KR20240033141A - 레이저 광출사 윈도우 시트의 방진 구조 및 레이저 - Google Patents

Abstract

본 발명은 레이저 광출사 윈도우 시트의 방진 구조 및 레이저를 제공하고, 레이저 광출사 윈도우 시트의 방진 구조는 방전 캐비티 바디, 가스 정화기, 방진 배관 및 팬을 포함하고; 광출사 윈도우 시트와 슬릿 사이에는 중간 캐비티가 설치되며; 상기 방진 배관의 가스 유입단은 중간 캐비티를 경유하여 상기 가스 정화기에 연결되고, 방진 배관의 가스 배출단은 팬에 연결되며, 상기 가스 정화기에 의해 정화된 작동 가스의 적어도 일부는 방진 배관을 통해 상기 중간 캐비티를 흘러 지나고, 팬에 의해 작동 가스를 안내하여 중간 캐비티를 흘러 지나는 가스 유량을 증가하고 광출사 윈도우 시트에 대한 청정 가스의 퍼지를 강화하며, 바디 내로부터 슬릿 상의 윈도우를 통해 중간 캐비티 내에 들어간 작동 가스의 입자가 광출사 윈도우 시트에 가까워져 이를 오염시키는 것을 효과적으로 방지한다.

Description

레이저 광출사 윈도우 시트의 방진 구조 및 레이저

본 발명은 레이저 기술분야에 관한 것으로, 특히 레이저 광출사 윈도우 시트의 방진 구조 및 레이저에 관한 것이다.

엑시머 레이저 방전 캐비티는 방전 과정에서 전극 손실을 수반하며 지속적으로 먼지가 발생하는데, 이러한 먼지는 공기 흐름과 함께 순환 운동하면서 바디 내 여러 위치로 분산되며, 특히 렌즈 레이저의 광출사 윈도우 시트 및 직교류 팬의 베어링에 가장 큰 손상을 입힌다. 따라서 렌즈 광출사 윈도우 시트 및 베어링을 보호하고 정상적인 작동과 서비스 수명을 연장하기 위한 특수 보호 장치의 설계가 필요하다.

구체적으로, 도 1에 도시된 바와 같이, 레이저 방전 캐비티(10) 내의 작동 가스(1)는 레이저의 바디 내의 가스 배출구를 통해 가스정화기(20)(즉, 금속 불화물 트랩(MFT))로 유입되어 필터링되어 먼지를 제거하고, 이후 상부 캐비티 내에 구비된 가스 유입구와 가스 유입 유로를 통과하여 슬릿(60)의 광 유입구를 거쳐 방전 캐비티(10)로 돌아가 계속 작동하며 순환하게 되며, 도면의 화살표는 작동 가스(1)의 흐름 방향이다. 상술한 레이저 상부 캐비티 내의 가스 유입 유로는 금속 불화물 트랩의 배기 유로다.

레이저의 광출사 윈도우 시트(50)는 슬릿(60)의 외부에 설치되고 둘은 서로 인접해 있고 둘 사이는 간격을 두고 설치되는데, 이는 둘 사이의 공동이라고 볼 수 있으며, 슬릿(60)에는 광이 유입되는 개구가 설치되어 있다. 금속 불화물 트랩에 의해 정화된 가스는 약간의 압력차만 있으면 광출사 윈도우 시트(50)와 슬릿(60) 사이의 공동으로 흐르다가 슬릿을 통해 방전 캐비티(10)로 되돌아가는데, 가스 유속이 작고 막히기 쉽다.

슬릿(60)에는 광이 유입되는 개구가 있으므로 광출사 윈도우 시트(50)는 방전 캐비티(10) 내와 완전히 격리될 수 없으며, 이를 통해 방전 캐비티(10) 내의 먼지가 슬릿(60)의 광토출구를 통해 광출사 윈도우 시트(50)와 슬릿(60) 사이의 공간으로 유입되어 광출사 윈도우 시트(50)의 내면을 오염시키기 쉽다.

본 발명의 목적은 종래 기술에 존재하는 적어도 하나의 상기 기술적 과제를 해결하기 위한 레이저 광출사 윈도우 시트의 방진 구조를 제공하는 것이다.

상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명에서 제공되는 레이저 광출사 윈도우 시트의 방진 구조는 방전 캐비티 바디, 가스 정화기, 방진 배관 및 팬을 포함하고;

상기 가스 정화기는 방전 캐비티 바디 내의 작동 가스에 대해 정화 처리를 수행하며;

상기 방전 캐비티 바디에는 광출사 윈도우 시트 및 슬릿이 설치되고;

상기 광출사 윈도우 시트와 슬릿 사이에는 중간 캐비티가 설치되며;

상기 방진 배관의 가스 유입단은 상기 중간 캐비티를 경유하여 상기 가스 정화기에 연결되고, 방진 배관의 가스 배출단은 팬에 연결되며, 상기 가스 정화기에 의해 정화된 작동 가스의 적어도 일부는 방진 배관을 통해 상기 중간 캐비티를 흘러 지나 광출사 윈도우 시트 내측에 방진 에어커튼을 형성함으로써, 바디 내로부터 슬릿 상의 윈도우를 통해 중간 캐비티 내에 들어간 작동 가스가 상기 광출사 윈도우 시트에 가까워져 이를 오염시키는 것을 방지한다. 팬에 의해 작동 가스를 안내하여 중간 캐비티를 흘러 지나는 청정 가스 유량을 증가하고 광출사 윈도우 시트에 대한 청정 가스의 퍼지를 강화하며, 바디 내로부터 슬릿 상의 윈도우를 통해 중간 캐비티 내에 들어간 작동 가스의 입자가 광출사 윈도우 시트에 가까워져 이를 오염시키는 것을 효과적으로 방지한다.

또한, 상기 중간 캐비티 내의 기압은 상기 방전 캐비티 바디 내의 압력보다 작거나 같다.

또한, 상기 방진 배관 내의 작동 가스는 상기 팬을 지난 후 직접, 또는 배관을 통해 상기 바디 내로 환류한다.

여기서, 팬이 회전하면 방진 배관의 가스 배출단 근처에 특정 부압이 형성되어 흡입력이 형성되어 방진 배관 내의 작동 가스가 흐르고 흘러 나가도록 함으로써 최종적으로 팬 내의 공기 유로에 들어간 후 바디 내로 불어 들어가도록 한다.

또한, 상기 팬은 직교류 팬이고, 직교류 팬의 양단에는 샤프트 디스크가 설치되며; 상기 방진 배관의 가스 배출단은 샤프트 디스크와 마주보게 설치되고, 샤프트 디스크에는 직교류 팬의 중간 공동의 내부와 외부를 연통시키는 통공(또는 노치라고 함)이 설치되며, 방진 배관으로부터 배출된 작동 가스는 상기 통공을 거쳐 직교류 팬의 중간 공동에 들어간다.

또한, 상기 통공은 나선형으로 경사지게 설치되어, 모터가 샤프트 디스크를 회전 구동시킬 때 샤프트 디스크 외부의 가스가 통공을 거쳐 상기 직교류 팬의 공동 내로 유입되도록 하는 경향이 있다.

여기서 바람직하게, 임펠러는 연결리브 플레이트를 통해 중앙의 축에 연결되고, 인접한 2개의 연결리브 플레이트 사이에 상기 통공 또는 노치가 형성되며, 여기서 연결리브 플레이트는 블레이드와 같이 나선형으로 또는 경사지게 설치되어 회전 과정에서 가스가 외부에서 내부로 공동에 유입되도록 하며; 부압을 이용하여 방진 배관 내의 작동 가스가 흘러 나가도록 한다.

여기서, 상기 방진 배관은 상기 방전 캐비티의 측벽 또는 바닥판 등 내부에 설치된 가스 유로일 수 있으며, 물론 방전 캐비티 외부에 설치된 관체일 수도 있다.

또한, 상기 슬릿은 본체 및 복수개의 스포일러를 포함하고; 레이저 광 출사 방향에 수직되는 투영 평면에서 스포일러는 상기 본체에 좌우로 또는 상하로 대칭되게 설치되어, 레이저광이 통과하는 레이저광 채널(즉 슬릿)을 둘러싸게 되며; 레이저 광 출사 방향에서, 좌우 또는 상하 양측의 스포일러는 엇갈리게 배치된다.

또한, 레이저 광 출사 방향에서, 상기 레이저광 채널의 횡단면은 점차 작아진다. 즉 광출사 윈도우 시트로부터 바디 내부로 갈수록, 상기 레이저광 채널은 개구가 점차 커지는 나팔형 모양이다.

또한, 상기 직교류 팬 양단의 축은 베어링을 통해 상기 바디에 회전 가능하게 설치되고; 축은 상기 베어링 외측 단면에 가까운 외부 원에 나사산 구조, 치형 구조 또는 블레이드 구조가 설치되며, 모터가 축 및 임펠러를 회전 구동시킬 경우, 나사산 구조, 치형 구조 또는 블레이드 구조는 상기 베어링 외의 가스가 상기 베어링에서 멀어지는 방향으로 이동(대체로는 직교류 팬 내부 및 바디 내부를 향하는 방향으로 이동)하도록 하여 바디 내의 먼지가 베어링에 가까워져 들어가는 것을 방지한다.

또한, 상기 바디 측벽에는 장착홀이 설치되고, 축의 나사산 구조, 치형 구조 또는 블레이드 구조는 장착홀 내에 삽입 장착되며; 직교류 팬이 회전 시 나사산 구조, 치형 구조 또는 블레이드 구조와 장착홀 사이는 동적 밀봉 구조를 형성한다.

장착홀 내벽과 나사산 구조, 치형 구조 또는 블레이드 구조 사이의 간격은 예를 들어 0.5mm 이하로 작다. 직교류 팬이 고속으로 회전 시 나사산 구조, 치형 구조 또는 블레이드 구조는 회전하여 사이클론 와류를 생성하여 가스가 장착홀 외부와 바디 방향으로 흐르도록 하여 장착홀 및 나사산 구조, 치형 구조 또는 블레이드 구조가 서로 결합되어 우수한 동적 밀봉 구조를 형성함으로써 먼지가 베어링에 들어가는 것을 방지한다.

또한, 상기 직교류 팬의 샤프트 디스크 외측 단면 및 축의 원주 방향에는 복수개의 블레이드가 설치되고, 모터가 상기 베어링, 샤프트 디스크 및 블레이드를 회전 구동할 경우, 블레이드는 베어링 및 축 근처의 가스가 상기 베어링 및 축에서 멀어지는 방향으로 흐르도록(즉 베어링 및 축 근처에 하나의 저압 영역을 형성함) 하는 경향이 있다.

또한, 상기 샤프트 디스크 외측 단면에서, 통공은 상기 축과 블레이드 사이에 설치되고; 복수개의 통공은 축의 원주 방향을 따라 간격을 두고 배치된다.

또한, 상기 샤프트 디스크 외측 단면에서, 상기 통공과 블레이드 사이에는 방사상으로 돌출된 환형의 배플이 설치된다.

여기서, 배플은 바디 측면에 최대한 가깝게 배치되어, 하나의 상대적으로 폐쇄된 환형 캐비티를 형성하여, 상기 방진 배관에서 배출된 작동 가스를 안내하는 역할을 한다.

여기서, 직교류 팬은 종래 기술로서 환형의 블레이드 캐스케이드로 둘러싸인 임펠러를 포함하며, 임펠러 내부에는 중간 공동이 마련되고; 임펠러 양단에는 샤프트 디스크 및 축이 설치된다.

본 발명은 상술한 광출사 윈도우 시트 방진 구조를 포함하는 레이저를 더 제공한다.

상기 기술적 해결방안을 채택하여 본 발명은 다음과 같은 유익한 효과를 갖는다.

본 발명에서 제공되는 레이저 광출사 윈도우 시트의 방진 구조는 구조가 간단하고 방진 배관의 가스 배출단은 팬에 연결되며, 방진 배관의 가스 유입단은 상기 가스 정화기에 연결되고, 가스 정화기에 의해 정화된 작동 가스의 적어도 일부는 방진 배관을 통해 광출사 윈도우 시트와 슬릿 사이의 중간 캐비티를 흘러 지나고, 정화 처리를 거친 작동 가스는 중간 캐비티를 흘러 지나며, 팬에 의해 작동 가스를 안내하여 중간 캐비티를 흘러 지나는 가스 유량을 증가하고 광출사 윈도우 시트에 대한 청정 가스의 퍼지를 강화하며, 바디 내로부터 슬릿 상의 윈도우를 통해 중간 캐비티 내에 들어간 작동 가스의 입자가 광출사 윈도우 시트에 가까워져 이를 오염시키는 것을 효과적으로 방지한다.

본 발명의 구체적인 실시형태 또는 종래 기술의 기술적 해결방안을 보다 명확하게 설명하기 위해, 아래에서 구체적인 실시형태 또는 종래 기술을 설명하는데 사용되는 도면을 간략하게 소개한다. 하기의 설명에서 도면은 본 발명의 일부 실시형태일 뿐, 당업자라면 창의적인 노력을 들이지 않고도 이러한 도면을 기반으로 다른 도면을 얻을 수 있을 것이다.
도 1은 종래 기술의 레이저의 금속 불화물 트랩의 배기 유로, 레이저의 광출사 윈도우 시트 및 슬릿의 모식도(평면도)이다.
도 2는 본 발명의 실시예 1에서 제공되는 레이저 광출사 윈도우 시트의 방진 구조의 구조도이다.
도 3은 방진 배관의 3차원 단면도이다.
도 4는 실시예 1의 방진 배관과 중간 캐비티의 구조도이다.
도 5는 실시예 1의 광출사 윈도우 시트, 중간 캐비티 및 슬릿의 부분 구조도이다.
도 6은 작동 가스가 직교류 팬을 지나 바디로 돌아가는 원리도이다.
도 7은 실시예 1의 슬릿의 사시도이다.
도 8은 실시예 1의 슬릿의 스포일러가 엇갈리게 배치된 구조도이다.
도 9는 실시예 1의 베어링, 축의 부분 구조도이다.
도 10은 실시예 1의 축 및 샤프트 디스크의 부분 사시도이다.
도 11은 실시예 1의 장착홀의 부분 확대도이다.
도 12는 실시예 2에서 독립된 팬이 외부에 설치된 경우의 원리도이다.
도 13은 실시예 2의 작동 가스가 가스 정화기에 돌아가는 작동 원리도이다.
도 14는 실시예 3의 레이저의 모식도이다.

아래에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 기술적 해결방안을 명확하고 완전하게 설명할 것이며, 설명된 실시예는 본 발명의 실시예의 전부가 아닌 일부에 불과함은 물론이다. 본 발명의 실시예에 기초하여, 당업자가 창의적인 노력 없이 획득한 다른 모든 실시예는 본 발명의 보호 범위에 속한다.

본 발명을 설명함에 있어서, "중앙", "상부", "하부", "좌측", "우측", "수직", "수평", "내측", "외측"이라는 용어로 표시된 방향 또는 위치 관계는 도면에 도시된 방향 또는 위치 관계에 기초한 것으로, 이는 단지 본 발명을 설명의 편의와 간략화를 위한 것일 뿐, 언급된 장치 또는 구성 요소가 특정 방향 또는 특정 방향의 구성 및 작동을 가져야 함을 나타내거나 암시하는 것은 아니기에 본 발명을 제한하는 것으로 해석되어서는 안 된다는 것에 유의하여야 한다. 또한, "제1", "제2" 및 "제3"이라는 용어는 설명의 목적으로만 사용되며 상대적 중요성을 나타내거나 암시하는 것으로 해석되어서는 안된다.

본 발명을 설명함에 있어서, "장착", "연결" 및 "결합"이라는 용어는 특별히 달리 명시하거나 제한하지 않는 한 넓은 의미로 이해되어야 하며, 예를 들어 고정 연결 또는 분리 가능한 연결 또는 일체형 연결일 수 있고; 기계적 연결 또는 전기적 연결일 수도 있으며, 직접 연결일 수도 있고 중간 매체를 통한 간접 연결일 수도 있으며, 두 구성 요소 사이의 내부 연결일 수도 있다는 것에 유의하여야 한다. 당업자는 본 발명에서 상기 용어의 구체적인 의미를 사례별로 이해할 수 있을 것이다.

본 발명은 구체적인 실시형태를 참조하여 아래에서 추가로 설명될 것이다.

실시예 1

도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서 제공되는 레이저 광출사 윈도우 시트의 방진 구조는 방전 캐비티 바디(10), 가스 정화기(20), 방진 배관(11) 및 직교류 팬(30)을 포함하고; 가스 정화기(20)는 방전 캐비티 바디(10) 내의 작동 가스(1)에 대해 정화 처리를 수행하며; 방전 캐비티 바디(10)에는 레이저광의 출가측에 광출사 윈도우 시트(50) 및 슬릿(60)이 설치되고; 광출사 윈도우 시트(50)와 슬릿(60) 사이에는 중간 캐비티(12)가 설치되며; 방진 배관(11)의 가스 유입단은 중간 캐비티(12)를 경유하여 가스 정화기(20)에 연결되고, 방진 배관(11)의 가스 배출단(11a)은 직교류 팬(30)에 연결되며, 가스 정화기(20)에 의해 정화된 작동 가스(1)의 적어도 일부는 방진 배관(11)을 통해 중간 캐비티(12)를 흘러 지나 광출사 윈도우 시트(50) 내측에 방진 에어커튼을 형성함으로써, 바디(10) 내로부터 슬릿(60) 상의 윈도우를 통해 중간 캐비티(12) 내에 들어간 작동 가스(1)가 광출사 윈도우 시트(50)에 가까워져 이를 오염시키는 것을 방지한다. 직교류 팬(30)에 의해 작동 가스를 안내하여 중간 캐비티(12)를 흘러 지나는 청정 가스 유량을 증가하고 광출사 윈도우 시트(50)에 대한 청정 가스의 퍼지를 강화하여 광출사 윈도우 시트(50)에 대한 정화를 강화하며, 바디(10) 내로부터 슬릿(60) 상의 윈도우를 통해 중간 캐비티(12) 내에 들어간 작동 가스(1)의 입자가 광출사 윈도우 시트(50)에 가까워져 이를 오염시키는 것을 효과적으로 방지한다.

도 2를 참조하면, 바디(10)는 상부 캐비티(10a) 및 하부 캐비티(10b)를 포함하고, 직교류 팬(30) 및 이의 모터(40)는 하부 캐비티(10b)에 배치되고, 가스 정화기(20)는 상부 캐비티(10a)에 고정 설치된다.

바람직하게, 중간 캐비티(12) 내의 기압은 방전 캐비티 바디(10) 내의 압력보다 작거나 같다. 작동 시 직교류 팬(30)과 같은 팬의 흡입력을 이용하여, 방진 배관(11)을 통해 중간 캐비티(12)에서 설정 압력을 유지하도록 하고, 이 설정 압력은 방전 캐비티(10) 내부 압력보다 작거나 같기에, 소량의 입자가 중간 캐비티(12) 내에 들어가더라도 방진 배관(11) 내의 가스와 함께 배출되어 광출사 윈도우 시트(50)를 오염시키지 않으며; 슬릿(60) 양측의 압력 차이가 크게 감소하여 종래기술에서 빔 품질에 대한 큰 압력 기울기의 영향을 크게 감소한다.

도 5 및 도 6을 참조하면, 방진 배관(11) 내의 작동 가스(1)는 팬을 지난 후 직접, 또는 배관을 통해 바디(10) 내로 환류한다. 여기서, 팬이 회전하면 방진 배관(11)의 가스 배출단(11a) 근처에 특정 부압이 형성되어 흡입력이 형성되어 방진 배관(11) 내의 작동 가스가 흐르고 흘러 나가도록 함으로써 최종적으로 팬 내의 공기 유로에 들어간 후 바디(10) 내로 불어 들어가도록 한다.

구체적으로, 직교류 팬(30)의 임펠러(31) 양단에는 샤프트 디스크(33)가 설치되며; 샤프트 디스크(33)는 축(32)에 고정 연결된다. 방진 배관(11)의 가스 배출단(11a)은 샤프트 디스크(33)와 마주보게 설치되고, 샤프트 디스크(33)에는 직교류 팬(30)의 중간 공동의 내부와 외부를 연통시키는 통공(36)(또는 노치라고 함)이 설치되며, 방진 배관(11)으로부터 배출된 작동 가스(1)는 통공(36)을 거쳐 직교류 팬(30)의 중간 공동에 들어간다.

바람직하게, 통공(36)은 나선형으로 경사지게 설치되어, 모터(40)가 샤프트 디스크(33)를 회전 구동시킬 때 샤프트 디스크(33) 외부의 가스가 통공(36)을 거쳐 직교류 팬(30)의 공동 내로 유입되도록 하는 경향이 있다.

여기서 바람직하게, 직교류 팬(30)의 임펠러(31)는 연결리브 플레이트를 통해 중앙의 축(32)에 연결되고, 인접한 2개의 연결리브 플레이트 사이에 통공(36) 또는 노치가 형성되며, 여기서 연결리브 플레이트는 블레이드와 같이 나선형으로 또는 경사지게 설치되어 회전 과정에서 가스가 외부에서 내부로 공동에 유입되도록 하며; 부압을 이용하여 방진 배관(11) 내의 작동 가스(1)가 흘러 나가도록 한다.

여기서, 방진 배관(11)은 방전 캐비티의 측벽 또는 바닥판 등 내부에 설치된 가스 유로일 수 있으며, 물론 방전 캐비티 외부에 설치된 관체일 수도 있다.

도 7 및 도 8을 참조하면, 슬릿(60)은 본체(63) 및 복수개의 스포일러(61)를 포함하고; 레이저 광 출사 방향에 수직되는 투영 평면에서 스포일러(61)는 본체(63)에 좌우로 또는 상하로 대칭되게 설치되어, 레이저광이 통과하는 레이저광 채널(62)(즉 슬릿(60))을 둘러싸게 되며; 레이저 광 출사 방향에서, 좌우 또는 상하 양측의 스포일러(61)는 엇갈리게 배치된다. 레이저 광 출사 방향에서, 레이저광 채널(62)의 횡단면은 점차 작아진다. 즉 광출사 윈도우 시트(50)로부터 바디(10) 내부로 갈수록, 레이저광 채널(62)은 개구가 점차 커지는 나팔형 모양이다.

본 발명은 슬릿의 구조를 개선하여 슬릿의 스포일러(61)가 좌우/상하 양측으로 대칭되도록 배열되던 것을좌우/상하 양측에서 엇갈리게 배열되도록 변경함으로써 스포일러(61)의 간격을 효과적으로 감소하여 바디(10) 내의 먼지가 중간 캐비티(11)에 들어가는 저항력을 효과적으로 증가하며, 즉 중간 캐비티(12)에 들어가는 먼지의 양을 효과적으로 감소시킨다.

도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 직교류 팬(30)의 임펠러(31) 양단의 축(32)은 베어링(13)을 통해 바디(10)에 회전 가능하게 설치되고; 축(32)은 베어링(13) 외측 단면에 가까운 외부 원에 나사산 구조(34)가 설치되며, 모터(40)가 축(32), 샤프트 디스크(33) 및 직교류 팬(30)을 회전 구동시킬 경우, 나사산 구조(34)는 베어링(13) 외의 가스가 베어링(13)에서 멀어지는 방향으로 이동(대체로는 직교류 팬(30) 내부 및 바디(10) 내부를 향하는 방향으로 이동)하도록 하여 바디(10) 내의 먼지가 베어링(13)에 가까워져 들어가는 것을 방지한다.

도 11을 참조하면, 바디(10) 측벽에는 장착홀(14)이 설치되고, 축(32)의 나사산 구조(34)는 장착홀(14) 내에 삽입 장착되며; 직교류 팬(30)이 회전 시 나사산 구조(34)와 장착홀(14) 사이는 동적 밀봉 구조를 형성한다.

장착홀(14) 내벽과 나사산 구조(34) 사이의 간격은 예를 들어 0.5mm 이하로 작다. 직교류 팬(30)이 고속으로 회전 시 나사산 구조(34)는 회전하여 사이클론 와류를 생성하여 가스가 장착홀(14) 외부와 바디(10) 방향으로 흐르도록 하여 장착홀(14) 및 나사산 구조(34)가 서로 결합되어 우수한 동적 밀봉 구조를 형성함으로써 먼지가 베어링(13)에 들어가는 것을 방지한다.

도 10을 참조하면,직교류 팬(30)의 샤프트 디스크(33) 외측 단면 및 축(32)의 원주 방향에는 복수개의 블레이드(35)가 설치되고, 모터(40)가 베어링(13), 샤프트 디스크(33) 및 블레이드(35)를 회전 구동할 경우, 블레이드(35)는 베어링(13) 및 축(32) 근처의 가스가 베어링(13) 및 축(32)에서 멀어지는 방향으로 흐르도록(즉 베어링(13) 및 축(32) 근처에 하나의 저압 영역을 형성함) 하는 경향이 있다.

또한, 샤프트 디스크(33) 외측 단면에서, 통공(36)은 축(32)과 블레이드(35) 사이에 설치되고; 복수개의 통공(36)은 축(32)의 원주 방향을 따라 간격을 두고 배치된다. 샤프트 디스크(33) 외측 단면에서, 통공(36)과 블레이드(35) 사이에는 방사상으로 돌출된 환형의 배플(37)이 설치된다. 더욱 바람직하게, 바디(10) 측면에는 환형 홈이 설치되고, 배플(37)은 환형 홈 내에 회전 가능하게 삽입 장착되며, 배플(37)과 환형 홈 사이는 동적 밀봉 구조가 배치된다.

또한, 도 3 및 도 4를 참조하면, 직교류 팬(30)은 하부 캐비티(10b)에 설치될 수 있고, 도 5(수평 단면도)를 참조하면, 직교류 팬(30)은 상부 캐비티(10a)에 설치될 수도 있다.

실시예 2

본 실시예의 구조는 기본적으로 다음을 제외하고는 실시예 1과 동일하다:

도 12를 참조하면, 팬는 외부에 설치된 팬(30a)이고, 방진 배관(11)은 바디(10) 외부에 설치된 이송 파이프이며, 이송 파이프는 순차적으로 중간 캐비티(12) 및 외부에 설치된 팬(30a)을 직렬로 연결하고, 외부에 설치된 팬(30a)의 출풍구는 관체를 통해 바디(10)에 연결되어 작동 가스를 바디(10)에 도입한다. 방진 배관(11)은 정화된 작동 가스의 일부만 광출사 윈도우 시트(50)의 방진을 위해 중간 캐비티(12)에 도입하기 위한 가스 분기일 수 있다.

본 실시예의 다른 실시형태는, 도 13에 도시된 바와 같이, 외부에 설치된 팬(30a)의 출풍구가 관체(11b)를 통해 가스 정화기(20)의 가스 유입구에 연결되어 중간 캐비티(12)에서 먼지 제거에 사용된 작동 가스가 최종적으로 가스 정화기(20)로 돌아가도록 한다.

본 발명에서 제공되는 레이저 광출사 윈도우 시트의 방진 구조는 구조가 간단하고 광출사 윈도우 시트(50)와 슬릿(60) 사이에 중간 캐비티(12)를 설치하여, 정화 처리를 거친 작동 가스(1)가 중간 캐비티(12)를 지나 광출사 윈도우 시트(50) 내측에 공기벽 또는 에어커튼을 형성하도록 하여 바디(10) 내의 입자가 광출사 윈도우 시트(50)를 오염시키는 것을 효과적으로 방지한다.

직교류 팬(30)에 의해 작동 가스를 안내하여 중간 캐비티(12)를 흘러 지나는 청정 가스 유량을 증가하고 광출사 윈도우 시트(50)에 대한 청정 가스의 퍼지를 강화하여 광출사 윈도우 시트(50)에 대한 정화를 강화하며, 바디(10) 내로부터 슬릿(60) 상의 윈도우를 통해 중간 캐비티(12) 내에 들어간 작동 가스(1)의 입자가 광출사 윈도우 시트(50)에 가까워져 이를 오염시키는 것을 효과적으로 방지한다.

실시예 3

본 발명은 레이저를 더 제공하며, 도 14의 모식도에 도시된 바와 같이, 이는 방전 캐비티(10), 직교류 팬(30), 광출사 윈도우 시트(50)를 포함하고, 대향 배치된 2개의 방전 전극(70) 등, 및 상술한 실시예 1 또는 2의 광출사 윈도우 시트의 방진 구조(미도시)를 더 포함한다.

본 실시예의 레이저는 광출사 윈도우 시트(50)이 쉽게 오염되지 않아 서비스 수명이 길다.

마지막으로, 상기 각 실시예는 본 발명의 기술적 해결방안을 설명하기 위한 것일 뿐, 본 발명을 제한하는 것은 아니라는 점에 유의해야 한다. 비록 전술한 실시예들을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하였으나, 전술한 실시예에 설명된 기술적 해결방안은 당업자에 의해 수정되거나, 그중의 일부 또는 전부 기술적 특징은 동등하게 대체될 수 있으며 이러한 수정 또는 대체는 상응한 기술적 해결방안의 본질이 본 발명의 실시예의 기술적 해결방안의 범위에 속하는 것으로 간주하여야 한다.

1: 작동 가스;
10: 바디;
10a: 상부 캐비티;
10b: 하부 캐비티;
11: 방진 배관;
11a: 가스 배출단;
11b: 관체;
12: 중간 캐비티;
13: 베어링;
14: 장착홀;
20: 가스 정화기;
30: 직교류 팬;
31: 임펠러;
32: 축;
33: 샤프트 디스크;
34: 나사산 구조;
35: 블레이드;
36: 통공;
37: 배플;
40: 모터;
50: 광출사 윈도우 시트;
60: 슬릿;
61: 스포일러;
62: 레이저광 채널;
63: 본체.

Claims (10)

1. 레이저 광출사 윈도우 시트의 방진 구조로서,
   방전 캐비티 바디(10), 가스 정화기(20), 방진 배관(11) 및 팬을 포함하고;
   상기 가스 정화기(20)는 방전 캐비티 바디(10) 내의 작동 가스(1)에 대해 정화 처리를 수행하며;
   상기 방전 캐비티 바디(10)에는 광출사 윈도우 시트(50) 및 슬릿(60)이 설치되고;
   상기 광출사 윈도우 시트(50)와 슬릿(60) 사이에는 중간 캐비티(12)가 설치되며;
   상기 방진 배관(11)의 가스 유입단은 상기 중간 캐비티(12)를 경유하여 상기 가스 정화기(20)에 연결되고, 방진 배관(11)의 가스 배출단(11a)은 팬에 연결되며, 상기 가스 정화기(20)에 의해 정화된 작동 가스(1)의 적어도 일부는 방진 배관(11)을 통해 상기 중간 캐비티(12)를 흘러 지나 광출사 윈도우 시트(50) 내측에 방진 에어커튼을 형성함으로써, 바디(10) 내로부터 슬릿(60) 상의 윈도우를 통해 중간 캐비티(12) 내에 들어간 작동 가스(1)가 상기 광출사 윈도우 시트(50)에 가까워져 이를 오염시키는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 레이저 광출사 윈도우 시트의 방진 구조.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 중간 캐비티(12) 내의 기압은 상기 방전 캐비티 바디(10) 내의 압력보다 작거나 같은 것을 특징으로 하는 레이저 광출사 윈도우 시트의 방진 구조.
   
3. 제1항에 있어서,
   상기 방진 배관(11) 내의 작동 가스(1)는 상기 팬을 지난 후 직접, 또는 배관을 통해 상기 바디(10) 내로 환류하는 것을 특징으로 하는 레이저 광출사 윈도우 시트의 방진 구조.
   
4. 제1항에 있어서,
   상기 팬은 직교류 팬(30)이고, 직교류 팬(30)의 양단에는 샤프트 디스크(33)가 설치되며; 상기 방진 배관(11)의 가스 배출단(11a)은 샤프트 디스크(33)와 마주보게 설치되고, 샤프트 디스크(33)에는 직교류 팬(30)의 중간 공동의 내부와 외부를 연통시키는 통공(36)이 설치되며, 방진 배관(11)으로부터 배출된 작동 가스(1)는 상기 통공(36)을 거쳐 직교류 팬(30)의 중간 공동에 들어가는 것을 특징으로 하는 레이저 광출사 윈도우 시트의 방진 구조.
   
5. 제4항에 있어서,
   상기 통공(36)은 나선형으로 경사지게 설치되어, 모터(40)가 샤프트 디스크(33)를 회전 구동시킬 때 샤프트 디스크(33) 외부의 가스가 통공(36)을 거쳐 상기 직교류 팬(30)의 공동 내로 유입되도록 하는 경향이 있는 것을 특징으로 하는 레이저 광출사 윈도우 시트의 방진 구조.
   
6. 제1항에 있어서,
   상기 슬릿(60)은 본체(63) 및 복수개의 스포일러(61)를 포함하고; 레이저 광 출사 방향에 수직되는 투영 평면에서 스포일러(61)는 상기 본체(63)에 좌우로 또는 상하로 대칭되게 설치되어, 레이저광이 통과하는 레이저광 채널(62)을 둘러싸게 되며; 레이저 광 출사 방향에서, 좌우 또는 상하 양측의 스포일러(61)는 엇갈리게 배치되는 것을 특징으로 하는 레이저 광출사 윈도우 시트의 방진 구조.
   
7. 제4항에 있어서,
   상기 직교류 팬(30) 양단의 축(32)은 베어링(13)을 통해 상기 바디(10)에 회전 가능하게 설치되고; 축(32)은 상기 베어링(13) 외측 단면에 가까운 외부 원에 나사산 구조(34), 치형 구조 또는 블레이드 구조가 설치되며, 모터(40)가 축(32) 및 직교류 팬(30)을 회전 구동시킬 경우, 나사산 구조(34), 치형 구조 또는 블레이드 구조는 상기 베어링(13) 외의 가스가 상기 베어링(13)에서 멀어지는 방향으로 이동하도록 하여 바디(10) 내의 먼지가 베어링(13)에 가까워져 들어가는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 레이저 광출사 윈도우 시트의 방진 구조.
   
8. 제7항에 있어서,
   상기 바디(10) 측벽에는 장착홀(14)이 설치되고, 축(32)의 나사산 구조(34), 치형 구조 또는 블레이드 구조는 장착홀(14) 내에 삽입 장착되며; 직교류 팬(30)이 회전 시 나사산 구조(34), 치형 구조 또는 블레이드 구조와 장착홀(14) 사이는 동적 밀봉 구조를 형성하는 것을 특징으로 하는 레이저 광출사 윈도우 시트의 방진 구조.
   
9. 제7항에 있어서,
   상기 직교류 팬(30)의 샤프트 디스크(33) 외측 단면 및 축(32)의 원주 방향에는 복수개의 블레이드가 설치되고, 모터(40)가 상기 베어링(13), 샤프트 디스크(33) 및 블레이드를 회전 구동할 경우, 블레이드는 베어링(13) 및 축(32) 근처의 가스가 상기 베어링(13) 및 축(32)에서 멀어지는 방향으로 흐르도록 하는 경향이 있는 것을 특징으로 하는 레이저 광출사 윈도우 시트의 방진 구조.
   
10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 따른 광출사 윈도우 시트 방진 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저.