JPH01194464A - 固体撮像素子 - Google Patents
固体撮像素子Info
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- JPH01194464A JPH01194464A JP63019390A JP1939088A JPH01194464A JP H01194464 A JPH01194464 A JP H01194464A JP 63019390 A JP63019390 A JP 63019390A JP 1939088 A JP1939088 A JP 1939088A JP H01194464 A JPH01194464 A JP H01194464A
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Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、固体撮像素子、特に有効絵素領域外の周辺領
域上に異なる染色層を重ねてなる反射防止層を有して成
る固体撮像素子に関する。
域上に異なる染色層を重ねてなる反射防止層を有して成
る固体撮像素子に関する。
〔発明の概要」
本発明は、固体撮像チップの有効検索ｖＡ域外の周辺領
域上に染色層を箪ねてなる反射防止層を有し、この反射
防止層上を覆ってスピンコーティングによるオーバーコ
ート層を被着形成して成る固体撮像素子に、おいて、反
射防止ｊ＠の周端部に１染色層ごとに減する段差を付す
ことによって、オーバーコート層の塗布時に生ずる厚み
むらを防ぎ、この厚みむらに基因した光の感度むらによ
る画質劣化を回避するようにしたものである。
域上に染色層を箪ねてなる反射防止層を有し、この反射
防止層上を覆ってスピンコーティングによるオーバーコ
ート層を被着形成して成る固体撮像素子に、おいて、反
射防止ｊ＠の周端部に１染色層ごとに減する段差を付す
ことによって、オーバーコート層の塗布時に生ずる厚み
むらを防ぎ、この厚みむらに基因した光の感度むらによ
る画質劣化を回避するようにしたものである。
カラーＣＣＤ撮像素子として、第５図及び第６図に示す
ように、ＣＣＤ撮像チップ＋１１の有効絵素領域（２）
上に直接染色層によるカラーフィルタ（３）、この例で
はイエロ染色層（Ｙｅ）とシアン染色層（Ｃｙ）の２１
−によるイエロ（３Ｙ）／グリーン（３Ｇ）／シアン（
３Ｃ）の補色フィルタが′ｍ、看形酸形成、周辺領域（
４）に表面の反射率を−Ｆ・げてフレア防止のためにカ
ラーフィルタ（３）より延長してイエロ染色層（Ｙｅ）
とシアン染色層（Ｇｙ）の２層からなる反射防止層（５
）を形成し、この反射防止層（５）及びカラーフィルタ
（３１’ｃ ５７うように全面にオーバーコート層（６
）を被着形成してなるカラーＣＣＤ撮像素子が提案され
ている。第゛１図は周辺領域（４）の拡大図で有効絵素
領域（２）の周辺部には４１層（７）、Ａｉ！配線（８
）及び相対向する両辺部にパ・ノド部（９）が形成され
る。
ように、ＣＣＤ撮像チップ＋１１の有効絵素領域（２）
上に直接染色層によるカラーフィルタ（３）、この例で
はイエロ染色層（Ｙｅ）とシアン染色層（Ｃｙ）の２１
−によるイエロ（３Ｙ）／グリーン（３Ｇ）／シアン（
３Ｃ）の補色フィルタが′ｍ、看形酸形成、周辺領域（
４）に表面の反射率を−Ｆ・げてフレア防止のためにカ
ラーフィルタ（３）より延長してイエロ染色層（Ｙｅ）
とシアン染色層（Ｇｙ）の２層からなる反射防止層（５
）を形成し、この反射防止層（５）及びカラーフィルタ
（３１’ｃ ５７うように全面にオーバーコート層（６
）を被着形成してなるカラーＣＣＤ撮像素子が提案され
ている。第゛１図は周辺領域（４）の拡大図で有効絵素
領域（２）の周辺部には４１層（７）、Ａｉ！配線（８
）及び相対向する両辺部にパ・ノド部（９）が形成され
る。
カラーフィルタ（３）及び反射防止ｊ＠ （５１はセラ
チン、カゼイン等のベースを所定パターンに露光、現像
して後、染色して構成される。
チン、カゼイン等のベースを所定パターンに露光、現像
して後、染色して構成される。
通常、ｃ ＣＤ 撮像チップ（１）上のカラーフィルタ
（３）及び反射防止Ｎ（５）に用いられるゼラチン、カ
ゼイン等による染色ｒｖｉ （Ｙｅ）、（Ｃｙ）の膜厚
【は、要求される分光特性の関係でｌ〜２μ僧と厚い。
（３）及び反射防止Ｎ（５）に用いられるゼラチン、カ
ゼイン等による染色ｒｖｉ （Ｙｅ）、（Ｃｙ）の膜厚
【は、要求される分光特性の関係でｌ〜２μ僧と厚い。
また、周辺領域（４）に設けられる反射防止ｒｔｉ （
５１は染色層（Ｙｅ）及び（Ｃｙ ）を重ねて、反射率
を下げるようにしているので、反射防止層（５）の膜厚
は、更に厚くなっている。
５１は染色層（Ｙｅ）及び（Ｃｙ ）を重ねて、反射率
を下げるようにしているので、反射防止層（５）の膜厚
は、更に厚くなっている。
そして、オーバーコートＩ＠ （６）は多数の撮像チッ
プが形成されたウェハの状態でスピンコーティングによ
って塗布形成される。しかるに、カラーフィルタ（３）
及び反射防止Ｍ（５）を構成する所謂染色層パターンか
厚い膜厚のために、オーハーフ−１−１鰻（６）のコー
ティング・シーケンスにおいてコーティング時間が長い
と第８図に示すようにチップ角部又はチップ周辺からオ
ーバーコート屓（６）の厚みむらによる放射状の光の感
度むら（２１）が生じ易くなり、またコーティング時間
が石かいと第９図にボすように厚みむらによる額縁状の
感度むら（２２）が生じ易くなる。また、図示せざるも
反射防止層（５）が形成されないパッド部（９）からも
厚みむらによる感度むらが生じ易い。これらの感度むら
はＣＣＤ撮像素子においては画質の劣化となるものであ
った。
プが形成されたウェハの状態でスピンコーティングによ
って塗布形成される。しかるに、カラーフィルタ（３）
及び反射防止Ｍ（５）を構成する所謂染色層パターンか
厚い膜厚のために、オーハーフ−１−１鰻（６）のコー
ティング・シーケンスにおいてコーティング時間が長い
と第８図に示すようにチップ角部又はチップ周辺からオ
ーバーコート屓（６）の厚みむらによる放射状の光の感
度むら（２１）が生じ易くなり、またコーティング時間
が石かいと第９図にボすように厚みむらによる額縁状の
感度むら（２２）が生じ易くなる。また、図示せざるも
反射防止層（５）が形成されないパッド部（９）からも
厚みむらによる感度むらが生じ易い。これらの感度むら
はＣＣＤ撮像素子においては画質の劣化となるものであ
った。
本発明は、上述の点に鑑み、オーバーツー１−１舖によ
る感度むらの発生を防ぎ、画質劣化を回避で・きるよう
にした固体撮像素子を提供するものである。
る感度むらの発生を防ぎ、画質劣化を回避で・きるよう
にした固体撮像素子を提供するものである。
本発明の固体撮像素子は、固体撮像チップ＋１１の有効
絵素領域（２）外の周辺領域（４）上に袂数の異なる染
色層を市ねでなる反射防止層（１１）を有し、この反射
防止層（１１）の周端部に１染色層ごとに減するように
した段差（１２）を設け、この反射防止層（１１）上を
覆ってオーバーコート層（６）を被着形成して構成する
。
絵素領域（２）外の周辺領域（４）上に袂数の異なる染
色層を市ねでなる反射防止層（１１）を有し、この反射
防止層（１１）の周端部に１染色層ごとに減するように
した段差（１２）を設け、この反射防止層（１１）上を
覆ってオーバーコート層（６）を被着形成して構成する
。
反射防止層（１１）は形成に際してパット部（９）が形
成されている最外周辺を除いて形成するを可とする。
成されている最外周辺を除いて形成するを可とする。
上述の本発明の構成によれば、周辺領域（４）上の反射
防止層（１１）において、その周端部に１染色層ごとに
減するようにした段差（１２）を付けたので、周端部に
おけるチップ（１）と反射防止層（１１）間の段差が緩
和され、スピンコーティングによってオーバーコート層
（６）を塗布形成する際、コーティング時間を長くして
も放射状の厚みむらが発生しにくくなる。また、反射防
止層（１１）はパッド部（９）が形成されている最外周
辺には形成されないので、パッド部からの厚みむらも発
生しない。勿論、コーティング時間を長くするので、Ｗ
４縁状の厚みむらも発生しない。従って、厚みむらによ
る放射状の感度むら（２１）、額縁状の感度むら（２２
）、パッド部からの感度むら等の発生が防止され、画質
劣化が回避される。
防止層（１１）において、その周端部に１染色層ごとに
減するようにした段差（１２）を付けたので、周端部に
おけるチップ（１）と反射防止層（１１）間の段差が緩
和され、スピンコーティングによってオーバーコート層
（６）を塗布形成する際、コーティング時間を長くして
も放射状の厚みむらが発生しにくくなる。また、反射防
止層（１１）はパッド部（９）が形成されている最外周
辺には形成されないので、パッド部からの厚みむらも発
生しない。勿論、コーティング時間を長くするので、Ｗ
４縁状の厚みむらも発生しない。従って、厚みむらによ
る放射状の感度むら（２１）、額縁状の感度むら（２２
）、パッド部からの感度むら等の発生が防止され、画質
劣化が回避される。
以下、図面を参照して本発明の固体撮像素子の実施例を
説明する。
説明する。
第１図乃至第３図はインターライン型のカラー〇ＣＬ）
撮像素子に通用した場合である。同図において、１１）
はＣＣＤ撮像チップ、（３）は有効絵素領域（２）上に
直接被着形成したカラーフィルタ、この例ではイエロ染
色層（Ｙｅ ）とシアン染色ｒＪ（Ｃｙ）の２層による
イエロ（３Ｙ）／グリーン（３Ｇ）／シアン（３Ｃ）の
補色フィルタ、（１１） はカラーフィルタ（３）より
一体に延長して周辺領域（４）上に形成されたイエロ染
色層（Ｙｅ）とシアン染色層（Ｃｙ）を市ねてなる本発
明に係る反射防止層である。ここでカラーフィルタ（３
）は有効絵素領域（２）上に形成されるが、有効絵素領
域（２）外周のダミー絵素を形成した絵素延長領域（１
０）上にもカラーフィルタ（３）の配列をそのまま延長
して形成し、さらにその外の周辺領域（４）上に延長す
るように反射防止層（１１）が形成される。
撮像素子に通用した場合である。同図において、１１）
はＣＣＤ撮像チップ、（３）は有効絵素領域（２）上に
直接被着形成したカラーフィルタ、この例ではイエロ染
色層（Ｙｅ ）とシアン染色ｒＪ（Ｃｙ）の２層による
イエロ（３Ｙ）／グリーン（３Ｇ）／シアン（３Ｃ）の
補色フィルタ、（１１） はカラーフィルタ（３）より
一体に延長して周辺領域（４）上に形成されたイエロ染
色層（Ｙｅ）とシアン染色層（Ｃｙ）を市ねてなる本発
明に係る反射防止層である。ここでカラーフィルタ（３
）は有効絵素領域（２）上に形成されるが、有効絵素領
域（２）外周のダミー絵素を形成した絵素延長領域（１
０）上にもカラーフィルタ（３）の配列をそのまま延長
して形成し、さらにその外の周辺領域（４）上に延長す
るように反射防止層（１１）が形成される。
イエロ染色層（Ｙｅ）及びシアン染色層（Ｃｙ ）は、
ＣＣＤ撮像チップ（１１上に平坦化成を介してゼラチン
、カゼイン等のベースを直接形成し、このベースを所定
パターンに露光し、現像して後、染色する工程を各色毎
に繰返して形成される。そして、本例ではシアン染色Ｗ
（Ｃｙ＞とイエロ染色層（Ｙｅ）の２層重ねによる反射
防止層（１１）を周辺領域（４）上に形成する際にパッ
ド部（９）の形成されている最外周辺を除いて形成する
と共に、特に反射防止層（１１）の周端部において、■
染色１−ごとに減するようにした所謂階段状の段差（１
２）を形成する。次いで、スピンコーティングによりオ
ーバーコート層（６）を塗布形成する。その後、ウェハ
より、カラーフィルタ（３）を一体に有した各ＣＣＤ撮
像素子（１３）を切り出す。
ＣＣＤ撮像チップ（１１上に平坦化成を介してゼラチン
、カゼイン等のベースを直接形成し、このベースを所定
パターンに露光し、現像して後、染色する工程を各色毎
に繰返して形成される。そして、本例ではシアン染色Ｗ
（Ｃｙ＞とイエロ染色層（Ｙｅ）の２層重ねによる反射
防止層（１１）を周辺領域（４）上に形成する際にパッ
ド部（９）の形成されている最外周辺を除いて形成する
と共に、特に反射防止層（１１）の周端部において、■
染色１−ごとに減するようにした所謂階段状の段差（１
２）を形成する。次いで、スピンコーティングによりオ
ーバーコート層（６）を塗布形成する。その後、ウェハ
より、カラーフィルタ（３）を一体に有した各ＣＣＤ撮
像素子（１３）を切り出す。
斯る構成によれは、シアン染色ｊｗ（Ｃｙ）及びイエロ
染色ｒｌｌｔ（Ｙｅ）の２Ｍ重ねによる反射防止Ｉｎ（
１１）の周端部に１染色層ごとに段差（１２）を付けて
全体として周端部での段差を緩和するようしたので、オ
ーバーコー） 層（６１を形成する際にコーティング時
間を長くしても周辺の段差から放射状の厚みむらは発生
しにくくなり、勿論額縁状の厚みむらも発生しない。ま
た反射防止ｊｊｉ（１１）はパッド部（９）の形成され
ている最外周辺を除いて形成されるので、パッド部（９
）よりの厚みむらも発生しない、従って、これら厚みむ
らによる放射状の感度むら、額縁状の感度むら、パッド
部からの感度むら等がなく、画質のよい斯種ＣＣＤ撮像
素子が得られる。
染色ｒｌｌｔ（Ｙｅ）の２Ｍ重ねによる反射防止Ｉｎ（
１１）の周端部に１染色層ごとに段差（１２）を付けて
全体として周端部での段差を緩和するようしたので、オ
ーバーコー） 層（６１を形成する際にコーティング時
間を長くしても周辺の段差から放射状の厚みむらは発生
しにくくなり、勿論額縁状の厚みむらも発生しない。ま
た反射防止ｊｊｉ（１１）はパッド部（９）の形成され
ている最外周辺を除いて形成されるので、パッド部（９
）よりの厚みむらも発生しない、従って、これら厚みむ
らによる放射状の感度むら、額縁状の感度むら、パッド
部からの感度むら等がなく、画質のよい斯種ＣＣＤ撮像
素子が得られる。
一方、ｎ形半導体基板を用い、過料″＆萄を基板側に流
す所謂縦型オーバーフロートレイン構造を有して成るＣ
ＣＩ）撮像素子では、通電周辺領域（４）からスメアが
発生しないので、周辺領域（４）にはＡｔ’遮光層が形
成されていない。また、反射防止層を構成する染色層は
上述のようにゼラチン、カゼイン等のネガ型レジストを
使用している。このため露光エネルギーの大小によって
、染色層と下地との密着性及び染色層パターンのエツジ
特性が異なってくる。遮光層等のＡ２層の多い有効絵素
領域（２）とへ１層の少ない周辺領域（４）とでは適止
な露光エネルギーが異なる。すなわち、＾１ｒＪの多い
有効絵素領域（２）においてゼラチン、カゼイン等のネ
ガ型レジスト層を露光したとき、ネガ型レジスト層を通
過した光が下地のＡ１層で反射して再びネガ型レジスト
層へ入り、この反射光も露光エネルギーになるために、
同じ光を入射しても有効絵素領域（２）では露光エネル
ギーが大きく、Ａ１層の少ない周辺領域（４）では露光
エネルギーが小さい。
す所謂縦型オーバーフロートレイン構造を有して成るＣ
ＣＩ）撮像素子では、通電周辺領域（４）からスメアが
発生しないので、周辺領域（４）にはＡｔ’遮光層が形
成されていない。また、反射防止層を構成する染色層は
上述のようにゼラチン、カゼイン等のネガ型レジストを
使用している。このため露光エネルギーの大小によって
、染色層と下地との密着性及び染色層パターンのエツジ
特性が異なってくる。遮光層等のＡ２層の多い有効絵素
領域（２）とへ１層の少ない周辺領域（４）とでは適止
な露光エネルギーが異なる。すなわち、＾１ｒＪの多い
有効絵素領域（２）においてゼラチン、カゼイン等のネ
ガ型レジスト層を露光したとき、ネガ型レジスト層を通
過した光が下地のＡ１層で反射して再びネガ型レジスト
層へ入り、この反射光も露光エネルギーになるために、
同じ光を入射しても有効絵素領域（２）では露光エネル
ギーが大きく、Ａ１層の少ない周辺領域（４）では露光
エネルギーが小さい。
従って、有効絵素領域（２）に露光エネルギーを合わす
と周辺領域（４）で露光エネルギーが弱くなり反射防止
層（１１）の別れが生じる虞れがあり、逆に周辺領域（
４）に露光エネルギーを合わせると有効絵素１１１域（
２）の染色層パターンのエツジ特性が悪くなり、ＣＣＤ
撮像素子の欠陥ちととなるダストが発生する等の虞があ
る。ところで周辺領域（４）にはへＥ配線（８）の密な
所と、粗な所があり、Ａｆ配線（８）間の間隔ｄが約２
０μ麟以内の密な所では有効絵素領域（２）と同様に露
光エネルギーは大きい。
と周辺領域（４）で露光エネルギーが弱くなり反射防止
層（１１）の別れが生じる虞れがあり、逆に周辺領域（
４）に露光エネルギーを合わせると有効絵素１１１域（
２）の染色層パターンのエツジ特性が悪くなり、ＣＣＤ
撮像素子の欠陥ちととなるダストが発生する等の虞があ
る。ところで周辺領域（４）にはへＥ配線（８）の密な
所と、粗な所があり、Ａｆ配線（８）間の間隔ｄが約２
０μ麟以内の密な所では有効絵素領域（２）と同様に露
光エネルギーは大きい。
これが為に本発明では例えば第４図に示すように周辺領
域（４）におけるＡＮ配線（８）の密な所だけに反射防
止層（１１）を形成すするを可とする。このように構成
することにより、有効絵素領域（２）と周辺領域（４）
を同じ最ＡＮ光条件に合せることが可能になる。従って
フレアをさほど増大せずに周辺領域（４）での反射防止
層（１１）と下地との密着性が改善され、反射防止１−
の剥れが防止されると共に、有効絵素ｆＩ域（２）にお
けるカラーフィルタ（３）の染色層パターンのエツジ特
性を良くすることができる。
域（４）におけるＡＮ配線（８）の密な所だけに反射防
止層（１１）を形成すするを可とする。このように構成
することにより、有効絵素領域（２）と周辺領域（４）
を同じ最ＡＮ光条件に合せることが可能になる。従って
フレアをさほど増大せずに周辺領域（４）での反射防止
層（１１）と下地との密着性が改善され、反射防止１−
の剥れが防止されると共に、有効絵素ｆＩ域（２）にお
けるカラーフィルタ（３）の染色層パターンのエツジ特
性を良くすることができる。
ここではｉ遮光層−及びＡＮ配線を設けた構成であるが
、反射率の商い他の金属材料で遮光１ｔｉ及び配線を形
成した構成にも通用できる。
、反射率の商い他の金属材料で遮光１ｔｉ及び配線を形
成した構成にも通用できる。
面、この周辺領゛域（４）のへ２配線（８）の密な所だ
けに反射防止層を形成する構成は、段差を設けない反射
防止１ｄにも通用でき、史には上側のカラーＣＣＤｊ％
像素子に限らず、例えば図示せざるも有効絵素領域（２
）のセンサ部以外のＡＩ！遮光領域上及び周辺領域（４
）上に直接染色層で構成した黒フィルタによる反射防止
層を被着形成してなる白黒用のＣＣＤ撮像素子にも通用
できる。
けに反射防止層を形成する構成は、段差を設けない反射
防止１ｄにも通用でき、史には上側のカラーＣＣＤｊ％
像素子に限らず、例えば図示せざるも有効絵素領域（２
）のセンサ部以外のＡＩ！遮光領域上及び周辺領域（４
）上に直接染色層で構成した黒フィルタによる反射防止
層を被着形成してなる白黒用のＣＣＤ撮像素子にも通用
できる。
（発明の効果）
本発明によれば、固体撮像チップの有効絵素領域外の周
辺領域上に直接異なる染色層を宙ねてなる反射防止層を
形成し、この反射防止ｌ−の周端部に１染色層ごとに減
する段差を形成して全体としての段差を緩和するように
したので、オーバーコート層のスピンコーティング時の
厚みむらによる角部又は周辺からの放射状の感度むら或
は額縁状の感度むらの発生が回避される。従って、この
ような感度むらに基因した画質劣化が回避され、品質の
よいこの種固体撮像素子を提供することができる。
辺領域上に直接異なる染色層を宙ねてなる反射防止層を
形成し、この反射防止ｌ−の周端部に１染色層ごとに減
する段差を形成して全体としての段差を緩和するように
したので、オーバーコート層のスピンコーティング時の
厚みむらによる角部又は周辺からの放射状の感度むら或
は額縁状の感度むらの発生が回避される。従って、この
ような感度むらに基因した画質劣化が回避され、品質の
よいこの種固体撮像素子を提供することができる。
第１図及び第２図は本発明による固体撮像素子の一例を
示す路線的平面図及びそのＡ−’Ａ縁線上断面図、第３
図は第１図の周辺領域の要部の拡大平面図、第４図は本
発明の固体撮像素子の他の例を示す要部の拡大平面図、
第５図及び第６図は従来の固体撮像素子の例を示す路線
的平面図及びその断面図、第７図は第５図の周辺領域の
要部の拡大平面図、第８図及び第９図は夫々感度むらの
例を示す平面図である。 ＋１１はＣＣＤ撮像チップ、（２）は有効絵素６１１４
域、（３）はカラーフィルタ、（４）は周辺領域、＋５
）（１１）は反射防止層、（１２）は段差、（６）はオ
ーバーツーｌ−層である。
示す路線的平面図及びそのＡ−’Ａ縁線上断面図、第３
図は第１図の周辺領域の要部の拡大平面図、第４図は本
発明の固体撮像素子の他の例を示す要部の拡大平面図、
第５図及び第６図は従来の固体撮像素子の例を示す路線
的平面図及びその断面図、第７図は第５図の周辺領域の
要部の拡大平面図、第８図及び第９図は夫々感度むらの
例を示す平面図である。 ＋１１はＣＣＤ撮像チップ、（２）は有効絵素６１１４
域、（３）はカラーフィルタ、（４）は周辺領域、＋５
）（１１）は反射防止層、（１２）は段差、（６）はオ
ーバーツーｌ−層である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 固体撮像チップの有効絵素領域外の周辺領域上に異な
る染色層を重ねてなる反射防止層を有し、上記反射防止
層の周端部では１染色層ごとに減する段差が設けられ、 上記反射防止層上を覆ってオーバーコート層が被着形成
されて成る固体撮像素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63019390A JP2663475B2 (ja) | 1988-01-29 | 1988-01-29 | 固体撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63019390A JP2663475B2 (ja) | 1988-01-29 | 1988-01-29 | 固体撮像素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01194464A true JPH01194464A (ja) | 1989-08-04 |
| JP2663475B2 JP2663475B2 (ja) | 1997-10-15 |
Family
ID=11997957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63019390A Expired - Lifetime JP2663475B2 (ja) | 1988-01-29 | 1988-01-29 | 固体撮像素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2663475B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009021379A (ja) * | 2007-07-11 | 2009-01-29 | Panasonic Corp | 固体撮像装置およびそれを備えたカメラ、固体撮像装置の製造方法 |
| US7786426B2 (en) | 2007-06-06 | 2010-08-31 | Sony Corporation | Imaging device with a color filter that contains a layer only covering the surrounding areas |
-
1988
- 1988-01-29 JP JP63019390A patent/JP2663475B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7786426B2 (en) | 2007-06-06 | 2010-08-31 | Sony Corporation | Imaging device with a color filter that contains a layer only covering the surrounding areas |
| JP2009021379A (ja) * | 2007-07-11 | 2009-01-29 | Panasonic Corp | 固体撮像装置およびそれを備えたカメラ、固体撮像装置の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2663475B2 (ja) | 1997-10-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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