JPH01126116A - 磁気浮上搬送車の停止制御方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この発明は磁気浮上搬送車の停止制御方式に関し、さら
に詳細にいえば、強磁性体で形成されたガイドレール上
を非接触状態で走行可能な磁気浮上搬送車を所定位置に
停止させる磁気浮上搬送車の停止制御方式に関する。

〈従来の技術〉 近年、工場内、オフィス内等の複数の地点間で精密部品
等の搬送物を速やかにかつ静かに搬送する場合において
、ガイドレール上で搬送車を非接触状態に支持できる浮
上式の搬送方式が注目されている。搬送車を非接触状態
に支持するには、空気や磁気を用いるのが一般的である
が、特に搬送車を磁気的に支持する方式は、追従性や騒
音面で優れており、有望視されている。また、発塵も極
めて少なく、半導体製造工場等においても好適に使用で
きる。

上記の磁気浮上搬送車は小型軽量性が要求されることか
ら、車上には誘導電流を流すための導体（２次導体）を
設け、地上には推進用のコイルを有する１次側の駆動系
を配置してこのコイルに電力を供給して磁気浮上搬送車
を発進、走行、停止させる走行制御方式が通常とられて
いる。

特に、磁気浮上搬送車を停止させる場合、車体が１次コ
イルの設置位置に進入して２次導体と１次コイルとが鎖
交したとき、車体の進行方向と逆方向に１次コイルを励
磁することにより行っている。この場合、１次コイルを
励磁して制動をかけるタイミングと制動力とを磁気浮上
搬送車の位置と速度に応じて制御する必要があるが、例
えば次のような制御方式が提案されている。

すなわち、地上側の磁気浮上搬送車の停止位置の附近に
、磁気浮上搬送車の位置を検出する位置センサと、速度
を検出する速度センサとをそれぞれ複数個設けている。

さらに詳述すると、第１２図に示すように、４つの位置
センサ（ＰＤＩ）〜（ＰＯ２）が設けられ、位置センサ
（ＰＯ２）　（ＰＯ２）は、停止位置に止まった状態の
磁気浮上搬送車（１）の車体の比較的先端部と比較的後
端部をそれぞれ検出可能な位置に、位置センサ（ＰＤＩ
）は停止位置から一方向に向かって若干離れた位置に、
位置センサ（ＰＯ２）は停止位置から反対方向に向かっ
て若干離れた位置にそれぞれ設けられている。速度セン
サ（ＶＤＬ）〜（ＶＯ２）は、位置センサの設けられて
いる側と反対側に３つ設けられている。符号（２１）は
ガイドレールである。なお、制御処理系の構成は省略す
る。

上記の構成であれば、磁気浮上搬送車（１）が位置セン
サ（ＰＤＩ）のある側から停止位置附近に近付いた場合
、速度センサ（ＶＤＩ）〜（ＶＯ２）で検出した磁気浮
上搬送車（１）の速度が基準速度Ｖｏを超えていると１
次コイルを励磁して速度を落とす。その結果、磁気浮上
搬送車（１）の速度が基準速度ｖＯを下回ると、位置セ
ンサ（ＰＤｌ）又は（ＰＯ２）が車両を検出しているか
どうかを判定し、位置センサ（ＰＤＩ）が検出していれ
ば（所望の停止位置から比較的遠い場合）速度をｖｌに
落とし、位置センサ（ＰＯ２）が検出していれば（所望
の停止位置から比較的近い場合）速度をｖ２に落とす。

ただし、Ｖｏ＞Ｖｌ＞Ｖ２の関係を満たしている。そし
て位置センサ（ＰＯ２）及び（ＦＤＰ）の両方が車両を
検出した場合、所望の停止位置に達したと判断して、１
次コイルの駆動を停止する。

もし、位置センサ（ＰＯ２）のみが検出した場合（磁気
浮上搬送車の位置が停止位置を越えてしまった場合）、
１次コイルを逆方向に励磁して磁気浮上搬送車を停止位
置に戻す。

〈発明が解決しようとする問題点〉 上記の制御方式では、磁気浮上搬送車の位置が所望の停
止位置からどの位置れているかを判定するのに、４つの
位置センサ（ＰＤＩ）〜（ＰＯ２）を使用している。そ
して、いずれの位置センサ（ＰＤＬ）〜（ＰＯ２）が磁
気浮上搬送車を検出したかに応じて、１次コイルによる
速度設定、駆動方向を設定して制御を行っている。

しかし、位置センサ（ＰＣＩ）〜（ＰＯ２）が４つ程度
の個数しか設けられていないため、どうしても磁気浮上
搬送車の検出位置の精度が荒くなり、正確な制御を行う
ことができず、例えば磁気浮上搬送車が停止位置を中心
に前後に振動する事態が発生して、磁気浮上搬送車を決
められた位置に停止させるのに余計な時間がかかり、か
つ無駄な電力を消費してしまうという問題があった。

く目的〉 この発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、磁
気浮上搬送車を迅速かつ正確に所定位置に停止させるこ
とができる磁気浮上搬送車の停止制御方式を提供するこ
とを目的とする。

く問題点を解決するための手段〉 上記の目的を達成するためのこの発明の磁気浮上搬送車
の停止制御方式は、磁気浮上搬送車の車体に取付けられ
たスケールと、スケールの目盛を検知する目盛検知手段
と、目盛検知手段により検知した結果に基づいて磁気浮
上搬送車の位置及び速度を検出する位置・速度検出手段
と、検出した位置及び検出した速度を読み取り、読取っ
た速度を当該位置における基準速度と比較し、そのずれ
に基づいて、地上側１次リニアモータを駆動する駆動回
路に対して駆動制御出力信号を供給する駆動制御信号生
成手段と、磁気浮上搬送車が所定位置に停止したことを
確認するべく磁気浮上搬送車の位置を検知する位置セン
サとを具備するものである。

く作用〉 上記の構成の磁気浮上搬送車の停止制御方式によれば、
磁気浮上搬送車の車体に取付けられたスケールの目盛を
読み取って磁気浮上搬送車の位置をほぼ連続的に検出す
ることができ、また、時間変化から磁気浮上搬送車の速
度を検出することができる。そして、検出位置と検出速
度とを読み取り、読取った速度を当該位置における基準
速度と比較し、そのずれに基づいて地上側１次リニアモ
ータを駆動する駆動回路に対して駆動制御出力信号を供
給することにより、磁気浮上搬送車を所定の停止位置に
正確に止めることができる。さらに磁気浮上搬送車の位
置を検知する位置センサを併用することによって、磁気
浮上搬送車が所定位置に停止したことを確認することが
できる。

なお、上記基準速度は、位置−速度空間上で一定の線と
して決定可能であり、その形状は、磁気浮上搬送車の停
止制御をどのような目標に基づいて行うかにより適宜選
択され得るものである。

〈実施例〉 次いで、この発明の実施例について図を参照しながら以
下に説明する。

第１図は軌道（２０）に沿って走行する磁気浮上搬送車
（１）を示す断面図である。また、第２図は第１図の■
−■線断面図、第３図は第１図の■−■線断面図であり
、磁気浮上搬送車の走行方向を矢印入方向にとっている
。

磁気浮上搬送車（１）は荷台を兼ねた平板状の車体口を
有し、車体■の上面には、進行方向（第１図の紙面に垂
直方向）の比較的前側と比較的後ろ側にそれぞれ２つず
つ合計４つのフレーム（Ｆ）が上を向けて配置されてい
る。フレーム（Ｆ）の上部には、断面コの字形を有する
鉄心（３ａ）〜（３ｄ）が固定され、さらにその上部に
は、例えばＮｄ−Ｆｅ−８合金製の永久磁石（５ａ）〜
（５ｄ）が固定されており、かっ鉄心（３ａ）〜（３ｄ
）の回りに、電磁石を作る電磁コイル（４ａ）〜（４ｄ
）が巻回されている。上記鉄心（３ａ）〜（３ｄ）、永
久磁石（５ａ）　〜（５ｄ）及び電磁コイル（４ａ）　
〜（４ｄ）により浮上マグネット（Ｍａ）〜（Ｍｄ）を
構成している。また、車体■の側面には、ローラ（７）
、（８）が、浮上走行時に後述するガイド溝（２４）と
接触せず所定の空隙を保持できる状態で突設されている
。ローラ（７）は、着地時に磁気浮上搬送車（１）を支
持するとともに、非励磁時に浮上マグネット（Ｍａ）〜
（Ｍｄ）がガイドレール（２１）と接触しないように磁
気浮上搬送車（１）の上方向の動きを規制するものであ
り、ローラ（８）は磁気浮上搬送車（１）の左右方向へ
の動きを規制するものである。なお、（９）は、浮上マ
グネット（Ｍａ）〜０１ｄ）とガイドレール（２１）と
のギャップを例えば電磁誘導効果等を用いて測定するギ
ャップセンサであり、（１０）は車体口の底部に設けら
れた荷物吊り下げ用のフックである。

軌道（２０）は、下方が開いた長尺枠体（２３）と、長
尺枠体（２３）の天井部から吊り下げられた２本の強磁
性体製の断面「工」の字状を有するガイドレール（２１
）と、長尺枠体（２３）の側部から内方に形成したロー
ラ支持用の、Ｌ型材からなるガイド溝（２４）とから主
構成される。そして、軌道（２０）の随所には、磁気浮
上搬送車（１）を停止させるステーションが設けられて
いる。

また、車体■の中心部には、進行方向と平行に肉薄の、
ＬＩＭ（リニアインダクションモータ）の２誘導体■が
上向きに立設されており、これに対応して地上側の随所
には、磁気浮上搬送車（１）を発進、停止させるＬＩＭ
の１次側駆動系（２２）が配置されている。

車体■の側面部には、磁気浮上搬送車（１）をステーシ
ョンの所定位置に精度よく停止させるため、磁気浮上搬
送車（１）の位置を表示するリニアスケール（３８）が
設けられており、地上側には、リニアスケール（３８）
を読み取る位置検出センサ（３７）が取付けられている
。

車体■の後尾側端面には受光センサ（４５）が取付けら
れ、地上側の所定位置には、緊急停止光信号を照射する
の発光体（図示せず）が取付けられ、発光体の照射光に
より軌道（２０）に沿った光路を形成する。

さらに、車体■の側面部には、磁気浮上搬送車（１）の
質量データを送出する光送信器（３４）が取付けられ、
ステーションの所定位置には、光送信器（３４）から送
信された光信号を受信する光受信器（３５）が取付けら
れている。

次に、第４図を参照しながら、磁気浮上搬送方式の制御
系の回路構成の概要を説明する。制御系は大別して磁気
浮上搬送車（１）をガイドレール（２１）から所定のギ
ャップを保って浮上させる浮上制御系と、磁気浮上搬送
車（１）を発進、走行、停止させる走行制御系とに大別
される。

上記浮上制御系は、前述したギャップセンサ（９ａ）〜
（９ｄ）と、電磁コイル（４ａ）〜（４ｄ）に電流を供
給する電力増幅回路（３２ａ）〜（３２ｄ）と、電磁コ
イル（４ａ）〜（４ｄ）の電源となるバッテリ（Ｂ）と
、ギャップセンサ（９ａ）〜（９ｄ）の出力に基づいて
電力増幅回路（３２ａ）〜（３２ｄ）の出力を調整する
浮上制御回路（３’ｌａ）〜（ａｉｄ）と、磁気浮上搬
送車（１）の質量を算出するギャップ−質量変換回路（
３３）と、ギャップ−質量変換回路（３３）から得た質
量データを含んだ光信号を送信する光送信器（３４）と
から主構成される。ギャップ−質量変換回路（３３）と
光送信器（３４）とは後述するように、磁気浮上搬送車
（１）の質ｆｆ１Ｍを検出する質量検出部（４０）を構
成するものである。

上記浮上制御系において、浮上制御回路（３１ａ）〜（
３１ｄ）に、ギャップセンサ（９ａ）〜（９ｄ）により
検出したギャップと、電磁コイル（４ａ）〜（４ｄ）両
端の電圧又は電磁コイル（４ａ）〜（４ｄ）を流れる電
流と、それらの目標値との各偏差に比例した信号、積分
した信号、微分した信号のそれぞれに重みを付けて加算
し、加算値に応じた信号を出力するというＰＩＤ制御を
行わせている。電力増幅回路（３２ａ）〜（３２ｄ）は
該出力信号に応じたコイル励磁電流を電磁コイル（４ａ
）〜（４ｄ）に供給する。これにより、浮上マグネット
（Ｈａ）〜（Ｍｄ）の起動制御や、浮上後のギャップ一
定制御、電磁コイル（４ａ）〜（４ｄ）に流れる電流一
定制御等を実現することができる。

また、走行制御系は各ステーション側に設けられるもの
であり、磁気浮上搬送車（１）の発進、走行、停止を制
御する走行制御装置（４１）と、走行制御装置（４１）
からの制御出力信号をＬＩＭの１次側駆動系（２２）を
駆動する電力信号に変換するインバータ（３Ｂ）と、前
述したリニアスケール（３８）の目盛を検出するセンサ
（３７）等とから構成されている。光受信器（３５）は
、光送信器（３４）から送信された光信号を受信するも
のであり、前述したギャップ−質量変換回路（３３）、
光送信器（３４）とともに質量検出部（４０）を構成す
る。なお、走行制御装置（４１）はバスを通して、磁気
浮上搬送システムを管制制御するホストコンピュータ（
図示せず）に接続されている。

上記ギャップ−質量変換回路（３３）は、ギャップセン
サ（９ａ）〜（９ｄ）の検出信号を入力すると、所定の
関係に基づいて磁気浮上搬送車（１）の質量を検出する
。上記所定の関係とは、浮上マグネット（Ｍａ）〜（Ｍ
ｄ）の吸引力特性と浮上制御回路（３１ａ）〜（３１ｄ
）による浮上制御内容とによってすでに決定されている
ものであり、例えば第５図に実線で示すようなギッヤッ
プと質量との関係を示すグラフで表示できる。第５図（
ａ）に実線で示すように質ｆｆ１ＭはギャップＧの増加
関数であったり、第５図（ｂ）に実線で示すように、ギ
ャップＧの減少関数であったりする。なお、実際には、
第５図の実線の代わりに、同図破線のように直線近似し
たものを利用してもよく、この実施例では直線近似した
ものを利用している。

第６図はギャップ−質量変換回路（３３）の回路構成の
概略を示す図であり、ギャップセンサ（９ａ）〜（９ｄ
）の検出信号は加算器（３３−１）に入力され加算され
る（平均値をとってもよい）。ここで加算された信号は
Ａ／Ｄ変換器（３３−２）に供給される。Ａ／Ｄ変換器
（３３−２）は加算出力信号を所定ビット数（ここでは
４ビツトの）のディジタルコード信号に変換し、各ビッ
トの信号出力を光送信器（３４）を構成する各発光素子
（１４ａ）〜（１４ｄ）に送り出している。

地上側では、上記発光素子（３４ａ）〜（３４ｄ）から
受けた光信号を同数の受光素子を有する光受信器（３５
）によって受光する。この受光信号は、走行制御装置（
４１）に入力され、ここにおいて復号され、走行制御に
おける１パラメータとして利用される。

なお、符号（３４’）は地上側からの質量データ要求光
信号を受ける受光素子、（３６）は上記受光素子（３４
’）からの受光信号を受けて、ギャップ−質量変換回路
（３３）に質量データを送出させる命令信号を供給する
論理回路である。

上記の回路によって、地上側からの質量データを要求し
たときに、ギャップＧと質ｆｆ１Ｍとの所定の関係に基
づいて磁気浮上搬送車（１）の実際の質量を検出して地
上側に伝達することができる。したがって、地上側にお
いては、ＬＩＭの１次駆動系を用いて磁気浮上搬送車（
１）を駆動する場合に、従来のように磁気浮上搬送車（
１）の質量を一定値とみなして駆動していたのと比較し
て、より精度よく走行停止制御をすることがで、きる。

しかも、磁気浮上搬送車（１）と地上側との間で光通信
を実現することによって、磁気浮上搬送車（１）が地上
側に停止した時点で、デー２フアイルの交換や通信線の
接続等を行わずにデータのやりとりを実現できるので、
人手を省けるほかに、接続磁気浮上搬送車（１）の本体
と地上側との機械的接触を防止することができる。

次に、走行制御装置（４１）による磁気浮上搬送車（１
）の停止制御について説明する。

進行している磁気浮上搬送車（１）をステーション側の
所定位置に停止させるための制御を行うには、磁気浮上
搬送車（１）の位置と速度を正確に検知できることが必
要である。そこで、ステーション側において、磁気浮上
搬送車（１）の位置を連続的に検知するため、車体■の
側面部には、前述したように磁気浮上搬送車（１）の位
置を連続的に表示するリニアスケール（３８）が、磁気
浮上搬送車（１）の進行方向に沿って取付けられている
。リニアスケール（３８）は所定間隔で多数本のバーを
平行に配列したものである。この間隔は、磁気浮上搬送
車（１）が走行するときに、磁気浮上搬送車（１）に取
付けられたスケールの各目盛を、１サンプリング時間内
で１つ以上読取れるように設定されていればよく、例え
ば１０〜１００μｍ程度の間隔を例示することができる
。

そして、地上側において、リニアスケール（３８）を読
み取る位置検出センサ（３７）が取付けられている。

走行制御装置（４１）は、第７図に示すように１１位置
検出センサ（３７）からの読取信号を整形して互いに位
相の異なるパルス信号を出力する波形整形回路（４７）
と、パルス信号のパルス数をカウントするカウンタ（４
８−１）及びカウント数をラッチするラッチ回路（４８
−２）とからなる位置データ検出回路（４８）と、パル
ス信号から磁気浮上搬送車（１）の速度信号を得るＦ／
Ｖ変換器（４９−１）及びＦ／Ｖ変換出力をＡ／Ｄ変換
するＡ／Ｄ回路（４９−２）からなる速度データ検出回
路（４９）と、位置データ検出回路（４８）、速度デー
タ検出回路（４９）及びサンプリングパルス発生器（５
３）を人力ボート側に入力して、位置データ、速度デー
タに基づき停止制御信号を出力するマイクロコンピュー
タ（５０）と、マイクロコンピュータ（５０）の出力信
号をＤハ変換するＤ／Ａ変換器（５１）、Ｄハ変換出力
をインバータ（３Ｂ）に送り出すためのバッファアンプ
（５２）とからなる。

上記の構成において、マイクロコンピュータ（５０）は
、サンプリングタイムごとに、磁気浮上搬送車（１）の
位置と速度データを得て、当該位置における速度が基準
速度といくらずれているかを算出し、当該ずれの量に基
づいて、インバータ（３Ｂ）に送り出す出力を制御する
ものである。

フローチャート（第８図）に従って詳細に説明すると、
ステップ■においてホストコンピュータから磁気浮上搬
送車の停止指令を受けると、ステップ■において磁気浮
上搬送車（１）がステーションに進入してくるまで待つ
。この進入は、位置検出センサ（３７）がリニアスケー
ル（３８）の端を検出したことから知ることができる。

この後位置データ検出回路（４８）、速度データ検出回
路（４９）が作動して、位置、速度の検出を開始する。

マイクロコンピュータ（５０）は、ステップ■において
サンプリングパルス発生器（５３）からパルスを受ける
ごとに位置データ、速度データを取り込み（ステップ■
）、位置、速度で構成される位相空間上の座標を判定す
る。そして、ステップ■において座標が原点の近傍に入
っているかどうかを判定し、入っている場合は磁気浮上
搬送車（１）が所定位置に停止可能と判断し、インバー
タ（３Ｂ）に出力を送り出さずにステップ■に戻る。座
標が原点の近傍に入っていない場合は、ステップ■にお
いて速度と基準速度とのずれを算出する。上記基準速度
は、磁気浮上搬送車（１）の位置ごとに定義されるもの
で、位相空間上に基準線としてプロット可能なものであ
る。そして、ステップ■において、この基準速度とのず
れが磁気浮上搬送車（１）の走行にともなって小さくな
り、位相空間上で振動することなく速やかに原点に達す
るように出力信号を算出する。そして、ステップ［株］
においてインバータ（３６）に出力信号を送出しステッ
プ■に戻る。上記ステップ■〜ステップ［相］の手順は
、ステップ■において磁気浮上搬送車（１）の座標が原
点の近傍に入るまで循環される。

以上のように、車体０にリニアスケール（３８）を取付
け、位置検出センサ（３７）によってリニアスケール（
３８）の位置を連続的に読取り、位置データ検出回路（
４８）及び速度データ検出回路（４９）を用いて磁気浮
上搬送車（１）の位置と速度とを連続的に求め、基準速
度を目標値とするフィードバック制御を行うことによっ
て、停止位置を高精度に制御することができる。また、
上記位相空間上の基準線の形と、インバータ（３Ｂ）に
送出する出力信号の導出式を適当に設定することにより
、オーバーシュート（停止位置を越えてしまうこと）を
抑制し、走行してきた磁気浮上搬送車（１）を最短時間
で停止させたり、最少の消費電力で停止させたりするこ
とができる。

なお、走行制御装置（４１）による停止制御において停
止の判定をスムーズに行うため、磁気浮上搬送車（１）
がステーション内の定位置に停止したことを確認する光
送受信器を、ステーション側に付加してもよい。第９図
は光送受信器を取付けた概略を示す斜視図であり、定位
置に停止した磁気浮上搬送車（１）の前後にそれぞれ軌
道（２０）を挟んで対向する一対の光送受信器（８１８
）　、　（８１Ｒ）及び（８２Ｓ）。

（８２Ｒ）を設け、光送信器（８１８）から光受信器（
６１Ｒ）に対して光を照射しくこの光路を符号（ＬＡ）
で表す）、光送信器（８２Ｓ）から光受信器（８２Ｒ）
に対して光を照射するようにしている（この光路を符号
（ＬＢ）で表す）。光路（ＬＡ）　（ＬＢ）間の間隔は
、車両（２）の進行方向の幅よりも若干広めにとられて
いるので、光路（ＬＡ）　（ＬＢ）間に磁気浮上搬送車
（１）が停止した場合に光路（ＬＡ）　（ＬＢ）が開通
し、磁気浮上搬送車（１）の停止位置がこれより前後に
所定距離ずれると光路（ＬＡ）　（ＬＢ）の一方がふさ
がる。光受信器（６１Ｒ）　、（８２Ｒ）の受信信号は
、第１θ図に示すように、マイクロコンピュータ（５０
）に入力されている。

マイクロコンピュータ（５０）においては、第１１図に
示す制御を行う。すなわち、ステップ■においてホスト
コンピュータから磁気浮上搬送車の停止指令を受けると
、ステップ■において磁気浮上搬送車（１）がステージ
シンに進入してくるまで待つ。そして、位置、速度の検
出を開始しくステップ■）、サンプリングパルス数に対
応する数ｋを０とおく（ステップ■）。サンプリングパ
ルスを受けると（ステップ■）、上記数ｋを１つだけイ
ンクリメントしくステップ■）、位置データ、速度デー
タを取り込み（ステップ■）、座標判定を行う（ステッ
プ■）。ステップ■において位相空間上の座標が原点の
近傍に入っているかどうかを判定し、座標が原点の近傍
に入っている場合には、ステップ［相］に進み光受信器
（８１Ｒ）が受光しているかどうかを判定する。受光し
ていればステップ■に進み光受信器（６２Ｒ）が受光し
ているかどうかを判定する。受光していればステップ０
に進み出力をしゃ断する。ステップ■において位相空間
上の座標が原点の近傍に入っておらず、ステップ［相］
、ステップ■において、光受信器（８１Ｒ）　（８２Ｒ
）が受光していなければ、いずれもステップ■に進み、
上記数ｋが所定数Ｎを超えているかどうかを判定する。

超えていればステップ［有］に進んで異常表示を出しス
テップ＠に進む。超えていなければステップ■〜■に進
んで基準位置とのずれを算出し、計算を行ってインバー
タに出力してステップ■に戻る。

このように、磁気浮上搬送車（１）が所定の停止位置に
あるかどうかの判断をするのに、リニアスケール（３８
）の読取りと、光受信器（ＳＩＲ）及び（８２Ｒ）の受
信信号との２種類に基づいて行い、両者の判断結果が同
じである場合のみ、インバータ（３６）の駆動を停止し
、いずれかが磁気浮上搬送車（１）が所定の位置に停止
していないと判断した場合、定位置停止制御を続けるこ
ととした。ただしリニア、スケール（３８）による位置
読取りと、光受信器（６１Ｒ）及び（６２Ｒ）による受
信結果が一致せず、ステップ■〜ステップ■の循環が所
定回数Ｎまで繰り返されると、リニアスケール（３８）
による位置読取り動作、又は光受信器（８１Ｒ）及び（
６２Ｒ）による受信動作のいずれか又は双方が故障して
いるものと判断して、異常表示を出して磁気浮上搬送車
（１）を止める。

以上、第１１図の手順に基づく制御により、磁気浮上搬
送車（１）が所定位置に停止したことをより確実に検知
することができる。

以上実施例に基づいてこの発明の磁気浮上搬送車の停止
制御方式について説明したが、この発明は上記の実施例
に限定されるものではなく、例えば磁気浮上搬送車は、
浮上に必要な磁力の大部分を永久磁石から供給し、電磁
石を、永久磁石の吸引力の不安定性と、搬送車に係る荷
重の変動分の調整にのみ用いているものに限らず、浮上
に必要な磁力を全て電磁石から供給するものであっても
よい。また、光路（ＬＡ）と光路（ＬＢ）との間隔を車
両の幅よりも若干狭くとって車両の位置を検知してもよ
い。さらに、位置センサは実施例のように光送信器と光
受信器とを組合わせたものに限られず、車体からの反射
光を検出する反射型の光センサであってもよい。その他
この発明の要旨を変更しない範囲内において、種々の設
計変更を施すことが可能である。

〈発明の効果〉 以上のように、この発明の磁気浮上搬送車の停止制御方
式によれば、磁気浮上搬送車の車体に取付けられたスケ
ールの目盛を読み取って磁気浮上搬送車の位置をほぼ連
続的に検出することができる。このように検出した位置
と位置に基づいて算出された速度とを読み取り、読取っ
た速度を当該位置における基準速度と比較し、そのずれ
に基づいて地上側１次リニアモータを駆動する駆動回路
に対して駆動制御出力信号を供給することにより、地上
側１次リニアモータを精密に駆動することができる。し
たがって、磁気浮上搬送車を所定の停止位置に迅速かつ
正確に停止させることができる。

しかも磁気浮上搬送車の位置を検知する位置センサを併
用することによって、磁気浮上搬送車が所定位置に停止
したことを確認−することができるので停止制御の信頼
性をより向上させることができ、ひいては電力の節約や
停止時間の短縮化等を果たすことができるという特有の
効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は軌道を紙面に垂直に走行する磁気浮上搬送車を
示す断面図、 第２図は第１図の■−■線断面図、第３図は第１図のｍ
−ｍ線断面図である。 第４図は磁気浮上搬送制御回路の概略ブロック図、 第５図は浮上制御に基づくギャップと質量との関係を示
すグラフ、 第６図はギャップ−質量変換回路の回路構成を示す概略
図、 第７図は走行制御装置の停止制御回路を示すブロック図
、 第８図は停止制御手順のフローチャート、第９図は停止
位置を確認する光送受信器をステーション側に付加した
概略を示す斜視図、第１Ｏ図は光送受信器をステーショ
ン側に付加した場合における走行制御装置の停止制御回
路を示すブロック図、 第１１図は停止制御手順のフローチャート、第１２図は
従来の停止制御に用いられる位置センサ等の配置を説明
する図である。 （１）・・・磁気浮上搬送車、 （２１）・・・ガイドレール、 （３５）・・・目盛検知手段としての位置検出センサ、
（３８）・・・スケール、 （４８）、（４９）・・・位置−・速度検出手段として
の位置データ検出回路、速度データ検出回路、 （５０）・・・駆動制御信号生成手段としてのマイクロ
コンピュータ （６１８）　（６１Ｒ）　（６２８）　（６２Ｒ）・・
・“位置センサ特許出願人　　住友電気工業株式会社 （ほか２名） 第５図 （ａ）（ｂ） 第４図 第９図 ｂｌ）（ 第１２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、強磁性体で形成されたガイドレール上を非接触状態
   で走行可能な磁気浮上搬送車を所定位置に停止させる磁
   気浮上搬送車の停止制御方式であって、 磁気浮上搬送車の車体に取付けられたスケールと、 スケールの目盛を検知する目盛検知手段と、目盛検知手
   段により検知した結果に基づいて磁気浮上搬送車の位置
   及び速度を検出する位置・速度検出手段と、検出した位
   置及び検出した速度を読み取り、 読取った速度を当該位置における基準速度と比較し、そ
   のずれに基づいて、地上側１次リニアモータを駆動する
   駆動回路に対して駆動制御出力信号を供給する駆動制御
   信号生成手段と、磁気浮上搬送車が所定位置に停止した
   ことを確認するべく磁気浮上搬送車の位置を検知する位
   置センサとを具備することを特徴とする磁気浮上搬送車
   の停止制御方式。