JP2018090864A - 金属探針の製造方法、金属探針及びデバイス - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり、先端が先鋭な金属探針の簡便な製造方法及びその製造方法により作製された金属探針を提供することを目的とする。
本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を提供する。
図1は、本実施形態にかかる金属探針の製造方法を模式的に示した図である。本実施形態にかかる金属探針の製造方法では、酸化により昇華性を有する金属又は合金の細線1の一部1aを酸化しながら加熱する。細線1の加熱された一部1aは昇華し、先鋭化する。以下、具体的に本実施形態にかかる金属探針の製造方法について説明する。
(第1実施形態)
図4は、第1実施形態にかかる金属探針の一部の電子顕微鏡像である。第1実施形態にかかる金属探針は、基体(図視略)と、先端部1Aと、を有する。
図3は、第2実施形態にかかる金属探針の一部の電子顕微鏡像である。図3に示す第2実施形態にかかる金属探針の下部は、上述の金属探針の製造方法における超音波又は酸処理を加えていない。
図7は、第3実施形態にかかる金属探針の一部の電子顕微鏡像である。図7に示す第3実施形態にかかる金属探針は、図3における金属探針の上部を拡大したものである。
まず直径0.2mmのモリブデンからなる細線を準備した。そして、細線の一端を固定し、細線の一部にバーナーから吐出する炎を当てた。バーナーには、ブタン(C4H10)と酸素(O2)を等量で供給した。細線にあたる炎の温度は、約3000度であった。
実施例2は、細線をタングステンに変えた点のみが異なる。その他の条件は実施例1と同様とした。
金属探針を作製するために用いる細線の直径を変えて、金属探針の先端の先端曲率半径を測定した。細線を構成する材料としてはモリブデン、タングステンを用いた。先端曲率半径は、それぞれの直径で5個の金属探針を作製し、その平均値として求めた。その結果を図11に示す。
Claims (9)
- 酸化により昇華性を有する金属又は合金の細線の一部を酸化しながら加熱する工程を有し、前記加熱された部分が昇華により先鋭化する、金属探針の製造方法。
- 前記金属又は合金が、タングステン又はモリブデンを含む請求項1に記載の金属探針の製造方法。
- 前記加熱をバーナーから吐出される炎を用いて行う請求項1又は請求項2のいずれかに記載の金属探針の製造方法。
- 前記バーナーは燃焼系ガスと酸素ガスを同時に吐出し、前記バーナーから吐出される炎は酸化炎である請求項3に記載の金属探針の製造方法。
- 前記昇華により先鋭化した先端を超音波処理又は酸処理する請求項1〜4のいずれか一項に記載の金属探針の製造方法。
- 酸化により昇華性を有する金属又は合金を含み、第1の方向に延在する細線状の基体と、
前記基体から先端に向かって縮径する錐状の先端部と、を有し、
前記第1の方向に対する前記先端部の傾斜面の傾斜角が略一定である、金属探針。 - 前記先端部の前記傾斜面に纏いついた前記金属又は合金の酸化物からなる繊毛をさらに有する請求項6に記載の金属探針。
- 前記先端部の傾斜面に纏いつき、前記金属又は合金の酸化物からなる繊毛が除去されてなる根部をさらに有する請求項6または7のいずれかに記載の金属探針。
- 請求項6〜8のいずれか一項に記載の金属探針を備えるデバイス。
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