基材１１の円環状の溝の外
側および内側１には、外周側１０リング１７と内周側Ｏ
リング１８を装着する溝が設けてあシ、これらの溝に装
着した外周側Ｏリング１７と内周側Ｏリング１８とによ
って、基材１１上に搭載したグループを有する円形薄板
２を密封して保持する。
ような構成を有している。すなわち円柱状の形状を有す
る基材１１は、上面に円環状の溝を有しており、この溝
の中に吸着部材１３を嵌入している。吸着部材１３は、
第４図に示すように、上下方向に貫通する多数の細孔を
設けて空気の通路としている（焼結合金のように多孔質
の材料で孔につながりのある場合はこれを空気通路とし
て利用する場合もある）３．基材１１の円環状の溝の外
側および内側１には、外周側１０リング１７と内周側Ｏ
リング１８を装着する溝が設けてあシ、これらの溝に装
着した外周側Ｏリング１７と内周側Ｏリング１８とによ
って、基材１１上に搭載したグループを有する円形薄板
２を密封して保持する。
吸着部材１３を嵌入する円環状の溝の下部には空気通路
１５および１６が設けられており、これらを介して円形
薄板２を真空吸着することによってこれを基材１１上に
着脱自在に固定して保持する。
１５および１６が設けられており、これらを介して円形
薄板２を真空吸着することによってこれを基材１１上に
着脱自在に固定して保持する。
上述したような従来の円形薄板保持装置は、円形薄板１
２が空気の吸込み口となる吸着部材１３に設けた細孔１
４に接触する部分およびその周辺部分が他の部分よりも
強く密着するため、円形薄板１２０表面に細かいピッチ
の凹凸が発生することが避けられず、このため、このス
タンパを用いて製作した光ディスク等の基板にもこの細
いピッチの凹凸が転写されて平滑度の低い基板となると
いう欠点を有している。本発明の目的は、上述のような
従来の円板薄板保持装置の欠点を除去して、円形薄板の
面上に細いピッチの凹凸を発生しないようにした円形薄
板保持装置を提供することにある。
２が空気の吸込み口となる吸着部材１３に設けた細孔１
４に接触する部分およびその周辺部分が他の部分よりも
強く密着するため、円形薄板１２０表面に細かいピッチ
の凹凸が発生することが避けられず、このため、このス
タンパを用いて製作した光ディスク等の基板にもこの細
いピッチの凹凸が転写されて平滑度の低い基板となると
いう欠点を有している。本発明の目的は、上述のような
従来の円板薄板保持装置の欠点を除去して、円形薄板の
面上に細いピッチの凹凸を発生しないようにした円形薄
板保持装置を提供することにある。
本発明の円形薄板保持装置は、円柱状の基材の上面に設
けた内周側Ｏリング用溝と外周ｆ！ｌｌＯリング用溝の
おのおのの外側および内側に複数個の細孔を設け、これ
らの０ ’Ｊング用溝の間に、円形薄板と密着させるた
めにその上面を平滑にした円環状の搭載部材を嵌装する
だめの円環状の溝を設け、内側０リングおよび外側０
’Ｊングのそれぞれの外側および内側の円周面が円形薄
板を搭載した搭載部材の下部の空気通路を介して円形薄
板を真空吸着するように構成したものである。
けた内周側Ｏリング用溝と外周ｆ！ｌｌＯリング用溝の
おのおのの外側および内側に複数個の細孔を設け、これ
らの０ ’Ｊング用溝の間に、円形薄板と密着させるた
めにその上面を平滑にした円環状の搭載部材を嵌装する
だめの円環状の溝を設け、内側０リングおよび外側０
’Ｊングのそれぞれの外側および内側の円周面が円形薄
板を搭載した搭載部材の下部の空気通路を介して円形薄
板を真空吸着するように構成したものである。
すなわち、本発明の円形薄板保持装置は、円柱状の形状
を有し上面に同心円状に設けた外周側Ｏリング用溝およ
び内周側０リング用溝と前記外周側Ｏリング畏訃よび内
周ｌｌ１１０！ｊング用溝との間細孔と前記内周側０リ
ング用溝に接してその外側ングと、ｊ上面が平滑な面に
形成され前記搭載部材用溝に嵌装した円環状の斡診薄看
呑搭載部材とを備え、前記第一および第二の細孔を前記
搭載部材の下面と前記搭載部材用溝の底面との間に形成
される空気通路に連結して前記空気通路を外部の真空装
置と接続できるように構成したものである。
を有し上面に同心円状に設けた外周側Ｏリング用溝およ
び内周側０リング用溝と前記外周側Ｏリング畏訃よび内
周ｌｌ１１０！ｊング用溝との間細孔と前記内周側０リ
ング用溝に接してその外側ングと、ｊ上面が平滑な面に
形成され前記搭載部材用溝に嵌装した円環状の斡診薄看
呑搭載部材とを備え、前記第一および第二の細孔を前記
搭載部材の下面と前記搭載部材用溝の底面との間に形成
される空気通路に連結して前記空気通路を外部の真空装
置と接続できるように構成したものである。
次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は第１
図の実施例において円形薄板を除いた状態を示す平面図
である。
図の実施例において円形薄板を除いた状態を示す平面図
である。
に外周１１０リング用溝と内周側Ｏす／グ用溝とを設け
ている。外周側Ｏリング用溝に接してその内側と、内周
側Ｏリング溝に接してその外側にはそれぞれ複数個の細
孔４ａおよびｆｂを設けて真空吸着のだめの空気の通路
としている。外周側Ｏリング用溝と内周側Ｏリング用溝
との間には、円形老 薄板を平滑な状態に保持するための搭載部材を嵌入する
だめの円環状の溝が設けられておシ、細孔４ａおよび４
ｂは、この溝に嵌装された搭載部材−６＝ ３の下部の空気通路５および６に連結しておシ、細孔４
ａおよび４ｂと空気通路５および６を介した内Ａｖング
８は、円形薄板２と密着して外部や と空気の流通を遮断する。
ている。外周側Ｏリング用溝に接してその内側と、内周
側Ｏリング溝に接してその外側にはそれぞれ複数個の細
孔４ａおよびｆｂを設けて真空吸着のだめの空気の通路
としている。外周側Ｏリング用溝と内周側Ｏリング用溝
との間には、円形老 薄板を平滑な状態に保持するための搭載部材を嵌入する
だめの円環状の溝が設けられておシ、細孔４ａおよび４
ｂは、この溝に嵌装された搭載部材−６＝ ３の下部の空気通路５および６に連結しておシ、細孔４
ａおよび４ｂと空気通路５および６を介した内Ａｖング
８は、円形薄板２と密着して外部や と空気の流通を遮断する。
このようにして１円形薄板２を基材１に嵌装した搭載部
材３上に真空吸着によって固定することに上述の実施例
は、ａ形薄板が光ディスク等のスタンパの例であるが、
半導体装置用のウェハ等の場合にも適用することができ
る。
材３上に真空吸着によって固定することに上述の実施例
は、ａ形薄板が光ディスク等のスタンパの例であるが、
半導体装置用のウェハ等の場合にも適用することができ
る。
以上説明したように、本発明の円形薄板保持装置は、円
形薄板を基材に固定するとき、円形薄板の表面を凹凸の
ない平滑な面とすることができるという効果があり、従
って本発明の円形薄板保持装置を使用して製作する光デ
ィスクやウェハ等を、細いピッチッチの凹凸がなく平滑
なものとしだ品質のすぐれたものとすることができると
いう効果がある。
形薄板を基材に固定するとき、円形薄板の表面を凹凸の
ない平滑な面とすることができるという効果があり、従
って本発明の円形薄板保持装置を使用して製作する光デ
ィスクやウェハ等を、細いピッチッチの凹凸がなく平滑
なものとしだ品質のすぐれたものとすることができると
いう効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は第１
図の実施例において円形薄板を除いた状態を示す平面図
、第３図は従来の円形薄板保持装置の一例を示す断面図
、第４図は第１図の例の円筒状板の平面図である。 １．１１・・・・・・基材、２・・・・・・円形薄板、
３・１３・・・・・・円筒状板、４ａ、４ｂ、１４−細
孔、５，６，１５．１６・・・・・・空気通路、７，１
７・・・・・・外周側Ｏリング、８゜１８・・・・・・
内周側０リング、１３・・・・・・吸着部材。 代理人 弁理士 内 原 晋
図の実施例において円形薄板を除いた状態を示す平面図
、第３図は従来の円形薄板保持装置の一例を示す断面図
、第４図は第１図の例の円筒状板の平面図である。 １．１１・・・・・・基材、２・・・・・・円形薄板、
３・１３・・・・・・円筒状板、４ａ、４ｂ、１４−細
孔、５，６，１５．１６・・・・・・空気通路、７，１
７・・・・・・外周側Ｏリング、８゜１８・・・・・・
内周側０リング、１３・・・・・・吸着部材。 代理人 弁理士 内 原 晋
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 円柱状の形状を有し上面に同心円状に設けた外周側Ｏリ
ング用溝および内周側Ｏリング用溝と前記外周側Ｏリン
グ用溝および内周側Ｏリング用溝との間に設けた円環状
の搭載部材用溝と前記外周側Ｏリング用溝に接してその
内側に設けた複数個の第一の細孔と前記内周側Ｏリング
用溝に接してその外側に設けた複数個の第二の細孔とを
有する基材と、前記外周側Ｏリング用溝に装着した外周
側Ｏリングと、前記内周側Ｏリング用溝に装着した内周
側Ｏリングと、上面が平滑な面に形成され前記搭載部材
用溝に嵌装した円環状の搭載 部材とを備え、前記第一および第二の細孔を前記搭載部
材の下面と前記搭載部材用溝の底面との間に形成される
空気通路に連結して前記空気通路を外部の真空装置と接
続できるように構成したことを特徴とする円形薄板保持
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3451088A JPH01210238A (ja) | 1988-02-16 | 1988-02-16 | 円形薄板保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3451088A JPH01210238A (ja) | 1988-02-16 | 1988-02-16 | 円形薄板保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01210238A true JPH01210238A (ja) | 1989-08-23 |
Family
ID=12416258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3451088A Pending JPH01210238A (ja) | 1988-02-16 | 1988-02-16 | 円形薄板保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01210238A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0865039A1 (en) * | 1997-03-12 | 1998-09-16 | TAPEMATIC S.p.A. | A supporting device for data-storage optical discs |
| CN102294671A (zh) * | 2010-05-06 | 2011-12-28 | 无锡华润上华半导体有限公司 | 支撑装置及组装薄膜物理钛腔的线圈与护罩的方法 |
| CN109894896A (zh) * | 2019-04-02 | 2019-06-18 | 鲍存明 | 一种轴承加工用固定装置 |
-
1988
- 1988-02-16 JP JP3451088A patent/JPH01210238A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0865039A1 (en) * | 1997-03-12 | 1998-09-16 | TAPEMATIC S.p.A. | A supporting device for data-storage optical discs |
| CN102294671A (zh) * | 2010-05-06 | 2011-12-28 | 无锡华润上华半导体有限公司 | 支撑装置及组装薄膜物理钛腔的线圈与护罩的方法 |
| CN109894896A (zh) * | 2019-04-02 | 2019-06-18 | 鲍存明 | 一种轴承加工用固定装置 |
| CN109894896B (zh) * | 2019-04-02 | 2020-12-18 | 浙江宏毅轴承有限公司 | 一种轴承加工用固定装置 |
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