JPH01203193A - 吸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は吸着装置に関し、特にたとえばその内部が負
圧源に連通した吸着パッドによってワークピースを吸着
し、吸着が正確に行われたか否かを検知できる、吸着装
置に関する。

〔従来技術〕

従来のこの種の吸着装置では、吸着パッドの内部を負圧
にするための真空ボンデから吸着パッドに至る空気経路
の途中に圧力センサを設け、この圧カセンザの検出圧力
によって吸着ミスを判定していた。すなわち、吸着パッ
ドにワークピースが吸着されていないときと、吸着パッ
ドにワークピースが吸着されているときとの経路内圧力
の差を検出することによって、ワークピースが正常に吸
着されているか否かを判定していた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来の吸着装置では、吸着正常時と吸着異常時との圧力
差が小さくなれば、圧力センサによる検出精度をよくし
なければならず、あるいは検出ミスが生じたりする。

それゆえに、この発明の主たる目的は、簡単にかつ確実
にワークピースの吸着状態を検知することができる、吸
着装置を提供することである。

〔問題点を解決するだめの手段〕

この発明は、ハウジング、ハウジングに設りられた室、
室を吸引ポートを通して負圧にするための負圧手段、ハ
ウジングの先端に室に連通して設けられ、室に作用する
負圧によってワークピースを吸着するための吸着パッド
、第１状態においてその先端が吸着パッドの端面より突
出し、その軸方向に変位した第２の状態においてその先
端が吸着パッドの内部に位置するように、ハウジングに
変位可能に設けられた触針、および触針の第１状態から
第２状態への変位に応答して作動するスイッチを備える
、吸着装置である。

〔作用〕

負圧手段によってハウジング内の室が負圧にされると、
それに連通ずる吸着パッド内部もまた負圧になる。した
がって、ワークピースが吸着パッドに引きつげられて吸
着される。吸着パッドにワークピースが吸着されると、
触針の先端が吸着されたワークピースによって押され、
触針が第１状態から第２状態に変位する。触針が第２状
態になると、スイッチが作動する。したがって、このス
イッチの作動の有無によって、ワークピースの吸着が正
常に行われたか否かを検知できる。

〔発明の効果〕

この発明によれば、触針の変位に応答して作動するスイ
ッチによって検知するようにしているので、従来のよう
に圧力差による検知方法に比べて、簡単かつ確実にワー
クピースの吸着を検知することができる。すなわち、こ
の発明によれば、負圧源の能力やその変動、あるいは回
路内の圧力変動に影響されることなく、吸着パッドにワ
ークピースが吸着されているか否がが検知できる。

この発明の」二連の目的、その他の目的、特徴および利
点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明か
ら一層明らかとなろう。

〔実施例〕

図はこの発明の一実施例を示す断面図解図である。吸着
装置１０はハウジング１２を含み、このハウジング１２
は有底円筒部材１４とその開放端に固着された円筒部材
１６とを含む。円筒部材１６の下側開放端には、吸着パ
ッド１８が固着される。そして、吸着パッド１８によっ
て、ワークピース２０を吸着する。

ハウジング１２の上部部材すなわち有底円筒部材１４と
円筒部材１６とはねじによって固着される。すなわち、
有底円筒部材１４の開放端例の外側面には雄ねじ２２が
形成され、この雄ねじ２２が円筒部材１６に形成された
雌ねじ２４と螺合され、ハウジング１２が一体的に構成
される。

また、を底円筒部材１４の中空部ば触針２８の頭部３０
を収納するための頭部収納穴３２として形成される。こ
の頭部収納穴３２の底すなわち有底円筒部材１４の底と
触針２８の頭部３０との間にはコイルばね３４が介挿さ
れ、コイルばね３４は、その弾発力によって触針２８を
定常的に下方へ偶奇させておく。この定常状態が触針の
第１状態である。頭部収納穴３２にコイルばね３４を嵌
め込み、その後、触針２８の頭部３０をコイルばね３２
の下方から挿入し、頭部３０のフランジにコイルばね３
２の一方端を当接させる。この状態で有底円筒部材１４
に円筒部材１６を締結ずれば、触針２８の頭部３０には
、コイルばね３４による下方への弾発力が与えられる。

触針２８の頭部３０の頂上部にはたとえばフェライトの
ような磁性体３６が固着される。一方、有底円筒部材１
４の底部には磁気感応型リードスイッチ３８が設けられ
る。したがって、コイルばね３４の弾発力によって、磁
性体３６がリードスイッチ３８から遠ざけられていると
きには、リードスイッチ３８はオフ（またはオン）状態
である。ところが、後述するようにコイルばね２６の弾
発力に抗して触針２８が上方に変位した第２状態になる
と、磁性体３６がリードスイッチ３８に接近し、リード
スイッチ３８がオン（またはオフ）する。

円筒部材１６の室４０を規定する上部隔壁には、ある程
度の気密性を保って触針２８が変位可能に挿通される触
針挿通孔４２が形成される。」二部隔壁によって規定さ
れる室４０の側壁の一部には、吸引ポート４３が形成さ
れる。したがって、吸引ポート４３に接続されたパイプ
を通して、たとえば真空ポンプ（図示せず）のような負
圧源によって室４０の空気を抜くことにより、室４０は
負圧となる。

円筒部材１６ずなわち室４０の開放端内壁には雌ねじ４
４が形成される。この雌ねじ４４は蓋４６に形成された
ＩＡｔねじ４８と螺合される。！４６は室４０を規定す
る下部隔壁として作用し、この蓋４６には触針挿通孔５
０および連通孔５２が形成される。この連通孔５２を通
して、吸着バッド１８の内部が室４０に連通ずる。それ
によって、吸着パッド１８の内部が負圧にされる。

蓋４６には可撓性を有する、たとえばゴムからなる前述
の吸着パッド１８が嵌め込まれる。吸着パッド１８はら
っは状に形成され、その開放端面５４は触針２８の先端
２８ａより高い位置に設定される。換言すれば、触針２
８の先端２８ａは、触針２８の第１状態では吸着パッド
１８の先端よりやや（数ｍｍ程度）突出するように配置
される。

動作において、吸引ポート４３を通して室４０が負圧に
されると、連通孔５２から室４０へ空気が流入する。こ
の状態で、吸着パッド１８の先端をワークピース２０に
接近させると、ワークピース２０が吸着パッド１８に吸
着される。そのようなワークピース２０の吸着によって
、その先端２８ａが突出しているので、触針２８はワー
クピース２０によって押し」二げられて第１状態（定常
状態）から第２状態に変位する。そうすると、頭部３０
に固着されている磁性体３６がリードスイッチ３８に接
近し、リードスイッチ３８がオン（またはオフ）する。

ワークピース２０が吸着されているとき、何らかの原因
でそのワークピース２０が脱落すると、吸着されていた
ワークピース２０によって上方に押し」二げられていた
触針２８が、コイルばね３４の弾発力に従って定常位置
に復帰する。したがって、リードスイッチ３８から磁性
体３６が遠ざかって、リードスイッチ３８がオフ（また
はオン）し、ワークピース２０が脱落したことが検知さ
れ得る。

なお、この実施例によれば、負圧を作用させたけれども
ワークピースが全く吸着されなかった場合の検出も容易
に行われ得る。

また、」二連の磁性体３６とリードスイッチ３８との、
ｔＪ１合せは、他の近接スイッチに置き換えられてもよ
く、たとえばアクチュエータを有するマイクロスイッチ
や静電容量等の電気的性質の変化を利用するスイッチな
どが利用可能であろう。

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明の一実施例を示す断面図解図である。 図において、１２はハウジング、１４は有底円筒部利、
１６は円筒部材、１８ば吸着パッド、２０はワークピー
ス、２８は触針、３４はコイルばね、３６ば磁性体、３
８はり一ドスイッチ、４０は室、４２は吸引ポートを示
す。 昭和６３年０６月１６日

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ハウジング、 前記ハウジングに設けられた室、 前記室を吸引ポートを通して負圧にするための負圧手段
   、 前記ハウジングの先端に前記室に連通して設けられ、前
   記室に作用する負圧によってワークピースを吸着するた
   めの吸着パッド、 第１状態においてその先端が前記吸着パッドの端面より
   突出し、その軸方向に変位した第２の状態においてその
   先端が前記吸着パッドの内部に位置するように、前記ハ
   ウジングに変位可能に設けられた触針、および 前記触針の前記第１状態から前記第２状態への変位に応
   答して作動するスイッチを備える、吸着装置。