JPH01156450U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01156450U JPH01156450U JP5291088U JP5291088U JPH01156450U JP H01156450 U JPH01156450 U JP H01156450U JP 5291088 U JP5291088 U JP 5291088U JP 5291088 U JP5291088 U JP 5291088U JP H01156450 U JPH01156450 U JP H01156450U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- position detector
- channel
- arithmetic circuit
- electron beam
- electron
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000002003 electron diffraction Methods 0.000 claims description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000002128 reflection high energy electron diffraction Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
図面は本考案の実施例を示すもので、第１図は
ＲＨＥＥＤの構成図、第２図は二次元位置検出器
の説明図、第３図は信号処理して得られる回折パ
ターンのプロフアイルを示す説明図である。 １……反射高速電子回折装置（ＲＨＥＥＤ）、
２……電子銃、４……試料、８……二次元位置検
出器（ＰＳＤ）、１２……演算回路、１４……波
高分析器。
ＲＨＥＥＤの構成図、第２図は二次元位置検出器
の説明図、第３図は信号処理して得られる回折パ
ターンのプロフアイルを示す説明図である。 １……反射高速電子回折装置（ＲＨＥＥＤ）、
２……電子銃、４……試料、８……二次元位置検
出器（ＰＳＤ）、１２……演算回路、１４……波
高分析器。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 電子銃から試料表面に照射された電子線の回折
光路上に二次元位置検出器を配置するとともに、 前記二次位置検出器から出力される位置検出信
号に基づいて前記回折電子線の二次元位置検出器
に対する入射位置を算出する演算回路と、 この演算回路の演算結果出力を各チヤンネルご
とに分離して各チヤンネルのパルス数を計測する
波高分折器と、 を備えることを特徴とする反射高速電子回折装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5291088U JPH0734366Y2 (ja) | 1988-04-20 | 1988-04-20 | 反射高速電子回折装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5291088U JPH0734366Y2 (ja) | 1988-04-20 | 1988-04-20 | 反射高速電子回折装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01156450U true JPH01156450U (ja) | 1989-10-27 |
| JPH0734366Y2 JPH0734366Y2 (ja) | 1995-08-02 |
Family
ID=31278906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5291088U Expired - Lifetime JPH0734366Y2 (ja) | 1988-04-20 | 1988-04-20 | 反射高速電子回折装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0734366Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-04-20 JP JP5291088U patent/JPH0734366Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0734366Y2 (ja) | 1995-08-02 |
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