JPH01147253U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01147253U JPH01147253U JP4133188U JP4133188U JPH01147253U JP H01147253 U JPH01147253 U JP H01147253U JP 4133188 U JP4133188 U JP 4133188U JP 4133188 U JP4133188 U JP 4133188U JP H01147253 U JPH01147253 U JP H01147253U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- vapor deposition
- physical vapor
- vacuum
- wound
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案による連続式金属蒸着フイルム
の製造装置の一実施例品の概要を示す平面図、第
２図は本考案装置により得られた金属蒸着フイル
ムの構造を示す断面図である。 １……真空室、２……基材送り出しロール、３
Ａ……基材送り出し用ガイドロール、３Ｂ……製
品巻き取り用ガイドロール、４Ａ，５Ａ，６Ａ…
…基材の張力調整用ガイドロール、４Ｂ，５Ｂ，
６Ｂ……製品の張力調整用ガイドロール、７……
回転ドラム、８……基材巻き取りロール、９Ａ…
…第一スパツタ室、９Ｂ……第二スパツタ室、１
０……蒸着室、１１……仕切り板、１２Ａ，１２
Ｂ，１２Ｃ……防着板、１３Ａ，１３Ｂ……アノ
ード、１４Ａ，１４Ｂ……ターゲツト、１５Ａ，
１５Ｂ……カソード、１６……蒸着源、１７Ａ…
…基材、１７Ｂ……製品、１８Ａ，１８Ｂ……ガ
ス導入口、１９……シール機構、２０……電子ビ
ームガン、２１……排気口、２２……基材の送り
出し装置、２３……製品の巻き取り装置、１０１
……プラスチツクフイルム、１０２……スパツタ
膜、１０３……蒸着膜、１０４……スパツタ膜。
の製造装置の一実施例品の概要を示す平面図、第
２図は本考案装置により得られた金属蒸着フイル
ムの構造を示す断面図である。 １……真空室、２……基材送り出しロール、３
Ａ……基材送り出し用ガイドロール、３Ｂ……製
品巻き取り用ガイドロール、４Ａ，５Ａ，６Ａ…
…基材の張力調整用ガイドロール、４Ｂ，５Ｂ，
６Ｂ……製品の張力調整用ガイドロール、７……
回転ドラム、８……基材巻き取りロール、９Ａ…
…第一スパツタ室、９Ｂ……第二スパツタ室、１
０……蒸着室、１１……仕切り板、１２Ａ，１２
Ｂ，１２Ｃ……防着板、１３Ａ，１３Ｂ……アノ
ード、１４Ａ，１４Ｂ……ターゲツト、１５Ａ，
１５Ｂ……カソード、１６……蒸着源、１７Ａ…
…基材、１７Ｂ……製品、１８Ａ，１８Ｂ……ガ
ス導入口、１９……シール機構、２０……電子ビ
ームガン、２１……排気口、２２……基材の送り
出し装置、２３……製品の巻き取り装置、１０１
……プラスチツクフイルム、１０２……スパツタ
膜、１０３……蒸着膜、１０４……スパツタ膜。
Claims (1)
- 内部を所定の真空度に保持出来る室内に、基材
フイルムの送り出し装置と、送り出された基材フ
イルムが巻き付けられる回転する円筒状のドラム
と、物理的蒸着処理により金属薄膜が設けられた
フイルムを巻き取る巻き取り装置とから構成され
るフイルム走行路が形成されており、前記フイル
ム走行路を形成している回転する円筒状ドラム上
の巻回フイルム表面に対向して、独立した真空度
が保持出来、且つ個別に排気出来る様に分離形成
された物理的蒸着装置を内蔵する物理的蒸着処理
室の所望数が、前記回転ドラムの回転方向に直列
に配置されている事を特徴とする連続式金属蒸着
フイルムの製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4133188U JPH01147253U (ja) | 1988-03-29 | 1988-03-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4133188U JPH01147253U (ja) | 1988-03-29 | 1988-03-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01147253U true JPH01147253U (ja) | 1989-10-11 |
Family
ID=31267772
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4133188U Pending JPH01147253U (ja) | 1988-03-29 | 1988-03-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01147253U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006190702A (ja) * | 2004-12-08 | 2006-07-20 | Ulvac Japan Ltd | フレキシブルプリント基材の製造装置及び製造方法 |
-
1988
- 1988-03-29 JP JP4133188U patent/JPH01147253U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006190702A (ja) * | 2004-12-08 | 2006-07-20 | Ulvac Japan Ltd | フレキシブルプリント基材の製造装置及び製造方法 |
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