JPH01141703A - ウエハー切断装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、シリコンインゴット等の素材からシリコン
ウェハー等のワークを切り出す切断装置に関するもので
ある。

「従来の技術」 一般に、シリコンインゴット等の素材からシリコンウェ
ハー−等の薄板状のワークを切り出す切断装置は、ブレ
ードにより切り出されたワークが落下しないようにする
ために、ワークが切り出されるまでにこれを保持して、
切り出された後、素材からワークを引き離して、所定の
場所に搬送するような構成になっている。

第３図および第４図は、この種の切断装置を示す図であ
り、これらの図において、符号ｌは切断装置のブレード
を示す。このブレードｌは、薄いドーナツ盤状のもので
あり、その内周部に形成された切刃により円柱状の素材
２を切断するようになっている。また、上記ブレードｌ
の側面１ａの前方には、素材２から切り出されるワーク
３を保持するための保持部４が設けられている。この保
持部４は、素材２から切り出されるワーク３の一端面３
ａに真空引きにより吸着して、このワーク３を保持する
と共に、素材２から切り出されたワーク３を、素材２の
長手方向前方（矢印Ａ方向）に向って引き離して所定の
位置まで搬送するものである。

「発明が解決しようとする問題点」 ところで、上記構成の切断装置においては、ブレードｌ
により素材２からワーク３を切り出ず際に、ブレード１
に切削液が供給される。このため、上記保持部４により
ブレードｌからワーク３を素材２の長手方向前方（矢印
へ方向）に向って引き離す際に、ワーク３の他端面（切
断面）３ｂとブレードｌの側面１ａとの間に介在してい
る切削液の表面張力により、ワーク３をブレード１から
引き離しに（くなり、保持部４の保持力が上記表面張力
より小さいと、ワーク３をブレードｌの側面１ａから引
き離すことができず、下方に落下させてしまうという問
題があった。

「発明の目的」 この発明は上記問題点を解消するためになされたもので
あり、ブレードからワークを容易に引き離すことができ
、よってワークを落下させることなく確実に所定の位置
まで搬送することのできる切断装置を提供することを目
的としている。

「問題点を解決するための手段」 この発明は、棒状をなすウェハー素材からワークを切り
出すブレードと、上記切り出されたワークを保持して上
記素材からその長手方向前方に向つて引き離す保持部と
を備えたウェハー切断装置において、上記ブレードと上
記ワークとの間に高圧ガスを吹き込むノズルを設けてな
るものである。

「実施例」 第１図および第２図はこの発明の一実施例を示す図であ
り、これらの図において、第３図および第４図に示す構
成要素と同一の要素については同一符号を付しその説明
を省略する。

第１図および第２図に示す切断装置が第３図および第４
図に示す切断装置と異なる点は、ブレードｌの側部に、
高圧ガス吹き込み用のノズル！Ｏを設けた点である。す
なわち、このノズルＩＯは、その先端部がブレード１の
外周側部に位置するようにして図示しない支持部に支持
されており、その先端部から高圧ガスが噴出され、切り
出されたワーク３の外周部よりワーク３の他端面（切断
面）３ｂと、ブレードｌの側面１ａとの間に高圧ガスを
吹き込むようになっている。

次に、上記構成の切断装置の作用について説明すると、
上下方向に移動自在のテーブル２に固定された素材２を
、テーブル！ｌ上昇させることにより上昇させて、ブレ
ード１を素材２に切り込む。この状因において、ブレー
ドｌの内周刃には切削液が供給されている。そして、素
材２が所定の位置まで切り込まれると、上記保持部４が
、切り出されるワーク３の一端面３ａに吸着してワーク
３を保持し、その後、索材２からワーク３が完全に切り
離される。この状態において、ワーメ３の他端面（切断
面）３ｂと、ブレード１の側面１ｂとの間には、上記切
削液が介在しており、この切削液の表面張力に・より、
ワーク３がブレードｌから矢印へ方向に引き離しにくく
なっている。ここで、上記ノズル！０の先端部から高圧
ガスが噴出され、この高圧ガスにより、ワーク３の他端
面（切断面）３ｂと、ブレードｌの側面１ａとの間に介
在している切削液が吹き飛ばされ、上記表面張力が除去
される。その後、上記保持部４が矢印へ方向に移動する
ことにより、ブレード１の側面１ａからワーク３が容易
に引き離されて、保持部４によりワーク３が確実に所定
の位置まで搬送される。

「発明の効果」 以上説明したように、この発明によれば、棒状をなすウ
ェハー素材からワークを切り出すブレードと、上記切り
出されたワークを保持して上記素材からその長手方向前
方に向って引き離す保持部とを備えたウェハー切断装置
において、上記ブレードと上記ワークとの間に高圧ガス
を吹き込むノズルを設け、上記ウェハー素材から切り出
されたワークと上記ブレードとの間に介在する切削液を
上記ノズルから噴出された高圧ガスにより吹き飛ばすこ
とにより、切削液の表面張力を除去するようにしたので
、上記保持部により、ブレードからワークを容易に引き
離すことができ、よってワークを落下させることなく確
実に所定の位置まで搬送することができるという効果が
得られる。

【図面の簡単な説明】

ｍ１図および第２図はこの発明の一実施例を示す図であ
り、第１図はウェハー切断装置の要部を示す概略正面図
、第２図は、第１図における■矢視図、第３図および第
４図は従来のウェハー切断装置の一例を示す図であり、
第３図はウェハー切断装置の要部を示す概略正面図、第
４図は、第３図における■矢視図である。 １・・・・・・ブレード、２・・・・・・ウェハー素材
、３・・・・・・ワーク、　４・・・・・・保持部、Ｉ
Ｏ・・・・・・ノズル。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　棒状をなすウェハー素材からワークを切り出すブレー
   ドと、上記切り出されたワークを保持して上記素材から
   その長手方向前方に向って引き離す保持部とを備えたウ
   ェハー切断装置において、上記ブレードと上記ワークと
   の間に高圧ガスを吹き込むノズルを設けたことを特徴と
   するウェハー切断装置。