JPH01152336A - 設備診断装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、振動が多く発生する工場等において振動の原
因となる各種装置、設備の状態を監視し異常を発見する
設備診断装置のシステム構成の改良に関する。

［従来の技術］ 振動が多く発生しやずい工場等に配設された従来の設備
診断装置の端末ユニット及びシステム構成を第４図及び
第５図に示す。第４図の端末ユニットは基本ユニットと
してのマルチプレックスモニタである。このマルチプレ
ックスモニタ１００は入力チャンネルとして各々その外
ｍ部に振動センサ１０１を備えた８本のチャンネルを有
し、各入力チャンネルの振動センサ１０１は監視すべき
対象である設備上の適宜な箇所に取り付けられ、これら
の振動センサ１０１は取付は箇所で発生する振動を電気
信号に変換して出力する。マルチプレックスモニタ１０
０は８個の振動センサ１０１から出力される電気信号を
所定の順序で取り入れ、その電気信号を内部に設けられ
たフィルタ機能や測定機能を用いて解析し、このように
して８本の入力チャンネルで得られた振動に関する測定
データを外部へ伝送する。伝送された測定データは処理
回路で処理され、これによって監視対象についての診断
結果が得られる。

また、測定点が９箇所以上となる場合には、マルチプレ
ックスモニタ１００と８本の入力チャンネルとから成る
前記基本ユニットＡを増設するシステム構成が採用され
る。この構成を示すのが第５図である。このシステム構
成では最大１６台の基本ユニット八が分散的に配設され
、各ユニットのマルチプレックスモニタ１００で稈られ
た測定データは、モデム１０２を介してデータ処理及び
診断を行うコンピュータ１０３に伝送される。

［発明が解決しようとする固頂点］ 前述した従来の設備診断装置のシステム構成によれば、
測定点の増加に伴い複数台の基本ユニットＡを配設する
必要が生じた場合、各基本ユニットＡは高度の機能を有
した高価なマルチプレックスモニタ１００を含むため、
システム全体の価格が高くなる。特に測定点が多い工場
などに従来の設備診断ＩＡ置を配備する場合に斯かる問
題が顕著になる。

また、振動検出を利用した設備診断では、従来、設備の
振動状態を１日に数点ずつ長期間観察し、その振動状態
の変化を把握して設備の修理、交換時期を知ることによ
って設備の効率的運用を図るものがある。このような設
備診断装置では、精密診断が要求されないので、８チ１
７ンネルごとに高価な高度機能を有したマルチプレック
スモニタを設置する必要はない。

更に、振動センサから出力された振動情報を含む信号を
アナログ信号のまま伝送するようにすれば、波形処理部
でもアナログ信号のままであるから、波形の観測が可能
になり、また処理も容易となる。そのために、そのよう
な信号伝送の形式が強く要求されている。

本発明の目的は、システム全体が簡単がっ低価格で構成
でき、振動に係る信号をアナログ信号のままで伝送でき
る設備診ＩＦｉ装置を提供することである。

［問題点を解決するための手段及びその作用１本発明に
係る設備診断装置は、フィルタ機能や測定機能等の高度
な機能を内蔵した少なくとも１台の多機能マルチプレッ
クスモニタと、複数本の入力チャンネルを備え入力チャ
ンネルに接続された振動センサから振動信号を取り出す
機能を有する複数台の単機能マルチプレックスモニタと
を含み、多機能マルチプレックスモニタ及び単機能マル
チプレックスモニタはコマンド入力ボートとコマンド出
力ボートを備え、多機能マルチプレックスモニタが発す
る、振動信号を取り込むべき振動センサを決定するため
のアドレス指示及びチャンネル指示等の各稜制御信号が
、前記入力ボート及び出力ボートを介して全単機能マル
チプレックスモニタへ伝送されるように、上位機として
の多様能マルチプレックスモニタ及び下位機としての少
数台の単機能マルチプレックスモニタをカスケードに接
続し、一方、前記１ｉＩＪ御信号で選択された単機能マ
ルチプレックスモニタの入力チャンネルによって取り込
まれる振動情報を含む電気的アナログ信号は、他のＩｉ
ｎ能マルチプレックスモニタの例えば一つの入力チャン
ネルを経て多機能マルチプレックスモニタまで伝送され
、ここで波形処理されるように構成される。

［実施例］ 以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて説明する。

第１図は本発明に係る設備診断装置の全体的構成をブロ
ック図で示す。第１図において、１は上位！！１（親機
）としての役割を有する多機能マルチプレックスモニタ
であり、２は下位機（子機）としての役割を有する単機
能マルチプレックスモニタである。多機能マルチプレッ
クスモニタ１は図示例では例えば１台用意され、単機能
マルチプレックスモニタ２は複数台、例えば最大１６台
用意される。これらの多機能マルチプレックスモニタ１
と単機能マルチプレックスモニタ２は図示される通り後
述されるｆｔ１ｌ　ｔＸＩ信号等の授受１」係からみて
カスケードに接続されている。多機能マルチプレックス
モニタ１及びＩｒｉ機能マルチプレックスモニタ２はそ
れぞれ例えば最大８チヤンネルのセンサ信号入力チャン
ネル３を有し、各入力チャンネル３の部分には原則とし
て例えば圧電型の振動センサ４が接続され、これらの振
動センサは、対応する監視対象に生じる振動に感応し振
動信口としての電気信号（アナログ信号）に変換して出
力する。

ただし、８チヤンネルの入力チャンネル３のすべてに振
動センサ４が設けられているのは、カスケード接続にお
いて末端に位置する単機能マルチプレックスモニタ２の
みであって、その他の単機能マルチプレックスモニタ２
及び多機能マルチプレックスモニタ１のそれぞれの８チ
ヤンネルの入力チャンネルについては、そのうちの例え
ば７チヤンネルに対して振動センサ４が接続され、残り
の１チヤンネル（図示例ではそれぞれ最下位の入力チャ
ンネル）には後段（図示例では多機能マルチプレックス
モニタ１側を前段とする）に位置する単機能マルチプレ
ックスモニタの出力端５から発生される出力信号が線路
６を介して入力される。

この出力信号は、後段側に位置する振動センサのうち選
択された任意の撮動センサが出力した振動情報を含む電
気的アナログ信号である。

ここで、前記ブロック１の「多機能マルチプレックスモ
ニタ」とブロック２の［単機能マルチプレックスモニタ
」の各名称の意味を概説する。ブロック１．２で示され
る装置は前記の通りそれぞれ複数のセンサ信号入力チャ
ンネルを有しており、これらのチャンネルで取り出され
る複数のセンサ信号は後述される如く外部からのアドレ
ス指示命令及びチャンネル指示命令によって任意のセン
サ信号が選択され、内部に設けられた後述のマルチプレ
クサを介して出力端５に出力される。従ってブロック１
．２は入力される複数のセンサ信号を適宜に選択して同
一線路で１つずつ出力する機能を有しているため「マル
チプレックス」という名称が付される。また、各入力チ
ャンネルに取り付けられる振動センサ４は、監視すべき
設備の適宜な箇所に配置され、当該設備の各箇所の振動
情報を取り入れ、振動に関する監視を行うので、更に「
モニタ」という名称が付加される。一方、ブロック２で
示される「マルチプレックスモニタ」は後述の内部構造
の説明で明らかなように複数の振動センサによって振動
情報を取り出すという１つの機能を有するという意味で
「単機能マルチプレックスモニタ」と呼ぶ。またブロッ
ク１で示される「マルチプレックスモニタ」は、それ自
身の複数の振動センサのそれぞれによって振動情報を取
り出すという機能と、それ自身が検出した振動情報及び
他の単機能マルチプレックスモニタ２が検出した振動情
報に係る電気的アナログ信号を所定の手法で解析して監
視対象の故障診断に係る測定データを得る１ａ能を有す
るという意味で「多機能マルチプレックスモニタ」を呼
ぶ。なお、前記によれば、各単機能マルチプレックスモ
ニタ２の各振動センサで検出された振動情報を含む電気
的アナログ信号は、その信号処理のため最終的に多機能
マルチプレックスモニタ１まで伝送される必要がある。

従って、前述のカスケード接続において中間に位四する
単機能マルチプレックスモニタ２はそれより後段の単機
能マルチプレックスモニタ２で得られた振動センサの出
力である電気的アナログ信号を前段へ伝送する機能をも
有しているが、親機のように複雑で高価な波形処理の機
能を備えていないという意味で「単機能マルチプレック
スモニタ」と呼ぶことにする。

再び第１図に戻り、構成の説明な続番プる。各単機能マ
ルチプレックスモニタ２及び多機能マルチプレックスモ
ニタ１のそれぞれは例えば工場内の対応する設備等に分
散的に配設され、それぞれの複数の振動センサ４は前記
設備の所要の箇所に分散して取り付けられ、当該箇所の
振動を検出する。

工場内の設備や装置は、空間的に広い範囲にわたって配
置されているので、各単機能マルチプレックスモニタ２
、多機能マルチプレックスモニタ１の間の距離は比較的
大きなものになる。従って、単機能マルチプレックスモ
ニタ２及び多機能マルチプレックスモニタ１のそれぞれ
の間を接続する検出信号を伝送するための線路６、アド
レスやチＡ７ンネルを指示する命令を伝送するためのバ
ス線路７は比較的良いものになる。中機能マルチプレッ
クスモニタ２と多機能マルチプレックスモニタ１の電気
的接続関係は、前述した通りバス線路７の図示から明ら
かなように基本的にカスケードの状態に接続される。た
だし、線路６における信号の流れは後段から前段に向う
ようになっており、前段から後段に向うバス線路７の向
きとは反対になっている。またバス線路７の中において
も特定の制御信号（ＡＣＫ信号）は後述するように後段
から前段に向うように構成されるが、第１図では゛説明
の簡略化のために正確に示されていない。各バス線路７
は前段側の多機能又は単機能のマルチプレックスモニタ
の出力ボート９と後段側の単機能マルチプレックスモニ
タの入力ボート８との問を接続する。ただし、多機能マ
ルチプレックスモニタ１の入力ボートと、末端の単機能
マルチプレックスモニタ２の出力ボートは使用されない
。

更に、多機能マルチプレックスモニタ１及び各単機能マ
ルチプレックスモニタ２のそれぞれには表示部１０と操
作部１１が設けられている。表示部１０は例えば複数の
振動センサのうちどのセンサの検出信号が取り込まれて
いるかを表示する。

また、操作部１１は、リモートコントロールではなく、
例えばマニュアルで振動センサに係るチャンネルを選択
する場合のために儀えられるものである。

１２はホストコンピュータで、Ｊｉｉｌｌ的に多機能マ
ルチプレックスモニタ１におけるアナログ波形処理で得
られた測定データはホストコンピュータ１２に送られ、
ここに貯えられて、監視対象の設備についての診断が行
われることになる。

次に第２図に基づいて単機能マルチプレックスモニタ２
の詳細な構成を説明する。

第２図において、３−１〜３−８は入力チャンネルであ
り、入力チャンネル３−１〜３−７には振動センサ４が
接続され、最下位の入力チャンネル３−８には、末端の
１１１１能マルチプレツクスモニタでは振動センサが、
それ以外のものでは後段側の直後の単機能マルチプレッ
クスモニタの出力端が接続される。図示例では撮動セン
サ４が接続された例が示されている。なお、後段の単機
能マルチプレックスモニタの出力端が接続される入力チ
ャンネルは最下位のものに限られない。すべての入力チ
ャンネル３−１〜３−８はそれぞれプリアンプ２１を備
えマルチプレクサ２２に接続されている。マルチプレク
サ２２の出力端２２ａはバッファ２３を介して単機能マ
ルチプレックスモニタ２の出力端子５に接続される。

８はコマンド入力ボートで、９はコマンド出力ボートで
ある。入力ボート８には前段の多機能マルチプレックス
モニタ又は単機能マルチプレックスモニタの出力ボート
からバス線路７を介して８種類の制御信号が供給される
。８種類の制御信号のうち、ＣＨ３０〜ＣＨ３２の３ビ
ツトの制御信号は、多機能マルチプレックスモニタ１よ
り発せられ、マルチプレクサ２２において人カチャンネ
ル３−１〜３−８のうちいずれか１つを選択して出力さ
せるためのチャンネル指示命令の信号であり、通過許容
状態にあるレシーバ２４及びセレクタ２５を介してマル
チプレクサ２２に供給される。

またＡＤＲＯ−ＡＤＲ３の４ビツトの制御信号は、同じ
く多機能マルチプレックスモニタ１より発せられ、複数
台の単機能マルチプレックスモニタ２のうちいずれから
振動情報を得るかを決定するアドレス指示命令の信号で
あり、ディジタルコンパレータ２６に入力されここでア
ドレススイッチ２７から供給される単機ｌマルチプレッ
クスモニタ自身のアドレスと比較される。ＡＤＲＯ〜Ａ
ＤＲ３の制御信号とアドレススイッチ２７から供給され
るアドレスが一致するとディジタルコンパレータ２６は
出力信号を出し、この出力信号は、レシーバ２４に与え
られてレシーバ２４を通過許容状態にセットし制御信号
ＣＨ３０−ＣＨ３２を通過せしめると共に、ＯＲゲー１
〜２８の一方の入力端に与えられ受信したことを多機能
マルチプレックスモニタ１へ知らせるＡ　ＣＫ、信号と
して入力ボート８及びバス線路７を介して前段方向へ返
送される。またＯＲゲート２８の他方の入力端には、後
段側の単機能マルチプレックスモニタ２から返送されて
くるＡＣＫ信号（後段の単機能マルチプレックスモニタ
でアドレス指示命令が受信された場合に生じる）が入り
、更に前段へと転送される。

前段から与えられる残りの制御信号ＲＥＮは多様能マル
チプレックスモニタ１で発せられたリモートコントロー
ルを行うための制御信号で、この制御信号ＲＥＮがセレ
クタ２５に入力されると、セレクタ２５はリモートコン
トロールをマニュアルコントロールよりも優先する、１
なわちレシーバ２４から送られてくるチャンネル指示命
令を優先してマルチプレクサ２２に提供する。なお、制
御信号ＲＥＮは表示部１０にも与えられ、表示部１０を
駆動することにより、セレクタ２５から与えられる制御
信号ＣＨ３０〜ＣＨ３２を用いて、読み出すべきチャン
ネルを表示せしめる。

また出力ボート９の各制御信号ＣＨ３０〜ＣＨ３２，Ａ
ＤＲＯ〜ＡＤＲ３，ＲＥＮの各端子はバッファ２９を介
して前記入力ボート８のそれぞれ対応する制御信号の端
子に接続されている。

この接続関係によって、前段側より送られてきた各種制
御信号は入力ボート８の対応する各端子に入った後分岐
しバッファ２９を介して出力ボート９の各端子に送られ
、更にバス線路７で後段の単機能マルチプレックスモニ
タ２の方へ伝送される。

出カポ−１−９の制御信＠ＡＣＫの端子は、前述の通り
ＯＲゲート２８を通って入力ボート８のＡＣＫ信号の端
子に接続される。

３０はチャンネル選択スイッチで、前記操作部１１に設
けられたマニュアル操作のためのスイッチである。８個
の選択端子３０ａはそれぞれ８本の入力チャンネル３−
１〜３−８に対応しており、可動子３０ｂでいずれかの
端子３０ａを選択すると８−３デコーダ３１によってチ
ャンネル指示信号がセレクタ２５に与えられる。

次に第３図に基づいて多機能マルチプレックスモニタ１
の詳細な構成を説明する。

第３図において、多機能マルチプレックスモニタ１はＣ
ＰＵ４０とＲＯＭ４１とＲＡＭ４２を含み、ＲＯＭ４１
には入力された振動情報を含む電気的アナログ信号を波
形処理するための所定のプログラムが内蔵され、ＲＡＭ
４２はＣＰＬＩ４０における前記波形処理で得られた測
定データが記憶される。４３はインターバルタイマ、４
４はリアルタイマクロツタ、４５はバッテリバックアッ
プである。リアルタイマクロック４４は測定のためのイ
ンターバルを定め、インターバルタイマ４３は成るレベ
ルが成る時間以上続くか否かをみるための時間を設定す
るタイマである。またバッテリバックアップ４５の出力
はＲＡＭ４１　、リアルタイマクロック４４に供給され
る。

４６は測定ブロック、１０は表示部、１１は複数の選択
キーを備える操作部である。測定ブロック４６は、第１
図及び第２図から明らかなように、中機能マルチプレッ
クスモニタ２と同様に８本の入力チャンネル、７個（又
は８個）の振動センサ、各入力チャンネルに設けられた
プリアンプ、セレクタ等を含むと共に、コマンドインタ
フェースであるバス線路７を介して後段側の直後の中機
能マルチプレックスモニタと接続される。測定ブロック
４６には測定制御部４７、Ｄ／Ａコンバータ４８、測定
データ入力部４９が付設される。表示部１０は、振動情
報を読み出している単機能マルチプレックスモニタのア
ドレスや振動センサのチャンネル等を表示し、操作部１
１は読み出そうとする振動情報に関する単Ｉｌ能マルチ
プレックスモニタのアドレスや振動センサのチャンネル
等を指示するためのものである。表示部１０には表示部
制御部５０が、操作部１１には操作信号入力部５１がそ
れぞれ付設されている。

多１１ｔｌマルチプレックスモニタ１における上記の各
回路要素は内部バス５２で接続されている。

また多機能マルチプレックスモニタ１の内部バス５２は
、バスバッファ５３及び差込み用ボードであるオプショ
ンボード５４を介し、更に外部インタフェース５５を介
してホストコンピュータ１２に接続されている。

次に前記の構成を有する設備診断装置の作用を説明する
。

今、設備診断装置はリモートコントロールで動作するも
のとする。多機能マルチプレックスモニタ１内のＣＰＵ
４０は、ＲＯＭ４１に記憶されるプログラムに従って、
多機能マルチプレックスモニタ１と例えば１６台の各単
機能マルチプレックスモニタ２とに備えられる複数個の
振動センサの中から所定の時間間隔及び所定の順序で任
意のセンサ出力信号を読み込むために、モニタ装置を決
めるアドレス指示命令ＡＤＲＯ〜ＡＤＲ３と入力チャン
ネルを決めるチャンネル指示命令ＣＨ３０〜ＣＨ３２の
ｖＩＩＩｌ信号を発生する。これらの制御信号はバス線
路７を介して後段方向へ送られ、カスケードに接続され
た各単機能マルチプレックスモニタ２の入力ボート８、
バッファ２９、出力ボート９を通って末端の単機能マル
チプレックスモニタまで伝送される。各単機能マルチプ
レックスモニタ２は、入力ボート８から前記制御信号Ａ
ＤＲＯ−ＡＤＲ３，ＣＨ３０〜ＣＨ３２を入力し、伝送
されてきたＡＤＲＯ〜ＡＤＲ３と自己のアドレスとをデ
ィジタルコンパレータ２６で比較する。ＡＤＲＯ−ＡＤ
Ｒ３と自己のアドレスとが一致しないときにはディジタ
ルコンパレータ２６は出力信号を出さない。一致したと
きにはレシーバ２４とＯＲゲート２８に対して一致した
ことを示す出力信号を出す。レシーバ２４はこの信号を
受けて制御ｌ信号ＣＨ３０−ＣＩ−１８２を受信し、こ
れをセレクタ２５へ送る。セレクタ２５はリモートコン
トロール状態ではＩＩＪＩＩＩ信号ＲＥＮが入力されて
いるから、レシーバ２４からのＩＩ　ｔｌｌ信号を優先
してマルチプレクサ２２に送る。マルチプレクサ２２は
この制御信号で指示される入力チャンネルを選択しこれ
を通して振動センサの出力信号を取り入れ、バッファ２
３を介して出力端子５へ送り、振動センサの出力信号は
、ここから電気的アナログ信号のままの状態で線路６を
介して多１１能マルチプレックスモニタ１まで伝送され
る。この際、振動センサの出力信号はプリアンプ２１に
よって所定レベルまで増幅される。またＯＲゲート２８
に入力された前記信号は、ＡＣＫ信号とじてバス線路７
を介して多機能マルチプレックスモニタ１まで伝送され
る。

ところで、アドレス指示命令を受信した単Ｉｌ能マルチ
プレックスモニタ２と多機能マルチプレックスモニタ１
の中間位置に他の単機能マルチプレックスモニタ２が存
在する場合、この単機能マルチプレックスモニタは、前
記＊ｍ能マルチプレックスモニタ２の出力端子５から出
る出力信号を入力チャンネル３−８で入力し、プリアン
プ２１で増幅した後マルチプレクサ２２、バッファ２３
、出力端子５を介して更に前段へ送る。上記作用は中間
位置に存在するすべての単機能マルチプレックスモニタ
２において行われる。このようにして、アドレス指示命
令を受信し指示された入力チャンネルで自己の振動セン
サの出力信号を読み込んだ単１ｌｉｌＩ！マルチプレッ
クスモニタ２の出力した電気的アナログ信号は、中間位
置にある単機能マルチプレックスモニタを経て最終的に
多機能マルチプレックスモニタ１まで伝送される。また
入力ボート９から出たＡＣＫ信号も、バス線路７及び中
間位置にある伯の単機能マルチプレクサモニタの出力ボ
ート９、ＯＲゲート２８、入力ボート８を通って多機能
マルチプレックスモニタ１まで伝送される。

上記のようにして多機能マルチプレックスモニタ１は、
ＡＣＫ信号によって自己が発したＩＩ　ｔＥ信号が対応
する単機能マルチプレックスモニタで受信されたことを
確認すると共に、送られてきた振動情報を含む電気的ア
ナログ信号を測定ブロック４６、ＣＰＵ４０等で波形処
理して、その測定データをＲＡＭ４２に記憶する。

以後、所定の時間間隔で各振動センサについて上記作用
が繰り返えされ、振動についての測定データを貯え、故
障診断に利用する。

なお、前記実施例では、振動情報を含むアナログ信号を
各単機能マルチプレックスモニタ２等の入力チャンネル
の１つを利用して伝送するようにしたが、すべての入力
チャンネルに振動センサを接続して利用し、取り出した
電気的アナログ信号はそのままの状態でバス線路７等を
利用して伝送するように構成することも可能である。

［発明の効！ｉ！］ 以上の説明で明らかなように本発明によれば、工場内の
各装置、設備に配設されるマルチプレックスモニタを振
動を検出し取り出すだけの簡易な複数台のＩｔＩｍ能マ
ルデマルチプレックスモニタ動を検出すると共に更に取
り込まれたすべての振動情報を含む電気的アナログ信号
を波形処理する少なくとも１台の多機能マルチプレック
スモニタとをカスケード接続で構成し、ツベての波形処
理は１台の多１ａ能マルチプレックスモニタで行うよう
にしたため、極めて低価格な設（ｎ診断装置を実現でき
ると共に、各単機能マルチプレクサモニタから多機能マ
ルチプレックスモニタへ受信確認の信号を出せるように
したため、システム構成を容易にすることができる。更
に、取り出された振動情報を含む電気的アナログ信号は
アナログのまま伝送され、またアナログ信号として多機
能マルチプレックスモニタに入力されるので、波形処理
がし易く、また波形観測もできるという利点を有する。

【図面の簡単な説明】

第７図は本発明に係る設ｍ診断装置の全体的な構成図、 第２図は単機能マルチプレックスモニタの詳細な構成を
示すブロック図、 第３図は多機能マルチプレックスモニタの詳細な構成を
示ずブロック図、 第４図は従来の段１８診断装置に使用される端末ユニッ
トのブロック図、 第５図は従来の規模の大きい設備診断装置のブロック図
である。 ［符号の説明］ １・・・・・・多機能マルチプレックスモニタ２・・・
・・・ｔｔｔｉ能マルデマルチプレックスモニタ３１〜
３−８・・・入力チャンネル４・・・・・・＠勤センサ ６・・・・・・線路 ７・・・・・・バス線路 ８・・・・・・コマンド入力ボート ９・・・・・・コマンド出力ボート １２・・・ホストコンピュータ ２１・・・プリアンプ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数の振動センサを用いた設備診断装置において
   、 上位機として位置し、複数の下位機に対しこれらの下位
   機に属する前記複数の振動センサの中の一つの振動セン
   サを所定の時間間隔及び所定の順序で選択する制御信号
   を発する信号発生手段と、選択された前記振動センサの
   出力する電気的アナログ信号を入力し、波形処理を行つ
   て測定データを得る測定手段とを含む少なくとも１台の
   多機能マルチプレックスモニタと、 前記下位機として位置し、互いにカスケードに接続され
   、少なくとも大部分に振動センサが接続され且つ残りの
   部分に後段側の下位機の出力端子が接続される複数本の
   入力チャンネルと、前記多機能マルチプレックスモニタ
   の側から供給される制御信号を受けてその内容を判断し
   自己のアドレスと一致するときは指定された前記入力チ
   ャンネルを選択して前記電気的アナログ信号を出力する
   回路部と、前記制御信号を後段側の下位機へ伝送する回
   路部とを含む複数台の単機能マルチプレックスモニタと
   を含んで成り、 前記多機能マルチプレックスモニタと前記複数台の単機
   能マルチプレックスモニタは全体としてカスケードに接
   続されている設備診断装置。
2. （２）特許請求の範囲第１項において、前記多機能マル
   チプレックスモニタは、前記単機能マルチプレックスモ
   ニタと同様な複数本の入力チャンネルを有し、これらの
   入力チャンネルに接続された各振動センサから電気的ア
   ナログ信号を取り込める設備診断装置。
3. （３）特許請求の範囲第１項又は第２項において、前記
   単機能マルチプレックスモニタにおける制御信号と自己
   のアドレスとの一致を判断する前記回路部は、一致と判
   断されたとき、受信したことを確認する信号を前記多機
   能マルチプレツクスモニタへ返送する設備診断装置。
4. （４）特許請求の範囲第１項乃至第３項のいずれかにお
   いて、前記入力チャンネルのそれぞれにはアンプ手段が
   設けられている設備診断装置。