JPH01136556A - 加速電源装置の保護回路 - Google Patents

加速電源装置の保護回路

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JPH01136556A
JPH01136556A JP62293154A JP29315487A JPH01136556A JP H01136556 A JPH01136556 A JP H01136556A JP 62293154 A JP62293154 A JP 62293154A JP 29315487 A JP29315487 A JP 29315487A JP H01136556 A JPH01136556 A JP H01136556A
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JP
Japan
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voltage
control circuit
semiconductor switch
elements
semiconductor
Prior art date
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Pending
Application number
JP62293154A
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English (en)
Inventor
Kazuhiro Watanabe
和弘 渡辺
Masaji Naito
内藤 正次
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Japan Atomic Energy Agency
Original Assignee
Toshiba Corp
Japan Atomic Energy Research Institute
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Japan Atomic Energy Research Institute filed Critical Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は核融合装置の中性粒子入射装置などに用いられ
る加速電源装置の保護回路に関するものである。
(従来の技術) 中性粒子入射装置用加速電源装置は、プラズマ化された
気体中のイオンを加速し、途中でこれを中性化したもの
を他のプラズマ等に入射するためのイオン加速用の高電
圧直流電源装置である。負荷であるイオン源はしばしは
短絡状態となることがあシ、加速電源装置は、短絡を検
出して高速にしゃ断する機能を有することが必要となる
従来の加速電源装置の主回路は第4図に示すような構成
となっている。第4図において、11はサイリスタスイ
ッチ、12は昇圧変圧器、13は整流器、14は平滑用
コンデンサ、J7Aは入力側直流分圧器、19は出力電
圧の設定器であシ、平滑用コンデンサ14と負荷18と
の間に設けられた電圧制御回路30は、直列接続される
複数の第1の半導体スイッチ〔たとえはダートターンオ
フサイリスタ(GTO) ) 311 、312−3 
I nと、この各半導体スイッチ311,312・・・
31nにそれぞれ並列接続される電圧分担素子〔たとえ
ば非線型抵抗器〕321,322・・・32nから成シ
、前記第1の半導体スイッチ311,312・・・31
nを制御回路40よジオン・オフ制御することで負荷1
8への過度時の電圧を制御する。定常時の電圧はサイリ
スタスイッチ11によシ負荷18に印加する電圧を一定
に保つように設定されている。また電圧制御回路30に
直列接続される第2の半導体スイッチ〔たとえばダート
ターンオアサイリスタ(GTO) 〕s oは負荷電流
をしゃ断する機能を有する。第2の半導体スイッチ50
に直列接続されるリアクトル60は、負荷18で短絡事
故等が発生した場合の過電流を抑制するもので、リアク
トル60と並列に接続されるダイオード61は、負荷電
流しゃ断時にリアクトル60に流れていた電流を還流さ
せ、過電圧の発生を防止するためのものである。
次に、電圧制御回路30をオン・オフ制御する制御回路
40について説明する。
第5図は従来の制御回路40f示す構成図であシ、図中
19は出力電圧の設定器、22は電圧基準信号、23に
は入力電圧信号、30は電圧制御回路で第4図と同一の
機能を有するので説明は省略する。40は制御回路で、
その構成について述べると、401は電圧誤差増幅器、
4 J J 、412・・・41nは電圧比較器、42
1,422・・・42rsは、電圧比較器411,41
2.41nのそれぞれ製作iを決める設定器である。
かかる構成においてその動作原理を説明すると、電圧誤
差増幅器401は、設定器19から送られてきた電圧基
準信号22と入力電圧信号23にとが等しくなるよう、
自動制御し、電圧比較器411゜412・・・41nに
指令値401人を与える。電圧比較器411.412・
・・4Inへは、設定器421゜422・・・42nに
よシそれぞれ、電圧分担素子の分担電圧に相当するきざ
みで、重みを付けて、動作値が与えられる。
第6図(a)は、指令値401人と、半導体スイッチ3
11,312・・・31nのそれぞれの状態を示したも
のである。第6回軸)は、時刻tと指令値401人の変
化を示した1例である。即ち、時刻tの経過とともに、
指令値401人が小、従って第4図に示す負荷18の印
加電圧上一定にする場合を例にとると、時刻tの経過と
ともに、指令値401人が小になシ、時刻t1になると
、電圧比較器411の動作値X□に達し電圧比較器41
1が半導体スイッチ311へオン指令を与える。
401人の出力が動作値X3未満であれは、半導体スイ
ッチ31ノがオン状DI/C1yるだけで、他生導体ス
イッチは全て、オフ状態にある・次に、指令値401A
が更にノ」1となシ、時M t !になると電圧比較器
412の動作値X8に達し、電圧比較器412は、半導
体スイッチ312にオン指令を与える。このときは、半
導体スイッチ311゜312がオン状態他はオフ状態と
なる。このように、指令j庫401 Aの減少とともに
順次半導体スイッチ311,312・・・31nへオン
指令を与えることによシ、第4図に示す負荷18の印加
電圧を一定に制御することが出来るが下記のような問題
があった。
基準電圧信号22と入力電圧信号23Af比較−ζ− し、第1の半導体スイッチ311 、312・・・31
nをオン・オフさせているが、電圧信号22または入力
電圧信号23kに不具合が生じると第1の半導体スイッ
チ31 J 、312・・・31nがオフ状態となシ、
電圧分担素子321.322・・・32nに電流が流れ
続け、電圧分担素子321.322・・・32nが破壊
する。
(発明が解決しようとする問題点) このように従来のものは基準電圧信号と入力電圧信号を
比較し、第1の半導体スイッチをオン・オフさせている
が、電圧信号または入力電圧信号に不具合が生じると第
1の半導体スイッチがオフ状態となシ、電圧分担素子に
電流が流れ続け、電圧分担素子が破壊する欠点があった
そこで、本発明の目的とするところは電圧分担素子を破
壊から防止することが出来る加速電源装置の保護回路を
提供するにある。
〔発明の構成〕
(間組点を解決するための手段) 本発明は直流電源と負荷との間に設けられ、負荷に加わ
る電圧を制御するための直列接続された複数の第1半導
体スイッチと該半導体スイッチにそれぞれ並列接続され
る電圧分担素子とで構成された電圧制御回路に直列接続
される電流遮断機能をもつ第2半導体スイッチを備えた
加速電源装置において、前記複数の電圧分担素子の電力
損失全検出する手段と、電力損失が所定値を越えている
ことが検出された際に、当該電圧分担素子に並列の第1
の半導体スイッチを閉路する手段を有するようになって
いる。
(作用) この結果、個々の電圧分担素子の電力損失を検出し、電
力損失が所定値を越えると、それに並列の第1半導体素
子が閉路するか或は第2の半導体スイッチが閉路するよ
うになシミ圧分担素子t−破壊から防止することができ
る。
(実施例) 以下、本発明の一実施例を第1図を参照して説明する。
尚第4図と同一部分には同一符号を付して説明は省略す
る。
第1図の構成において、41は本発明の制御回路、51
は電流を計測する直流変流器、171゜172・・・1
7nは第1の半導体スイッチ311゜312・・・31
n個々の電圧を計測する直流分圧器、241.242・
・・24nは直流分圧器171゜172・・・27nよ
シの電圧信号、500は直流変流器51よシの電流信号
である。
第1図において、第2の半導体スイッチ50とリアクト
ル60の間に直流変流器51t−設け、その電流信号5
00を制御回路41に入力する。また電圧制御回路30
内の第1半導体スイッチ311゜312・・・31nの
個々出力側に直流分圧器171゜172・・・17n’
(設け、その電圧信号241゜242・・・24nf制
御回路41に入力する。
第2図は、制御回路41の具体的一実施例を示す構成図
であシ、第4図及び第5図と同一の機能を有するものは
同一符号を付して説明を省略する。
第2図の制御回路41の構成において、521゜522
・・・52nは、各第1の半導体スイッチの電圧と出力
電流とを掛算する掛算器、531 、532・・・53
nは積分器、551.552・・・55nは比較器、5
41.542・・・54nは比較器551゜552・・
・55nの動作値を決める設定器、511゜512−5
 I nはOR回路、561 、562 ・・・56n
は反転回路である。
次に、制御回路41の動作原理を説明する。本(ロ)路
において、出力電流を検出する直流変流器52よシミ流
信号500全受け、掛算器521゜522・・・52n
の各一方の端子へ入力される。また入力側直流分圧器J
7Aの入力電圧信号23にと第1の半導体スイッチ31
1の出力側直流分圧器171の電圧信号241との差電
圧を掛算器521の他一方の端子に入力する。次に電流
信号500と電圧信号571人の積を掛算器521よシ
積分器531に入力し、第1の半導体スイッチ311と
並列に接続されている電圧分担素子32ノに印加される
エネルギーを検出する。比較器55ノへは、設定器54
1より、電圧分担素子321の耐エネルギー相当の動作
値が与えられる。他方第1の半導体スイッチ312・・
・31nも前記と同様の検出回路を具備している。ここ
で基準信号22または入力電圧信号23kに不具合が発
生し、電圧分担素子321に常時電圧が印加状態となっ
たとしても出力電流信号SOOと電圧分担素子32ノの
両端電圧信号571人とを掛算し、任意のエネルギー以
上になると第1半導体スイッチ311をオンさせる。他
方の電圧分担素子322・・・32nにおいても同様な
不具合が発生すると第1半導体スイッチ321・・・3
2 n’zオンさせ、電圧分担素子に長時間電圧が印加
されることを防止出来る。
第3図は、本発明の他の実施例であシ、第2図の掛算器
521.522・・・52nの出力側に比較器711,
712・・・7Jn’i設け、電圧分担素子321.3
22・・・32nの耐エネルギー相当の動作[を与える
設定器721,722・・・72m及び瓜回路70を追
加する。電圧分担素子321゜322・・・32nに規
定11以上のエネルギーが印加された場合、第2の半導
体スイッチをオフし、電圧分担素子321.322・・
・32nを破壊から防止する。
〔発明の効果〕
以上から明らかなように本発明によれば、電力損失が規
定値以上である電圧分担素子を検出し、その素子と並列
の第1の半導体スイッチを閉路するかおるいは第2の半
導体スイッチを開路することで制御信号系の不具合等に
よる電圧分担素子の破壊を防止出来る加速電源装置の像
層回路を提供出来る。
【図面の簡単な説明】
第1因は本発明の一実施例を示す構成図、第2図は第1
図の制御回路の具体的−例を示す構成図、第3図は本発
明の他の実施例を示す構成図、第4図は従来装置の構成
図、第5図は第4図の制御回路の具体的な一例を示す構
成図、第6図は第4図の動作を説明するための図である
。 11・・・サイリスタスイッチ、12・・・変圧器、1
3・・・変流器、14・・・平滑用コンデンサ、J7A
・・・入力側直流分圧器、18・・・負荷、30・・・
電圧制御回路、40・・・制御回路、50・・・第2半
導体スイッチ、51・・・直流変流器、60・・・リア
クトル、311〜31n・・・第1半導体スイッチ、3
21〜32n・・・電圧分担素子、35・・・電圧制御
回路、41・・・制御回路、171〜17n・・・直流
分圧器、521〜52n・・・掛算器。 出願人代理人 弁理土鈴 法式 彦 第6 (a) (b) t+ t2t3−t

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 直流電源と負荷との間に設けられ、負荷に加わる電圧を
    制御するための直列接続された複数の第1半導体スイッ
    チと該半導体スイッチにそれぞれ並列接続される電圧分
    担素子とで構成された電圧制御回路に直列接続される電
    流遮断機能をもつ第2半導体スイッチを備えた加速電源
    装置において、前記複数の電圧分担素子の電力損失を検
    出する手段と、電力損失が所定値を越えていることが検
    出された際に、当該電圧分担素子に並列の第1の半導体
    スイッチを閉路する手段を具備したことを特徴とする加
    速電源装置の保護回路。
JP62293154A 1987-11-20 1987-11-20 加速電源装置の保護回路 Pending JPH01136556A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100886739B1 (ko) * 2002-03-11 2009-03-04 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 전원장치와 이것을 사용한 반도체제조장치 및반도체웨이퍼의 제조방법

Cited By (1)

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