JPH01159391A - 高純度電解銅の製造方法 - Google Patents
高純度電解銅の製造方法Info
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- JPH01159391A JPH01159391A JP62317879A JP31787987A JPH01159391A JP H01159391 A JPH01159391 A JP H01159391A JP 62317879 A JP62317879 A JP 62317879A JP 31787987 A JP31787987 A JP 31787987A JP H01159391 A JPH01159391 A JP H01159391A
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/20—Recycling
Landscapes
- Electrolytic Production Of Metals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野〕
本発明は、電解精製により高純度銅を製造する高純度電
解銅の製造方法に関する。
解銅の製造方法に関する。
[従来の技術]
従来、電解銅は硫酸酸性浴によって製造されるのが一般
的であり、その純度は高々的99.99重量%であった
。
的であり、その純度は高々的99.99重量%であった
。
ところで、近時、半導体装置の結線用導体又は蒸着用ソ
ース材料等の用途において、純度が99゜999重量%
以上の高純度銅に対する需要が高まってきた。
ース材料等の用途において、純度が99゜999重量%
以上の高純度銅に対する需要が高まってきた。
しかしながら、硫酸酸性浴による電解精製法においては
、電解液からの硫黄のコンタミネーションが不可避のた
めに、高純度電解銅の製造の場合には、電解浴として硝
酸酸性浴を使用することが多い。
、電解液からの硫黄のコンタミネーションが不可避のた
めに、高純度電解銅の製造の場合には、電解浴として硝
酸酸性浴を使用することが多い。
[発明が解決しようとする問題点]
しかしながら、硝酸酸性浴においては陰極に析出した銅
を電解洛中の遊離硝酸が化学的に溶出させるため、陰N
&面にNO2ガスが発生する。更に、陰極表面ではH2
ガスも同時に発生しているため、陰極表面はN02ガス
とH2ガスの気泡により局所的に覆われてしまい、この
気泡に覆われた面と陰極が露出した面とでは銅の析出反
応に差異が生じる。
を電解洛中の遊離硝酸が化学的に溶出させるため、陰N
&面にNO2ガスが発生する。更に、陰極表面ではH2
ガスも同時に発生しているため、陰極表面はN02ガス
とH2ガスの気泡により局所的に覆われてしまい、この
気泡に覆われた面と陰極が露出した面とでは銅の析出反
応に差異が生じる。
その結果、陰極に析出する銅は不均一となり、表面の凹
凸が激しくなる。このなめ、不純物を含有している硝酸
酸性浴の浴液がこの表面凹凸に取り込まれたり、凹凸に
よって電流密度に差異が生じたりするために、前述の気
泡の被覆が電解銅の高純度化を阻害する原因となり、9
9.999重量%以上の高純度銅を得ることができなか
った。
凸が激しくなる。このなめ、不純物を含有している硝酸
酸性浴の浴液がこの表面凹凸に取り込まれたり、凹凸に
よって電流密度に差異が生じたりするために、前述の気
泡の被覆が電解銅の高純度化を阻害する原因となり、9
9.999重量%以上の高純度銅を得ることができなか
った。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、
硝酸酸性浴での電解精製によりCu濃度が99.999
重量%以上の高純度鋼を均一に陰極に析出させて得るこ
とができる高純度電解銅の製造方法を提供することを目
的とする。
硝酸酸性浴での電解精製によりCu濃度が99.999
重量%以上の高純度鋼を均一に陰極に析出させて得るこ
とができる高純度電解銅の製造方法を提供することを目
的とする。
[問題点を解決するための手段]
本発明に係る高純度電解銅の製造方法は、硝酸酸性の電
解浴を、その塩基度PHを2乃至3に制御すると共に、
超音波によって攪拌しつつ銅を電解精製することを特徴
とする。
解浴を、その塩基度PHを2乃至3に制御すると共に、
超音波によって攪拌しつつ銅を電解精製することを特徴
とする。
[作用]
本発明においては、電解浴を超音波により攪拌すると共
に、電解浴の塩基度PHを2乃至3に制御する。このた
め、電解浴内全体に亘って均一で充分な攪拌力が得られ
るので、陰極表面からNO2ガス及びH2ガスによる気
泡を除去することが容易となる。また、不純物の析出が
抑制されると共に、遊離硝酸が少ないので、陰極への銅
の析出反応を均−化及び安定化させることができる。
に、電解浴の塩基度PHを2乃至3に制御する。このた
め、電解浴内全体に亘って均一で充分な攪拌力が得られ
るので、陰極表面からNO2ガス及びH2ガスによる気
泡を除去することが容易となる。また、不純物の析出が
抑制されると共に、遊離硝酸が少ないので、陰極への銅
の析出反応を均−化及び安定化させることができる。
[実施例]
以下、本発明の実施例について具体的に説明する。
本願発明者等は、前記問題点を解決するためには、NO
2及びH2ガスを陰極表面から速やかに取り除くことと
、遊離硝酸を電解液中に過剰に含有しないことが必要で
あるとの観点から研究を進めてきた結果、硝酸酸性浴の
PHを適当な範囲に制御しながら超音波により攪拌する
ことが有効な手段になるとの知見を得て本発明を完成す
るに至った。
2及びH2ガスを陰極表面から速やかに取り除くことと
、遊離硝酸を電解液中に過剰に含有しないことが必要で
あるとの観点から研究を進めてきた結果、硝酸酸性浴の
PHを適当な範囲に制御しながら超音波により攪拌する
ことが有効な手段になるとの知見を得て本発明を完成す
るに至った。
つまり、硝酸酸性の電解洛中で銅を電解精製し、この電
解処理中に電解浴を超音波によって攪拌する。これによ
り、電解液が均一に攪拌され、陰極゛表面にて発生する
NO2ガス及びH2ガスを電解液中を上昇させて電解液
中から除去することができる。従って、陰極表面をNO
□ガス及びH2ガスの気泡が被覆してしまうことが防止
され、均一な銅の析出反応が得られる。
解処理中に電解浴を超音波によって攪拌する。これによ
り、電解液が均一に攪拌され、陰極゛表面にて発生する
NO2ガス及びH2ガスを電解液中を上昇させて電解液
中から除去することができる。従って、陰極表面をNO
□ガス及びH2ガスの気泡が被覆してしまうことが防止
され、均一な銅の析出反応が得られる。
従来、電解液の攪拌方法として、スターラー等による機
械的攪拌又は液循環による攪拌等が用いられてきた。し
かし、スターラー等による機械的攪拌方法では攪拌状態
が不均一できめ細かさに欠け、液循環による攪拌では攪
拌力が不充分である等の欠点があった。これに対し、本
発明のように、超音波を使用して攪拌することにより、
電解液を均一に攪拌することができる。
械的攪拌又は液循環による攪拌等が用いられてきた。し
かし、スターラー等による機械的攪拌方法では攪拌状態
が不均一できめ細かさに欠け、液循環による攪拌では攪
拌力が不充分である等の欠点があった。これに対し、本
発明のように、超音波を使用して攪拌することにより、
電解液を均一に攪拌することができる。
また、塩基度P)Iが3より高い電解洛中で銅を陰極へ
安定して析出させようとすると、陰極の標準電極電位を
低く設定する必要があり、この場合に、銅よりもイオン
化傾向が大きいPb 2+及びFe 2+等の金属イ
オンが銅と同時に析出してしまう。その結果、得られた
電解銅の純度は低下する。
安定して析出させようとすると、陰極の標準電極電位を
低く設定する必要があり、この場合に、銅よりもイオン
化傾向が大きいPb 2+及びFe 2+等の金属イ
オンが銅と同時に析出してしまう。その結果、得られた
電解銅の純度は低下する。
一方、PHが2より低い電解浴の場合は、遊離硝酸が過
剰になり、この遊離硝酸により陰極に析出した銅の化学
的溶出が促進され、NO2ガスによる気泡の発生が多く
なり、その除去が困難になる。
剰になり、この遊離硝酸により陰極に析出した銅の化学
的溶出が促進され、NO2ガスによる気泡の発生が多く
なり、その除去が困難になる。
従って、硝酸酸性の電解浴のP Hは2乃至3に制御す
る必要がある。
る必要がある。
なお、上述の実施例においては、超音波による攪拌のみ
を行っているが、液循環による攪拌等を併用することに
より、超音波攪拌の作用効果を助長し、より一層優れた
効果を発揮することができる。
を行っているが、液循環による攪拌等を併用することに
より、超音波攪拌の作用効果を助長し、より一層優れた
効果を発揮することができる。
次に、本発明方法により高純度銅を電解精製した実施例
1乃至3について、その比較例1乃至4と共に説明する
。下記第1表は実施例1乃至3及び比較例1乃至4にお
ける硝酸酸性の電解浴のPHと、攪拌方法とを示す。こ
の電解精製は、銅分が100 g / 1 、電流密度
が0.7A/dm2、電解時間が100時間の電解条件
で行った。
1乃至3について、その比較例1乃至4と共に説明する
。下記第1表は実施例1乃至3及び比較例1乃至4にお
ける硝酸酸性の電解浴のPHと、攪拌方法とを示す。こ
の電解精製は、銅分が100 g / 1 、電流密度
が0.7A/dm2、電解時間が100時間の電解条件
で行った。
第1表
上記条件による電解精製により得られた電解銅の品位及
び残留抵抗比RRRの値(以下、RRRという)を下記
第2表に示す。
び残留抵抗比RRRの値(以下、RRRという)を下記
第2表に示す。
RRRは293にの電気抵抗率ρ29.にと4.2にの
電気抵抗率ρ4.2にとの比ρ293に/ρ4・2にで
表される。高純度金属の極低温における残留抵抗がその
純度に敏恐であることから、RRRは一般的に純度の総
合的な指標として考えることができる。このRRRの値
が大きい程、純度が高く、RRRが1000以上の場合
に、銅の純度が99゜999重量%以上であると考えら
れる。なお、前述の第2表には、得られた高純度銅の不
純物含有量も併せて記載した。本実施例及び比較例にお
いては、得られた電解銅を真空鋳造し、直径が0゜5
mmになるまで伸線した後、充分に焼鈍を施したものに
ついてRRRの測定を行った。
電気抵抗率ρ4.2にとの比ρ293に/ρ4・2にで
表される。高純度金属の極低温における残留抵抗がその
純度に敏恐であることから、RRRは一般的に純度の総
合的な指標として考えることができる。このRRRの値
が大きい程、純度が高く、RRRが1000以上の場合
に、銅の純度が99゜999重量%以上であると考えら
れる。なお、前述の第2表には、得られた高純度銅の不
純物含有量も併せて記載した。本実施例及び比較例にお
いては、得られた電解銅を真空鋳造し、直径が0゜5
mmになるまで伸線した後、充分に焼鈍を施したものに
ついてRRRの測定を行った。
第2表かられかるように、実施例1乃至3は比較例1乃
至4よりもRRRが著しく高く、99゜999重量%以
上の純度を有する。
至4よりもRRRが著しく高く、99゜999重量%以
上の純度を有する。
[発明の効果]
以上説明したように本発明によれば、硝酸酸性の電解浴
を超音波によって攪拌しつつ銅を電解精製するから、陰
極に安定した銅の析出反応を生じさせることができ、純
度が99.999重量%以上の高純度電解銅を安定して
得ることができる。
を超音波によって攪拌しつつ銅を電解精製するから、陰
極に安定した銅の析出反応を生じさせることができ、純
度が99.999重量%以上の高純度電解銅を安定して
得ることができる。
Claims (1)
- 硝酸酸性の電解浴を、その塩基度PHを2乃至3に制御
すると共に、超音波によって攪拌しつつ銅を電解精製す
ることを特徴とする高純度電解銅の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62317879A JPH01159391A (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 | 高純度電解銅の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62317879A JPH01159391A (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 | 高純度電解銅の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01159391A true JPH01159391A (ja) | 1989-06-22 |
Family
ID=18093076
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62317879A Pending JPH01159391A (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 | 高純度電解銅の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01159391A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006299308A (ja) * | 2005-04-18 | 2006-11-02 | Katsuhiro Nakayama | 超音波を用いた金属の精錬方法 |
CN103255431A (zh) * | 2013-04-28 | 2013-08-21 | 浙江工业大学 | 一种间接电解制备n2o3或no2与no的混合气体的方法 |
CN107354483A (zh) * | 2017-07-07 | 2017-11-17 | 金川集团股份有限公司 | 一种含镍铜铁钴的硝酸盐溶液生产阴极铜的方法 |
-
1987
- 1987-12-16 JP JP62317879A patent/JPH01159391A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006299308A (ja) * | 2005-04-18 | 2006-11-02 | Katsuhiro Nakayama | 超音波を用いた金属の精錬方法 |
CN103255431A (zh) * | 2013-04-28 | 2013-08-21 | 浙江工业大学 | 一种间接电解制备n2o3或no2与no的混合气体的方法 |
CN103255431B (zh) * | 2013-04-28 | 2016-02-17 | 浙江工业大学 | 一种间接电解制备n2o3或no2与no的混合气体的方法 |
CN107354483A (zh) * | 2017-07-07 | 2017-11-17 | 金川集团股份有限公司 | 一种含镍铜铁钴的硝酸盐溶液生产阴极铜的方法 |
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