JPH01182670A - 真空装置 - Google Patents
真空装置Info
- Publication number
- JPH01182670A JPH01182670A JP689588A JP689588A JPH01182670A JP H01182670 A JPH01182670 A JP H01182670A JP 689588 A JP689588 A JP 689588A JP 689588 A JP689588 A JP 689588A JP H01182670 A JPH01182670 A JP H01182670A
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- JP
- Japan
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- ring
- groove
- storage groove
- vacuum
- ring storage
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 title claims description 7
- 238000013022 venting Methods 0.000 claims description 8
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 3
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 abstract description 2
- 238000007872 degassing Methods 0.000 abstract 2
- 230000006837 decompression Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Gasket Seals (AREA)
- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はシール装置に係わり、特にＯリング収納溝の改
良に関する。
良に関する。
一般に０リング収納溝には、第７図に示すように断面が
角形のＯリング収納溝と、第８図に示すように断面が台
形状のＯリング収納溝とがあり、このうち第８図に示す
Ｏリング収納溝１は鉛直下のフランジ面であっても０リ
ング２が脱落しないため、下方が開口した縦型の真空容
器などに使用されている。
角形のＯリング収納溝と、第８図に示すように断面が台
形状のＯリング収納溝とがあり、このうち第８図に示す
Ｏリング収納溝１は鉛直下のフランジ面であっても０リ
ング２が脱落しないため、下方が開口した縦型の真空容
器などに使用されている。
しかしながら、上記のようなＯリング収納溝はフランジ
の開口部をシール板で塞いだ際、第９図に示すようにＯ
リング収納溝１とＯリング２との間隙部３にガスが残留
し、この残留ガスが真空側へ徐々にリークするため、真
空容器内を排気するのに時間がかかるという不具合があ
った。
の開口部をシール板で塞いだ際、第９図に示すようにＯ
リング収納溝１とＯリング２との間隙部３にガスが残留
し、この残留ガスが真空側へ徐々にリークするため、真
空容器内を排気するのに時間がかかるという不具合があ
った。
本発明はこのような問題点を解決するためになされたも
ので、その目的は減圧時に残留ガスが真空側へリークす
るようなことがなく、真空容器内を短時間で高真空に到
達させることができるシール装置を提供することにある
。
ので、その目的は減圧時に残留ガスが真空側へリークす
るようなことがなく、真空容器内を短時間で高真空に到
達させることができるシール装置を提供することにある
。
上記目的を達成するために本発明は、フランジ面に設け
られた断面が開口側に狭くなった０リング収納溝と、こ
の０リング収納溝内に保持され上記０リング溝の底面と
側壁に接触する０リングとを有するシール装置において
、上記Ｏリング収納溝とＯリングとの間隙部に残留した
ガスを真空側へ排出するガス抜き手段を、上記Ｏリング
収納溝に設けたことを特徴とする。
られた断面が開口側に狭くなった０リング収納溝と、こ
の０リング収納溝内に保持され上記０リング溝の底面と
側壁に接触する０リングとを有するシール装置において
、上記Ｏリング収納溝とＯリングとの間隙部に残留した
ガスを真空側へ排出するガス抜き手段を、上記Ｏリング
収納溝に設けたことを特徴とする。
本発明では、フランジの開口部をシール板で塞いだ際に
ＯリングとＯリング収納溝との間隙部にガスが残留して
もＯリング収納溝に設けられたガス抜き手段により残留
ガスを真空側に速やかに排気できるため、減圧時に残留
ガスが真空側へリークするようなことがなく、真空容器
内を短時間で高真空に到達させることができる。
ＯリングとＯリング収納溝との間隙部にガスが残留して
もＯリング収納溝に設けられたガス抜き手段により残留
ガスを真空側に速やかに排気できるため、減圧時に残留
ガスが真空側へリークするようなことがなく、真空容器
内を短時間で高真空に到達させることができる。
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図ないし第４図は本発明の第１実施例を示すもので
、図中１１は図示しない真空容器の下端に設けられたフ
ランジである。このフランジ１１のフランジ面１２には
断面が台形状のＯリング収納溝１３が設けられている。
、図中１１は図示しない真空容器の下端に設けられたフ
ランジである。このフランジ１１のフランジ面１２には
断面が台形状のＯリング収納溝１３が設けられている。
上記Ｏリング収納溝１３内には弾性材からなる０リング
１４が保持されており、Ｏリング収納溝１３の底面と側
壁に接触している。
１４が保持されており、Ｏリング収納溝１３の底面と側
壁に接触している。
また、上記Ｏリング収納溝１３上にはＯリング収納溝１
３の幅より径の大きい複数のガス抜き穴１５・・・がガ
ス抜き手段として複数箇所に設けられている。これらの
ガス抜き穴１５・・・はＯリング収納溝１３とＯリング
１４との間隙部１６に通じており、この間隙部１６に残
留したガスをガス抜き穴１５より真空側に排気できるよ
うになっている。
３の幅より径の大きい複数のガス抜き穴１５・・・がガ
ス抜き手段として複数箇所に設けられている。これらの
ガス抜き穴１５・・・はＯリング収納溝１３とＯリング
１４との間隙部１６に通じており、この間隙部１６に残
留したガスをガス抜き穴１５より真空側に排気できるよ
うになっている。
上記のような構成において、フランジ１１の開口部１７
を図示しないシール板で塞ぐと、０リング１４は第４図
に示すようにＯリング収納溝１３内に押し潰される。こ
のとき、０リング収納溝１３と０リング１４との間隙部
１６にはガスが残留するが、本実施例では間隙部１６に
残留したガスをガス抜き穴１５より真空側へ排気できる
ため、減圧時に残留ガスが真空側へリークするようなこ
とがなく、真空容器内を短時間で高真空に到達させるこ
とができる。
を図示しないシール板で塞ぐと、０リング１４は第４図
に示すようにＯリング収納溝１３内に押し潰される。こ
のとき、０リング収納溝１３と０リング１４との間隙部
１６にはガスが残留するが、本実施例では間隙部１６に
残留したガスをガス抜き穴１５より真空側へ排気できる
ため、減圧時に残留ガスが真空側へリークするようなこ
とがなく、真空容器内を短時間で高真空に到達させるこ
とができる。
第５図および第６図は本発明の第２実施例を示すもので
、この実施例ではガス抜き手段としてガス抜き溝１８が
Ｏリング収納溝１３上の複数箇所に設けられている。上
記ガス抜き溝１８はフランジ１１の半径方向に沿って設
けられ、断面が円弧状をなしている。
、この実施例ではガス抜き手段としてガス抜き溝１８が
Ｏリング収納溝１３上の複数箇所に設けられている。上
記ガス抜き溝１８はフランジ１１の半径方向に沿って設
けられ、断面が円弧状をなしている。
このような形状のガス抜き溝１８をＯリング収納溝１３
上の複数箇所に設けることにより、前記第１実施例と同
様に残留ガスをガス抜き溝１８より真空側に排気できる
ため、真空容器内を短時間で高真空に到達させることが
できる。
上の複数箇所に設けることにより、前記第１実施例と同
様に残留ガスをガス抜き溝１８より真空側に排気できる
ため、真空容器内を短時間で高真空に到達させることが
できる。
なお、本発明は上述した第１及び第２実施例に限定され
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々
の設計的変更が可能である。
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々
の設計的変更が可能である。
以上説明したように本発明は、フランジ面に設けられた
断面が開口側に狭くなった０リング収納溝と、この０リ
ング収納溝内に保持され上記Ｏリング溝の底面と側壁に
接触するＯリングとを有するシール装置において、上記
Ｏリング収納溝と０リングとの間隙部に残留したガスを
真空側へ排出するガス抜き手段を、上記Ｏリング収納溝
に設けたので、減圧時に残留ガスが真空側へリークする
ようなことがなく、真空容器内を短時間で高真空に到達
させることができる。
断面が開口側に狭くなった０リング収納溝と、この０リ
ング収納溝内に保持され上記Ｏリング溝の底面と側壁に
接触するＯリングとを有するシール装置において、上記
Ｏリング収納溝と０リングとの間隙部に残留したガスを
真空側へ排出するガス抜き手段を、上記Ｏリング収納溝
に設けたので、減圧時に残留ガスが真空側へリークする
ようなことがなく、真空容器内を短時間で高真空に到達
させることができる。
第１図は本発明の第１実施例を示すＯリング収納溝の平
面図、第２図はその部分詳細図、第３図は第２図に示す
■−■線の矢視断面図、第４図は同実施例の作用を示す
図、第５図は本発明の第２実施例を示す０リング収納溝
の部分平面図、第６図は第５図に示すＶｌ−Ｖｌ線の矢
視断面図、第７図ないしｍ９図は従来例を示す図である
。 １１・・・フランジ、１２・・・フランジ面、１３・・
・Ｏリング収納溝、１４・・・０リング、１５・・・ガ
ス抜き穴、１６・・・間隙部、１８・・・ガス抜き溝。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２凶 第７図 第８図 第９図
面図、第２図はその部分詳細図、第３図は第２図に示す
■−■線の矢視断面図、第４図は同実施例の作用を示す
図、第５図は本発明の第２実施例を示す０リング収納溝
の部分平面図、第６図は第５図に示すＶｌ−Ｖｌ線の矢
視断面図、第７図ないしｍ９図は従来例を示す図である
。 １１・・・フランジ、１２・・・フランジ面、１３・・
・Ｏリング収納溝、１４・・・０リング、１５・・・ガ
ス抜き穴、１６・・・間隙部、１８・・・ガス抜き溝。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２凶 第７図 第８図 第９図
Claims (1)
- フランジ面に設けられた断面が開口側に狭くなったＯリ
ング収納溝と、このＯリング収納溝内に保持され上記Ｏ
リング溝の底面と側壁に接触するＯリングとを有するシ
ール装置において、上記Ｏリング収納溝とＯリングとの
間隙部に残留したガスを真空側へ排出するガス抜き手段
を、上記Ｏリング収納溝に設けたことを特徴とするシー
ル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63006895A JPH0814317B2 (ja) | 1988-01-18 | 1988-01-18 | 真空装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63006895A JPH0814317B2 (ja) | 1988-01-18 | 1988-01-18 | 真空装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01182670A true JPH01182670A (ja) | 1989-07-20 |
| JPH0814317B2 JPH0814317B2 (ja) | 1996-02-14 |
Family
ID=11650958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63006895A Expired - Lifetime JPH0814317B2 (ja) | 1988-01-18 | 1988-01-18 | 真空装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0814317B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004150510A (ja) * | 2002-10-30 | 2004-05-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 遮断弁 |
| JP2006038051A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-09 | Daikin Ind Ltd | 弾性シール部材 |
| JP2011080607A (ja) * | 2011-01-26 | 2011-04-21 | Daikin Industries Ltd | 弾性シール部材 |
-
1988
- 1988-01-18 JP JP63006895A patent/JPH0814317B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004150510A (ja) * | 2002-10-30 | 2004-05-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 遮断弁 |
| JP2006038051A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-09 | Daikin Ind Ltd | 弾性シール部材 |
| JP2011080607A (ja) * | 2011-01-26 | 2011-04-21 | Daikin Industries Ltd | 弾性シール部材 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0814317B2 (ja) | 1996-02-14 |
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