JPH01143347A - Lsiチップの集合体の冷却装置 - Google Patents
Lsiチップの集合体の冷却装置Info
- Publication number
- JPH01143347A JPH01143347A JP30180887A JP30180887A JPH01143347A JP H01143347 A JPH01143347 A JP H01143347A JP 30180887 A JP30180887 A JP 30180887A JP 30180887 A JP30180887 A JP 30180887A JP H01143347 A JPH01143347 A JP H01143347A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- assembly
- lsi
- cooling
- cooled
- elements
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 2
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 abstract description 10
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 9
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 239000010949 copper Substances 0.000 abstract description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 1
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は超高速でかつ集積度の高いLSIチップの集合
体の冷却に関するものである。
体の冷却に関するものである。
(従来の技術)
コンピュータのCPUを構成するLSIは高速化と高集
積化を図る結果発熱量が大きくなっている。
積化を図る結果発熱量が大きくなっている。
更に処理速度を向上するにはLSI間の配線長を短くす
る必要があり実装密度が増す結果となる。
る必要があり実装密度が増す結果となる。
発熱量の大きなLSIを高密度実装すると必然的にCP
Uの発熱密度が高まり、数ワット/C11l”にまでな
り空冷方式では充分冷却できず水冷方式〇CPUが出現
した。
Uの発熱密度が高まり、数ワット/C11l”にまでな
り空冷方式では充分冷却できず水冷方式〇CPUが出現
した。
第2図、第3図はこの様な従来の水冷モジュールを示す
もので、雑誌「日経メカニカル」1987・2・23号
37〜3日真に記載されたものである。
もので、雑誌「日経メカニカル」1987・2・23号
37〜3日真に記載されたものである。
第2図はこの水冷モジュールを切断したものの斜視図で
あり、第3図は断面図である。
あり、第3図は断面図である。
第2図、第3図に於て、多層セラミックス配線基板20
2に搭載されたLSI201の上面には熱伝導ブロック
203に螺着された放熱スタッド204がサーマルコン
パウンド205を介して当接している。
2に搭載されたLSI201の上面には熱伝導ブロック
203に螺着された放熱スタッド204がサーマルコン
パウンド205を介して当接している。
熱伝導ブロック203の上面には内部に冷却水通路20
6が設けられたコルゲートプレート207が当接してい
る。
6が設けられたコルゲートプレート207が当接してい
る。
この様な構成に於て、LSI201がらの発熱は放熱ス
タンド204から熱伝導ブロック203に伝導し、コル
ゲートブロック207の冷却水により冷却される。
タンド204から熱伝導ブロック203に伝導し、コル
ゲートブロック207の冷却水により冷却される。
(発明が解決しようとする問題点)
この様な従来の水冷モジュールは熱伝導ブロック203
が薄ければ薄いほどL S I 201から冷却水まで
の熱の伝わる経路が短くなり、熱伝導抵抗を小さくする
効果がある。
が薄ければ薄いほどL S I 201から冷却水まで
の熱の伝わる経路が短くなり、熱伝導抵抗を小さくする
効果がある。
しかし、熱伝導ブロック203を薄くすると熱伝導ブロ
ック203と放熱スタッド204の接触面積が減り、熱
伝導抵抗を大きくすることとなるので極端に薄くするこ
とが出来ない。
ック203と放熱スタッド204の接触面積が減り、熱
伝導抵抗を大きくすることとなるので極端に薄くするこ
とが出来ない。
したがって熱の伝わる経路を極端に短かくすることが出
来ないので熱伝導の良い材料を使用しなげればならず、
特にコルゲートプレート207に使用する材料は耐腐食
性よりも熱伝導性を重視するため冷却水に各種の添加剤
を加えたものをクローズドシステムで循環させねばなら
ない。
来ないので熱伝導の良い材料を使用しなげればならず、
特にコルゲートプレート207に使用する材料は耐腐食
性よりも熱伝導性を重視するため冷却水に各種の添加剤
を加えたものをクローズドシステムで循環させねばなら
ない。
このため重量、体積が増加すると共に、保守の時間を要
する等の問題点があった。
する等の問題点があった。
(問題点を解決するための手段及び作用)配線基板に搭
載されたLSIチップの集合体に熱電素子の吸熱面を当
接し、熱電素子の発熱面を冷却手段により冷却すること
により上述の問題点を解決するものである。
載されたLSIチップの集合体に熱電素子の吸熱面を当
接し、熱電素子の発熱面を冷却手段により冷却すること
により上述の問題点を解決するものである。
(実施例)
本発明の一実施例の概念図を第1図にもとづいて説明す
る。
る。
第1図に於て、配線基板102に搭載されたセラミック
製LSI集合体101の上側基板にはベルチェモジュー
ルを構成する熱電素子103a、103bを接続する銅
電極104aが当接している。
製LSI集合体101の上側基板にはベルチェモジュー
ルを構成する熱電素子103a、103bを接続する銅
電極104aが当接している。
銅電極104aとセラミック製LSI集合体101の接
合にはアルミの酸化物と銅の酸化物の結合力を利用した
DBC(DirectBonding Copper
)を使用し、銅電極104aと熱電素子103a、10
3bの接合にはセラミック製LSI集合体101の熱歪
を吸収できるようにVPS (VapourPhase
5oIV、ding)を使用した。
合にはアルミの酸化物と銅の酸化物の結合力を利用した
DBC(DirectBonding Copper
)を使用し、銅電極104aと熱電素子103a、10
3bの接合にはセラミック製LSI集合体101の熱歪
を吸収できるようにVPS (VapourPhase
5oIV、ding)を使用した。
熱電素子103a、103bのセラミック製LSI集合
体101と反対側の面の銅電極104bには内部に冷却
水が流れる水冷板105が当接している。
体101と反対側の面の銅電極104bには内部に冷却
水が流れる水冷板105が当接している。
以上の様な構成にして熱電素子103a、103bに電
流を流すとセラミック製LSI集合体101の発熱は熱
電素子103a、103bにより冷却され、熱電素子1
03a、103bのセラミック製LSI集合体101と
反対側の面の発熱は水冷板105により冷却される。
流を流すとセラミック製LSI集合体101の発熱は熱
電素子103a、103bにより冷却され、熱電素子1
03a、103bのセラミック製LSI集合体101と
反対側の面の発熱は水冷板105により冷却される。
本実施例では熱電素子103a、103bの冷却には内
部に冷却水の流れる水冷板105を使用したが、これに
限定されるものではなくフィン等を取付は空気冷却を行
っても良い。
部に冷却水の流れる水冷板105を使用したが、これに
限定されるものではなくフィン等を取付は空気冷却を行
っても良い。
(発明の効果)
本発明によれば従来の伝熱ブロックを必要としないため
軽量化、小型化が容易にでき又水冷板の耐腐食性を犠牲
にして熱伝導性を良くする必要もないため冷却水に特別
の考慮をする必要もない。
軽量化、小型化が容易にでき又水冷板の耐腐食性を犠牲
にして熱伝導性を良くする必要もないため冷却水に特別
の考慮をする必要もない。
第1図は本発明の一実施例を示す図、第2図、第3図は
従来の水冷モジュールを示す図である。 101はセラミック製LSI集合体、102は配線基板
、103a、103bは熱電素子、105は冷却板。 出願人 株式会社小松製作所 代理人 (弁理士) 岡 1)和 喜
従来の水冷モジュールを示す図である。 101はセラミック製LSI集合体、102は配線基板
、103a、103bは熱電素子、105は冷却板。 出願人 株式会社小松製作所 代理人 (弁理士) 岡 1)和 喜
Claims (1)
- 配線基板に搭載されたLSIチップの集合体の冷却装
置に於て、熱電素子の吸熱面をLSIチップに当接し、
熱電素子の発熱面を冷却手段により冷却することを特徴
としたLSIチップの集合体の冷却装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30180887A JPH01143347A (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | Lsiチップの集合体の冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30180887A JPH01143347A (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | Lsiチップの集合体の冷却装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01143347A true JPH01143347A (ja) | 1989-06-05 |
Family
ID=17901410
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30180887A Pending JPH01143347A (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | Lsiチップの集合体の冷却装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01143347A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04196395A (ja) * | 1990-11-28 | 1992-07-16 | Hitachi Ltd | 冷却装置を備えた電子計算機 |
US5895964A (en) * | 1993-06-30 | 1999-04-20 | Pioneer Electronic Corporation | Thermoelectric cooling system |
JP2007198718A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-08-09 | Toppan Printing Co Ltd | 温度制御方法 |
-
1987
- 1987-11-30 JP JP30180887A patent/JPH01143347A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04196395A (ja) * | 1990-11-28 | 1992-07-16 | Hitachi Ltd | 冷却装置を備えた電子計算機 |
US5895964A (en) * | 1993-06-30 | 1999-04-20 | Pioneer Electronic Corporation | Thermoelectric cooling system |
JP2007198718A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-08-09 | Toppan Printing Co Ltd | 温度制御方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH06252285A (ja) | 回路基板 | |
JPH10284654A (ja) | 半導体装置の冷却構造 | |
JPS60137042A (ja) | 樹脂封止形半導体装置 | |
JPH01143347A (ja) | Lsiチップの集合体の冷却装置 | |
JPS63100759A (ja) | Icチツプの冷却装置 | |
JP3193142B2 (ja) | 基 板 | |
JPS58218148A (ja) | 電子部品冷却装置 | |
JPH0281463A (ja) | 半導体装置の冷却実装構造 | |
JPH01270298A (ja) | 半導体素子の冷却構造 | |
JPH07335798A (ja) | Lsi冷却構造 | |
JPH0983165A (ja) | 電子機器冷却装置 | |
JPH05259326A (ja) | 冷却装置 | |
JPS63289999A (ja) | 情報処理装置の実装構造 | |
JPS6092642A (ja) | 半導体装置の強制冷却装置 | |
JPS6046055A (ja) | 電子部品の冷却装置 | |
JPH0395959A (ja) | リードフレーム | |
JP2001230358A (ja) | 吸熱器 | |
JPS61212045A (ja) | 半導体装置 | |
JPH1098286A (ja) | 電子部品の冷却方法およびこれを用いた電子機器 | |
JPS6211012Y2 (ja) | ||
JPH02143594A (ja) | 集積回路の冷却構造 | |
JPS61218147A (ja) | 半導体装置 | |
JPH06188342A (ja) | 半導体素子冷却装置 | |
JPS59944A (ja) | 半導体装置 | |
JPH04361561A (ja) | Icチップの実装構造 |