JPH01131524A - 多チャンネル光変調素子 - Google Patents
多チャンネル光変調素子Info
- Publication number
- JPH01131524A JPH01131524A JP28979587A JP28979587A JPH01131524A JP H01131524 A JPH01131524 A JP H01131524A JP 28979587 A JP28979587 A JP 28979587A JP 28979587 A JP28979587 A JP 28979587A JP H01131524 A JPH01131524 A JP H01131524A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- signal input
- electrodes
- acousto
- same
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 10
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims 1
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 abstract description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、複数本のレーザビームを同時に変調可能な多
チャンネル光変調素子に関するものである。
チャンネル光変調素子に関するものである。
従来の技術
近年、高速高分解能の記録を行うためにレーザ光が用い
られるようになってきた。当初１本のレーザビームで記
録を行っていたが、記録時間をより短縮するために、複
数本の光ビームを用い、ある幅をもった領域に同時に記
録することが考えられている。このとき、複数本のレー
ザビームをそれぞれ独立にかつ同時に強度変調するもの
としては多チャンネル光変調素子が用いられている。
られるようになってきた。当初１本のレーザビームで記
録を行っていたが、記録時間をより短縮するために、複
数本の光ビームを用い、ある幅をもった領域に同時に記
録することが考えられている。このとき、複数本のレー
ザビームをそれぞれ独立にかつ同時に強度変調するもの
としては多チャンネル光変調素子が用いられている。
従来の多チャンネル光変調素子は第３図および第４図に
示すような構成であった。ここで第４図は第３図のＢ−
Ｂ断面図である。第３図および第４図において、２１は
音響光学媒体、２２は音響光学媒体２１の一生面にアー
ス電柱２３を介して取付けられた圧電トランスデユーサ
、２４は圧電トランスデユーサ２２のアース電柱２３と
の接合面に対する前面に上下方向に並べて取付け゛られ
た複数の信号入力用電極、２５はそれぞれの信号入力用
電極２４に対応して８． Ｗ光学媒体２１の側面から入
射される入射光。
示すような構成であった。ここで第４図は第３図のＢ−
Ｂ断面図である。第３図および第４図において、２１は
音響光学媒体、２２は音響光学媒体２１の一生面にアー
ス電柱２３を介して取付けられた圧電トランスデユーサ
、２４は圧電トランスデユーサ２２のアース電柱２３と
の接合面に対する前面に上下方向に並べて取付け゛られ
た複数の信号入力用電極、２５はそれぞれの信号入力用
電極２４に対応して８． Ｗ光学媒体２１の側面から入
射される入射光。
２６は、その透過光、２７は回折光、２８はそれぞれの
信号入力用電極２４とアース電極２３とにわたって接続
された複数の高周波信号源、２９は超音波進行波、３０
は音響光学媒体２１の前記−主面に対向する反対側面に
取付けられた吸音材である。
信号入力用電極２４とアース電極２３とにわたって接続
された複数の高周波信号源、２９は超音波進行波、３０
は音響光学媒体２１の前記−主面に対向する反対側面に
取付けられた吸音材である。
このように構成された多チャンネル光変調素子について
、以下その動作を説明する。まず、高周波信号源２８か
ら信号入力用電極２４とアース電極２３に高周波信号を
加えると信号入力用電極２４の圧電トランスデユーサ２
２において高周波信号は弾性振動に変換され、それが超
音波進行波２９となって音響光学媒体２１の中を伝播し
、吸音材３０で吸収される。超音波進行波２９を音響光
学媒体２１の中を伝播させておき、超音波進行波２９の
波面に対してブラ入力信号周波数、Ｖ：音速）で入射光
２５を入射すると、入射光２５は超音波進行波２９によ
り回折され、回折光２７と透過光２６に分離される。こ
こで、回折光強度は高周波数強度に応じて Ｐ＝ＡｓｉｎへＦｌＴ ここで、Ｐ：回折光強度、Ｐａ：高周波信号強度、Ａ、
Ｂ：定数 のように変化する。このとき、それぞれの信号入力用電
極２４から放射される超音波領域に入射光２５がブラッ
グ角θで入射するようにしておき、それぞれの信号入力
用電極２４にそれぞれ独立な強度の高周波信号を入力す
ることにより各入射光２５を独立に変調することが可能
となる。
、以下その動作を説明する。まず、高周波信号源２８か
ら信号入力用電極２４とアース電極２３に高周波信号を
加えると信号入力用電極２４の圧電トランスデユーサ２
２において高周波信号は弾性振動に変換され、それが超
音波進行波２９となって音響光学媒体２１の中を伝播し
、吸音材３０で吸収される。超音波進行波２９を音響光
学媒体２１の中を伝播させておき、超音波進行波２９の
波面に対してブラ入力信号周波数、Ｖ：音速）で入射光
２５を入射すると、入射光２５は超音波進行波２９によ
り回折され、回折光２７と透過光２６に分離される。こ
こで、回折光強度は高周波数強度に応じて Ｐ＝ＡｓｉｎへＦｌＴ ここで、Ｐ：回折光強度、Ｐａ：高周波信号強度、Ａ、
Ｂ：定数 のように変化する。このとき、それぞれの信号入力用電
極２４から放射される超音波領域に入射光２５がブラッ
グ角θで入射するようにしておき、それぞれの信号入力
用電極２４にそれぞれ独立な強度の高周波信号を入力す
ることにより各入射光２５を独立に変調することが可能
となる。
発明が解決しようとする問題点
このような従来の構成では、隣り合う信号入力用電極２
４は接近しており、入力信号が高周波であるため、ある
信号入力用電極２４に加えた信号が電磁誘導により隣り
の信号入力用電極２４にとびこみ。
４は接近しており、入力信号が高周波であるため、ある
信号入力用電極２４に加えた信号が電磁誘導により隣り
の信号入力用電極２４にとびこみ。
クロストークが発生してノイズの原因となるという問題
があった。
があった。
本発明はこのような問題点を解決するものでノイズ原因
となるクロストーク発生をおさえることができる多チャ
ンネル光変調素子を提供することを目的とするものであ
る。
となるクロストーク発生をおさえることができる多チャ
ンネル光変調素子を提供することを目的とするものであ
る。
問題点を解決するための手段
この問題点を解決するために本発明は金属膜を信号入力
用電極と同一面上で、信号入力用電極を取り囲むように
設け、アース電極と同電位になるよう接続し、前記金属
膜をシールド電極としたものである。
用電極と同一面上で、信号入力用電極を取り囲むように
設け、アース電極と同電位になるよう接続し、前記金属
膜をシールド電極としたものである。
作用
上記構成により、シールド電極のシールド効果で、隣り
合う信号入力用電極間に互いに電磁誘導が起こらなくな
り、クロストークは発生しなくなる。
合う信号入力用電極間に互いに電磁誘導が起こらなくな
り、クロストークは発生しなくなる。
実施例
以下５本発明の一実施例を図面に基づき説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す多チャンネル光変調素
子の斜視図である。第２図は第１図のＡ−Ａ断面図であ
る。第１図および第２図において、１は音響光学媒体、
２は音響光学媒体１の一主面のほぼ全面にアース電極３
を介して取付けた圧電トランスデユーサ、４は圧電トラ
ンスデユーサ２のアース電極３との接合面に対する前面
に上下方向に並べて取付けられた複数の信号入力用電極
。
子の斜視図である。第２図は第１図のＡ−Ａ断面図であ
る。第１図および第２図において、１は音響光学媒体、
２は音響光学媒体１の一主面のほぼ全面にアース電極３
を介して取付けた圧電トランスデユーサ、４は圧電トラ
ンスデユーサ２のアース電極３との接合面に対する前面
に上下方向に並べて取付けられた複数の信号入力用電極
。
５はそれぞれの信号入力用電極４に対応して音響光学媒
体１の側面から入射される入射光、６はその透過光、７
は回折光、８はそれぞれの信号入力用電極４とアース電
極３とにわたって接続された複数の高周波信号源、９は
音響光学媒体１の内部を伝播する超音波進行波、１０は
音響光学媒体１の前記−主面に対向する反対側面に取付
けられた吸音材である。また、圧電トランスデユーサ２
における信号入力用電極４と同一面上で各信号入力用電
極４を取り囲むように金属膜からなるシールド電極１１
が取付けられており、このシールド電極１１はアース電
極３に電気的に接続されて、このアース電極３と同電位
とされている− 一ヒ記構成において、入射光５から回折光７を発生させ
る「防作は従来と同じであるが、隣り合う信じ人力用電
極４の間にはアース電位のシール１−電（唄１１が存在
するために、１つの信号入力用電極４から：先の信号人
力用電極４に対して電磁誘導は発生せず、タロストーク
の発生が防止される。
体１の側面から入射される入射光、６はその透過光、７
は回折光、８はそれぞれの信号入力用電極４とアース電
極３とにわたって接続された複数の高周波信号源、９は
音響光学媒体１の内部を伝播する超音波進行波、１０は
音響光学媒体１の前記−主面に対向する反対側面に取付
けられた吸音材である。また、圧電トランスデユーサ２
における信号入力用電極４と同一面上で各信号入力用電
極４を取り囲むように金属膜からなるシールド電極１１
が取付けられており、このシールド電極１１はアース電
極３に電気的に接続されて、このアース電極３と同電位
とされている− 一ヒ記構成において、入射光５から回折光７を発生させ
る「防作は従来と同じであるが、隣り合う信じ人力用電
極４の間にはアース電位のシール１−電（唄１１が存在
するために、１つの信号入力用電極４から：先の信号人
力用電極４に対して電磁誘導は発生せず、タロストーク
の発生が防止される。
発明の効果
以」二のように本発明によれば、シールド′な極を信号
入力用電極と同一面上で信号入力用電極を取囲むように
設け、アース電極と同電位になるよう電気的に接続した
ことにより、信号入力用電極間のクロストークを防ぐこ
とができ、ノイズの少ない多チャンネル光変調素子を提
供することができる。
入力用電極と同一面上で信号入力用電極を取囲むように
設け、アース電極と同電位になるよう電気的に接続した
ことにより、信号入力用電極間のクロストークを防ぐこ
とができ、ノイズの少ない多チャンネル光変調素子を提
供することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す多チャンネル光変調素
子の斜視図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面図、第３図は
従来の多チャンネル光変調素子の斜視図、第４図は第３
図のＢ−Ｂ断面図である。 １・・・音響光学媒体、２・・・圧電トランスデユーサ
、３・・・アース電極、４・・・信号入力用電極、５・
・・入射光、６・・・透過光、７・・・回折光、８・・
・高周波信号源。 ９・・・超音波進行波、１１・・・シールド電極。 代理人 森 本 義 弘 第２図
子の斜視図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面図、第３図は
従来の多チャンネル光変調素子の斜視図、第４図は第３
図のＢ−Ｂ断面図である。 １・・・音響光学媒体、２・・・圧電トランスデユーサ
、３・・・アース電極、４・・・信号入力用電極、５・
・・入射光、６・・・透過光、７・・・回折光、８・・
・高周波信号源。 ９・・・超音波進行波、１１・・・シールド電極。 代理人 森 本 義 弘 第２図
Claims (1)
- １、音響光学媒体と、前記音響光学媒体にアース電極と
なる金属材料を介して取り付けた圧電トランスデューサ
と、前記圧電トランスデューサの前記アース電極との接
合面に対向する面に設けた複数の信号入力用電極と、前
記圧電トランスデューサの前記信号入力用電極と同一面
上で前記信号入力用電極を取り囲むように設けたシール
ド電極とを有し、前記アース電極と前記シールド電極を
同電位になるように電気的に接続した多チャンネル光変
調素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28979587A JPH01131524A (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 | 多チャンネル光変調素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28979587A JPH01131524A (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 | 多チャンネル光変調素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01131524A true JPH01131524A (ja) | 1989-05-24 |
Family
ID=17747868
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28979587A Pending JPH01131524A (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 | 多チャンネル光変調素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01131524A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012042648A (ja) * | 2010-08-18 | 2012-03-01 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 空間光変調器および露光装置 |
-
1987
- 1987-11-17 JP JP28979587A patent/JPH01131524A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012042648A (ja) * | 2010-08-18 | 2012-03-01 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 空間光変調器および露光装置 |
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