JPH01169828A - 非蒸発型ゲッター装置及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ゲッター装置に関するものであり、特には使
用される絶縁材料に割れが生じない補強されたゲッター
装置に関する。

ルユ立１遣 非蒸発型ゲッター装置は斯界で良く知られている。産業
界で広く容認された特定のゲッター装置の一つは、米国
特許第３．５８４．２５３号に記載されている。これは
、粉末状ゲッター材料で被覆される絶縁された加熱用コ
イルを備えている。加熱用コイルには、支持リード線が
接続される。加熱用コイルの絶縁体はゲッター材料から
外方に伸延している。絶縁材料は一般に電気泳動により
付着されたアルミナ（ｈｘｚｏｓ）である。残念ながら
、このアルミナは、脆くそしてゲッター装置がその使用
されるべき容器（電気放電装置、真空容器、希ガス充填
装置）内へと取り扱い及び組み立てを受るとき、支持リ
ード線の僅かの曲がりが絶縁材料の割れを生ぜしめる傾
向がある。この割れはまた、ゲッター装置を使用する装
置の作用或は作動を損なう原因となり得る付着性の弱い
粒子の発生につながる。絶縁材料の割れと脱離は、通常
支持リード線が一般に金属質のゲッター材料内部から外
へ出る部分において起こるので、短絡の危険も存在する
。

兄朋ｌとｌ偵 本発明の目的は、先行技術の絶縁ヒーター付きゲッター
装置の欠点の無い、絶縁ヒーターを備えるゲッター装置
を提供することである。

本発明のまた別の目的は、絶縁材料の割れを呈さない、
絶縁ヒーターを備えるゲッター装置を提供することであ
る。

本発明の更に別の目的は、付着性の弱い粒子の発生を生
じない、絶縁ヒーターを備えるブック−装置を提供する
ことである。

本発明のまた別の目的は、支持リード線がゲッター材料
から出る部分からの絶縁材料の脱着を生じない、絶縁ヒ
ーターを備えるゲッター装置を提供することである。

本発明の更に別の目的は、短絡の危険の無い、絶縁ヒー
ターを備えるゲッター装置を提供することである。

免胛ユ見Ｉ 米国特許第３．５８４，２５３号に記載されるような先
行技術の非蒸発型ゲッター装置１００の断面を示す第１
図を参照されたい。このゲッター装置は、螺旋形態の加
熱用ワイヤ１０２を備えている。２本の支持リード線１
０４．１０４′が部位１０６．１０６’　において上記
加熱用ワイヤと一体に接続形成されている。電気泳動に
より付着された絶縁被覆１０８が加熱用ワイヤ１０２と
支持リード線１０４，１０４’　（７）下方部分１１０
，１１０’を覆っている。非蒸発型ゲッター材料１１２
が絶縁被覆１０８を取り巻いている。但し、支持り一ド
線の基端部な覆う絶縁被覆の一部は、露出部分１１４．
１１４’　　として露出している。この露出部分１１４
，１１４°は、支持リード線１０４゜１０４’　と非蒸
発型ゲッター材料１１２との間のまた支持リード線１０
４．１０４°同志間の電気的絶縁を提供する。

支持リード線１０４，１０４’　に何らかの機械的衝撃
が加わると、それは、絶縁被Ｍ１０８の露出部分１１４
，１１４’　に直接伝達されることが理解されよう。電
気泳動により付着された絶縁被覆は非常に脆いので、そ
うした機械的衝撃は絶縁材料に割れを生ぜしめ、これは
付着性の弱い粒子の発生につながりやすい。こうした粒
子は、ゲッター装置を使用する装置の作用或は作動を損
なう原因となり得る。

この問題を解決するため、本発明は（加熱用ワイヤと該
加熱用ワイヤと一体に形成された２本の支持リード線を
備えそして更に各支持リード線がその直径より大きな内
径を有する内面と外面とを有する中空絶縁筒により取り
巻かれるような非蒸発現ゲッター装置を提供する。各絶
縁筒の一端は支持リード線と加熱用ワイヤとの一体形成
位置に近接している。電気泳動により付着された絶縁被
覆が、加熱用ワイヤを覆う第１帯域と該第１帯域と一体
に形成されそして各絶縁筒の外面部分を覆う第２帯域の
形で設けられる。更に、前記第１帯域と一体に形成され
そして支持リード線の外周と絶縁筒の内周との間に伸延
する第３帯域が存在する。最後に、非蒸発型ゲッター材
料が、電気泳動により付着された絶縁被覆の第１帯域及
び第２帯域を取り巻いてそして絶縁筒の一部を覆って設
けられる。

失韮Ｊｂ医区朋 第２図を参照されたい。ここには本発明の非蒸発型ゲッ
ター装置２００が示されている。第２図の破線で囲んだ
部分の拡大図である第３図をも参照されたい。第２図と
第３図の同じ部品には同じ参照番号が付しである。焼結
プロセスに耐えることが出来そして通電に際してヒータ
ーとして機能しつる任意の材料製とされる、螺旋状に巻
かれた加熱用ワイヤ２０４が示されている。螺旋状に巻
かれた加熱用ワイヤ２０４は、２つの端２０８゜２０８
°を有する円筒表面２０６を構成する。円筒表面２０６
は中心軸線２１０を中心として配置される。実質同長の
２本の支持リード線２１２゜２１２′は、加熱用ワイヤ
２０４と一体に形成されておりそして同じ直径を有する
。各支持リード線２１２，２１２°は１円筒表面２０６
の同一側端２０８から伸延しそして互いに且つ中心軸線
２１０に対して平行である。更に、これらは円筒表面２
０６の直径方向に対向して位置づけられている。各支持
リード線２１２．２１２°は、中空の　電気的に絶縁性
の、Ａｌ２Ｏ３セラミック製筒２１４．２１４’　によ
りそれぞれ取り巻かれている。各絶縁筒は、外面２１６
，２１６’及び内面２１８．２１８’　を有する。セラ
ミック筒２１４の内面２１８の内径２２０は支持リード
線２１２の直径２２２よりも１〜３０％、好ましくは５
〜２０％大きい。支持リード線２１２′に対するセラミ
ック筒２１４′の内面２１８゛の関係も同じである。セ
ラミック筒２１４，２１４’の各々の一端２２４，２２
４°は、支持リード線２１２゜２１２゛と加熱用ワイヤ
２０４との一体形成位置２２６．２２６’に近接してい
る。便宜上、第３図を参照して説明するが、同じことは
第２図の支持リード線２１２゛　とセラミック筒２１４
°についても言える。電気泳動により付着されたＡＩＪ
３製絶縁被Ｎ２２８が設けられ、これは、螺旋巻きモリ
ブデン製の加熱用ワイヤを０．０３〜０．５ｍｍ、好ま
しくは０．０５〜０．２ｍｍの厚さまで覆う第１帯域２
３０を備えている。絶縁被覆の第２帯域２３２は、第１
帯域と一体に形成され、セラミック筒の外面２１６をそ
の長さの２５〜９０％の、好ましくは３０〜６０％の距
離にわたり覆っている。絶縁被覆の第３帯域２３４は、
前記第１帯域と一体に形成され、支持リード線の外周と
セラミック筒の内面との間にその長さの８０〜９８％、
好ましくはその長さの９０〜９８％の距離まで伸延して
いる。更に、電気泳動により付着されたＡｌ２Ｏ３製絶
禄被覆２２８の第１帯域２３０及び第２帯域２３２を完
全ｃ三包囲して非蒸発性ゲッター材料２３６が設けられ
る。更に、この非蒸発性ゲッター材料２３６は、セラミ
ック筒２１４の外面２１６を第２帯域２３２と第３帯域
２３４により覆われる距離間の１０〜８０％、好ましく
は２０〜６０％の距離まで覆っている。

本発明においては、任意の非蒸発性ゲッター材料が使用
され得るが、好ましいものは、次の成分から構成される
多孔質非蒸発性ゲッター材料である： ａ）チタン、ジルコニウム及びそれらの水素化物から成
る群から選択される粒状非蒸発性ゲッター材料： ｂ）Ｉ）グラファイト、 １１　）アルミニウムを５〜３０重量％含有するジルコ
ニウムとアルミニウムの合金、 ｍ　）ジルコニウムとＭｌ及びＭ２（ここで、Ｍ＋はバ
ナジウム或はニオブから成る群から選択され、そしてＭ
２は鉄及びニッケルから成る群から選択される）との合
金、 ＩＶ）重量％組成がＺｒ、Ｖ及びＦｅの三元組成図にプ
ロットするとき（重量％）、その隅角点として、 ７５％Ｚｒ−２０％Ｖ−５％Ｆｅ ４５％Ｚｒ−２０％Ｖ−３５％Ｆｅ ４５％Ｚｒ−５０％Ｖ−５％Ｆｅ により定義される点を有する三角形内にあるＺｒ−Ｖ−
Ｆｅ合金 から成る群から選択される粒状焼結防止剤。

つぎの表１は、被覆下に置かれるセラミック筒の幾つか
の長さ間の好ましい関係を示す。

表−１ 第３図に示　　　　好ましい　　　最も好まし支扛工退
瀘　　　　ＪＬ−肛亙皿−一 「ｂ」、第２帯域 により覆われる外　２５−９０％ａ　　　　　３０−６
０％ａ面２１６の距離 「Ｃ」、第２及び 第３帯域により覆 われる距離間でゲ　１０−８０％　　　　２０−６０％
ツタ−材料により 覆われる外面２１６ の距離 「ｅ」、第３帯域 により覆われる内　８０％ａ−９８％ａ　　　　９０％
ａ−９８％ａ而２１８の距離 （「ａ」はセラミック筒の基本長さである。）第４図は
、本発明の非蒸発型ゲッター装置の製造方法に有用な装
置４００を示す。装置４００は、Ａｌ２Ｏ３の電気泳動
被覆に適合した被覆用懸濁液４０４の浴を保持するタン
ク４０２を備える。被覆用懸濁液浴は、ｘ２ｇｏ〜１７
５０ｇの、好ましくは１４００〜１６００ｇのアルミナ
タイプＡ（３８−９００１を含む。浴はまた、７５０〜
１２５０ｇ、好ましくは９００〜１１００ｇのアルミナ
型ＤＹＮＡＭＩＴを含有している。２５〜７５ｇの、好
ましくは４０〜６０ｇの乾燥硝酸マグネシウムも添加さ
れる。１６００〜２００００ｍ３、好ましくは１７０Ｃ
）〜１９００ｃｍ３の９５％エチルアルコールが、１０
００〜１５００ｃｍ３、好ましくは１１５０〜１３５０
ｃｍ３の蒸留水と共に添加される。最後に、１１５〜１
５５ｃｍ’、好ましくは１２５〜１４５　ｃｍ３の液状
結合剤が添加される。

液状結合剤は、斯界で周知の方法に従い硝酸アルミニウ
ムの溶液にアルミニウム削り屑を溶かすことにより好適
に調製しつる。ヒータ小組立体４０６が螺旋巻きモリブ
デン加熱用ワイヤ４０８を二つの端４１２，４１２’　
を有する、中心軸線４１４を中心とする円筒表面４１０
を形成するように何形することにより作製される。更に
、実質同じ長さの２本の支持リード線４１６，４１６’
が加熱用ワイヤ４０８と一体に形成される。支持リード
線は、加熱用ワイヤと同一直径を有しそして円筒表面の
端４１２から中心軸線に平行な方向に伸延しそして直径
方向に対向して位置づけられる。各支持リード線は中空
の、電気的に絶縁性のＡｌ２Ｏ３セラミック筒４１８，
４１８°により取り巻かれる。絶縁筒は、外面４２０，
４２０’　と内面４２２，４２２’　とを有する。その
内径は支持リード線の直径より１〜３０％、好ましくは
５〜２０％大きい。各セラミック筒４１８，４１８゜の
一端４２４，４２４°は、支持リード線と加熱用ワイヤ
との一体形成位置４２６，４２６°に近接している。こ
うして作製されたヒータ小組立体の寸法を以下の表２に
示す。

表１ ト１）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　−一二↓」シミー−円筒表面４１０の高さ （螺旋ヒータ高さ）　　　　　　　　　９ｍｍ支持リー
ド線長さ　　　　　　　　８ｍｍ支持リード線直径　　
　　　　　　０．５５ｍｍセラミック筒長さ　　　　　
　　　　４．０ｍｍセラミック筒外径　　　　　　　　
１．００ｍｍセラミック筒内径　　　　　　　　０．６
０ｍｍ（筒内径／ワイヤ直径）Ｘ１００　９．１％ヒー
タ小組立体はその後、被覆用懸濁液４０４を収納する装
置４００内に、被覆用懸濁液が加熱用ワイヤを覆いそし
て各セラミック筒をその長さの２５〜９０％、好ましく
は３０〜６０％の距離まで個うような深さまで漬けられ
る。液はまた、支持リード線の外周と容筒の内面との間
の空間にその長さの９０〜９８％の距離まで侵入する。

その後、７５ＶのＤ−、Ｃ，電圧が、加熱用ワイヤと小
組立体４０６を取り巻く円形電極（図示無し）との間に
３０秒間適用されて、Ａｌ２Ｏ３絶縁被覆な電気泳動に
より付着し、以って螺旋巻きモリブデン加熱用ワイヤ４
０８を０．０５〜０．３ｍｍの厚さまで覆う第１帯域と
、第１帯域と一体に形成されそして各セラミック筒の外
面をその長さの３０〜６０％の距離まで覆う第２帯域と
、第１帯域と一体に形成されそして支持リード線の外周
と容筒の内面との間にその長さの９０〜９８％の距離ま
で伸延する第３帯域とを創成する。こうして、補強され
たヒータ小組立体が生成される。表３は作製された補強
ヒータ小組立体の寸法を示す。

表１ 一皿回一　　　　−丈恭−工且上辺上 螺旋ヒータワ イヤ上の電気　　　０．２０ｍｍ　　　　　−泳動被覆
の厚 ｒｂＪ　　　’　　　　　１．５ｍｍ　　　３７．５％
ｒｅＪ　　　　　　　３．８　　ｍｍ　　　９２．５％
補強ヒータ組立体は、その後、水素炉において１６００
−１７００℃の温度で３′から１０′焼結されて、焼結
補強ヒータ組立体を生成する。その後、焼結補強ヒータ
組立体は、斯界で周知の技術のいずれかに従い、非蒸発
性ゲッター材料で被覆される。非蒸発性ゲッター材料は
好ましくは多孔質でありそして次のものから成る： ａ）チタン、ジルコニウム及びそれらの水素化物から成
る群から選択される粒状非蒸発性ゲッター材料； ｂ）Ｉ）グラファイト、 ＩＩ　）アルミニウムを５〜３０重量％含有するジルコ
ニウムとアルミニウムの合金、 ｎｒ　）ジルコニウムとＭｌ及びＭ、（ここで、Ｍ、は
バナジウム或はニオブから成る群から選択され、そして
Ｍｌは鉄及びニッケルから成る群から選択される）との
合金、 ＩＶ）重量％組成がＺｒ、Ｖ及びＦｅの三元組成図にプ
ロットするとき（重量％）、その隅角点として、 ７５％Ｚｒ−２０％Ｖ−５％Ｆｅ ４５％Ｚｒ−２０％Ｖ−３５％Ｆｅ ４５％Ｚｒ−５０％Ｖ−５％Ｆｅ により定義される点を有する三角形内にあるＺｒ−Ｖ−
Ｆｅ合金 から成る群から選択される粒状焼結防止剤。

非蒸発性ゲッター材料は、電気泳動により付着されたＡ
ｌ２Ｏ３絶縁被覆の第１及び第２帯域を完全に包囲しそ
して各セラミック筒の外面を第２及び第３帯域により覆
われる距離間の中間の距離まで被覆する。

Ａｌ２Ｏ３セラミック筒が様々の形態を取りうることが
認識されよう。例えば、第５図は、筒部分５０２に追加
部翼部分５０４を設けたまた別のＡｌ２Ｏ３セラミック
筒を示す。当業者は、本発明の範囲内で幾つかの改変を
実現しよう。例えば、筒外面に、そこに凹入する或はそ
こから凸出する垂直溝乃至螺旋溝を設けることが出来る
。翼部分は単一でも良いし或は筒長さに沿って複数個設
けても良い。

第６図は、本発明の、また別の非蒸発型ゲッター装置６
００の概略断面を示す。これは、ヒータが螺旋形態では
なく、直線形態を有する点を除いて、すべての点で第２
−のゲッター装置と同等である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、絶縁ヒータを備える先行技術のゲッター装置
の断面図を示す。 第２図は、本発明の非蒸発型ゲッター装置の断面図であ
る。 第３図は、第２図の破線内に囲まれた部分の拡大断面図
である。 第４図は、ゲッター装置作製に有用な、ヒータ小組立体
を浸漬した電気泳動付着浴の断面図である。 第５図は、絶縁筒の変更例の断面図である。 第６図は、本発明の非蒸発型ゲッター装置の別の具体例
の断面図である。 ２００ニゲツタ−装置 ２０４：加熱用ワイヤ ２１２：支持リード線 ２１４：筒 ２１６・外面 ２１８：内面 ２２８；絶縁被覆 ２３０：第１帯域 ２３２：第２帯域 ２３４：第３帯域 ２３６：非蒸発性ゲッター材料 ４０２：タンク ４０４：被覆用懸濁液 図面の浄欝（内容に変更なし）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）非蒸発性ゲッター装置にして、 Ａ、加熱用ワイヤと、 Ｂ、該加熱用ワイヤと一体に形成された２本の支持リー
   ド線と、 Ｃ、各支持リード線を取り巻き、該支持リード線の直径
   より大きな内径を有する内面と外面とを有する中空絶縁
   筒にして、各絶縁筒の一端は支持リード線と加熱用ワイ
   ヤとの一体形成位置に近接して位置づけられる中空絶縁
   筒と、 Ｄ、（ａ）加熱用ワイヤを覆う第１帯域、（ｂ）該第１
   帯域と一体に形成されそして各絶縁筒の外面部分を覆う
   第２帯域及び（ｃ）前記第１帯域と一体に形成されそし
   て支持リード線の外周と絶縁筒の内周との間に伸延する
   第３帯域を含む、電気泳動により付着された絶縁被覆と
   、 Ｅ、電気泳動により付着された絶縁被覆の第１帯域及び
   第２帯域を包囲しそして絶縁筒の外面部分を覆って設け
   られる非蒸発性ゲッター材料とを備える非蒸発型ゲッタ
   ー装置。 ２）絶縁筒の内径が支持リード線の直径より１〜３０％
   大きい特許請求の範囲第１項記載のゲッター装置。 ３）絶縁筒の内径が支持リード線の直径より５〜２０％
   大きい特許請求の範囲第１項記載のゲッター装置。 ４）電気泳動付着絶縁被覆の第１帯域が０．０３〜０．
   ５ｍｍの厚さを有する特許請求の範囲第１項記載のゲッ
   ター装置。 ５）電気泳動付着絶縁被覆の第２帯域が絶縁筒外面をそ
   の長さの２５〜９０％の距離まで覆う特許請求の範囲第
   １項記載のゲッター装置。 ６）電気泳動付着絶縁被覆の第３帯域が支持リード線の
   外周とセラミック筒の内面との間にその長さの８０〜９
   ８％の距離まで伸延している特許請求の範囲第１項記載
   のゲッター装置。 ７）Ａ、二つの端を有し、中心軸線を中心として配置さ
   れる円筒表面を形成する螺旋巻きモリブデン加熱用ワイ
   ヤと、 Ｂ、実質同長で、加熱用ワイヤと一体に形成されそして
   同じ直径を有する２本の支持リード線にして、前記円筒
   表面の同一側端から中心軸線に平行に伸延しそして直径
   方向に対向して位置ずけられる２本の支持リード線と、 Ｃ、各支持リード線を取り巻き、該支持リード線の直径
   より５〜２０％大きな内径を有する内面と外面とを有す
   る、中空の電気的に絶縁性のＡｌ＿２Ｏ＿３セラミック
   筒にして、各セラミック筒の一端は支持リード線と加熱
   用ワイヤとの一体形成位置に近接して位置づけられる中
   空セラミック筒と、Ｄ、（ａ）螺旋巻きモリブデン加熱
   用ワイヤを０．０５〜０．２ｍｍの範囲の厚さに覆う第
   １帯域、（ｂ）該第１帯域と一体に形成されそして各セ
   ラミック筒の外面部分をその長さの３０〜６０％の距離
   まで覆う第２帯域及び（ｃ）前記第１帯域と一体に形成
   されそして支持リード線の外周とセラミック筒の内周の
   間にその長さの９０〜９８％の距離まで伸延する第３帯
   域を含む電気泳動により付着されたＡｌ＿２Ｏ＿３絶縁
   被覆と、 Ｅ、非蒸発性ゲッター材料にして、 ａ）チタン、ジルコニウム及びそれらの水素化物から成
   る群から選択される粒状非蒸発性ゲッター材料；及び ｂ） I ）グラファイト、 II）アルミニウムを５〜３０重量％含有するジルコニウ
   ムとアルミニウムの合金、 III）ジルコニウムとＭ＿１及びＭ＿２（ここで、Ｍ＿
   １はバナジウム或はニオブから成る群から選択され、そ
   してＭ＿２は鉄及びニッケルから成る群から選択される
   ）との合金、 IV）重量％組成がＺｒ、Ｖ及びＦｅの三元組成図にプロ
   ットするとき（重量％）、その隅角点として、 ７５％Ｚｒ−２０％Ｖ−５％Ｆｅ ４５％Ｚｒ−２０％Ｖ−３５％Ｆｅ ４５％Ｚｒ−５０％Ｖ−５％Ｆｅ により定義される点を有する三角形内にあるＺｒ−Ｖ−
   Ｆｅ合金 から成る群から選択される粒状焼結防止剤 を含有し、該非蒸発性ゲッター材料が電気泳動により付
   着されたＡｌ＿２Ｏ＿３絶縁被覆の第１帯域及び第２帯
   域を包囲しそしてセラミック筒の外面部分を第２及び第
   ３電気泳動付着帯域により覆われる距離間の２０〜６０
   ％の距離まで覆って設けられる非蒸発性ゲッター材料 を備える特許請求の範囲第１項記載の非蒸発型ゲッター
   装置。 ８）非蒸発性ゲッター装置を製造する方法であって、 （ I ）Ａ、加熱用ワイヤと、 Ｂ、該加熱用ワイヤと一体に形成された２ 本の支持リード線と、 Ｃ、各支持リード線を取り巻き、該支持リ ード線の直径より大きな内径を有する内面 と外面とを有する中空絶縁筒にして、各絶 縁筒の一端は支持リード線と加熱用ワイヤ との一体形成位置に近接して位置づけられ る中空絶縁筒と を包含するヒータ小組立体を、絶縁被覆の電気泳動付着
   用被覆懸濁液の浴中に、被覆懸濁液が、（ａ）加熱用ワ
   イヤを覆い、（ｂ）各セラミック筒の外面部分を覆いそ
   して（ｃ）支持リード線の外周とセラミック筒の内周の
   間に侵入するような深さまで浸漬する段階と、 （II）絶縁被覆を電気泳動により付着して、（ａ）加熱
   用ワイヤを覆う第１帯域、（ｂ）該第１帯域と一体に形
   成されそして各絶縁筒の外面部分を覆う第２帯域及び（
   ｃ）前記第１帯域と一体に形成されそして支持リード線
   の外周と絶縁筒の内周の間に伸延する第３帯域を生成し
   、以って補強されたヒータ組立体を生成する段階と、 （III）ついで、該補強されたヒータ組立体を焼結して
   、焼結補強ヒータ組立体を生成する段階と、（IV）該焼
   結補強ヒータ組立体を非蒸発性ゲッター材料で、該ゲッ
   ター材料が電気泳動により付着された絶縁被覆の第１帯
   域及び第２帯域を包囲しそして絶縁筒の外面部分を覆う
   ように被覆する段階と を包含する非蒸発性ゲッター装置製造方法。 ９）絶縁筒の内径が支持リード線の直径より１〜３０％
   大きい特許請求の範囲第８項記載の非蒸発性ゲッター装
   置製造方法。 １０）絶縁筒の内径が支持リード線の直径より５〜２０
   ％大きい特許請求の範囲第８項記載の非蒸発性ゲッター
   装置製造方法。 １１）電気泳動付着された絶縁被覆の第１帯域が０．０
   ３〜０．５ｍｍの厚さに被覆される特許請求の範囲第８
   項記載の非蒸発性ゲッター装置製造方法。 １２）電気泳動付着絶縁被覆の第２帯域が絶縁筒外面を
   その長さの２５〜９０％の距離まで覆う特許請求の範囲
   第８項記載の非蒸発性ゲッター装置製造方法。 １３）電気泳動付着絶縁被覆の第３帯域が支持リード線
   の外周とセラミック筒の内面との間にその長さの８０〜
   ９８％の距離まで付着される特許請求の範囲第８項記載
   の非蒸発性ゲッター装置製造方法。 １４）非蒸発性ゲッター装置製造方法にして、Ａ、二つ
   の端を有し、中心軸線を中心として配置される円筒表面
   を形成する螺旋巻きモリブデン加熱用ワイヤと、 Ｂ、実質同長で、加熱用ワイヤと一体に形成されそして
   同じ直径を有する２本の支持リード線にして、円筒表面
   の同一側端から中心軸線に平行に伸延しそして直径方向
   に対向して位置づけられている２本の支持リード線と、 Ｃ、各支持リード線を取り巻き、該支持リード線の直径
   より５〜２０％大きな内径を有する内面と外面とを有す
   る中空の電気的に絶縁性のＡｌ＿２Ｏ＿３セラミック筒
   にして、各セラミック筒の一端は支持リード線と加熱用
   ワイヤとの一体形成位置に近接して位置づけられる中空
   セラミック筒と を包含するヒータ小組立体を、Ａｌ＿２Ｏ＿３の電気泳
   動被覆用被覆懸濁液の浴中に、被覆懸濁液が、（ａ）加
   熱用ワイヤを覆い、（ｂ）各セラミック筒をその長さの
   ３０〜６０％の距離まで覆いそして（ｃ）支持リード線
   の外周とセラミック筒の内周の間にその長さの９０〜９
   ８％の距離まで侵入するような深さまで浸漬する段階と
   、 （II）Ａｌ＿２Ｏ＿３絶縁被覆を電気泳動により付着し
   、（ａ）螺旋巻きモリブデン加熱用ワイヤを０．０５〜
   ０．２ｍｍの範囲の厚さに覆う第１帯域、（ｂ）該第１
   帯域と一体に形成されそして各セラミック筒の外面部分
   をその長さの３０〜６０％の距離まで覆う第２帯域及び
   （ｃ）前記第１帯域と一体に形成されそして支持リード
   線の外周とセラミック筒の内周の間にその長さの９０〜
   ９８％伸延する第３帯域を生成し、以って補強されたヒ
   ータ組立体を生成する段階と、 （III）ついで、該補強されたヒータ組立体を水素炉に
   おいて１６００〜１７００℃の温度で３分から１０分の
   間焼結して、焼結補強ヒータ組立体を生成する段階と、 （IV）焼結補強ヒータ組立体を、 ａ）チタン、ジルコニウム及びそれらの水素化物から成
   る群から選択される粒状非蒸発性ゲッター材料。 ｂ） I ）グラファイト、 II）アルミニウムを５〜３０重量％含有するジルコニウ
   ムとアルミニウムの合金、 III）ジルコニウムとＭ＿１及びＭ＿２（ここで、Ｍ＿
   １はバナジウム或はニオブから成る群から選択され、そ
   してＭ＿２は鉄及びニッケルから成る群から選択される
   ）との合金、 IV）重量％組成がＺｒ、Ｖ及びＦｅの三元組成図にプロ
   ットするとき（重量％）、その隅角点として、 ７５％Ｚｒ−２０％Ｖ−５％Ｆｅ ４５％Ｚｒ−２０％Ｖ−３５％Ｆｅ ４５％Ｚｒ−５０％Ｖ−５％Ｆｅ により定義される点を有する三角形内にあるＺｒ−Ｖ−
   Ｆｅ合金 から成る群から選択される粒状焼結防止剤 を含有する非蒸発性ゲッター材料によって、該非蒸発性
   ゲッター材料が電気泳動により付着されたＡｌ＿２Ｏ＿
   ３絶縁被覆の第１帯域及び第２帯域を包囲しそしてセラ
   ミック筒の外面部分を第２及び第３電気泳動付着帯域に
   より覆われる距離間の２０〜６０％の距離まで覆うよう
   にして被覆する段階とを包含する特許請求の範囲第８項
   記載の非蒸発性ゲッター装置製造方法。