JPH01154063A - ペリクル枠 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、フォトマスクに、ベリクルをｔＡｌｔする時
に用いるベリクル枠に関する。

〔発明の概要〕

本発明は、フォトマスクに、ベリクルをＨｇｌする時に
用いるベリクル枠において、その少なくとも一部に、開
口部を設けることにより、フォトマスクと、ベリクル、
及び、ベリクル枠で囲まれる密閉部に通気性をもたせ、
大気圧変化による、ベリクル面の上下動をなりシ、この
ベリクル面の外形変化に伴なう、マスク搬送トラブルや
、光学特性の変化を防止するものである。

〔従来の技術〕

第２図は、従来のベリクル枠を用いて、フォトマスクに
、ベリクルをＨ＠した時の断面図である。

ベリクル２２は、まず、ベリクル枠２３に接着。

され、更に、このベリクル枠２３が７オツトマスク２１
に接着固定される。この時、ベリクル枠２３には、開口
部がないため、フォトマスク２１と、ベリクル２２、及
び、ベリクル枠２３で囲まれる密閉部２４が作られる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、前述の従来技術では、以下なる問題点を育する
。

フォトマスクと、ベリクル、及び、ベリクル枠で囲まれ
る密閉部が存在し、更に、ベリクルが薄膜であることか
ら、第２図に示すように、大気圧変化によって、ベルク
リ面が上下動してしまう。

また、航空便によるマスク輸送や、台風の通過等、急激
な大気圧変動では、このベリクル面の外形変化に伴なっ
て、マスク搬送トラブルや、光学特性の変化が生じる。

そこで、本発明は、このような問題点を解決するもので
、その目的とするところは、ベリクル面の外形変化に伴
なう、マスク搬送トラブルや、光学特性の変化を防止す
るところにある。

〔問題点を解決するための手段〕

フォトマスクに、ベリクルをＨ’ｆｌするためのベリク
ル枠において、その少なくとも一部に、開口部を設ける
ことを特徴とする。

〔実施例〕

第１図は、本発明の実施例におけるベリクル枠を用いて
、フォトマスクに、ベリクルを装着した時の断面図であ
る。

従来技術と同様に、ベリクル１２は、まずベリクル枠工
３に接着され、更に、このベリクル枠１３が、フォトマ
スク１１に接着固定される。そして、ベリクル枠１３の
側面には、切削加工により、開口部１５が一つ設けられ
ている。

本発明の実施例によれば、前記開口部１５が設けられて
いるために、フォトマスク１１と、ベリクル１２、及び
、ベリクル枠１３で囲まれる密閉部１４に、通気性がも
たされ、大気圧変化による、ベリクル面の上下動がな（
なり、このベリクル面の外形変化に伴なうマスク搬送ト
ラブルや、光学特性の変化を防止することができる。

以上、本実施例では、ベリクル枠の側面に、開口部を一
つ設けた場合について述べたが、ベリクル枠の側面以外
の部分に、または、複数個の開口部を設ける場合につい
ても、同様な利点が得られ、更に、本発明の要旨を逸し
ない範囲で、種々応用が可能であることは言うまでもな
い。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明によれば、フォトマスクに、
ベリクルを装着するためのベリクル枠において、その少
なくとも一部に、開口部を設けることにより、フォトマ
スクと、ベリクル、及び、ベリクル枠で囲まれる密閉部
に通気性をもたせ、大気圧変化によるベリクル面の上下
動をなくし、このベリクル面の外形変化に伴なう、マス
ク搬送トラブルや、光学特性の変化を防止するという効
果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例によるベリクル枠を用いて、
フォトマスクに、ベリクルを装着した時の断面図である
。 第２図は、従来のベリクル枠を用いて、フォトマスクに
、ベリクルを装着した時の断面図である。 １１・・・フォトマスク エ２・・・ベリクル １３・・・ベリクル枠 １４・・・密閉部 １５・・・開口部 ２１・・・フォトマスク ２２・・・ベリクル ２３・・・ベリクル枠 ２４・・・密閉部 以　　上 出願人　セイコーエプソン株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　フォトマスクに、ベリクルを装着するためのベリクル
   枠において、その少なくとも一部に、開口部を設けたこ
   とを特徴とするベリクル枠。