JPH01183451A

JPH01183451A - 超電導材料及びその製造方法

Info

Publication number: JPH01183451A
Application number: JP63005745A
Authority: JP
Inventors: Kenichiro Shibata; 柴田　憲一郎; Hirobumi Mizusuna; 水砂　博文; Hitoshi Oyama; 仁尾山; Shuji Yatsu; 矢津　修示; Tetsuji Jodai; 哲司上代
Original assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date: 1988-01-14
Filing date: 1988-01-14
Publication date: 1989-07-21

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、新規な複合酸化物超電導材料およびその製造
方法に関するものであり、より詳細には臨界電流密度（
Ｊｃ）が高い複合酸化物超電導材料とその製造方法に関
するものである。

従来の技術複合酸化物の超電導材料自体は古くから知られており、
例えば米国特許第３．９３２．３１５号には、Ｂａ−Ｐ
ｂ−Ｂ１−０系の複合酸化物が開示されている。

しかし、この系の複合酸化物の臨界温度はＩＩＫ程度で
液体ヘリウムを冷媒として用いなければならない。昨年
（昭和６１年４月）に至って、Ｌａ　−Ｂａ　−［：ｕ
−０系の複合酸化物の抵抗が３５に以下で低下すること
がＧ、　Ｂｅｄｎｏｒｚおよびに、　Ａ、　Ｍ［ｊｌｌ
ｅｒによって示された。さらに、Ｋ、Ｎ１Ｆ４型の結晶
構造のＬａＢａＣｕ　Ｏ，が高い臨界温度の超電導相を
構成するということが田中昭二等によって示され、本年
２月にはＣ，Ｗ、Ｃｈｕ達によってＹ−Ｂａ−Ｃｕ−０
系の超電導材料が発表されている。

この超電導材料は３層構造のオルソロンピック系のペロ
ブスカイト型結晶構造を有しており、その組成はＢａｘ
　ＹＣｕｓ　Ｏ７−）ｌで表される。この材料がなぜ高
い臨界温度Ｔｃを有するのかは現在のところ不明であり
、種々の理論が提案されている段階である。

また、上記のＹをそれと同数の電子を有する磁気モーメ
ントが大きく局在している他の希土類元素で置き換えて
も臨界温度Ｔｃがそれ程低下しないということもわかっ
ている（例、北沢　達によるＪｐｎ、Ｊ、Ａｐｐｌ、−
Ｐｈｙｓ、　　（２６）　４　Ｌ３３９　（１９８７）
）。

この他、Ｌａ−３ｒ　−Ｃｕ　−０系等の３元素系複合
酸化物や酸素の一部をフッ素で置換した複合酸化物等の
多数の複合酸化物が高い臨界温度で超電導体となり得る
ことが報告され、高温超電導体による超電導技術の開発
が俄かに促進されようとしている。既に報告されている
これらの複合酸化物はペロブスカイト型に類似した結晶
構造を含んでいる。

超電導現象下で物質は完全な反磁性を示し、内部に有限
な定常電流が流れているにも関わらず電位差が現れなく
なる。この超電導現象の応用分野は、ＭＨＤ発電、電力
送電、電力貯蔵等の電力分野、或いは、磁気浮上列車、
電磁気推進船舶等の動力分野、更に、磁場、高周波、放
射線等・の超高感度センサとしてＮＭＲ，π中間子治療
、高エネルギー物理実験装置などの計測の分野など極め
て広範な分野に亘っており、更に、ジョセフソン素子に
代表されるエレクトロニクスの分野でも、単に消費電力
の低減のみならず、動作の極めて高速な素子を実現し得
る技術として期待されている。

発明が解決しようとする課題超電導現象を実際に使用するためには、臨界温度Ｔｃを
上げることの他に、臨界電流密度Ｊｃを上げることが必
要である。一般に実用上必要とされる臨界電流密度Ｊｃ
は液体窒素温度（７７Ｋ）で約１万Ａ／ｃｍ２以上であ
るが、上記の複合酸化物系超電導材料で現実に得られる
臨界電流密度Ｊｃは数百〜数千Ａ／ｃｍ２でしかない。

本出願人は臨界電流密度Ｊｃが向上しない原因を検討し
た結果、複合酸化物超電導材料の場合には原料粉末の製
造条件を改良することによって臨界電流密度Ｊｃを向上
できるということを発見し本発明を完成させた。

すなわち、従来の複合酸化物超電導材料の原料粉末は主
として混合法と共沈法とで作られているが、本発明達は
、何れの方法の場合にも焼結多結晶体に特有の結晶粒界
層に問題があると考えた。

特に、混合法の場合には、原料として用いる炭酸バリウ
ムに起因する炭素（Ｃ）が不純物として混入し、しかも
それが結晶粒界層に偏在し、その結果臨界電流密度Ｊｃ
が低下することを発見した。さらに、共沈法の場合にも
、沈澱剤として用いる蓚酸を有機溶媒に溶解させた溶液
に起因する炭素（Ｃ）が不純物として混入し、しかもそ
れが結晶粒界層に偏在し、その結果臨界電流密度Ｊｃが
低下することを発見した。

従って、本発明の目的は、臨界電流密度Ｊｃの高い複合
酸化物超電導材料とその製造方法を提供することにある
。

課題を解決するための手段即ち、本発明の提供する複合酸化物超電導材料は下記の
一般式；％式％（ただし、Ａは周期律表のＩＩＩＩａ族に含まれる元素
であり、Ｂは周期律表のＩＩＩａ族に含まれる元素であ
り、ｕ、ｖ、ｗおよびｘはそれぞれ０．５≦ｕ≦３．０
．５≦ｖ≦２．２＜ｗＳ２および６≦ｘ≦７の範囲の数
を表す）で示される組成を主体とし且つ酸素欠損ペロブ
スカイト型結晶構造を含む複合酸化物において、この複
合酸化物の炭素含有量が０．６重量％以下であることを
特徴としている。

上記の「主体とし」という表現は超電導材料全体が上記
組成の複合酸化物の他に製造上不可避的に混入する多く
の元素を含むということを意味しており、上記の「含む
」という表現は超電導材料全体が上記組成の複合酸化物
で構成されている場合のみならず、その一部に含んでい
る場合をも含むという意味である。即ち、本発明による
超電導材料は上記一般式で表される単結晶あるいは多結
晶のようなその全体が均一なものだけではなく、他の組
成および結晶構造のものを含んでいてもよい。

上記元素ＡとしてはＣａ５Ｓｒ、　Ｂａ、　Ｒａが例示
でき、特にＨａＳＳｒが好ましい。上記元素Ｂとしては
Ｓｃ。

Ｙ１アクチニウム系、ランタン系が挙げられ、特にＹＳ
Ｌａおよび磁性金属、例えば、Ｂｕ、　Ｇｄ、　Ｔｂ。

Ｄｙ５ＨａＳＥｒ、　Ｙｂが好ましい。本発明により製
造可能な超電導材料用の元素の組合せとしては、例えば
、Ｂａ−ｙ−Ｃｕ−０、Ｂａ−Ｌａ−Ｃｕ−ｏ、５ｒ−
Ｌａ−Ｃｕ−０、Ｂａ−Ｈａ　−Ｃｕ−０、Ｂａ−Ｂｒ
　−Ｃｕ−０、Ｂａ　−Ｇｄ−Ｃｕ−０の組合せを挙げ
ることができ、これら組成比は上記定義の範囲内で適宜
選択することができる。

上記各元素の組成比（原子比）ｕ、ｖＳｗおよびＸはそ
れぞれ０．５≦ｕ≦３．０．５≦ｖ≦２．２くＷＳ２お
よび６≦ｘ≦７の範囲にする。これらの組成比を外れる
と、複合酸化物超電導材料となる酸素欠損ペロブスカイ
ト型結晶構造から大幅に外れて、臨界温度Ｔｃの向上お
よび電流密度Ｊｃの向上が達成できない。上記元素Ａと
元素Ｂの組合せとしてＹ−ＢａＳＬａ−Ｂａ、　５ｒ−
Ｂａの各県を用いた場合には、これら各県の原子比はそ
れぞれＹ／（Ｙ＋Ｂａ）の場合には０．０６〜０．９４
であるのが好ましく、さらには０．１〜０．４であるの
が好ましく、Ｂａ／　（Ｌａ＋Ｂａ）の場合には０．０
４〜０．９６であるのが好ましく、さらには０．０８〜
０．４５であるのが好ましく　、Ｓｒ／　（Ｌａ＋Ｓｒ
）の場合には０．０３〜０．９５の範囲であるのが好ま
しく、さらには０．０５〜０．１であるのが好ましい。

原子比が上記の範囲からはずれた場合にはいずれも、超
電導体の超電導臨界温度が所望の値とならない。

また、上記元素（Ａ十Ｂ）に対する銅元素Ｃｕおよび酸
素の原子比はそれぞれ１：０．３〜３．０およびｌ：１
〜５の比率にする。このような比率にすることによって
現在酸化物系超電導体の構造として電子顕微鏡等の解析
で明らかになりつつあるペロブスカイト型、酸素欠損ペ
ロブスカイト型等の例えばオルソロンピック構造を有す
るいわば擬似ペロブスカイト型の結晶構造の複合酸化物
にすることができる。

本発明の特徴は上記複合酸化物超電導材料中の炭素の含
有量が０．６重量％以下である点にある。

すなわち、本発明は上記一般式で表される複合酸化物中
に不可避的に含有される不純物としての炭素の含有量を
０．６重量％以下にしたものである。

上記複合酸化物は一般に原料の混合粉末を焼結して作ら
れるので、得られた複合酸化物超電導材料の炭素の含有
量を０．６重量％以下にするには、複合酸化物とする前
の原料粉末全体の炭素の含有量を０．６重量％以下にす
ればよい。

以下、本願の第１の発明の好ましい実施態様を列記する
。

（ａ）　　上記複合酸化物が主としてｔＩＩＩａ２Ｙｃ
ｕ＊　０ｖ−ｐ（ただし、ｐは０．１＜ｐ≦１の範囲の
数を表す）で表される複合酸化物を含むことを特徴とす
る請求項１に記載の超電導材料。

（５）上記複合酸化物が主としてＢａ２ＨｏＣｕａ　０
７−ｐ（ただし、ｐは０．１＜ｐ≦１の範囲の数を表す
）で表される複合酸化物を含むことを特徴とする請求項
１に記載の超電導材料。

（Ｃ）　　上記複合酸化物が主として［３ａ２０ｙＣｕ
　３０　？　−Ｐ（ただし、ｐは０．１＜ｐ≦１の範囲
の数を表す）で表される複合酸化物を含むことを特徴と
する請求項１に記載の超電導材料。

（ｄ）　　上記複合酸化物が主としてＢａＪｒＣｕｓ　
０ｉ−ｐ（ただし、ｐは０．１＜ｐ≦１の範囲の数を表
す）で表される複合酸化物を含むことを特徴とする請求
項１に記載の超電導材料。

本発明はさらに上記の複合酸化物超電導材料の製造方法
にも関し、本発明のこの製造方法の特徴は、周期律表の
ＩＩａ族に含まれる元素Ａと、周期律表のＩＩａ族に含
まれる元素Ｂと、Ｃｕとを含む原料粉末を焼結すること
によって一般式：％式％（ただし、Ａは周期律表のｌＩＩＩａ族に含まれる元素
であり、Ｂは周期律表のＩＩＩａ族に含まれる元素であ
り、Ｕ、ＶＳＷおよびＸはそれぞれ０．５≦ｕ≦３．０
．５≦ｖ≦２．２＜ｗＳ２および６≦ｘ≦７の範囲の数
を表す）で示される組成を主体とし且つ酸素欠損ペロブスカイト
型結晶構造を含む複合酸化物超電導材料を製造する方法
において、上記原料粉末中の炭素含有量が０．６重量％
以下となるまでに原料粉末を熱処理した後に焼結する点
にある。

上記の熱処理は、酸素含有雰囲気下で、８５０〜９５０
℃の温度で１２時間以上行う熱処理であるのが好ましい
。すなわち、上記熱処理が８５０℃未満では炭素含有量
が０．６重量％以下にならず、また、Ｘ線回折による分
析結果から単一相の酸素欠損ペロブスカイト構造になり
にくいことがわかっている。また、逆に、熱処理が９５
０℃を超えると粉末の結晶粒界が粗大化するため、焼結
工程での焼結性が低下し、臨界電流密度Ｊｃの低下ある
いは機械的特性が低下する。

上記の熱処理は、酸素含有雰囲気下で行うが、この酸素
含有雰囲気は大気あるいは５％以上の酸素を含む酸素−
窒素ガス、酸素−アルゴンガス、あるいは酸素ガスによ
って作ることが好ましい。

熱処理を酸素含有雰囲気下で行うことによって、熱処理
時に炭素がＣＯあるいはＣＯ２ガスとなって除去され易
くなる。

また、上記熱処理時間は１２時間以上行うことが望まし
く、１２時間未満では炭素含有量が０．６重量％以下に
ならない場合がある。

本発明の上記原料粉末は上記元素の酸化物、炭酸塩、硫
酸塩、硝酸塩または蓚酸塩の粉末、例えば、Ｙ２．Ｏ，
、ＢａＣＯ３およびＣｕＯ等を用いる前記の混合法によ
って作られた混合粉末でもよいが、共沈法によって作ら
れた上記元素Ａ、ＢおよびＣｕを含む沈澱物の乾燥物と
するのが特に好ましい。

具体的には、周期律表のＩ［ａ族に含まれる元素Ａの金
属塩と、周期律表のＩＩＩａ族に含まれる元素Ｂの金属
塩と、Ｃｕの金属塩とを含む溶液から沈澱剤を用いて上
記各元素を含む沈澱物を回収し、次いでこの沈澱物を乾
燥後に焼結することによって一般式：　Ａｇ　Ｂｙ　Ｃ
ｕｗ　ｏｌｌ（ただし、Ａは周期律表のｌＩＩＩａ族に
含まれる元素であり、Ｂは周期律表のＩＩＩａ族に含ま
れる元素であり、ｕ、ｖ、ｗおよびｘはそれぞれ０．５
　≦ｕ≦３．０．５≦ｖ≦２．２＜ｗＳ２および６≦ｘ
≦７の範囲の数を表す）で示される組成を主体とし且つ酸素欠損ペロブスカイト
型結晶構造を含む複合酸化物超電導材料を製造するに当
たって、上記の沈澱物を焼結する前に、この沈澱物の乾燥粉末を
８５０〜９５０℃の温度で酸素含有雰囲気下で１２時間
以上熱処理する。

上記沈澱物は上記元素ＡＳＢおよびＣｕの金属塩例えば
、硝酸塩等の溶液から沈澱剤、例えば蓚酸を用いて共沈
させることができる。

上記の金属塩としては上記各元素ＡＳＢおよびＣｕを溶
媒に可溶化でき且つ均一な沈澱物ができるものであれば
よい。こうした性質を有する金属塩としては上記金属の
正塩の他に、オキシ塩または水素塩を用いることもでき
る。

特に、上記金属塩は金属の硝酸塩、塩化物またはオキシ
塩化物にすることができる。上記沈澱物は上記金属の炭
酸塩、蓚酸塩または水酸化物にすることができる。本発
明による共沈法が用いられる出発溶液には上記金属塩の
他に共沈法すなわち中和共沈法によって沈澱物を生じさ
せることができる上記元素の化合物を含むこともできる
。　必要な場合には、上記沈澱物を回収する前にこの沈
澱物を含む溶液中に上記の各成分金属光−素と錯体を形
成しないｐＨ調整剤、例えば、メチルアミン、ジメチル
アミン、トリメチルアミン、エチルアミン、ジエチルア
ミン、トリエチルアミン等のアミンを添加することもで
きる。トリエチルアミンは溶液中の過剰の蓚酸と反応し
て蓚酸アンモニウムを形成するが、この蓚酸アンモニウ
ムは沈澱する蓚酸イツトリウム、蓚酸バリウム、蓚酸鋼
の微粒子の周囲に付着し、沈澱物の濾過、洗浄、乾燥時
の粒子相互の凝集を防止する役目をする。　上記沈澱物
はこのｐＨ処理後に乾燥することによって直接超電導体
製造用の原料粉末として用いることができるが、上記沈
澱物を適当な基体の表面に付着させた後に、得られた層
を乾燥し、次いで焼結することによって超電導薄膜層を
有する超電導体にすることもできる。いずれの場合にも
、上記乾燥は完全且つ十分に行う必要がある。−例とし
て、この乾燥は室温から約１００℃の間の温度で１時間
以上行うのが好ましい。

上記の焼結は一般に約４００℃から約１１００℃の間の
温度、好ましは８００〜９５０℃の温度で６時間以上の
時間行うのが好ましく、この焼結の前に仮焼結を行い、
得られた仮焼結体を粉砕後に本焼結を行うようにしても
よい。焼結温度の最高値は前記各元素の酸化物の融点よ
り約１００℃低い温度にするのが好ましい。−例として
、Ｙ−Ｂａ−Ｃｕ−０系の場合には約り００℃〜約９９
０℃で、約３〜５時間焼結するのが好ましい。さらに、
上記焼結は酸素雰囲気下で行うのが好ましい。

本発明の好ましい応用例としては、上記共沈法で得られ
た沈澱物を乾燥・熱処理したものを金属製の外筒部材、
例えば銀、金、白金族元素またはこれらを含む合金より
なる外筒部材中に充填後、引き抜き加工等の線材化工程
を通して上記外筒部材を縮径し、次いで上記温度で焼結
することによって製造されるワイヤーが含まれる。

以下、本願の第２発明の好ましい実施態様を列記する。

（ａ）　　熱処理を酸素含有雰囲気下で、８５０〜９５
０℃の温度で１２時間以上行うことを特徴とする請求項
２に記載の方法。

ら）原料粉末が共沈法によって作られた上記元素Ａ、Ｂ
およびＣｕを含む沈澱物の乾燥物であることを特徴とす
る請求項２または上記（ａ）に記載の方法。

（Ｃ）　　沈澱物が上記元素Ａ、ＢおよびＣｕの金属塩
の溶液から蓚酸を用いて共沈させた沈澱物であることを
特徴とする上記（５）に記載の方法。

（６）焼結の前に仮焼結を行い、得られた仮焼結体を粉
砕後に上記焼結を行うことを特徴とする請求項２または
上記（ａ）〜（Ｃ）のいずれか−項に記載の方法。

（ｅ）　　焼結が９５０℃の温度で６時間以上の時間行
われることを特徴とする請求項２または上記（ａ）〜（
イ）のいずれか−項に記載の方法。

作用本発明による超電導材料が従来の複合酸化物系超電導材
料に比べて高い臨界電流密度Ｊｃを有する理由は焼結多
結晶体の結晶粒界に偏在する不純物としての炭素原子の
量を大幅に低下させたことがその理由の一つと考えられ
る。

さらに、焼結の前の段階で熱処理によって炭素原子の含
有量を低減するため、焼結性が向上し、高密度の焼結体
が得られ、その結果、臨界電流密度Ｊｃが向上する。す
なわち、焼結の前の炭素の含有量が多いと、焼結時にＣ
ＯやＣＯ２等のガスとな。

って焼結体中に残り、焼結密度が向上しない。

以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、以下
の開示は本発明の技術的範囲を何隻制限するものではな
い。

実施例１硝酸イツトリウムと硝酸バリウムと硝酸銅とをＹ：Ｂａ
：Ｃｕの原子比が１：２：３となるモル比で蒸留水に溶
かした（ａ度＝１０％）。この場合、硝酸イツトリウム
（Ｙ（８口、）３）と、硝酸バリウム（Ｂａ　（ＮＯ３
）　２）　　と、硝酸銅（Ｃｕ　（ＮＯａ）　２）はそ
れらの大水塩、無水塩および三水塩の形の市販の特級試
薬を用いた。

一方、蓚酸をエタノールに溶かして５重量％の蓚酸エタ
ノール溶液を調整した。

この蓚酸エタノール溶液をマグネティックスティアラ−
で撹拌しながら、それに上記の塩の水溶液を滴下すると
、イツトリウムとバリウムと銅の蓚酸塩が沈澱してくる
。

その後、上記で得られた沈澱物を濾過した後、石英の容
器に入れ、室温で５時間風乾後、炉に入れて１００℃で
５時間乾燥した。この結果得られた粉末を元素分析した
結果、この粉末中の炭素含有量は０．５７重量％であっ
た。

次いで、得られた沈澱物粉末を９００ｐで１２時間、大
気中で熱処理した。この熱処理後の粉末を１トン／ｃｍ
’でプレス成形し、酸素雰囲気中で９５０℃で６時間焼
結した後、徐冷した。

得られた焼結後の円板に対して常法に従って４端子法に
より電気抵抗を測定して臨界温度（Ｋ）を求めた。また
、臨界電流（ＪＣ’）も同時に測定した。これらの測定
の結果は表１に示しである。

実施例２実施例１と同様な操作を繰り返したが、乾燥後の沈澱物
粉末の大気中９００℃での熱処理時間を２４時間にした
。

この場合の結果も表１に示しである。

比較例１．２また、上記と同じ操作を繰り返したが、乾燥後の沈殿物
粉末の大気中９００℃での熱処理時間を６時間にした場
合（比較例１）と、熱処理を８００℃で１２時間行った
場合（比較例２）に得られた結果を比較例として表１中
にまとめて示しである。

表１実施例３実施例１と同じ操作を繰り返したが、硝酸イツトリウム
（Ｙ（ＮＯ３）３）の代わりに、硝酸ディスプロシウム
、硝酸ホルミウムおよび硝酸エルビウムを用い、乾燥後
の沈澱物粉末の大気中９００℃での熱処理時間を２４時
間にした。

この場合に得られた結果は表２に示しである。

表２発明の効果以上の説明から明らかなように、本発明の湿式法と焼結
法を兼用した超電導体の製造方法を用いることによって
Ｔ。、Ｊｃ特性の優れた超電導体を効率よく且つ安定に
作ることができる。

さらに、本発明による炭素含有量を低下させた原料粉末
を用いることによって、結晶粒界に起因する臨界電流密
度Ｊｃの阻害要因となる不純物濃度を大幅に低下させる
ことができ、結果的には好ましい超電導特性を有する複
合酸化物焼結体を得ることができる。

本発明による上記複合酸化物超電導材料は、バルクのま
ま、あるいは線材、テープまたはデバイス部材として使
用可能であり、さらには、スパッタリング等により基板
上に薄膜化した薄膜基板とすることによって、ジョセフ
ソン素子、５ＱＵＩＤ、超電導磁石、各種センサ等広範
な分野に適用できる。

特許出願人　　住友電気工業株式会社

Claims

【特許請求の範囲】

（１）　一般式：Ａ＿ｕＢ＿ｖＣｕ＿ｗＯ＿ｘ（ただし
、Ａは周期律表のIIａ族に含まれる元素であり、Ｂは周
期律表のIIIａ族に含まれる元素であり、ｕ、ｖ、ｗお
よびｘはそれぞれ０．５≦ｕ≦３、０．５≦ｖ≦２、２
＜ｗ≦４および６≦ｘ≦７の範囲の数を表す）で示される組成を主体とし且つ酸素欠損ペロブスカイト
型結晶構造を含む複合酸化物において、該複合酸化物の
炭素含有量が０．６重量％以下であることを特徴とする
複合酸化物超電導材料。
（２）周期律表のIIａ族に含まれる元素Ａと、周期律表
のIIIａ族に含まれる元素Ｂと、Ｃｕとを含む原料粉末
を焼結することによって一般式：Ａ＿ｕＢ＿ｖＣｕ＿ｗＯ＿ｘ（ただし、Ａは周期律表のIIａ族に含まれる元素であり
、Ｂは周期律表のIIIａ族に含まれる元素であり、ｕ、
ｖ、ｗおよびｘはそれぞれ０．５≦ｕ≦３、０．５≦ｖ
≦２、２＜ｗ≦４および６≦ｘ≦７の範囲の数を表す）で示される組成を主体とし且つ酸素欠損ペロブスカイト
型結晶構造を含む複合酸化物超電導材料を製造する方法
において、上記原料粉末の炭素含有量が０．６重量％以下となるま
でに原料粉末を熱処理した後に焼結することを特徴とす
る製造方法。
（３）周期律表のIIａ族に含まれる元素Ａの金属塩と周
期律表のIIIａ族に含まれる元素Ｂの金属塩とＣｕの金
属塩とを含む溶液から、沈澱剤を用いて上記各元素を含
む沈澱物を回収し、次いでこの沈澱物を乾燥後に焼結す
ることによって一般式：Ａ＿ｕＢ＿ｖＣｕ＿ｗＯ＿ｘ（ただし、Ａは周期律表のIIａ族に含まれる元素であり
、Ｂは周期律表のIIIａ族に含まれる元素であり、ｕ、
ｖ、ｗおよびｘはそれぞれ０．５≦ｕ≦３、０．５≦ｖ
≦２、２＜ｗ≦４および６≦ｘ≦７の範囲の数を表す）で示される組成を主体とし且つ酸素欠損ペロブスカイト
型結晶構造を有する複合酸化物超電導材料を製造する方
法において、上記沈澱物を焼結する前に、この沈澱物の乾燥粉末を酸
素含有雰囲気下で８５０〜９５０℃の温度で１２時間以
上熱処理することを特徴とする製造方法。