JPH0567823A - 放電励起パルスガスレーザ装置 - Google Patents
放電励起パルスガスレーザ装置Info
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- JPH0567823A JPH0567823A JP22574391A JP22574391A JPH0567823A JP H0567823 A JPH0567823 A JP H0567823A JP 22574391 A JP22574391 A JP 22574391A JP 22574391 A JP22574391 A JP 22574391A JP H0567823 A JPH0567823 A JP H0567823A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】放電によって発生する金属ダストの光学窓への
堆積・付着を防ぎ、光学窓の寿命向上を図る。 【構成】光学窓３の近傍に静ガス室７を設けてガス循環
によってもガスの流れを生じない空間を形成し、ガス循
環器４によりガスが攪はんされても、放電で発生した金
属ダストが光学窓３の表面に到達しにくい構造を採ると
同時に、静ガス室７内部のガスの流れの無い空間とレー
ザ管１内のガス循環される空間の境界に誘導放出光１１
が通過できる通過穴１０を有するダスト反発電極８を設
置し、この電極８に負荷電圧印加電源９によって負の電
圧を印加する構成を採ることによって、放電によって大
部分が負の電荷に帯電している金属ダストのガス室７内
部への侵入をクーロン力によって防ぐ。
堆積・付着を防ぎ、光学窓の寿命向上を図る。 【構成】光学窓３の近傍に静ガス室７を設けてガス循環
によってもガスの流れを生じない空間を形成し、ガス循
環器４によりガスが攪はんされても、放電で発生した金
属ダストが光学窓３の表面に到達しにくい構造を採ると
同時に、静ガス室７内部のガスの流れの無い空間とレー
ザ管１内のガス循環される空間の境界に誘導放出光１１
が通過できる通過穴１０を有するダスト反発電極８を設
置し、この電極８に負荷電圧印加電源９によって負の電
圧を印加する構成を採ることによって、放電によって大
部分が負の電荷に帯電している金属ダストのガス室７内
部への侵入をクーロン力によって防ぐ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、エキシマレーザ等の放
電励起パルスガスレーザ装置に関する。
電励起パルスガスレーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】放電励起パルスガスレーザ装置は、放電
による放電電極のスパッターで多量の金属ダストがレー
ザガス中に発生する。この金属ダストは、光学窓に付着
してレーザ出力を減少させると同時に、光学窓の寿命を
著しく劣化させる原因となっている。 従来の放電励起
パルスガスレーザ装置では、レーザ管外部に設置した循
環ポンプによってレーザガスの一部を取り出し、ダスト
フィルターもしくは電気集塵器に通した後、再びレーザ
管に戻す構成を取ることによって、レーザガス中に発生
した金属ダストを除去している（例えば、特開昭５８−
１８６９８５号公報参照）。
による放電電極のスパッターで多量の金属ダストがレー
ザガス中に発生する。この金属ダストは、光学窓に付着
してレーザ出力を減少させると同時に、光学窓の寿命を
著しく劣化させる原因となっている。 従来の放電励起
パルスガスレーザ装置では、レーザ管外部に設置した循
環ポンプによってレーザガスの一部を取り出し、ダスト
フィルターもしくは電気集塵器に通した後、再びレーザ
管に戻す構成を取ることによって、レーザガス中に発生
した金属ダストを除去している（例えば、特開昭５８−
１８６９８５号公報参照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
装置では、レーザ管内に発生した金属ダストを完全に除
去することが難しいこと、及び金属ダストと光学窓の接
触を避ける手段を何も有していないことから、レーザを
長時間動作させると光学窓に金属ダストが堆積する問題
点を有する。光学窓が汚れると、光学窓をクリーニング
もしくは交換しなければならないので、保守及びランニ
ングコスト上大きな問題である。なお、この金属ダスト
による光学窓の汚れの問題は、「レーザ・フォーカス
（ＬａｓｅｒＦｏｃｕｓ）」１９８１年、１０月号，６
５−６８ページ」に詳しく記述されている。
装置では、レーザ管内に発生した金属ダストを完全に除
去することが難しいこと、及び金属ダストと光学窓の接
触を避ける手段を何も有していないことから、レーザを
長時間動作させると光学窓に金属ダストが堆積する問題
点を有する。光学窓が汚れると、光学窓をクリーニング
もしくは交換しなければならないので、保守及びランニ
ングコスト上大きな問題である。なお、この金属ダスト
による光学窓の汚れの問題は、「レーザ・フォーカス
（ＬａｓｅｒＦｏｃｕｓ）」１９８１年、１０月号，６
５−６８ページ」に詳しく記述されている。
【０００４】本発明の目的は、このような問題点を解決
した放電励起パルスガスレーザ装置を提供することにあ
る。
した放電励起パルスガスレーザ装置を提供することにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の放電励起パルス
ガスレーザ装置は、レーザガスを封入するレーザ管と、
放電により前記レーザガスを励起して光の誘導放出を起
こさせる放電電極対と、前記放電電極間隙の放電空間に
前記レーザガスを流すガス循環器と、前記誘導放出光の
光路に配置された一対の光学窓をとを少なくとも備えた
放電励起パルスガスレーザ装置において、前記光学窓近
傍に前記ガス循環があってもガスの流れの生じない空間
を形成する静ガス室を設け、前記誘導放出光が通過でき
る通過穴を有する電極によって、前記静ガス室内部のガ
スの流れの無い空間と前記レーザ管内のガス循環される
空間とを隔離し、前記電極（以下、ダスト反発電極と称
す）に負の電圧を印加することを特徴とする。また、前
記ダスト反発電極の近傍に第１のコロナ電極及び第２の
コロナ電極からなるコロナ放電器を設置したことを特徴
とする。さらに、前記レーザ管と前記ガス室を配管、ガ
ス循環ポンプ及びダストフィルタによって直列に接続し
たことを特徴とする。
ガスレーザ装置は、レーザガスを封入するレーザ管と、
放電により前記レーザガスを励起して光の誘導放出を起
こさせる放電電極対と、前記放電電極間隙の放電空間に
前記レーザガスを流すガス循環器と、前記誘導放出光の
光路に配置された一対の光学窓をとを少なくとも備えた
放電励起パルスガスレーザ装置において、前記光学窓近
傍に前記ガス循環があってもガスの流れの生じない空間
を形成する静ガス室を設け、前記誘導放出光が通過でき
る通過穴を有する電極によって、前記静ガス室内部のガ
スの流れの無い空間と前記レーザ管内のガス循環される
空間とを隔離し、前記電極（以下、ダスト反発電極と称
す）に負の電圧を印加することを特徴とする。また、前
記ダスト反発電極の近傍に第１のコロナ電極及び第２の
コロナ電極からなるコロナ放電器を設置したことを特徴
とする。さらに、前記レーザ管と前記ガス室を配管、ガ
ス循環ポンプ及びダストフィルタによって直列に接続し
たことを特徴とする。
【０００６】
【作用】光学窓近傍にガス循環器によるガス循環があっ
てもガスの流れの生じない空間を形成する静ガス室を設
けることによって、ガス循環器によってガスが攪はんさ
れても放電で発生した金属ダストが光学窓の表面に到達
し、付着・堆積することを抑制できる。また、ダスト等
の微粒子は負の電荷に帯電し易いため、レーザガス中に
発生した大部分の金属ダストは放電で発生した電子を吸
着し負の電荷に帯電している。したがって、静ガス室内
部のガスの流れの無い空間とレーザ管内のガス循環され
る空間の境界に誘導放出光が通過できる通過穴を有する
ダスト反発電極を設置し、この電極に負の電圧を印加す
る構成を採ることによって、負の電荷に帯電した金属ダ
ストはクーロン力によって静ガス室内部に入り込めな
い。結果として、放電で発生した金属ダストが光学窓の
表面に到達し、付着・堆積することが抑制される。さら
に、ダスト反発電極の近傍に第１のコロナ電極及び第２
のコロナ電極からなるコロナ放電器を設置し、コロナ放
電器を起こすことによって、負の電荷に帯電していない
残りの金属ダストを効率よく負の電荷に帯電させること
が可能である。したがって、金属ダストの静ガス室への
侵入をより完全に抑制することが可能となる。
てもガスの流れの生じない空間を形成する静ガス室を設
けることによって、ガス循環器によってガスが攪はんさ
れても放電で発生した金属ダストが光学窓の表面に到達
し、付着・堆積することを抑制できる。また、ダスト等
の微粒子は負の電荷に帯電し易いため、レーザガス中に
発生した大部分の金属ダストは放電で発生した電子を吸
着し負の電荷に帯電している。したがって、静ガス室内
部のガスの流れの無い空間とレーザ管内のガス循環され
る空間の境界に誘導放出光が通過できる通過穴を有する
ダスト反発電極を設置し、この電極に負の電圧を印加す
る構成を採ることによって、負の電荷に帯電した金属ダ
ストはクーロン力によって静ガス室内部に入り込めな
い。結果として、放電で発生した金属ダストが光学窓の
表面に到達し、付着・堆積することが抑制される。さら
に、ダスト反発電極の近傍に第１のコロナ電極及び第２
のコロナ電極からなるコロナ放電器を設置し、コロナ放
電器を起こすことによって、負の電荷に帯電していない
残りの金属ダストを効率よく負の電荷に帯電させること
が可能である。したがって、金属ダストの静ガス室への
侵入をより完全に抑制することが可能となる。
【０００７】このため、本発明の構成を取ることによ
り、光学窓への金属ダストの堆積・付着を防ぎ、長時間
にわたり安定なレーザ出力を得ることが可能になる。ま
た、光学窓のクリーニング及び交換の回数を低減するこ
とができるため保守が容易になると同時に、ランニング
コスト上有利となる。
り、光学窓への金属ダストの堆積・付着を防ぎ、長時間
にわたり安定なレーザ出力を得ることが可能になる。ま
た、光学窓のクリーニング及び交換の回数を低減するこ
とができるため保守が容易になると同時に、ランニング
コスト上有利となる。
【０００８】
【実施例】以下、図面により本発明を詳細に説明する。
【０００９】図１は、本発明の第１の実施例を示す模式
的な図で、本発明に係わる部分だけを示してある。
的な図で、本発明に係わる部分だけを示してある。
【００１０】本実施例は、レーザ管１の端部の光学窓３
の近傍に静ガス室７を設けてガス循環によってもガスの
流れを生じない空間を形成し、ガス循環器４によりガス
がはんされても、放電で発生した金属ダストが光学窓３
の表面に到達しにくい構造を採ると同時に、静ガス室７
内部のガスの流れの無い空間とレーザ管１内のガス循環
される空間の境界に誘導放出光１１が通過できる通過穴
１０を有するダスト反発電極８を設置し、この電極８に
負電圧印加電源９によって負の電圧を印加する構成を採
ることによって、放電によって大部分の負の電荷に帯電
している金属ダストの静ガス室７内部への侵入をクーロ
ン力のによって防いでいる。したがって、光学窓３への
金属ダストの堆積・付着が抑制され、長時間にわたり安
定なレーザ出力を得ることが可能になる。また、光学窓
３のクリーニング及び交換の回数を低減するとができる
ため保守が容易になると同時に、ランニングコスト上有
利となる。
の近傍に静ガス室７を設けてガス循環によってもガスの
流れを生じない空間を形成し、ガス循環器４によりガス
がはんされても、放電で発生した金属ダストが光学窓３
の表面に到達しにくい構造を採ると同時に、静ガス室７
内部のガスの流れの無い空間とレーザ管１内のガス循環
される空間の境界に誘導放出光１１が通過できる通過穴
１０を有するダスト反発電極８を設置し、この電極８に
負電圧印加電源９によって負の電圧を印加する構成を採
ることによって、放電によって大部分の負の電荷に帯電
している金属ダストの静ガス室７内部への侵入をクーロ
ン力のによって防いでいる。したがって、光学窓３への
金属ダストの堆積・付着が抑制され、長時間にわたり安
定なレーザ出力を得ることが可能になる。また、光学窓
３のクリーニング及び交換の回数を低減するとができる
ため保守が容易になると同時に、ランニングコスト上有
利となる。
【００１１】なお、放電電極２，反射鏡６，出力鏡５は
従来通りなのでこれらの説明は省略する。
従来通りなのでこれらの説明は省略する。
【００１２】図２は、本発明の第２の実施例を示す模式
的な図で、本発明に係わる部分だけを示してある。
的な図で、本発明に係わる部分だけを示してある。
【００１３】本実施例は、図１の第１の実施例の構成に
加えて、ダスト反発電極８の近傍に第１のコロナ電極１
２及び第２のコロナ電極１３からなるコロナ放電器を設
け、コロナ放電器電源１４によってコロナ放電を発生さ
せる構成を採っている。この構成によって、静ガス室７
に侵入しようとする金属ダストのうち負の電荷に帯電し
ていないダストを効率よく負の電荷に帯電させることが
可能であることから、金属ダストの静ガス室７への侵入
をより完全に抑制することができる。したがて、光学窓
３への金属ダストの堆積・付着が抑制され、長時間にわ
たり安定なレーザ出力を得ることが可能になる。また、
光学窓３のクリーニング及び交換の回数を低減するこが
できるため保守が容易になると同時に、ランニングコス
ト上有利となる。
加えて、ダスト反発電極８の近傍に第１のコロナ電極１
２及び第２のコロナ電極１３からなるコロナ放電器を設
け、コロナ放電器電源１４によってコロナ放電を発生さ
せる構成を採っている。この構成によって、静ガス室７
に侵入しようとする金属ダストのうち負の電荷に帯電し
ていないダストを効率よく負の電荷に帯電させることが
可能であることから、金属ダストの静ガス室７への侵入
をより完全に抑制することができる。したがて、光学窓
３への金属ダストの堆積・付着が抑制され、長時間にわ
たり安定なレーザ出力を得ることが可能になる。また、
光学窓３のクリーニング及び交換の回数を低減するこが
できるため保守が容易になると同時に、ランニングコス
ト上有利となる。
【００１４】図３は、本発明の第３の実施例を示す模式
的な図で、本発明に係わる部分だけを示してある。
的な図で、本発明に係わる部分だけを示してある。
【００１５】本実施例は、図１の第１の実施例の構成に
加えて、ガス循環ポンプ１５及びダストフィルタ１６を
レーザ管１及び静ガス室７にガス配管１７によって直列
に接続し、金属ダストを除去したレーザガスを静ガス室
７からレーザ管１内に流す構成を採っている。この構成
を採ることによって、金属ダストは、ダスト反発電極８
に印加された負電圧によるクーロン力に加え、ダストを
含まないレーザガスの流れによっても静ガス室７への侵
入を抑制される。したがって、光学窓３への金属ダスト
の堆積・付着がさらに抑制され、長時間にわたり安定な
レーザ出力を得ることが可能になる。また、光学窓３の
クリーニング及び交換の回数を低減することができるた
め保守が容易になると同時に、ランニングコスト上有利
となる。
加えて、ガス循環ポンプ１５及びダストフィルタ１６を
レーザ管１及び静ガス室７にガス配管１７によって直列
に接続し、金属ダストを除去したレーザガスを静ガス室
７からレーザ管１内に流す構成を採っている。この構成
を採ることによって、金属ダストは、ダスト反発電極８
に印加された負電圧によるクーロン力に加え、ダストを
含まないレーザガスの流れによっても静ガス室７への侵
入を抑制される。したがって、光学窓３への金属ダスト
の堆積・付着がさらに抑制され、長時間にわたり安定な
レーザ出力を得ることが可能になる。また、光学窓３の
クリーニング及び交換の回数を低減することができるた
め保守が容易になると同時に、ランニングコスト上有利
となる。
【００１６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の放電励起パ
ルスガスレーザ装置によれば、放電によって発生する金
属ダストの光学窓への堆積・付着が少なく、長時間安定
なレーザ出力が得られると同時に、光学窓のクリーニン
グ及び交換の回数を低減することができるため保守が容
易になると同時に、ランニングコスト上有利である。
ルスガスレーザ装置によれば、放電によって発生する金
属ダストの光学窓への堆積・付着が少なく、長時間安定
なレーザ出力が得られると同時に、光学窓のクリーニン
グ及び交換の回数を低減することができるため保守が容
易になると同時に、ランニングコスト上有利である。
【図１】本発明の第１の実施例を示す模式的な図であ
る。
る。
【図２】本発明の第２の実施例を示す模式的な図であ
る。
る。
【図３】本発明の第３の実施例を示す模式的な図であ
る。
る。
１ レーザ管 ２ 放電電極対 ３ 光学窓 ４ ガス循環器 ５ 出力鏡 ６ 反射鏡 ７ 静ガス室 ８ ダスト反発電極 ９ 負電圧印加電源 １０ レーザ光の通過穴 １１ レーザ光 １２ 第１のコロナ電極 １３ 第２のコロナ電極 １４ コロナ放電電極 １５ ガス循環ポンプ １６ ダストフィルタ １７ ガス配管
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザガスを封入するレーザ管と、放電
により前記レーザガスを励起して光の誘導放出を起こさ
せる一対の放電電極と、前記放電電極間隙の放電空間に
前記レーザガスを流すガス循環器と、前記誘導放出の光
路に配置された一対の光学窓及びレーザ共振器を構成す
る反射鏡とを少なくとも備えた放電励起パルスガスレー
ザ装置において、前記光学窓近傍に前記ガス循環があっ
てもガスの流れの生じない空間を形成する静ガス室を設
け、前記誘導放出光が通過できる通過穴を有する電極に
よって、前記静ガス室内部のガスの流れの無い空間と前
記レーザ管内のガス循環される空間とを隔離し、前記電
極（以下、ダスト反発電極と称す）に負の電圧を印加す
ることを特徴とする放電励起パルスガスレーザ装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の放電励起パルスガスレー
ザ装置において、前記ダスト反発電極の近傍に第１のコ
ロナ電極及び第２のコロナ電極からなる、コロナ放電器
を設置した放電励起パレスガスレーザ装置。 - 【請求項３】 請求項１記載の放電励起パレスガスレー
ザ装置において、前記レーザ管と前記静ガス室を配管、
ガス循環ポンプ及びダストフィルタのよって直列に接続
した放電励起パルスガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22574391A JPH0567823A (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 放電励起パルスガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22574391A JPH0567823A (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 放電励起パルスガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0567823A true JPH0567823A (ja) | 1993-03-19 |
Family
ID=16834146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22574391A Pending JPH0567823A (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 放電励起パルスガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0567823A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1128498A2 (en) * | 2000-02-22 | 2001-08-29 | TuiLaser AG | Dedusting unit for a laser optical element |
| US6480517B1 (en) | 2000-02-22 | 2002-11-12 | Tuilaser Ag | Shadow device for a gas laser |
| US6493375B1 (en) | 2000-02-22 | 2002-12-10 | Tuilaser Ag | Adjustable mounting unit for an optical element of a gas laser |
| US6522679B1 (en) | 2000-02-22 | 2003-02-18 | Tuilaser | Gas laser discharge unit |
| US6603790B1 (en) | 2000-02-22 | 2003-08-05 | Hans Kodeda | Gas laser and a dedusting unit thereof |
| US6804284B1 (en) | 2000-02-22 | 2004-10-12 | Tuilaser Ag | Optical element holding and extraction device |
| US6859482B1 (en) | 2000-02-22 | 2005-02-22 | Tuilaser Ag | Modular gas laser discharge unit |
| JP2010021236A (ja) * | 2008-07-09 | 2010-01-28 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレーザ発振器 |
| CN116435852A (zh) * | 2023-06-09 | 2023-07-14 | 北京精亦光电科技有限公司 | 一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置 |
-
1991
- 1991-09-05 JP JP22574391A patent/JPH0567823A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1128498A2 (en) * | 2000-02-22 | 2001-08-29 | TuiLaser AG | Dedusting unit for a laser optical element |
| EP1128498A3 (en) * | 2000-02-22 | 2002-08-07 | TuiLaser AG | Dedusting unit for a laser optical element |
| US6480517B1 (en) | 2000-02-22 | 2002-11-12 | Tuilaser Ag | Shadow device for a gas laser |
| US6493375B1 (en) | 2000-02-22 | 2002-12-10 | Tuilaser Ag | Adjustable mounting unit for an optical element of a gas laser |
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| US6782029B1 (en) | 2000-02-22 | 2004-08-24 | Tuilaser Ag | Dedusting unit for a laser optical element of a gas laser and method for assembling |
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| JP2010021236A (ja) * | 2008-07-09 | 2010-01-28 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレーザ発振器 |
| CN116435852A (zh) * | 2023-06-09 | 2023-07-14 | 北京精亦光电科技有限公司 | 一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置 |
| CN116435852B (zh) * | 2023-06-09 | 2023-08-22 | 北京精亦光电科技有限公司 | 一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置 |
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