JPH01183630A - 非線形光学素子 - Google Patents

非線形光学素子

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JPH01183630A JP63007299A JP729988A JPH01183630A JP H01183630 A JPH01183630 A JP H01183630A JP 63007299 A JP63007299 A JP 63007299A JP 729988 A JP729988 A JP 729988A JP H01183630 A JPH01183630 A JP H01183630A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は非線形光学効果を利用して短波長の光を得る非
線形光学素子に関する。
〔従来技術〕
従来、短波長の光を得る為に高調波を発生させる装置が
提案されている。このような装置の概略図を第7図に示
す。
第7図において、半導体レーザ31から発した角振動数
ωの基本波32は、LiNb03やKDP等の非線形光
学結晶30に入射し、角振動数ωの透過波33とともに
、角振動数2ωの高調波34を発生する。
また、上記高調波を変調する装置としては、第8図に示
すような装置が知られている。第8図において、第7図
と同一の部材には、同一の符号を付し、詳細な説明は省
略する。ここでは、非線形光学結晶の代わりに有極性高
分子35が用いられている。
この有極性高分子35には電源38によりバイアス電場
が印加され、このバイアス電場は変調器39によって変
調を受ける。バイアス電場をオンすると、有極性高分子
35の各分子が同一方向を向いて、非線形感受率χ〈2
)が増大し、高調波34が発生する。
バイアス電場をオフにすると、熱的に分子の向きが乱さ
れるのでχ32)が減少し、高調波34も減少する。
しかしながら、これらの装置は以下のような問題点を有
していた。
l)非線形感受率χ32)が小さい為、高調波の発生効
率が低い。
2)半導体レーザ等の発光デバイスと同一基板上に作成
するのが難しい。
3)第7図示の装置の場合、良質な非線形光学結晶を作
成するのにコストがかがる。
4)第8図示の装置の場合、バイアス電場によって分子
を回転させて整列させているので、数m5ec程度の遅
い応答速度しか得られない。
〔発明の概要〕
本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解決し、安価
に作成、出来、高調波の発生効率が高い非線形光学素子
を提供することにある。
本発明の他の目的は、速い応答速度で高調波を変調出来
る非線形光学素子を提供することにある。
本発明の上記目的は、非線形光学効果を利用して、入射
した角振動数ωの光から角振動数2ωの光を発生させる
非線形光学素子を、母体となる半導体又は絶縁体中に、
プランク定数をり、’h−h/2πとしたときに、2h
ωzEgを満たすバンドギャップEgを有し、母体とは
異なる直接遷移型の半導体又は絶縁体を、励起子と同程
度の大きさにして埋め込んで構成し、この埋め込まれた
半導体又は絶縁体に、電子と正孔の波動函数の重心が異
なるように、電子と正孔に対して非対称なポテンシャル
を与えることによって達成される。
即ち、本発明の素子は半導体又は絶縁体から成る母体に
、励起子のボーア半径と同程度のサイズを持つ直接遷移
型の半導体又は絶縁体を埋め込んで作られた、所謂量子
マイクロへテロ構造(QuantumMicro  H
etero  5tructure、以下QMH3と記
す)において、電子と正孔の重心位置が異なるようなポ
テンシャルを付加すると、励起子が巨大な双極子モーメ
ントを持つようになり、21ωzEgを満たす光に対し
て非常に大きな非線形感受率χ32ゝを持つという、本
発明者が始めて見い出した現象を利用したものである。
非対称なポテンシャルは、例えば、QMH3にバイアス
電場を印加することによって付与出来る。ここで、この
バイアス電場を変調すれば高調波の変調が可能になるわ
けであるが、その応答速度は、分子の回転のような遅い
プロセスを含まない為、p sec以上の高速となる。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する。
第1図は本発明の非線形光学素子の第1の実施例を示す
略断面図である。図において、■は無ドープのA I 
Asから成る母体半導体、2は無ドープのGaAsから
成る埋込半導体を示す。母体半導体l及び埋込半導体2
は、交互に幾重にも積層されて、全体としてQ M I
−I Sの一つである量子井戸構造(QuantumW
 61 I  S t r u c t u r e 
、以下QWSと記す)3を構成している。埋込半導体2
の厚さは、GaAsにおける励起子のボーア半径にほぼ
等しい120人である。QWS3の両側には、オーミッ
クコンタクトをとる為のp型領域5及びn型領域6を夫
々介して電極51及び52が設けられている。7及び8
は、夫々領域5及び6のキャリアがQWS3に流入しな
いように設けた無ドープのAj!Asから成る電荷分離
層である。電極51.52間には、電源50によってバ
イアス電場が印加される。
次に上記素子の動作原理を説明する。第2図は、第1図
におけるQWS3の一部分のエネルギーバンドを示す図
である。第2図において、71は伝導帯の底のエネルギ
ー、72は価電子帯の頂上のエネルギー、81は電子の
波動函数、82は正孔の波動函数を示す。QWS3には
、電源50によってバイアス電場が印加されている為、
ポテンシャルは全体に傾いたものになっている。従って
、電子及び正孔に対するポテンシャルは非対称であり、
これらの波動函数81及び82は互いに重心位置が異な
っている。その結果、電子と正孔の束縛状態である励起
子は、大きな双極子モーメントを持つようになる。
これは、QWS3が全体として大きな非線形感受率χ(
2)を有するようになることを意味する。例えば、Ga
As/AlGaAsから成るQWSは、LiNb03の
400倍、KDPの5000倍の値のχ(2)を有する
このQWSa中を第1図のように半導体レーザ4等の光
源から発した角振動数ω(埋込半導体のバンドギャップ
をEg、プランク定数をり、’h=h、’2πとすると
2+nω≒Egの関係を有する)の基本波lOが通過す
ると、一部はそのまま角振動数ωの透過波11として出
てくるが、一部は角振動数2ωの高調波12に変換され
る。このとき、変換効率はχ32′の自乗に比例する為
、非常に高効率となる。
前述の実施例では素子をGaAs及びGaAsで作成し
たが、半導体1. 2及び層7,8の材料にA ji!
 xGa+−xAsを用い、QWS3の平均のXが、層
7及び8のXより小さくすれば、QWS3の屈折、率が
層7及び8の屈折率より大きくなる。従って、全体とし
て導波路構造となり、光がQWS3に閉じ込められて光
の密度が増すので、高調波の生成効率を更に高めること
が出来る。これは一般に、QWS3の屈折率が層7及び
8の屈折率より太き(なるような組成を選べば、A1.
xGa+−xAs以外の材料を用いた場合でも、同様の
ことが言える。またこのように、本発明の素子は化合物
半導体を用いて作成できる為に、同じく化合物半導体か
ら成る半導体レーザ等の発光デバイスと、同一基板上に
モノリシックに形成することが可能である。 ゛前述の
実施例では、非対称ポテンシャルを付与する手段として
外部バイアス電場を用いたが、埋込半導体の組成を場所
によって異ならせることによって非対称ポテンシャルを
実現しても良い。第3図はこのような例を示すエネルギ
ーバンド図である。ここでは、母体半導体lはA It
 Asから成り、埋込半導体2は、(InAs)l−x
 (GaAs)Xから(GaSb)I−y (GaAs
)yへと厚さ方向に組成を徐々に変化させて形成されて
いる。その為、埋込半導体2中では、伝導帯の底のエネ
ルギー71及び価電子帯の頂上のエネルギー72のポテ
ンシャルは傾いたものとなっている。従って、電子及び
正孔の波動函数81及び82は互いに重心位置が異なり
、前述の実施例と同様に高効率に高調波を発生させるこ
とが出来る。このような構成とすれば、バイアス電場を
印加する必要がない為、第1図の電源5゜及び電極51
.52が不要となる。組成を変化させる手法に関しては
、例えば、アイトリプルイージャーナルクオンタムエレ
クトロニクス(IEEE  J、QuantumEle
ctronics)QE−22,P1611 (198
6)、L。
Esaki、”Type II −8taggerd 
 5uperlattice″に記載されている。
第4図は、本発明の非線形光学素子の第2の実施例を示
す略断面図である。第4図において、第1図と同一の部
材には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
本実施例は、前述のQWS3に代えて、QMH3として
m子点(Quantum  Dot、以下QDと記す)
構造の層13を用いたものである。層13は、母体とな
るガラス21内に、粒径100人程度のCuC1粒子2
を埋め込んだものである。本実施例においても、電源5
0からバイアス電場を印加することによって、高効率に
高調波12を発生させることが出来る。
第5図は、本発明の非線形光学素子の第3の実施例を示
す略断面図である。第5図において、第1図と同一の部
材には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
本実施例は、電源50から供給されるバイアス電場を変
調する変調器53を設けた点で第1実施例と相異する。
この変調器53としては、通常のスイッチ等を用いるこ
とが出来る。変調器53でバイアス電場をオン−オフす
ると、χ(2)が変化し、高調波12を変調することが
出来る。その応答速度は、前述したようにp sec以
上の高速である。この場合に、実際の応答速度は、回路
系のCR時定数で決まるが、これもp sec程度の速
さにすることは可能である。本実施例においてもQWS
3の代わりに第4図の如きQD構造の層13を用いるこ
とが出来る。
第6図は、本発明の非線形光学素子の第4の実施例を示
す略断面図である。第6図において、第1図と同一の部
材には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
本実施例は、QWS3の光出射側に、高調波を選択的に
分離するフィルター54を設けた点で、第1実施例と異
なる。このフィルター54としては、色ガラス、多層コ
ーティングガラス、回折格子等を用いることが出来る。
フィルター54は角振動数2ωの高調波12を透過し、
角振動数ωの透過波11を透過しないように設定される
。従って、素子からは高調波12’ のみが出射し、こ
の高調波を利用する際に、透過波1.1の影響を除去す
ることが出来る。本実施例において、QWS3の代わり
に第4図の如きQD構造の層13を用いても良い。また
、埋め込み層の組成を第3図のように徐々に変化させて
も良い。更に、第5図の如き変調器53を設ければ、変
調された高調波のみを素子から取り出すことが出来る。
本発明は以上説明した実施例の他にも、種々の応用が考
えられる。例えば、0MH8としてQWSやQDの他に
、量子細線(Q u a n t u m  L i 
n e、以下QLと記す)構造を用いても良い。このよ
うなQD。
QLはQWSより大きな非線形感受率χ32)を得るこ
とが出来る。また、素子を作成する材料も実施例に限ら
ず、例えば、n−VI族半導体などを用いてもかまわな
い。本発明は、特許請求の範囲を逸脱しない限りにおい
て、このような応用例を全て包含するものである。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明の非線形光学素子は、0M
H8に非対称なポテンシャルを付与することによって構
成したので、 i)高調波を高い効率で発生させることが出来る、ii
)発光デバイスとモノリシックに形成することが可能と
なる、 1ii)安いコストで作成出来る。
等の効果を有する。また、本発明を非線形光変調器に応
用した場合には、応答速度の速い変調が可能となるもの
である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の非線形光学素子の一実施例を示す略断
面図、第2図及び第3図は夫々本発明におけるQWSの
一部のエネルギーバンドの様子を示す図、第4図、第5
図及び第6図は夫々本発明の他の実施例を示す略断面図
、第7図及び第8図は夫々従来の高調波発生素子を示す
概略図である。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)非線形光学効果を利用して、入射した角振動数ω
    の光から角振動数2ωの光を発生させる非線形光学素子
    において、 前記素子は、母体となる半導体又は絶縁体中に、プラン
    ク定数をh、^+n=h/2πとしたときに、2^+n
    ω≒Egを満たすバンドギャップEgを有し、母体とは
    異なる直接遷移型の半導体又は絶縁体を、励起子と同程
    度の大きさにして埋め込み、この埋め込まれた半導体又
    は絶縁体に、電子と正孔の波動函数の重心が異なるよう
    に、電子と正孔に対して非対称なポテンシャルを与えて
    成ることを特徴とする非線形光学素子。
  2. (2)前記角振動数ωの光から角振動数2ωの光を選択
    的に分離するフィルターを設けた特許請求の範囲第1項
    記載の非線形光学素子。
  3. (3)前記非対称なポテンシャルは、前記母体及び埋め
    込まれた半導体又は絶縁体に、バイアス電場を印加する
    ことによって与えられる特許請求の範囲第1項又は第2
    項記載の非線形光学素子。
  4. (4)前記非対称なポテンシャルは、前記埋め込まれた
    半導体又は絶縁体の組成を場所によって異ならせること
    によって与えられる特許請求の範囲第1項又は第2項記
    載の非線形光学素子。
  5. (5)非線形光学効果を利用して、入射した角振動数ω
    の光から角振動数2ωの光を発生させる非線形光学素子
    において、 前記素子は、母体となる半導体又は絶縁体と、この母体
    に励起と同程度の大きさで埋め込まれたプランク定数を
    h、^+n=h/2πとしたときに、2^+nω≒Eg
    を満たすバンドギャップEgを有する、母体とは異なる
    直接遷移型の半導体又は絶縁体と、これらの半導体又は
    絶縁体にバイアス電場を印加する手段と、このバイアス
    電場を変調する手段とから成ることを特徴とする非線形
    光学素子。
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