JPH01146339A - 薄膜トランジスタ基板検査プローバ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 この発明は、カラー液晶パネル等に使用される多数の電
極面及び薄膜トランジスタを備えた薄膜トランジスタ基
板の検査用プローバに関するしのである。

（ロ）従来の技術 カラー液晶パネルに使用される薄膜トランジスタ基板は
、第５図に示すように、各絵素の透明電極１３ごとにこ
の電極への電圧のＯＮ・ＯＦＦ’を行う薄膜トランジス
タ１４が形成され、この薄膜トランジスタ！４を動作さ
せる横方向のゲートライン１０及び縦方向のソースライ
ン１５が連結されたものである。

かかる薄膜トランジスタ基板においてはこの薄膜トラン
ジスタＩ４の特性不良が、カラー液晶パネルの表示不良
の大きな原因となる。

従来では各絵素の透明電極に、針状プローバを接触させ
て、透明電極の電圧を測定することにより、薄膜トラン
ジスタの動作特性を検査していた。

（ハ）発明が解決しようとする問題点 しかしながら、上記針状プローバを用いた従来の検査法
においては、 ■針状ブローバを透明電極に押しあてたときに透明電極
の周囲にある薄膜トランジスタやゲートラインなどを傷
つけ、断線やトランジスタは破壊を発生する危険があっ
たり、 ■針状ブローバでｌ絵素ごとまたは数絵素ごどに検査す
るので、検査時間が長くかかるという問題があった。

この発明はかかる状況下なされたものであり、薄膜トラ
ンジスタ基板を傷つける虞れもなくしかも検査時間も短
縮化できる検査ブローμを提供しようとするものである
。

（ニ）問題点を解決するための手段 かくしてこの発明によれば基板上に、多数分画形成され
た電極と、これら各電極に付設されかつ選択された電極
のみからの信号を外部へ導通しうる回路系が設けられ、
さらに該基板の電極形成面上に厚み方向に導電性を有す
る異方性導電ゴムの接触層が設けられてなる薄膜トラン
ジスタ基板検査ブローμが提供される。

この発明は、検査ブローμの信号抽出部を多数の電極を
有する特定の基板で平板状に構成すると共に、その電極
形成面に特定の異方性導電ゴムを積層構成して、検査対
象の薄膜トランジスタ基板へ面接触しうるよう構成した
ものである。

この発明の検査ブローμを構成する基板の多数の電極は
、検査対象となる薄膜トランジスタ基板の電極に対応し
て多数マトリックス状に設けられたものが適している。

また、これらの電極に付設され、選択された電極からの
信号を外部へ導通しうる回路系は、薄膜トランジスタ基
板と同様に、薄膜トランジスタとそれを制御できるゲー
トライン及びドレインラインで基板内に一体に構成する
のが好ましい。ただし、他のスイッチング素子で回路系
を構成してもよい。

この発明の接触層は厚み方向に導電性を有する異方性導
電ゴム層で構成される。かかる異方性導電ゴムとしては
、厚み方向に対しては低抵抗でありその直角方向には高
抵抗の弾性材が用いられ、実質的に厚み方向にのみ導電
性が付与されるよう直角方向への抵抗が著しく大きなも
のが好ましい。

この異方性導電ゴムとしては、例えば、グラファイトの
ような導電性粉末を混入した導電性シリコーンゴムシー
トと未混入のシリコーンゴムシートとを縦列状に多数積
層して構成したいわゆるＡ　ＣＳ　（Ａｎｉｓｏｔｒｏ
ｐｉｃａｌｌｙ　Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ　５ｉｌｉｃｏ
ｎｅｒｕｂｂｅｒ）か挙げられる。

なお、異方性導電ゴム層の厚みは、ゴム材料の弾性やブ
ローμの大きさにもよるが、通常０．１〜ＩＵ程度とす
るのが好ましい。

（ホ）作用 薄膜トランジスタ基板検査プローバの接触層を薄膜トラ
ンジスタ基板の透明電極形成面に密着させた状態で薄膜
トランジスタの各々の透明電極の電圧が、異方性導電ゴ
ム及び電極基板を介して検出可能となる。

（へ）実施例 第１図は、この発明の薄膜トランジスタ基板検査プロー
バＡをその使用状態と共に示す構成説明図である。図に
おいて検査ブローμＡは信号抽出用トランジスタ基板２
と異方性導電ゴム層３とから構成されてなる。このブロ
ーμＡは、ラックピニオン機構からなる駆動部７に支持
されており、この駆動部７はブローμＡに対向配置され
る薄膜トランジスタ基板ｌ上の所定位置にブロー式Ａを
抑圧接触しうるよう機能する。なお、図中４は基板１に
所定の電圧信号を付与しうる信号発生部、５はブローμ
Ａの基板２からの電圧信号を受ける信号処理部、６は信
号処理部や駆動部７を制御する制御部を示すものである
。

上記ブローμＡの平面構成図を第２図にそのＡ−Ｂ線断
面図を第３図に示す。図に示すごとく、ブローμＡの基
板２は、ガラス基板１１　（６０Ｘ７５Ｘ１．１ｍ＊）
の−面に、基板ｌの透明電極１３と同一パターンの多数
のソース電極８（ＩＴＯ製：２４０Ｘ３−８４個）を５
ｉｆｔの絶縁層を介して分画形成し、かつ各々のソース
電極８に接続するように多数の薄膜トランジスタ９を形
成してなる。そして各々の薄膜トランジスタ９は横方向
のゲートラインｌＯ及び縦方向のドレインライン１２で
連結されてなり、これら両ラインは信号処理部５に接続
されてなる。

ブローμＡの導電ゴム層３は、厚み０．５ｚＩＩ／Ｊ）
ＡＣ８異方性導電ゴムからなり、実質的に図の上下方向
（厚み方向）のみに導電性を有している。

上記ブローμＡを用いた検査時において、信号発生部４
は薄膜トランジスタ基板ｌの透明電極１３に所定の電圧
を発生させる。また、信号処理部５は、信号抽出用トラ
ンジスタ基板２のソース電極８の電圧を取り出し、制御
部６へ出力する。

一方制御部６は、薄膜トランジスタ基板１と信号抽出用
トランジスタ基板２とが位置が合うように駆動部７へ制
御信号を出力する。また、信号処理部５からの出力電圧
を解析し、薄膜トランジスタ１４の良否を判定する。な
お、駆動部７は、信号抽出用トランジスタ基板２を制御
部６からの信号に応じて移動させる。

上記ブロー式Ａの機能及び基板Ｉの検査手順について以
下説明する。

まず、薄膜トランジスタ基板Ｉが定位置にセットされ、
信号抽出用トランジスタ基板２との各パターンの位置合
せが行われた後、上下方向に加圧され、透明電極１３と
ソース電極８とが異方性導電ゴム層３を介して電気的に
接続される。この状態において導電ゴム層３は図の横方
向には実質的に導電性を示さないため、各透明電極１３
とソース電極８間に各々第４図に示すごとき回路が形成
される。この状態で、信号発生部４は、薄膜トランジス
タ１４の全てのゲートをＯＮにし、ソースに印加した電
圧が各透明電極１３に発生するように信号を出力する。

このとき特性不良トランジスタの箇所の透明電極には、
ソースに印加された電　　、圧とは異なった電圧が発生
する。この透明電極に発生した電圧は異方性導電ゴム３
を通じて信号抽出用トランジスタ基板のソース電極８に
印加される。そして信号処理部５は信号抽出用トランジ
スタ９のゲートライン】０の１ラインごとに薄膜トラン
ジスタがＯＮする信号を出力し、各ソース電極の電圧を
ドレインライン１１から制御部６へ出力する。制御５で
は、入力された電圧信号を解析し、異なる電圧信号の発
生の有無に基づいて特性不良の薄膜トランジスタを検出
表示する。

（ト）発明の効果 この発明の薄膜トランジスタ基板検査ブロー式によれば
、薄膜トランジスタ基板への接触が弾性を有する導電ゴ
ムの接触層を介して行われるため、検査時の薄膜トラン
ジスタ基板のゲートラインやソースラインの断線、薄膜
トランジスタの破壊等の発生が防止される。また、異方
性の導電ゴム層と多数の検査用電極の組合わせにより、
薄膜トランジスタ基板の複数の薄膜トランジスタをまと
めて検査することができ、従来に比して検査時間を著し
く短縮化できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の薄膜トランジスタ基板検査ブロー
式をその使用状態と共に示す構成説明図、第２図は第１
図の検査ブロー式の部分平面図、第３図は第２図のＡ−
Ｂ線断面図、第４図は、第１図における検査時の等価回
路図、第５図は、検査対象となる薄膜トランジスタ基板
を例示する部分平面図である。 ｌ・・・・・・薄膜トランジスタ基板、２・・・・・・
信号抽出用トランジスタ基板、３・・・・・・異方性導
電ゴム層、 ４・・・・・・信号発生部、　　５・・・・・・信号処
理部、６・・・・・・制御部、　　　７・・・・・・駆
動部、８・・・・・・ソース電極、 ９・・・・・・薄膜トランジスタ、 ＩＯ・・・・・・ゲートライン、 １１・・・・・・ガラス基板、 １２・・・・・・ドレインライン、 １３・・・・・・透明電極、 １４・・・・・・薄膜トランジスタ、 １５・・・・・ソースライン。 Ｎ　１　図 ＠　　３　ｖＲ 第　４ｒｊＩ 第　５図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、基板上に、多数分画形成された電極と、これら各電
   極に付設されかつ選択された電極のみからの信号を外部
   へ導通しうる回路系が設けられ、さらに該基板の電極形
   成面上に厚み方向に導電性を有する異方性導電ゴムの接
   触層が設けられてなる薄膜トランジスタ基板検査プロー
   バ。