JPH01131013A - 熱分解グラファイト成形体の製造方法 - Google Patents
熱分解グラファイト成形体の製造方法Info
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- JPH01131013A JPH01131013A JP63255017A JP25501788A JPH01131013A JP H01131013 A JPH01131013 A JP H01131013A JP 63255017 A JP63255017 A JP 63255017A JP 25501788 A JP25501788 A JP 25501788A JP H01131013 A JPH01131013 A JP H01131013A
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- pyrolytic graphite
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- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 25
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 19
- 239000010439 graphite Substances 0.000 title claims abstract description 19
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 16
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 6
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims abstract description 4
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims abstract description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims abstract description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims abstract description 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000001479 atomic absorption spectroscopy Methods 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000005087 graphitization Methods 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 1
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 1
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 1
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/52—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbon, e.g. graphite
- C04B35/522—Graphite
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、成形体を熱後処理する熱分解グラファイトの
自己支持性成形体の製造方法に関するものである。
自己支持性成形体の製造方法に関するものである。
かかる成形体の例としては、西独国特許公告第2450
261号明細書から知られている電子管用グリッド電極
及び西独国特許公開2949275号明細書から知られ
ている原子吸光分光分析用キュベツトがある。
261号明細書から知られている電子管用グリッド電極
及び西独国特許公開2949275号明細書から知られ
ている原子吸光分光分析用キュベツトがある。
西独国特許公告第2450261号明細書による熱後処
理は、グリッド電極を3.000〜3,800にの温度
で加熱することにある。この結果として、熱分解グラフ
ァイトの構造変化、即ち増大した異方性に基づく電極表
面の導電率の増大が得られる。
理は、グリッド電極を3.000〜3,800にの温度
で加熱することにある。この結果として、熱分解グラフ
ァイトの構造変化、即ち増大した異方性に基づく電極表
面の導電率の増大が得られる。
この作用は、特に加熱を106〜5 X10’Paの加
圧上不活性ガス中で行うことにより達成される。
圧上不活性ガス中で行うことにより達成される。
西独国特許公告第2450261号及び西独国特許公開
第2949275号明細書においては、熱分解グラファ
イトによる層を炭素含有ガスを含む気相から高融点物質
の基板又はマンドレル上を反応性堆積することによる自
己支持性成形体の製造において、西独国特許公告第16
67649及び1667650号明細書から知られてい
る熱壁熱分解法(hot wall pyrolysi
s method)の変形を使用することが推奨されて
いる。これら熱分解法を用いると、多くの場合、熱後処
理を必要とせずに好ましい構造及び異方性が得られるこ
とが、西独特許公告筒1667649及び166765
0号明細書から知られているが、当時知られている熱分
解法では約3.100Kの熱処理が実施されていた。
第2949275号明細書においては、熱分解グラファ
イトによる層を炭素含有ガスを含む気相から高融点物質
の基板又はマンドレル上を反応性堆積することによる自
己支持性成形体の製造において、西独国特許公告第16
67649及び1667650号明細書から知られてい
る熱壁熱分解法(hot wall pyrolysi
s method)の変形を使用することが推奨されて
いる。これら熱分解法を用いると、多くの場合、熱後処
理を必要とせずに好ましい構造及び異方性が得られるこ
とが、西独特許公告筒1667649及び166765
0号明細書から知られているが、当時知られている熱分
解法では約3.100Kの熱処理が実施されていた。
熱分解グラファイトの自己支持性成形体は、ますます多
く使用されるようになっている。このことは、大規模の
該成形体の製造を必要としている。
く使用されるようになっている。このことは、大規模の
該成形体の製造を必要としている。
かかる大規模製造においては、個々のバッチの均質性が
著しく重要である。従って、■バッチの全成形体の電気
抵抗及び純度が、狭い範囲内にあるのが望ましい。
著しく重要である。従って、■バッチの全成形体の電気
抵抗及び純度が、狭い範囲内にあるのが望ましい。
本発明の目的は、熱分解グラファイトの成形体を、一定
の高純度特性及び一定の物性で提供することにあり、こ
の場合、「一定」と称するはこれら特性の可能な限り狭
い範囲を意味するものとする。
の高純度特性及び一定の物性で提供することにあり、こ
の場合、「一定」と称するはこれら特性の可能な限り狭
い範囲を意味するものとする。
本発明において、この目的は、減圧下で熱後処理する成
形体を成形体中に不純物として存在する高融点金属が消
失する温度で加熱し、加熱の時間及び温度を調整して、
熱分解グラファイトが光学顕微鏡で認識し得るいかなる
変形及びいかなる構造変化も被らず、熱分解グラファイ
トの蒸発が生じないようにすることにより達成される。
形体を成形体中に不純物として存在する高融点金属が消
失する温度で加熱し、加熱の時間及び温度を調整して、
熱分解グラファイトが光学顕微鏡で認識し得るいかなる
変形及びいかなる構造変化も被らず、熱分解グラファイ
トの蒸発が生じないようにすることにより達成される。
高融点金属による成形体の不純物の混合は、可能な限り
、これら不純物を含むマンドレル又は基材、例えばエレ
クトログラファイトの基材又はマンドレルを使用するこ
とに基づく。
、これら不純物を含むマンドレル又は基材、例えばエレ
クトログラファイトの基材又はマンドレルを使用するこ
とに基づく。
チタン、バナジウム及び/又はタングステンを混合した
成形体は、10−’〜1O−2Paの減圧下2,950
素ルツボ中で加熱するのが好ましい。
成形体は、10−’〜1O−2Paの減圧下2,950
素ルツボ中で加熱するのが好ましい。
この加熱時間は、これら高温においてさえ単結高生成の
方向で著しい再結晶化が生ずるには短すぎるものとする
。しかし、この加熱時間は、不純物を蒸発により成形体
から少なくとも部分的に除去するに十分なものである。
方向で著しい再結晶化が生ずるには短すぎるものとする
。しかし、この加熱時間は、不純物を蒸発により成形体
から少なくとも部分的に除去するに十分なものである。
炭化物及び亜炭化物がしばしば生成する場合がある。上
述の如く、加熱は減圧下で行う。他方、既に説明した如
く、構造改善のための熱後処理は圧力下で行うのが好ま
しい。
述の如く、加熱は減圧下で行う。他方、既に説明した如
く、構造改善のための熱後処理は圧力下で行うのが好ま
しい。
本発明の方法を使用する場合、処理した成形体において
は構造変化は見出せず、光学顕微鏡を介して観察する場
合でさえ見出せない。しかし、顕微鏡より下の範囲で生
じる変化が、電気腎性の変化から現れる。多分黒鉛化の
開始に基づくと考えられるこれら変化は、目で見えるよ
うになるには高温における著しく長い加熱を必要とする
。
は構造変化は見出せず、光学顕微鏡を介して観察する場
合でさえ見出せない。しかし、顕微鏡より下の範囲で生
じる変化が、電気腎性の変化から現れる。多分黒鉛化の
開始に基づくと考えられるこれら変化は、目で見えるよ
うになるには高温における著しく長い加熱を必要とする
。
3.0OOK程度の温度は、所望作用を達成するのに最
も適している。低い温度では著しく長い加熱時間が必要
とされる。高温は、成形体の物性及び/又は成形体の寸
法の制御可能な変化に導かず、ある種の環境では熱分解
グラファイトの離層にされ導かず、また加熱した成形体
からの炭素の望ましくない蒸発に導かない。
も適している。低い温度では著しく長い加熱時間が必要
とされる。高温は、成形体の物性及び/又は成形体の寸
法の制御可能な変化に導かず、ある種の環境では熱分解
グラファイトの離層にされ導かず、また加熱した成形体
からの炭素の望ましくない蒸発に導かない。
以下、本発明を実施例により更に詳細に説明する。
熱分解グラファイトのみから成る原子吸光分光分析用キ
ュベツトの熱後処理では、著しく純粋な雰囲気がキュベ
ツトを包囲するのを保証する炉を通過させた。使用した
炉は、カプティンズとダブリュ・エフ・ニッペンヘルグ
(Kapteyns and W、F。
ュベツトの熱後処理では、著しく純粋な雰囲気がキュベ
ツトを包囲するのを保証する炉を通過させた。使用した
炉は、カプティンズとダブリュ・エフ・ニッペンヘルグ
(Kapteyns and W、F。
Knippenberg)によりジエー・クリスト グ
ロウス(J、 Cryst Growth) 7(19
70)第20〜28真の第21頁第2図に記載されてい
る炉を若干変形したものである。この炉は、約10〜1
2mmの全壁厚、約10mmの外径、86〜90mmの
内径及び120mmの高さを有する熱分解グラファイト
のルツボから成る。このルツボは約30闘の厚さの炭素
の層で分離されている。
ロウス(J、 Cryst Growth) 7(19
70)第20〜28真の第21頁第2図に記載されてい
る炉を若干変形したものである。この炉は、約10〜1
2mmの全壁厚、約10mmの外径、86〜90mmの
内径及び120mmの高さを有する熱分解グラファイト
のルツボから成る。このルツボは約30闘の厚さの炭素
の層で分離されている。
ルツボは蓋を備え、このルツボを水冷容器に供給し、例
えば10kHzにおける中間周波誘導加熱により加熱し
た。上記文献の第21頁第1図に示されている水冷ガラ
ス容器である容器を、夫々排気し、包囲用ガラス(en
veloping glass)で充填することができ
る。
えば10kHzにおける中間周波誘導加熱により加熱し
た。上記文献の第21頁第1図に示されている水冷ガラ
ス容器である容器を、夫々排気し、包囲用ガラス(en
veloping glass)で充填することができ
る。
直径6mm及び長さ28mmの約500個のキュヘット
をルツボに供給し、次に示す条件下、約10−’Paの
減圧下で熱処理した。
をルツボに供給し、次に示す条件下、約10−’Paの
減圧下で熱処理した。
ルツボを2時間で室温から約3.0OOKの温度に加熱
し、この温度で約1時間維持した。次いで、ルツボを約
16時間で室温に冷却した。
し、この温度で約1時間維持した。次いで、ルツボを約
16時間で室温に冷却した。
この処理の結果は、キュベツトにおいて測定した次の値
により確認した。
により確認した。
最も頑固な不純物であるバナジウムの含有量は約10p
pmから300ppb以下に低減した。このことは、こ
れらキュベツトを原子吸光分光分析に用いる場合、気相
において1 ppb以下の検出限界を達成するという利
点を有する。
pmから300ppb以下に低減した。このことは、こ
れらキュベツトを原子吸光分光分析に用いる場合、気相
において1 ppb以下の検出限界を達成するという利
点を有する。
キュベツトの平均電気抵抗は、35mΩ±10mΩから
25mΩ±5mΩに低減した。
25mΩ±5mΩに低減した。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、成形体を熱後処理して熱分解グラファイトの自己支
持性成形体を製造するに当り、減圧下で熱後処理する成
形体を成形体に不純物として存在する高融点金属が消失
する温度で加熱し、加熱の時間及び温度を調整して、熱
分解グラファイトが光学顕微鏡で認識し得るいかなる変
形及びいかなる構造変化も被らず、熱分解グラファイト
の蒸発が生じないようにすることを特徴とする熱分解グ
ラファイト成形体の製造方法。 2、チタン、バナジウム及び/又はタングステンを混合
した成形体を10^−^1〜10^−^2Paの減圧下
2,950〜3,050Kの温度で1(3/4)〜2(
1/4)時間加熱した炭素ルツボに供給し、この温度で
50〜70分間保つことを特徴とする請求項1記載の製
造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3734887.6 | 1987-10-15 | ||
DE3734887 | 1987-10-15 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01131013A true JPH01131013A (ja) | 1989-05-23 |
Family
ID=6338374
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63255017A Pending JPH01131013A (ja) | 1987-10-15 | 1988-10-12 | 熱分解グラファイト成形体の製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0312146B1 (ja) |
JP (1) | JPH01131013A (ja) |
AU (1) | AU626028B2 (ja) |
DE (1) | DE3879851D1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007041820A1 (de) * | 2007-09-03 | 2009-03-05 | Universität Bielefeld | Graphitschichten |
DE102016219492A1 (de) * | 2016-10-07 | 2018-04-12 | Schunk Kohlenstofftechnik Gmbh | Probenträgereinrichtung für einen Atomisierofen und Verfahren zur Herstellung |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1471172A1 (de) * | 1962-06-01 | 1968-12-05 | Gen Electric | Verfahren zur Herstellung von Formkoerpern aus pyrolytischem Graphit oder Bornitrid,sowie Vorrichtung zu dessen Durchfuehrung |
NL6609344A (ja) * | 1966-07-05 | 1968-01-08 | ||
US3900540A (en) * | 1970-06-04 | 1975-08-19 | Pfizer | Method for making a film of refractory material having bi-directional reinforcing properties |
DE2450261C3 (de) * | 1974-10-23 | 1980-06-26 | Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg | Verfahren zur Herstellung von Gitterelektroden für Elektronenröhren |
US4761308A (en) * | 1987-06-22 | 1988-08-02 | General Electric Company | Process for the preparation of reflective pyrolytic graphite |
-
1988
- 1988-09-30 EP EP88202156A patent/EP0312146B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1988-09-30 DE DE8888202156T patent/DE3879851D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1988-10-12 JP JP63255017A patent/JPH01131013A/ja active Pending
- 1988-10-13 AU AU23736/88A patent/AU626028B2/en not_active Ceased
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3879851D1 (de) | 1993-05-06 |
EP0312146A2 (de) | 1989-04-19 |
AU626028B2 (en) | 1992-07-23 |
EP0312146B1 (de) | 1993-03-31 |
AU2373688A (en) | 1989-04-20 |
EP0312146A3 (en) | 1990-08-08 |
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