JPH01154937A - エアフィルタ設置用天井フレームの継手 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、いわゆるクリーンルームにおいて天井にエ
アフィルタを設置する際に、天井フレームを構成するチ
ャンネル相互を接続するために用いる天井フレームの継
手に関するものである。

〔従来の技術〕

半導体工業、電子工業、精密機械工業、製薬工業、病院
手術室等で使用されるクリーンルームでは、天井に格子
状に組立てられたエアフィルタ設置用ＩＦフレームにエ
アフィルタを設置すると共に、エアフィルタとフレーム
の接続部分を密封して空気が漏れないようにしている。

たとえば、第４図及び第５図に示すように上方を開放し
たＵ型チャンネル（５１）による天井フレーム（５３）
の場合には、Ｕ型チャンネル（５１）が継手（５２）で
嵌着されて格子状に形成され、さらに、この格子状に形
成された天井フレーム（５３）が、継手本体（５２ａ）
の上面に突設されたボス（５４）上部のネジ穴（５５）
に吊りポルｌ−（５６）が螺着されることによって、天
井に固定される。また、エアフィルタ（５７）のフィル
タ枠（５８）に設けられたスカート部（５９）が、Ｕ型
チャンネル（５１）に挿入され、そこにシール材（６０
）を充填して空気洩れを防止するものである。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、上記従来技術の場合には、照明器具などの軽い
ものは天井フレームに取り付けることができるが、間仕
切り、垂れ壁、特にウェハー搬送装置などの重量物を吊
り下げるには強度的に不充分であった。従って、上記の
ような重量物を吊り下げるには、天井フレームを吊り下
げている吊りボルトでＭ景物を直接吊り下げる必要があ
り、そのためには吊りボルトを天井フレームを貫通して
下方に突出させる必要がある。しかしながらこの場合、
コーキング材によるシールが完全に行なわれないと、エ
アフィルタ上流側の汚れた空気がエアフィルタ下流の清
浄空間側に漏洩する恐れがあるので、吊りボルト用の貫
通孔を天井フレームに設けることは事実上不可能である
。さらに、貫通孔は天井フレーム構造の強度を低下させ
ることにもなる。

この発明は、上記問題点を解決すべくなされたもので、
その目的とするところは、空気が漏洩する恐れがなく重
量物の吊り下げが可能であるエアフィルタ設置用天井フ
レームの継手を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

このため、この発明では、継手本体（３ａ）に設けたボ
ス（６）の上部に吊りボルト（８）を係止する穴（７）
を設けると共に、下部に継手本体（３ａ）を貫通して被
吊下物（１６）を係止する穴（１３）を設けた。

〔作用〕

従ってこの継手（３）は、吊りボルト（８）係止用の穴
（７）を利用して天井に吊り下げることができ、また、
被吊下物係止用の穴（１３）を利用して継手（３）に被
吊下物（１６）を吊り下げることができる。穴（１３）
は継手本体（３ａ）を貫通しているが、ボス（６）は継
手本体（３ａ）に設けられているのでこの部分から空気
が漏れるおそれはない。

他方、被吊下物（１６）はボス（６）を介して吊りボル
ト（８）によって保持されるので、ウェハー搬送装置等
の重量物を吊り下げるのに十分な強度を有する。

〔実施例〕

以下この発明の構成を一実施例として示した図面に従っ
て説明する。

第１図は、この発明に係るエアフィルタ設置用天井フレ
ームの継手の一実施例を示す斜視図である。エアフィル
タ設置用天井フレーム（１）は、０字状の断面を有する
Ｕ型チャンネル（２）が継手（３）に嵌合され、さらに
、リベット（４）で固着されて格子状に形成されている
。前記継手（３）はＵ型チャンネル（２）を１方向以上
から嵌合できるような、例えば十字状等の形状であって
Ｕ型チャンネル（２）を嵌合する際の位置決め用突起（
５）が継手本体（３ａ）に設けられている前記格子状に
形成された天井フレーム（１）は、継手本体（３ａ）と
一体成型されたボス（６）上部に設けられた穴（７）に
ネジ溝が設けられ、この穴（７）に吊りボルト（８）が
螺着されて天井に固定される。

さらに、天井フレーム（１）のし型チャンネル（２）に
シール材（９）が充填され、このシール材（９）にエア
フィルタ（１０）のフィルタ枠（１１）のスカート部（
１２）が挿入されて空気洩れが生じないようになってい
る。

また、前記ボス（６）の下部に継手本体（３ａ）を貫通
するように穴（１３）が設けられており、さらにこの穴
（１３）にはネジ溝が設けられている尚、この穴（１３
）はボス上部に設けられた穴（７）とは連通しないよう
に設けられている。前記継手（３）の下部に吊下部材（
１４）が固着されており、この吊下部材（１４）の継手
（３）への固着は留めビス（１５）をボス（６）下部の
穴（１３）に螺着することによってなされている。さら
に、この吊下部材（１４）に、垂れ壁、カーテン、ウェ
ハー搬送装置等の被吊下物（１６）が吊り下げられる。

前記吊下部材（１４）は、この実施例では被吊下物（１
６）を挟着して吊り下げ可能な形状となっている。

尚、前記継手（３）の下部に吊下部材（１４）を設置し
ない場合は、第３図に示すように、穴（１３）は化粧ビ
ス（１７）等で閉塞される。

また、前記継手（３）とボス（６）とを必ずしも一体成
型しなくても、別個に形成したボス（６）を継手本体（
３ａ）に固着してもよい。

〔発明の効果〕

この発明は上述のような構成を有するものであり、従っ
て、従来天井フレーム（１）に吊り下げ不可能であった
、間仕切り、垂れ壁、ウェハー搬送装置等の重量物を吊
り下げることが可能となる。また、吊りポル１−（８）
及び留めビス（１５）等で固定されているため地震、振
動にも強い。さらに、ボス（６）の穴（７）　　（１３
）は一方から他方へＭ通していないので、汚れた空気が
下流の清浄域に漏洩することば全くない等の優れた効果
を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の一実施例を示す天井フレーム用の
継手部分の全体斜視図。第２図はそのＡ−Ａ線断面図。 第３図はボスに化粧ビスを螺合した状態を示す断面図。 第４図は継手部分の従来技術を示す全体斜視図。第５図
はそのＡ−Ａ線断面図。 （３ａ）・・・継手本体　（６）・・・ボス　（７）・
・・穴（８）・・・吊りポルｌ−（１３）・・・穴　（
１６）・・・被吊下物

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、継手本体（３ａ）に設けたボス（６）の上部に吊り
   ボルト（８）を係止する穴（７）を設けると共に、下部
   に継手本体（３ａ）を貫通して被吊下物（１６）を係止
   する穴（１３）を設けたことを特徴とするエアフィルタ
   設置用天井フレームの継手。