CN116435852A - 一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，包括：放电腔腔体，该放电腔腔体为封闭的空心腔体结构，放电腔腔体的开设有进气口和出气口；扰流板模块，该扰流板模块与放电腔腔体连接，并设有与进气口连通的出光通道；净化气路，其包括位于扰流板模块两侧且相对设置的第一气路和第二气路，第一气路和第二气路的气体在出光通道内相互对冲并回流至放电腔腔体内。本申请的扰流板模块一方面用于捕获流向出光镜片的灰尘颗粒，另一方面未被扰流板模块捕获的灰尘颗粒在第一气路和第二气路气流的对冲作用下返回至放电腔腔体内，阻止灰尘颗粒经过扰流板模块污染出光镜片，以使出光镜片表面保持清洁，不影响激光的输出性能。

Description

一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置

技术领域

本申请涉及准分子激光器技术领域，特别涉及一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置。

背景技术

准分子激光器是一种面向紫外特征应用的常规气体激光器，目前被认为是用于光刻的最佳光源选择，是集成电路平板印刷光刻工业的主力工作光源。

准分子激光器放电腔在放电时会产生灰尘颗粒，这些粉尘随着风机转动产生的气流，分散到腔体内各个部分。尤其粉尘会漂散到激光器的封腔镜表面，显著降低腔镜的透过率指标，需要设计特殊的腔镜防尘或吹扫装置，用以保护和延长封腔镜使用寿命。

发明内容

本申请实施例提供一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，以解决相关技术中准分子激光器放电腔在放电时会产生灰尘颗粒，灰尘颗粒会漂散到激光器的封腔镜表面，显著降低封腔镜透过率的问题。

本申请实施例提供了一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，包括：

放电腔腔体，所述放电腔腔体为封闭的空心腔体结构，所述放电腔腔体开设有进气口，所述放电腔腔体上还开设有第一出气口和第二出气口；

扰流板模块，所述扰流板模块位于所述放电腔腔体的两侧且与所述放电腔腔体连接，并设有两端分别与所述进气口和出光镜片连接的出光通道；

净化气路，其包括位于扰流板模块两侧且相对设置的第一气路和第二气路，所述第一气路与所述第一出气口连通，所述第二气路与所述第二出气口连通，所述第一气路和第二气路的气体在所述出光通道内相互对冲并回流至放电腔腔体内。

在一些实施例中：还包括出光镜片，所述出光镜片固定在所述扰流板模块上，并位于远离所述放电腔腔体的一端，以封闭所述出光通道；

所述出光通道的激光光路与所述出光镜片的交汇处形成出光点，对冲的气体在所述出光通道内交汇处偏离所述激光光路和出光点。

在一些实施例中：所述扰流板模块包括外壳和位于所述外壳内的多个相互平行且间隔设置的矩形扰流片；

各所述矩形扰流片上开设有长方形孔洞，各长方形孔洞依次连通形成所述出光通道；

多个所述矩形扰流片的外周围设有侧板，相对设置的两块侧板上开设有沿远离放电腔腔体的方向宽度逐渐缩小的楔形孔；

所述第一气路的一端与其中一个所述侧板的楔形孔连通，所述第二气路的一端与另一个所述侧板的楔形孔连通。

在一些实施例中：各所述矩形扰流片上长方形孔洞沿远离所述放电腔腔体的方向宽度逐渐增大，且各所述长方形孔洞的中心点沿远离放电腔腔体的方向距离出光通道的激光光路距离逐渐增大。

在一些实施例中：所述出光通道在开设有楔形孔的侧板上的投影与楔形孔部分重合或互不重合，且各所述长方形孔洞中心点的连线朝远离楔形孔的方向偏移。

在一些实施例中：所述出光通道在开设有楔形孔的侧板上的投影与楔形孔部分重合或互不重合，且各所述矩形扰流片上长方形孔洞相同，以使由楔形孔进入所述出光通道内的对冲气体驱使位于出光通道内的灰尘颗粒偏离出光通道的激光光路。

在一些实施例中：靠近所述放电腔腔体的2-6个所述矩形扰流片与所述楔形孔互不连通，且与侧板相互形成收集灰尘颗粒的扰流腔室。

在一些实施例中：所述第一气路上设有与第一出气口连通，并将所述放电腔腔体内的气体进行静电吸附净化的静电除尘器，所述静电除尘器的排气口通过第一气路与扰流板模块连通以形成第一气体循环回路。

在一些实施例中：所述第二气路上设有泵体和空气过滤器，所述泵体与第二出气口连通并将放电腔腔体内的气体泵入所述空气过滤器内，所述空气过滤器对气体进行过滤后通过第二气路与所述扰流板模块连通。

在一些实施例中：所述泵体连接有控制器，所述控制器通过控制泵体的转速以调节所述第二气路内气体的流速。

在一些实施例中：所述第一气路和第二气路均设有两条，两条所述第一气路和两个所述第二气路分别连通放电腔腔体两侧的扰流板模块。

本申请提供的技术方案带来的有益效果包括：

本申请实施例提供了一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，由于本申请的准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置设置了放电腔腔体，该放电腔腔体为封闭的空心腔体结构，放电腔腔体的两侧均开设有进气口，所述放电腔腔体上还开设有第一出气口和第二出气口；扰流板模块，两个扰流板模块分别位于所述放电腔腔体的两侧且与放电腔腔体连接，并设有与进气口连通的出光通道；净化气路，其包括位于扰流板模块两侧且相对设置的第一气路和第二气路，所述第一气路与所述第一出气口连通，所述第二气路与所述第二出气口连通，所述第一气路和第二气路的气体在出光通道内相互对冲并回流至放电腔腔体内。

因此，本申请的准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置在放电腔腔体上设置了与进气口连通的扰流板模块，在扰流板模块两侧且相对设置的第一气路和第二气路，第一气路和第二气路的气体在出光通道内相互对冲并回流至放电腔腔体内。扰流板模块一方面用于捕获流向出光镜片的灰尘颗粒，另一方面未被扰流板模块捕获的灰尘颗粒在第一气路和第二气路气流的对冲作用下返回至放电腔腔体内，阻止灰尘颗粒经过扰流板模块污染出光镜片，以使出光镜片表面保持清洁，不影响激光的输出性能。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例的结构示意图；

图2为本申请实施例的扰流板模块与出光镜片的结构示意图；

图3为本申请实施例的侧板的结构示意图；

图4为本申请实施例的矩形扰流片的结构示意图；

图5为本申请实施例的扰流板模块结构示意图；

图6为本申请另一实施例的扰流板模块结构示意图。

附图标记：

1、第一气路；2、第二气路；10、放电腔腔体；20、静电除尘器；50、出光镜片；51、出光点；52、激光光路；60、扰流板模块；61、矩形扰流片；62、侧板；63、外壳；64、出光通道；65、楔形孔；66、轨迹曲线；67、灰尘颗粒；68、长方形孔洞；70、空气过滤器；80、泵体。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

本申请实施例提供了一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，其能解决解决相关技术中准分子激光器放电腔在放电时会产生灰尘颗粒，灰尘颗粒会漂散到激光器的封腔镜表面，显著降低腔镜透过率的问题。

参见图1和图2所示，本申请实施例提供了一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，包括：

放电腔腔体10，该放电腔腔体10为封闭的空心腔体结构，放电腔腔体10设计执行压力容器的相关标准，用来储存 3～6atm 具有腐蚀性的混合气体，例如包括 F2 气体在内产生准分子的卤素气体等。放电腔腔体10的两侧均开设有进气口，放电腔腔体10上还开设有第一出气口和第二出气口，第一出气口和第二出气口用于将放电腔腔体10内的工作气体排出至放电腔腔体10外，进气口用于将放电腔腔体10外的气体循环至放电腔腔体10内。

扰流板模块60，该扰流板模块60与放电腔腔体10连接，并设有两端分别与进气口和出光镜片50连接的出光通道64。放电腔腔体10的进气口设有两个，两个进气口对称设置在放电腔腔体10的两侧；扰流板模块60也设有两个，两个扰流板模块60分别设置在放电腔腔体10的两侧。扰流板模块60用于捕获从放电腔腔体10流向出光镜片50的灰尘颗粒67。

净化气路，该净化气路包括位于扰流板模块60两侧且相对设置的第一气路1和第二气路2，第一气路1与第一出气口连通，第二气路2与第二出气口连通，第一气路1和第二气路2排出的气体在扰流板模块60的出光通道64内相互对冲并回流至放电腔腔体10内。第一气路1和第二气路2排出的气体在扰流板模块60的出光通道64内相互对冲，并驱使灰尘颗粒67返回至放电腔腔体内，阻止灰尘颗粒67经过扰流板模块60污染出光镜片50。

本申请实施例的准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置在放电腔腔体10上设置了与进气口连通的扰流板模块60，在扰流板模块60两侧且相对设置的第一气路1和第二气路2，第一气路1和第二气路2的气体在出光通道64内相互对冲并回流至放电腔腔体10内。第一气路1和第二气路2均设有两条，两条第一气路1和两个第二气路2分别连通放电腔腔体10两侧的扰流板模块60。

扰流板模块60一方面用于捕获流向出光镜片50的灰尘颗粒67，另一方面未被扰流板模块60捕获的灰尘颗粒67在第一气路1和第二气路2气流的对冲作用下返回至放电腔腔体10内，阻止灰尘颗粒67经过扰流板模块60污染出光镜片50，以使出光镜片50表面保持清洁，不影响激光的输出性能。

在一些可选实施例中：参见图1至图5所示，本申请实施例提供了一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，该准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置还包括出光镜片50，该出光镜片50固定在扰流板模块60上，并位于远离放电腔腔体10的一端，以封闭出光通道64。出光通道64内的激光光路52与出光镜片50的交汇处形成出光点51，对冲的气体在出光通道64内交汇处偏离激光光路52和出光点51。

具体地，扰流板模块60包括外壳63和位于外壳63内的多个相互平行且间隔设置的矩形扰流片61。各个矩形扰流片61上开设有沿远离放电腔腔体10的方向宽度逐渐增大的长方形孔洞68，各长方形孔洞68依次连通形成所述出光通道64。且各长方形孔洞68的中心点沿远离放电腔腔体10的方向距离出光通道64的激光光路52距离逐渐增大。多个矩形扰流片61的外周围设有侧板62，相对设置的两块侧板62上开设有沿远离放电腔腔体10的方向宽度逐渐缩小的楔形孔65。

第一气路1的一端与其中一个侧板62的楔形孔65连通，第二气路2的一端与另一个侧板62的楔形孔65连通。靠近出光镜片50侧的相邻的两个矩形扰流片61的间隙通过侧板62上的楔形孔65相互连通，出光通道64内由第一气路1和第二气路2排出的气流在这里交汇。楔形孔65也决定了第一气路1和第二气路2排出的气流流速越靠近出光镜片50流速越快，灰尘颗粒67朝出光镜片50方向流动的阻力越大。

通过调整第一气路1和第二气路2气流的流速差，再配合矩形扰流片61的长方形孔洞68宽度的变化，使得第一气路1和第二气路2气流交汇的平衡点沿着轨迹曲线66分布。放电腔腔体10内放电极对放电产生的灰尘颗粒67也会沿着轨迹曲线66运动到出光镜片50上面。也就是说调整第一气路1和第二气路2气流的流速差，楔形孔65的设计和矩形扰流片61内部的长方形孔洞68宽度的变化排布，这三个设计形成气体流动的轨迹曲线66。

由于扰流板模块60具有一定长度，即使防电产生的灰尘颗粒67运动速度很快，在经过扰流板模块60过程中是一定会发生路径偏折的，再加上灰尘颗粒67会经过扰流板模块60至出光镜片50之间的一段距离大约10cm，灰尘颗粒67最终的运动位置会大大偏移出激光光路52和出光点51。放电腔腔体10内放电极对放电产生的灰尘颗粒67通过扰流板模块60后一部分被矩形扰流片61阻挡和捕获，未被阻挡和捕获的灰尘颗粒67沿着轨迹曲线66运动到出光镜片50内表面上。

运动到出光镜片50内表面上的灰尘颗粒67位于出光镜片50的边缘位置，不与出光点51重合。由于灰尘颗粒67的聚集造成出光镜片50在该位置透过率下降，但该位置远离激光输出的出光点51，不影响出光镜片50在该位置透过率，从而不影响激光的出光性能。

在一些可选实施例中：参见图1、图2和图6所示，本申请实施例提供了一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，该准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置的各个矩形扰流片61上开设有沿远离放电腔腔体10的方向宽度逐渐增大的长方形孔洞68，各长方形孔洞68依次连通形成所述出光通道64。且各长方形孔洞68的中心点沿远离放电腔腔体10的方向距离出光通道64的激光光路52距离逐渐增大。出光通道64在开设有楔形孔65的侧板62上的投影与楔形孔65部分重合或互不重合，且各长方形孔洞68中心点的连线朝远离楔形孔65的方向偏移。

例如：楔形孔65高于或低于出光通道64的高度，优选地，楔形孔65位于出光通道64的上方，以使由楔形孔65进入出光通道64内的对冲气体驱使位于出光通道64内的灰尘颗粒偏离出光通道64的激光光路52，以使未被阻挡和捕获的灰尘颗粒67沿着轨迹曲线66运动到出光镜片50内表面的下方。

本申请实施例的侧板62上的楔形孔65位置靠上，这样扰流板模块60被分为上下两个部分，第一气路1和第二气路2的气流从位于侧板62上半部分的楔形孔65进入形成对流，然后向下把放电产生的灰尘颗粒67吹到出光镜片50的正下方。本实施例可以充分利用扰流板模块60的长度，在每个矩形扰流片61之间产生涡流，从而提高了灰尘颗粒67的捕获效率。对于流向出光镜片50的灰尘颗粒67，被吹到了出光镜片50的正下放，也避开了出光镜片50的出光点51。

在一些可选实施例中：参见图1、图2和图6所示，本申请实施例提供了一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，该准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置的出光通道在开设有楔形孔65的侧板62上的投影与楔形孔65部分重合或互不重合，且各矩形扰流片61上长方形孔洞68的形状和大小相同，以使由楔形孔65进入出光通道64内的对冲气体驱使位于出光通道64内的灰尘颗粒67偏离出光通道64的激光光路52。

例如：楔形孔65高于或低于出光通道64的高度，优选地，楔形孔65位于出光通道64的上方，以使由楔形孔65进入出光通道64内的对冲气体驱使位于出光通道64内的灰尘颗粒偏离出光通道64的激光光路52，以使未被阻挡和捕获的灰尘颗粒67运动到出光镜片50内表面的下方。

在一些可选实施例中：参见图1、图2和图5所示，本申请实施例提供了一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，该准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置的第一气路1的气体流速大于第二气路2的气体流速，各长方形孔洞68的中心点沿远离放电腔腔体10的方向距离出光通道64的激光光路52距离逐渐增大，例如若干矩形扰流片61的长方形孔洞68的中心点靠近第二气路2且远离第一气路1，以使放电腔腔体10内放电极对放电产生的灰尘颗粒67也会沿着轨迹曲线66向左运动到出光镜片50上面。或者，第一气路1的气体流速小于第二气路2的气体流速，各长方形孔洞68的中心点沿远离放电腔腔体10的方向距离出光通道64的激光光路52距离逐渐增大，例如若干矩形扰流片61的长方形孔洞68的中心点靠近第一气路1且远离第二气路2，以使放电腔腔体10内放电极对放电产生的灰尘颗粒67也会沿着轨迹曲线66向右运动到出光镜片50上面。靠近放电腔腔体10的2-6个矩形扰流片61与楔形孔65互不连通，且与侧板62相互形成收集灰尘颗粒的扰流腔室。

第一气路1上设有与放电腔腔体10的第一出气口连通，并将放电腔腔体10内的气体进行静电吸附净化的静电除尘器20，静电除尘器20的排气口通过第一气路1与扰流板模块60连通以形成第一气体循环回路。第二气路2上设有泵体80和空气过滤器70，泵体80通过第二出气口将放电腔腔体10内的气体泵入空气过滤器70内，空气过滤器70对气体进行过滤后通过第二气路2与扰流板模块60连通以形成第二气体循环回路。泵体80连接有控制器，控制器通过控制泵体80的转速以调节第二气路2内气体的流速。

本申请实施例的第一气路1的气体流速大于第二气路2的气体流速，并且若干矩形扰流片61的长方形孔洞68中心线靠近第二气路2且远离第一气路1。从第一气路1排出的气体压力大于第二气路2排出的气体压力，并在矩形扰流片61的长方形孔洞68中心线靠近第二气路2且远离第一气路1的条件下，第一气路1和第二气路2在出光通道64内气流交汇的平衡点沿着轨迹曲线66分布，该轨迹曲线66朝逐渐接近第二气路2的方向向左偏移延伸至出光镜片50上且与出光点51互不重合。

本申请实施例的第一气路1的气体流速小于第二气路2的气体流速，并且若干矩形扰流片61的长方形孔洞68中心线靠近第一气路1且远离第二气路2。从第一气路1排出的气体压力小于第二气路2排出的气体压力，并在矩形扰流片61的长方形孔洞68中心线靠近第一气路1且远离第二气路2的条件下，第一气路1和第二气路2在出光通道64内气流交汇的平衡点沿着轨迹曲线66分布，该轨迹曲线66朝逐渐接近第一气路2的方向向右偏移延伸至出光镜片50上且与出光点51互不重合。

本申请实施例的第一气路1上设有将放电腔腔体10内的气体进行静电吸附净化的静电除尘器20，从静电除尘器20排出的气体的洁净气体，进入到扰流板模块60内的气体能降低灰尘颗粒67的含量。第二气路2上设有泵体80和空气过滤器70，空气过滤器70能够对放电腔腔体10内的气体进行过滤，降低进入扰流板模块60内灰尘颗粒67的含量。第一气路1和第二气路2对放电腔腔体10内的气体进行过滤的同时，又能对出光镜片50进行清洁防护。

工作原理

本申请实施例提供了一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，由于本申请的准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置设置了放电腔腔体10，该放电腔腔体10为封闭的空心腔体结构，放电腔腔体10两侧均开设有进气口，所述放电腔腔体上还开设有第一出气口和第二出气口；扰流板模块60，两个扰流板模块60分别位于所述放电腔腔体10的两侧且与放电腔腔体10连接，并设有与进气口连通的出光通道64；净化气路，其包括位于扰流板模块60两侧且相对设置的第一气路1和第二气路2，第一气路1与第一出气口连通，第二气路2与第二出气口连通，第一气路1和第二气路2的气体在出光通道64内相互对冲并回流至放电腔腔体10内。

因此，本申请的准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置在放电腔腔体上设置了与进气口连通的扰流板模块60，在扰流板模块60两侧且相对设置的第一气路1和第二气路2，第一气路1和第二气路2的气体在出光通道64内相互对冲并回流至放电腔腔体10内。扰流板模块60一方面用于捕获流向出光镜片50的灰尘颗粒67，另一方面未被扰流板模块60捕获的灰尘颗粒67在第一气路1和第二气路2气流的对冲作用下返回至放电腔腔体10内，阻止灰尘颗粒67经过扰流板模块60污染出光镜片50，以使出光镜片50表面保持清洁，不影响激光的输出性能。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

需要说明的是，在本申请中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上所述仅是本申请的具体实施方式，使本领域技术人员能够理解或实现本申请。对这些实施例的多种修改对本领域的技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本申请的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本申请将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所申请的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (11)

1.一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，其特征在于，包括：

放电腔腔体（10），所述放电腔腔体（10）为封闭的空心腔体结构，所述放电腔腔体（10）开设有进气口，所述放电腔腔体（10）上还开设有第一出气口和第二出气口；

扰流板模块（60），所述扰流板模块（60）位于所述放电腔腔体（10）的两侧且与所述放电腔腔体（10）连接，并设有两端分别与所述进气口和出光镜片（50）连接的出光通道（64）；

净化气路，其包括位于扰流板模块（60）两侧且相对设置的第一气路（1）和第二气路（2），所述第一气路（1）与所述第一出气口连通，所述第二气路（2）与所述第二出气口连通，所述第一气路（1）和第二气路（2）的气体在所述出光通道（64）内相互对冲并回流至放电腔腔体（10）内。

2.如权利要求1所述的一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，其特征在于，包括：

还包括出光镜片（50），所述出光镜片（50）固定在所述扰流板模块（60）上，并位于远离所述放电腔腔体（10）的一端，以封闭所述出光通道（64）；

所述出光通道（64）的激光光路（52）与所述出光镜片（50）的交汇处形成出光点（51），对冲的气体在所述出光通道（64）内交汇处偏离所述激光光路（52）和出光点（51）。

3.如权利要求1或2所述的一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，其特征在于，包括：

所述扰流板模块（60）包括外壳（63）和位于所述外壳（63）内的多个相互平行且间隔设置的矩形扰流片（61）；

各所述矩形扰流片（61）上开设有长方形孔洞（68），各长方形孔洞（68）依次连通形成所述出光通道（64）；

多个所述矩形扰流片（61）的外周围设有侧板（62），相对设置的两块侧板（62）上开设有沿远离放电腔腔体（10）的方向宽度逐渐缩小的楔形孔（65）；

所述第一气路（1）的一端与其中一个所述侧板（62）的楔形孔（65）连通，所述第二气路（2）的一端与另一个所述侧板（62）的楔形孔（65）连通。

4.如权利要求3所述的一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，其特征在于，包括：

各所述矩形扰流片（61）上长方形孔洞（68）沿远离所述放电腔腔体（10）的方向宽度逐渐增大，且各所述长方形孔洞（68）的中心点沿远离放电腔腔体（10）的方向距离出光通道（64）的激光光路（52）距离逐渐增大。

5.如权利要求4所述的一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，其特征在于，包括：

所述出光通道（64）在开设有楔形孔（65）的侧板（62）上的投影与楔形孔（65）部分重合或互不重合，且各所述长方形孔洞（68）中心点的连线朝远离楔形孔（65）的方向偏移。

6.如权利要求3所述的一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，其特征在于，包括：

所述出光通道（64）在开设有楔形孔（65）的侧板（62）上的投影与楔形孔（65）部分重合或互不重合，且各所述矩形扰流片（61）上长方形孔洞（68）相同，以使由楔形孔（65）进入所述出光通道（64）内的对冲气体驱使位于出光通道（64）内的灰尘颗粒（67）偏离出光通道（64）的激光光路（52）。

7.如权利要求3所述的一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，其特征在于，包括：

靠近所述放电腔腔体（10）的2-6个所述矩形扰流片（61）与所述楔形孔（65）互不连通，且与侧板（62）相互形成收集灰尘颗粒（67）的扰流腔室。

8.如权利要求1所述的一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，其特征在于，包括：

所述第一气路（1）上设有与所述第一出气口连通，并将所述放电腔腔体（10）内的气体进行静电吸附净化的静电除尘器（20），所述静电除尘器（20）的排气口通过第一气路（1）与扰流板模块（60）连通以形成第一气体循环回路。

9.如权利要求1所述的一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，其特征在于，包括：

所述第二气路（2）上设有泵体（80）和空气过滤器（70），所述泵体（80）与所述第二出气口连通并将放电腔腔体（10）内的气体泵入所述空气过滤器（70）内，所述空气过滤器（70）对气体进行过滤后通过第二气路（2）与所述扰流板模块（60）连通以形成第二气体循环回路。

10.如权利要求9所述的一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，其特征在于，包括：

所述泵体（80）连接有控制器，所述控制器通过控制所述泵体（80）的转速以调节所述第二气路（2）内气体的流速。

11.如权利要求1所述的一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，其特征在于，包括：

所述第一气路（1）和第二气路（2）均设有两条，两条所述第一气路（1）和两个所述第二气路（2）分别连通放电腔腔体（10）两侧的扰流板模块（60）。

Images