JPH01140688A - レーザ発振装置 - Google Patents
レーザ発振装置Info
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- JPH01140688A JPH01140688A JP62299461A JP29946187A JPH01140688A JP H01140688 A JPH01140688 A JP H01140688A JP 62299461 A JP62299461 A JP 62299461A JP 29946187 A JP29946187 A JP 29946187A JP H01140688 A JPH01140688 A JP H01140688A
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- laser chamber
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 12
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 6
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 2
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 2
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- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明はレーザ発振装置、特にエキシマレーザ、ＴＥ
ＡＣＯ，レーザに関するものである。
ＡＣＯ，レーザに関するものである。
（従来の技術）
従来のこの種のレーザ発振装置は第７図、第８図に示す
様なものがある。
様なものがある。
第７図はレーザ発振装置のヘッド２０１の内部に於ける
配置を示す平面図で第８図は第７図のＡ−Ａ断面図であ
る。
配置を示す平面図で第８図は第７図のＡ−Ａ断面図であ
る。
第７図、第８図に於てヘッド２０１の中には、高圧直流
電源より送られてきた電荷を充電する充電コンデンサ２
０２、充電コンデンサ２０２から放電コンデンサ２０３
に電荷を移行するサイラトロン２０４、レーザチャンバ
２０５の中には主放電を生じさせる主電極２０６、レー
ザガスをｗ４環させるためのブロワ２０７、放電によっ
て生じた熱をとり除くための熱交換器２０８、主放電を
起こす前に放電領域のレーザガスを弱電離状態にする予
備電離電極２０９が設けである。
電源より送られてきた電荷を充電する充電コンデンサ２
０２、充電コンデンサ２０２から放電コンデンサ２０３
に電荷を移行するサイラトロン２０４、レーザチャンバ
２０５の中には主放電を生じさせる主電極２０６、レー
ザガスをｗ４環させるためのブロワ２０７、放電によっ
て生じた熱をとり除くための熱交換器２０８、主放電を
起こす前に放電領域のレーザガスを弱電離状態にする予
備電離電極２０９が設けである。
更に、レーザチャンバ２０５の左側の壁にはフロントウ
ィンド２１０、右側の壁にはリアウィンド２１１が取付
けられ、フロントウィンド２１０と対向する位置にはフ
ロントミラー２１２、リアウィンド２１１と対向する位
置にリアーミラー２１３が設けである。
ィンド２１０、右側の壁にはリアウィンド２１１が取付
けられ、フロントウィンド２１０と対向する位置にはフ
ロントミラー２１２、リアウィンド２１１と対向する位
置にリアーミラー２１３が設けである。
以上の様な構成に於て主電極２０６や予備電離電極２０
９が消耗してこれらを交換する必要が生ずると、ヘッド
２０１の蓋を開き、サイラトロン２０４、充電コンデン
サ２０２および図示していない配線、配管等を外す。
９が消耗してこれらを交換する必要が生ずると、ヘッド
２０１の蓋を開き、サイラトロン２０４、充電コンデン
サ２０２および図示していない配線、配管等を外す。
そして主電極２０６、予備電離電極２０９放電コンデン
サ２０３が一体となった。
サ２０３が一体となった。
主回路ユニットを外す。以上の様にして取り出した主回
路ユニットの主電極２０６又は予備電離電極２０９を交
換して再組立を行うかあるいは予備の主回路ユニットと
交換していた。
路ユニットの主電極２０６又は予備電離電極２０９を交
換して再組立を行うかあるいは予備の主回路ユニットと
交換していた。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、このような従来のレーザ発振装置は主電
極、予備電離電極を交換する場合や予備の主回路ユニッ
トを交換する場合非常に頻雑であり又取り外した部品を
一装置いておく場所も確保しなければならなく、さらに
レーザチャンバを開くため放電により飛散した粉末が外
部に出てしまうのでクリーンルームなどの清浄な場所で
の交換は不可能である。
極、予備電離電極を交換する場合や予備の主回路ユニッ
トを交換する場合非常に頻雑であり又取り外した部品を
一装置いておく場所も確保しなければならなく、さらに
レーザチャンバを開くため放電により飛散した粉末が外
部に出てしまうのでクリーンルームなどの清浄な場所で
の交換は不可能である。
さらに交換後には光軸などの再調整が必要であった。
（問題点を解決するための手段及び作用）ヘッド内に、
充電コンデンサ、サイラトロン、フロントミラー、リア
ミラーを設置し、該フロントミラーとリアミラーの間に
ガイドに従って移動可能な状態でレーザチャンバを設置
し、該レーザチャンバをストッパに当接させたときフロ
ントミラー、リアミラーの光軸とレーザチャンバのフロ
ントウィンド、リアーウィンドの光軸が一致する構成と
した。
充電コンデンサ、サイラトロン、フロントミラー、リア
ミラーを設置し、該フロントミラーとリアミラーの間に
ガイドに従って移動可能な状態でレーザチャンバを設置
し、該レーザチャンバをストッパに当接させたときフロ
ントミラー、リアミラーの光軸とレーザチャンバのフロ
ントウィンド、リアーウィンドの光軸が一致する構成と
した。
（実施例）
この発明の第１実施例を第１図から第２図に基づいて説
明する。
明する。
第１図は本実施例の正面図、第２図は第１図のＡ−Ａ断
面図である。
面図である。
第１図、第２図に於て、レーザ発振装置のヘッド１０１
にば開閉自在の扉１０１ａが設けてあり、ヘッド１０１
の中には扉１０１ａに隣接した位置にレーザチャンバ１
０５がローラ付キャスタ１２１上に載置されている。ロ
ーラ付キャスタ１２１はヘッド１０１上に敷設されたレ
ール１１１上を移動でき、さらにローラ付キャスク１２
１には摺動部材１１３が取付けられ、摺動部材１１３は
ヘッドｌＯ１に取付けられたガイド１１２の溝１１２ａ
に挿入されている。
にば開閉自在の扉１０１ａが設けてあり、ヘッド１０１
の中には扉１０１ａに隣接した位置にレーザチャンバ１
０５がローラ付キャスタ１２１上に載置されている。ロ
ーラ付キャスタ１２１はヘッド１０１上に敷設されたレ
ール１１１上を移動でき、さらにローラ付キャスク１２
１には摺動部材１１３が取付けられ、摺動部材１１３は
ヘッドｌＯ１に取付けられたガイド１１２の溝１１２ａ
に挿入されている。
レーザチャンバ１０５内には主電極１２３、予備電離電
極１１０、ブロワ１０７、熱交換器１０８が設けてあり
、レーザチャンバ１０５の外側には放電コンデンサ１０
３が取付けてあり、さらに左側の壁にはフロントウィン
ド１０６、右側の壁にはリアーウィンド１０７が取付け
である。フロントウィンド１０６と対向してフロントミ
ラー１２２、リアーウィンド１０７に対向してリアーミ
ラー１０９が設けである。
極１１０、ブロワ１０７、熱交換器１０８が設けてあり
、レーザチャンバ１０５の外側には放電コンデンサ１０
３が取付けてあり、さらに左側の壁にはフロントウィン
ド１０６、右側の壁にはリアーウィンド１０７が取付け
である。フロントウィンド１０６と対向してフロントミ
ラー１２２、リアーウィンド１０７に対向してリアーミ
ラー１０９が設けである。
ローラ付キャスタ１２１をレール１１１上を移動させヘ
ッド１０１内に取付けられたストッパ１１４に当接する
位置に固定するとレーザチャンバ１０５の壁に取付けら
れたフロントウィンド１０６、リアーウィンド１０７の
光軸とフロントミラー１２２、リアーミラー１０９の光
軸は一致する。
ッド１０１内に取付けられたストッパ１１４に当接する
位置に固定するとレーザチャンバ１０５の壁に取付けら
れたフロントウィンド１０６、リアーウィンド１０７の
光軸とフロントミラー１２２、リアーミラー１０９の光
軸は一致する。
レーザチャンバ１０５には、ウィンドバージ用配管１１
５、ガス充填用配管１１６、真空用配管１１７が取付け
てありそれぞれスウェジロック１１５ａ、１１６ａ、１
１７ａにより取外し可能となっており、取外したときレ
ーザチャンバ１０５内のガス及びガス供給源からガスが
４１．１１、ることを防ぐためのバルブ１１５ｂ、１１
５に、Ｉ ＩＧｂ、１１６ｃ、１１７ｂが設けである。
５、ガス充填用配管１１６、真空用配管１１７が取付け
てありそれぞれスウェジロック１１５ａ、１１６ａ、１
１７ａにより取外し可能となっており、取外したときレ
ーザチャンバ１０５内のガス及びガス供給源からガスが
４１．１１、ることを防ぐためのバルブ１１５ｂ、１１
５に、Ｉ ＩＧｂ、１１６ｃ、１１７ｂが設けである。
さらにカンプラー１１８ａ、バルブ１１８ｂ、１１８ｃ
を備えた給水用配管１１８、カンブラー１１９ａ、バル
フ゛１１９ｂ、１１９ｃを備えた排水用配管１１９、モ
ータ用配線１２０が設けである。
を備えた給水用配管１１８、カンブラー１１９ａ、バル
フ゛１１９ｂ、１１９ｃを備えた排水用配管１１９、モ
ータ用配線１２０が設けである。
レーザチャンバ１０５の後方には充電コンデンサ１０２
サイラトロン１０４からなる充電回路アッセンブリが設
けである。
サイラトロン１０４からなる充電回路アッセンブリが設
けである。
以上の様な構成に於て、主電極１２３又は予備電離電極
１１０が消耗して交換する必要が生するとヘッド１０１
の扉１０１ａを開放し、充電コンデンサ１０２、サイラ
トロン１０４からなる充電回路アッセンブリをレーザチ
ャンｔ＜ １′ ０５から切離し、ウィンドバージ
用配管１１５、ガス充填用配管１１６、真空用配管１１
７Ｇこそれぞれ備えられたバルブ１１５ｂ、１１５Ｃ１
１１６ｂ、１１６ｃ、１１７ｂを閉めスウエジロック１
１５ａ、１１６ａ、１］７ａより取外し、更に給水用配
管１１８、排水用配管１１９にそれぞれ備えられたバル
ブ１】８ａ、１１８ｂ、１１９ａ、１１９ｂを閉め力・
ノプラー１１８ａ、１１９ａより取外すモータ用配線１
２０を取外す。
１１０が消耗して交換する必要が生するとヘッド１０１
の扉１０１ａを開放し、充電コンデンサ１０２、サイラ
トロン１０４からなる充電回路アッセンブリをレーザチ
ャンｔ＜ １′ ０５から切離し、ウィンドバージ
用配管１１５、ガス充填用配管１１６、真空用配管１１
７Ｇこそれぞれ備えられたバルブ１１５ｂ、１１５Ｃ１
１１６ｂ、１１６ｃ、１１７ｂを閉めスウエジロック１
１５ａ、１１６ａ、１］７ａより取外し、更に給水用配
管１１８、排水用配管１１９にそれぞれ備えられたバル
ブ１】８ａ、１１８ｂ、１１９ａ、１１９ｂを閉め力・
ノプラー１１８ａ、１１９ａより取外すモータ用配線１
２０を取外す。
以上の操作を行った後レーザチャンバ１０５をへンド１
０１より外に取り出し主電極１２３又は予備電離電極１
１０を交換する。
０１より外に取り出し主電極１２３又は予備電離電極１
１０を交換する。
主電極１２３又は予備電離電極１１０を交換した後、再
度ガイド１１２の溝１１２ａに摺動部材１１３を挿入し
、レール１１１上をローラ付キャスタ１２１を移動させ
て、ストンノぐ１１４に当接する位置に固定すると、主
電極１２３又は予備型１ｉ１１１電極１１０を交換する
前の位置と同じ位置に固定されるため、フロントウィン
ド＋０６、リアーウィンド１０７の光軸とフロントミラ
ー１２２、リアーミラー１０９の光軸は一致する。
度ガイド１１２の溝１１２ａに摺動部材１１３を挿入し
、レール１１１上をローラ付キャスタ１２１を移動させ
て、ストンノぐ１１４に当接する位置に固定すると、主
電極１２３又は予備型１ｉ１１１電極１１０を交換する
前の位置と同じ位置に固定されるため、フロントウィン
ド＋０６、リアーウィンド１０７の光軸とフロントミラ
ー１２２、リアーミラー１０９の光軸は一致する。
以上説明した実施例ではローラ付キャスク１２１にレー
ザチャンバ１０５を載置した例を説明したが、第３図か
ら第６図はレーザチャンバ１０５を他のものに載置した
例である。第３図はポールキャスタ２２１を使用した例
、第４図はポールヤスタ３２１で位置決めを兼用した例
１、第５図はコロローラベアリング４２１を使用した例
、第６図は摺動部５２１にテフロンなどの自己潤滑性の
ある摺動材料を使用例を示し、その他の構成は第１実施
例と全く同じなので説明を省略する。
ザチャンバ１０５を載置した例を説明したが、第３図か
ら第６図はレーザチャンバ１０５を他のものに載置した
例である。第３図はポールキャスタ２２１を使用した例
、第４図はポールヤスタ３２１で位置決めを兼用した例
１、第５図はコロローラベアリング４２１を使用した例
、第６図は摺動部５２１にテフロンなどの自己潤滑性の
ある摺動材料を使用例を示し、その他の構成は第１実施
例と全く同じなので説明を省略する。
（発明の効果）
以上説明したように、この発明によれば主電極、予備電
離電極等が消耗して交換する場合容易に交換できると共
に、レーザチャン）＜だけ筐体から取出すことができる
ためりＩＪンル−ムでの電極の交換が避けられ、さらに
交ｍ ｆ麦の光軸などの再調整が不要となった。
離電極等が消耗して交換する場合容易に交換できると共
に、レーザチャン）＜だけ筐体から取出すことができる
ためりＩＪンル−ムでの電極の交換が避けられ、さらに
交ｍ ｆ麦の光軸などの再調整が不要となった。
第１図は第１実施例の正面図、第２図番よ第１図のＡ−
Ａ断面図、第３図はポールキャスタを使用した例を示す
図面、第４図はポールキャスタタで位置決めを兼用した
例を示す図面、第５図はコロローラベアリングを使用し
た例を示す図面、第６図は摺動部にテフロンを使用した
ｔ＋を示す図面、第７図は従来のレーザ発振装置の平面
図、第８図は第７図のＡ−Ａ断面図である。 図中、ｉｏｉ、２０１はへ・ンド、１０２．２０２は充
電コンデンサ、１０４．２０４Ｇよりイラトロン、１０
５．２０５はレーザチャンツマ、１０６．２１０はフロ
ントウィンド、１０７．２１１はリアーウィンド、１２
２．２１２フロントミラー、１０９．２１３はリアーミ
ラー、１１２はガイド、１１４はスト・ンノ〈。 第１図 第３図 第５図 第６図 第７図 Ｕ３ 第８図
Ａ断面図、第３図はポールキャスタを使用した例を示す
図面、第４図はポールキャスタタで位置決めを兼用した
例を示す図面、第５図はコロローラベアリングを使用し
た例を示す図面、第６図は摺動部にテフロンを使用した
ｔ＋を示す図面、第７図は従来のレーザ発振装置の平面
図、第８図は第７図のＡ−Ａ断面図である。 図中、ｉｏｉ、２０１はへ・ンド、１０２．２０２は充
電コンデンサ、１０４．２０４Ｇよりイラトロン、１０
５．２０５はレーザチャンツマ、１０６．２１０はフロ
ントウィンド、１０７．２１１はリアーウィンド、１２
２．２１２フロントミラー、１０９．２１３はリアーミ
ラー、１１２はガイド、１１４はスト・ンノ〈。 第１図 第３図 第５図 第６図 第７図 Ｕ３ 第８図
Claims (1)
- ヘッド内に、充電コンデンサ、サイラトロン、フロント
ミラー、リアミラーを設置し、該フロントミラーとリア
ミラーの間にガイドに従って移動可能な状態でレーザチ
ャンバを設置し、該レーザチャンバをストッパに当接さ
せたときフロントミラー、リアミラーの光軸とレーザチ
ャンバのフロントウインド、リアーウインドの光軸が一
致することを特徴としたレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62299461A JP2847648B2 (ja) | 1987-11-26 | 1987-11-26 | レーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62299461A JP2847648B2 (ja) | 1987-11-26 | 1987-11-26 | レーザ発振装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18435397A Division JPH1065235A (ja) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | レーザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01140688A true JPH01140688A (ja) | 1989-06-01 |
| JP2847648B2 JP2847648B2 (ja) | 1999-01-20 |
Family
ID=17872871
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62299461A Expired - Lifetime JP2847648B2 (ja) | 1987-11-26 | 1987-11-26 | レーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2847648B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023013053A1 (ja) * | 2021-08-06 | 2023-02-09 | ギガフォトン株式会社 | ガスレーザ装置、ガスレーザ装置のメンテナンス方法、及び電子デバイスの製造方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6111907A (en) * | 1999-03-17 | 2000-08-29 | Cymer, Inc. | Laser chamber installation in and removal from a laser system housing |
| US6394743B1 (en) | 1999-12-20 | 2002-05-28 | Cymer, Inc. | Cart for module replacement |
| JP3773858B2 (ja) | 2002-01-30 | 2006-05-10 | 株式会社小松製作所 | 注入同期式又はｍｏｐａ方式のガスレーザ装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50145271U (ja) * | 1974-05-17 | 1975-12-01 | ||
| JPS585363U (ja) * | 1981-06-30 | 1983-01-13 | アンリツ株式会社 | レ−ザ発振管の収納装置 |
| JPS6245856U (ja) * | 1985-09-06 | 1987-03-19 | ||
| JPS62252980A (ja) * | 1986-04-25 | 1987-11-04 | Nec Corp | レーザ発振器 |
-
1987
- 1987-11-26 JP JP62299461A patent/JP2847648B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50145271U (ja) * | 1974-05-17 | 1975-12-01 | ||
| JPS585363U (ja) * | 1981-06-30 | 1983-01-13 | アンリツ株式会社 | レ−ザ発振管の収納装置 |
| JPS6245856U (ja) * | 1985-09-06 | 1987-03-19 | ||
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023013053A1 (ja) * | 2021-08-06 | 2023-02-09 | ギガフォトン株式会社 | ガスレーザ装置、ガスレーザ装置のメンテナンス方法、及び電子デバイスの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2847648B2 (ja) | 1999-01-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
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