JPH01154577A - 放電励起型短パルスレーザ装置 - Google Patents
放電励起型短パルスレーザ装置Info
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- JPH01154577A JPH01154577A JP31185987A JP31185987A JPH01154577A JP H01154577 A JPH01154577 A JP H01154577A JP 31185987 A JP31185987 A JP 31185987A JP 31185987 A JP31185987 A JP 31185987A JP H01154577 A JPH01154577 A JP H01154577A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は放電励起型短パルスレーザ装置に関するもの
である。
である。
第２図は例えば特開昭６１−１８８９８３号公報に示さ
れた従来の放電励起型短パルスレーザ装置の要部を示す
断面図であり、図において、（１）は高電圧パルス電源
、（２）は第１の主電極、（３）はこの第１の主電極（
１）と対向して股ゆられた第２の主電極、（４）は第２
の主電極（３）の背面部に密着して設けられた誘電体、
（５）は補助電極、（６）は高圧パルス電源、（７）は
第２の主電極（３）に複数設けられた開孔部、（８）は
主放電、（９）は予備電離領域、（１ｏ）は絶縁体であ
る。なお、上記一対の主電極（２） 、 （３）は図示
しないレーザ媒質中に配設されている。
れた従来の放電励起型短パルスレーザ装置の要部を示す
断面図であり、図において、（１）は高電圧パルス電源
、（２）は第１の主電極、（３）はこの第１の主電極（
１）と対向して股ゆられた第２の主電極、（４）は第２
の主電極（３）の背面部に密着して設けられた誘電体、
（５）は補助電極、（６）は高圧パルス電源、（７）は
第２の主電極（３）に複数設けられた開孔部、（８）は
主放電、（９）は予備電離領域、（１ｏ）は絶縁体であ
る。なお、上記一対の主電極（２） 、 （３）は図示
しないレーザ媒質中に配設されている。
次に動作について説明する。多数の開孔部（７）を有す
る第２の主電極（３）と誘電体（４）を介して補助１極
（５）に高電圧パルス電源（６）で課電すると誘電体（
４）と第２の主電極（３）との間で沿面放電し電子が多
数生成し、第１の主電極（２）と第２の主電弥の間に予
備電離領域（９）が形成される。この状態で一対の主電
極（２）と（３）の間に高圧パルス電源（１）によって
電圧をｉｔすることてよりパルスレーザ−光を得ること
ができる。
る第２の主電極（３）と誘電体（４）を介して補助１極
（５）に高電圧パルス電源（６）で課電すると誘電体（
４）と第２の主電極（３）との間で沿面放電し電子が多
数生成し、第１の主電極（２）と第２の主電弥の間に予
備電離領域（９）が形成される。この状態で一対の主電
極（２）と（３）の間に高圧パルス電源（１）によって
電圧をｉｔすることてよりパルスレーザ−光を得ること
ができる。
従来の放電励起型短パルスレーザ装置は以上のように構
成されているので、第２の主電極（３）と補助電極（５
）の短絡を防ぐため誘電体（４）を大きくしなければな
らず、また、補助電極（５）と誘電体（４）の間に入り
込んだ耐電圧の小さいハロゲンガスのストリーマによっ
て誘電体（４）の貫通絶縁破壊が生じるという問題点が
あった。
成されているので、第２の主電極（３）と補助電極（５
）の短絡を防ぐため誘電体（４）を大きくしなければな
らず、また、補助電極（５）と誘電体（４）の間に入り
込んだ耐電圧の小さいハロゲンガスのストリーマによっ
て誘電体（４）の貫通絶縁破壊が生じるという問題点が
あった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、耐電圧性能にすぐれかつ小型で信頼性の高い
放電励起型短パルスレーザ装置を得ることを目的とする
。
たもので、耐電圧性能にすぐれかつ小型で信頼性の高い
放電励起型短パルスレーザ装置を得ることを目的とする
。
この発明に係る放電励起型短パルスレーザ装置は、補助
電極のまわりにマイカ被覆層を設けると共に、この補助
電極と誘電体とを注型樹脂で一体化したものである。
電極のまわりにマイカ被覆層を設けると共に、この補助
電極と誘電体とを注型樹脂で一体化したものである。
この発明における補助電極は、そのまわりを誘電率が高
く、耐コロナ性に優れ、かつ耐電圧の犬ぎいマイカ粉末
で覆い、しかもこの補助電極と誘電体とを注型樹脂で一
体化したことにより、第２の主電極と補助電極との間の
耐電圧を高め、さらに一体化により耐電圧の小さいハロ
ゲンガスのストリーマが補助電極と誘電体の間に入り込
むのを防ぐ。
く、耐コロナ性に優れ、かつ耐電圧の犬ぎいマイカ粉末
で覆い、しかもこの補助電極と誘電体とを注型樹脂で一
体化したことにより、第２の主電極と補助電極との間の
耐電圧を高め、さらに一体化により耐電圧の小さいハロ
ゲンガスのストリーマが補助電極と誘電体の間に入り込
むのを防ぐ。
以下この発明の一実施例を図について説明する。
第１図において、（５０）はリード引出端子（２４）を
有する補助電極でありこの補助電極（５ｏ）は、予め酸
洗浄した後水洗し、マイカ粉末（３５メツシユ以下）ト
エボキシ系アニオンバインダー液とを混合した電着液に
浸漬し、この補助電極（５ｏ）を陽極にして直流をｆｉ
［Ｌ、マイカ粉とバインダを電極（５０）表面にマイカ
層が補助電極表面と平行になる様に析出させた後、水洗
し熱風乾燥することによってマイカ被覆層（２１）を形
成する。
有する補助電極でありこの補助電極（５ｏ）は、予め酸
洗浄した後水洗し、マイカ粉末（３５メツシユ以下）ト
エボキシ系アニオンバインダー液とを混合した電着液に
浸漬し、この補助電極（５ｏ）を陽極にして直流をｆｉ
［Ｌ、マイカ粉とバインダを電極（５０）表面にマイカ
層が補助電極表面と平行になる様に析出させた後、水洗
し熱風乾燥することによってマイカ被覆層（２１）を形
成する。
次いで、図示しない金型に誘電体（４）と上記マイカ被
覆層（２１）を設けた補助電極（５０）を固定して、注
型樹脂（チパガイギー社製アラルダイトＣＹ２２１とア
ラルダイトＨＹ２９６７の１００：３５混合物）を流し
込んで硬化成形して補助電極（５０）と誘電体（４）と
を一体化し、注型樹脂層（２２）を設ける。そして、望
ましくは注型樹脂（２２）の表面をフッ素樹脂塗料（旭
硝子製ルミフロン１００）で塗布し乾燥することにより
保護膜（２３）を形成する。
覆層（２１）を設けた補助電極（５０）を固定して、注
型樹脂（チパガイギー社製アラルダイトＣＹ２２１とア
ラルダイトＨＹ２９６７の１００：３５混合物）を流し
込んで硬化成形して補助電極（５０）と誘電体（４）と
を一体化し、注型樹脂層（２２）を設ける。そして、望
ましくは注型樹脂（２２）の表面をフッ素樹脂塗料（旭
硝子製ルミフロン１００）で塗布し乾燥することにより
保護膜（２３）を形成する。
このように、上記実施例では、耐コロナ性に−ｊぐれた
マイカ被覆層（２１）を補助電極（５０）の周囲に緻密
に設けたので、コロナの発生によるｉｔ体（４）の絶縁
破壊が防止できる。また、補助電極（５０）を耐電圧が
大きくて絶縁性能にすぐれた注型樹脂でモールドしたこ
とにより、沿面距離を大きくできる。従って補助電極（
５０）と第２の主電極（３）の短絡を防止する効果のあ
る誘電体（４）を小さくでき装置が小形にできる。
マイカ被覆層（２１）を補助電極（５０）の周囲に緻密
に設けたので、コロナの発生によるｉｔ体（４）の絶縁
破壊が防止できる。また、補助電極（５０）を耐電圧が
大きくて絶縁性能にすぐれた注型樹脂でモールドしたこ
とにより、沿面距離を大きくできる。従って補助電極（
５０）と第２の主電極（３）の短絡を防止する効果のあ
る誘電体（４）を小さくでき装置が小形にできる。
また、フッ素樹脂塗料による保護膜（２３）を設けたこ
とにより、レーザ媒質中のフッ素ガスなどのハロゲン九
対する注型樹脂層（２２）の劣化が防止できると共に、
注型樹脂層（２２）とハロゲンの反応によって生成する
ガスによるレーザ媒質の純度の低下によるレーザ出力の
低下を防止できる。
とにより、レーザ媒質中のフッ素ガスなどのハロゲン九
対する注型樹脂層（２２）の劣化が防止できると共に、
注型樹脂層（２２）とハロゲンの反応によって生成する
ガスによるレーザ媒質の純度の低下によるレーザ出力の
低下を防止できる。
なお上記実施例では注型樹脂層（２３）としてエポキシ
樹脂を用いたものを示したが、これに限定されるもので
はなく、例えばポリエステル樹脂。
樹脂を用いたものを示したが、これに限定されるもので
はなく、例えばポリエステル樹脂。
ポリウレタン樹脂、シリコン樹脂などを用いてもよい。
また注型樹脂に、石英粉末、酸化アルミニウム粉末、メ
ルク粉末、酸化マグネシウム粉末。
ルク粉末、酸化マグネシウム粉末。
弁柄などの無機質粉末を混合して用いてもよい。
また、注型樹脂（２２）として、ハロゲンガスに対し、
耐劣化性を有するものを用いた場合には上記保護膜（２
３）は省いても差支えない。
耐劣化性を有するものを用いた場合には上記保護膜（２
３）は省いても差支えない。
さらに、マイカ被覆層（２１）の形成方法等は、上記実
施例のものに限定されるものでないことは当然である。
施例のものに限定されるものでないことは当然である。
以上のように、この発明によれば補助電極の周囲をマイ
カ被覆層でおおってかつ注型樹ｙで誘電体と補助電極を
一体成形したので耐電圧性にすぐれ、信頼性が高く小型
のものが得られる効果がある。
カ被覆層でおおってかつ注型樹ｙで誘電体と補助電極を
一体成形したので耐電圧性にすぐれ、信頼性が高く小型
のものが得られる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による放電励起型短パルス
レーザ装置の要部を示す断面図、第２図は従来装置の要
部を示す断面図である。 図において、（２）は第１の主電極、（３）は第２の主
電極、（４）は誘電体、（５０）は補助電極、（７）は
開孔部、（２１）はマイカ被覆層、（２２）は注型樹脂
層である。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示すものとす
る。 ２１；マイ２７辛反テシΔ台 ２２：注型＋訂月■ 手続補正書 昭和６′３ｉｒ−５月２５０
レーザ装置の要部を示す断面図、第２図は従来装置の要
部を示す断面図である。 図において、（２）は第１の主電極、（３）は第２の主
電極、（４）は誘電体、（５０）は補助電極、（７）は
開孔部、（２１）はマイカ被覆層、（２２）は注型樹脂
層である。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示すものとす
る。 ２１；マイ２７辛反テシΔ台 ２２：注型＋訂月■ 手続補正書 昭和６′３ｉｒ−５月２５０
Claims (3)
- （１） レーザ媒質中に、第１の主電極と、この第１の
主電極に対向して設けられた複数の開孔部を有する第２
の主電極とを配設すると共に、上記第１の主電極の背面
部に誘電体を介して設けられた補助電極を備えた放電励
起型短パルスレーザ装置において、上記補助電極のまわ
りにマイカ被覆層を設けると共に、この補助電極と誘電
体とを注型樹脂で一体化したことを特徴とする放電励起
型短パルスレーザ装置。 - （２） 補助電極は、マイカ粉末を有機バインダに分散
させた電着マイカ液を用いて表面にマイカ粉末を電着し
たものであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の放電励起型短パルスレーザ装置。 - （３） 注型樹脂で一体化した部分の表面は、フツ素樹
脂塗料で塗装したものであることを特徴とする特許請求
の範囲第１項または第２項記載の放電励起型短パルスレ
ーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31185987A JPH01154577A (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 | 放電励起型短パルスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31185987A JPH01154577A (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 | 放電励起型短パルスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01154577A true JPH01154577A (ja) | 1989-06-16 |
Family
ID=18022277
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31185987A Pending JPH01154577A (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 | 放電励起型短パルスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01154577A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7132123B2 (en) * | 2000-06-09 | 2006-11-07 | Cymer, Inc. | High rep-rate laser with improved electrodes |
| JP2009200520A (ja) * | 2000-03-15 | 2009-09-03 | Komatsu Ltd | ガスレーザ用電極、その電極を用いたレーザチャンバ及びガスレーザ装置 |
-
1987
- 1987-12-11 JP JP31185987A patent/JPH01154577A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009200520A (ja) * | 2000-03-15 | 2009-09-03 | Komatsu Ltd | ガスレーザ用電極、その電極を用いたレーザチャンバ及びガスレーザ装置 |
| US7132123B2 (en) * | 2000-06-09 | 2006-11-07 | Cymer, Inc. | High rep-rate laser with improved electrodes |
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