JPH01169368A - 微小電極抵抗測定用プローブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、微小電極抵抗測定用プローブに関する。より
詳細には、ＧａＡｓ　Ｉ　Ｃ等の微小かつ低抵抗の電極
の抵抗測定に適した測定用プローブに関する。

従来の技術 ＧａＡｓ　Ｉ　Ｃ等の微小電極抵抗測定用プローブは、
先端を極めて細（しなければならないため、良好な加工
性が要求される。また、被測定電極との間の接触状態を
良好にするため、比較的大きな押圧がかかるので、機械
的強度が必要であるとともに、表面に酸化層が形成され
ると、抵抗測定の際、悪影響を及ぼすので化学的安定性
も必要である。

上記の条件を満たすことから、従来、微小電極抵抗測定
用プローブは、主としてタングステンカーバイド製であ
った。

発明が解決しようとする問題点 従来のタングステンカーバイドのプローブを使用して抵
抗測定を行う場合、特に低抵抗の電極の抵抗測定を行う
と、測定値のばらつきが大きく、正確な抵抗測定ができ
なかった。また、タングステンカーバイドは硬いため、
測定する電極を傷めることがあった。

そこで、本発明は、低抵抗の電極でも正確に抵抗が測定
ができ、また、被測定電極を傷めない微小電極抵抗測定
用プローブを提供することを目的とする。

問題を解決するための手段 本発明に従うと、ＩＣ等の微小電極抵抗測定用プローブ
において、少なくとも先端がＡｇまたはＡｇを含む合金
製であることを特徴とする微小電極抵抗測定用プローブ
が、提供される。

本発明のプローブは、先端の直径が５０μｍ以下である
ことが好ましい。

作用 本発明の微小電極抵抗測定用プローブは、少なくとも先
端部分がＡｇまたはＡｇを含む合金製であるところにそ
の主要な特徴がある。すなわち、従来ＩＣ等の微小電極
の抵抗測定に用いるプローブは、主に、タングステンカ
ーバイド製であった。これは、微小電極抵抗測定用プロ
ーブは、先端を極めて細くしなければならないので加工
性および強度に優れ、また、表面が酸化され難いタング
ステンカーバイドを用いていたものである。

しかしながら、タングステンカーバイド製プローブを使
用して、特に、低抵抗の微小電極の抵抗測定を行うと、
測定値のばらつきが大きく、正確な測定が困難であった
。これは、タングステンカーバイドの抵抗率が比較的大
きいこと、特に被測定電極との接触に関与する表面近傍
における抵抗率が大きいことが原因と考えられる。また
、タングステンカーバイドは非常に硬いため、接触状態
も不安定になりがちである。

さらに、ＩＣ等の微小電極は、金メツキが施されている
ことも多く、硬いタングステンカーバイド製のプローブ
により傷められることもある。

本発明においては、プローブの先端はＡｇまたはＡｇを
含む合金であるため、従来のプローブと較べ表面近傍の
抵抗率は非常に小さくなる。プローブ先端に使用する金
属としては、貴金属、ＣｕおよびＣｕ合金等を考えるこ
とができるが、本発明者等の実験によれば、Ａｇが他の
貴金属等と比較して極めて優れた性能を示す。従って、
本発明においては、プローブの少なくとも先端はＡｇを
用いる。また、Ａｇは酸化され易いので、耐酸化性を向
上させるためにＡｇ合金とすることも好ましい。

本発明のプローブは、プローブ全体をＡｇまたはＡｇを
含む合金製としたものであることが好ましい。

これは、全体をＡｇ製とすることにより、接触抵抗のみ
ならずプローブ全体の抵抗を小さくすることができるの
で、より正確な抵抗測定が可能であるからである。また
、特に純Ａｇを用いることにより、この効果はさらに促
進される。

また、本発明の微小電極抵抗測定用のプローブは、その
用途から先端の直径が小さい、鋭いものほど好ましく、
特に先端の直径が５０μｍ以下であることが好ましい。

実施例 以下に、本発明を実施例によりさらに詳しく説明するが
、以下の開示は、本発明の単なる実施例に過ぎず、本発
明の技術的範囲を何等制限するものではない。

第１図に示す本発明の微小電極抵抗測定用プローブを作
製し、Ｓｉ基板に蒸着により作製したＡｕ電極をサンプ
ルとして抵抗測定を行った。最小読み取り精度は１０−
３Ωで、同一電極の抵抗を１１回測定した。

第１図に示す本発明の微小電極抵抗測定用プローブは、
直径０．５ｍｍの純Ａｇワイヤの先端をさらに研磨し、
Ｒ３０μｍにしたものである。

なお、比較のため、従来のタングステンカーバイド製の
プローブ、Ａｕ製のプローブおよびＰｔ−Ｒｈ製のプロ
ーブでも同じサンプルの抵抗測定を同様に行った。

第２図（ａ）〜第２図ω）と第１表に、測定結果を示す
。

第２図（ａ）〜第２図（６）のグラフおよび第１表から
明らかなように、本発明のプローブを用いて行った測定
は、他のプローブを使用して行ったものに比較して、ば
らつきが非常に小さくなる。また、Ａｕ製プローブを使
用した場合の測定値が特に小さいのは、Ａｕ製プローブ
のみ先端径が太い（〜５０μｍ）ためで本質的ではない
。

以上の結果より、本発明の微小電極抵抗測定用プローブ
を用いることにより、誤差の少ない正確な測定が可能で
あることが立証された。

発明の効果 本発明により、従来より正確な抵抗測定が可能な微小電
極抵抗測定用プローブが提供される。これは、本発明の
主要な特徴であるＡｇまたはＡｇを含む合金製の微小電
極抵抗測定用プローブにより実現したものである。

また、本発明のプローブを使用することにより、抵抗の
測定が正確にできるだけでなく、被測定電極を傷つける
ことも少なくなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の微小電極抵抗測定用プローブの概念
図であり、 第２図（ａ）〜第２図（ｄ）は、本発明のプローブと各
比較例のプローブとを使用して、サンプル電極の抵抗測
定を行った際の測定抵抗値のヒストグラムである。 特許出願人　　住友電気工業株式会社

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）ＩＣ等の微小電極抵抗測定用プローブにおいて、
   少なくとも先端がＡｇまたはＡｇを含む合金製であるこ
   とを特徴とする微小電極抵抗測定用プローブ。
2. （２）上記微小電極抵抗測定用プローブ全体が、Ａｇま
   たはＡｇを含む合金製であることを特徴とする特許請求
   の範囲第１項に記載の微小電極抵抗測定用プローブ。
3. （３）上記微小電極抵抗測定用プローブの少なくとも先
   端が、純Ａｇ製であることを特徴とする特許請求の範囲
   第１項または第２項に記載の微小電極抵抗測定用プロー
   ブ。
4. （４）上記微小電極抵抗測定用プローブ全体が、純Ａｇ
   製であることを特徴とする特許請求の範囲第３項に記載
   の微小電極抵抗測定用プローブ。
5. （５）上記プローブの先端の直径が５０μｍ以下である
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第４項のい
   ずれか１項に記載の微小電極抵抗測定用プローブ。