JPH01126108A - 磁気浮上搬送車の質量検知方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この発明は磁気浮上搬送車の質量検知方式に関し、さら
に詳細にいえば、強磁性体で形成されたガイドレール上
を非接触状態で走行可能な磁気浮上搬送車の質量を検知
する質量検知方式でに関する。

〈従来の技術〉 近年、工場内、オフィス内等の複数の地点間で精密部品
等の搬送物を速やかにかつ静かに搬送したい場合におい
て、ガイドレール上で搬送車を非接触状態に支持できる
浮上式の搬送方式が注目されている。搬送車を非接触状
態に支持するには、空気や磁気を用いるのが一般的であ
るが、特に搬送車を磁気的に支持する方式は、追従性や
騒音面で優れており、有望視されている。また、発塵も
極めて少なく、半導体製造工場等においても好適に使用
できる。

上記の磁気浮上搬送車は小型軽量性が要求されることか
ら、車上には誘導電流を流すための導体（２次導体）を
設け、地上には推進用のコイルを有する１次側の駆動系
を配置してこのコイルに電力を供給して磁気浮上搬送車
を発進、走行、停止させる走行制御方式が通常とられて
いる。

上記走行制御を行うには、磁気浮上搬送車の位置を知る
ことが必要であるのは勿論であるが、この外にも磁気浮
上搬送車の質量等が必要になる。

従来では磁気浮上搬送車の質量は搬送物の質量を求めて
、磁気浮上搬送車本体の質量と加算することにより得て
いた。

〈発明が解決しようとする問題点〉 ところが、従来の方式によれば、搬送物を積み替えたり
するたびに質量が変わってしまうので、正確な走行制御
を行うことができなかった。

例えば、磁気浮上搬送車を所定の位置に停止させようと
して、１次側の駆動系により制動をかけても、磁気浮上
搬送車の質量が異なると、磁気浮上搬送車の慣性力によ
って停止位置が所定の位置より前後してしまう。すると
、再び磁気浮上搬送車を発進させて、所定の位置まで動
かしてこなければならず、余計な時間がかかり、かつ無
駄な電力を消費してしまうという問題があった。

く目的〉 この発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、磁
気浮上搬送車を効率的に走行制御することができる磁気
浮上搬送車の質量検知方式を提供することを目的とする
。

く問題点を解決するための手段〉 上記の目的を達成するためのこの発明の磁気浮上搬送車
の質量検知方式は、少なくとも電磁石を有する浮上マグ
ネットと、電磁石に電流を流して磁気浮上搬送車の浮上
を制御する浮上制御手段と、浮上マグネットとガイドレ
ールとのギャップを検出するギャップセンサと、検出し
たギャップ値から、上記浮上マグネットの吸引力特性と
上記浮上制御方法とによって定まるギャップと質量との
関係に基づいて磁気浮上搬送車の質量を求める質量検知
手段とを具備するものである。

く作用〉 上記の構成の磁気浮上搬送車の質量検知方式によれば、
ギャップセンサにより浮上マグネットとガイドレールと
のギャップを検出し、そのギヤツブ値を磁気浮上搬送車
の浮上マグネットの吸引力特性と浮上制御方法とにより
定まるギャップと質量との関係に当てはめることにより
磁気浮上搬送車の質量を求めることができる。

上記磁気浮上搬送車の浮上制御方法は、磁気浮上搬送車
の重量に応じてギャップが変化するような方法であれば
いかなる制御方法であってもよいが、例えば、■検出し
たギャップに比例する電圧、ギャップの時間微分に比例
する電圧、及びギャップの時間積分に比例する電圧を電
磁石を構成するコイルにフィードバックすることによっ
て、ギャップを一定の範囲に保つ方法、■電磁石に要求
される磁束の大部分を永久磁石から供給し、電磁石を、
永久磁石の吸引力の不安定性と、荷重の変動分の調整に
のみに供する磁気浮上搬送車（特開昭６０−９８１０６
．６０−１７０４０１．８１−１０２１０５号公報等参
照）において採用されるものであって、磁気浮上搬送車
の荷重が所定値であれば、永久磁石による浮上刃と磁気
浮上搬送車の重量が釣り合って、電磁石に対しては電力
を供給しないが、磁気浮上搬送車の重量が所定値より増
加するとギャップを狭くし、磁気浮上搬送車の重量が所
定値より減少するとギャップを広くすることにより、い
ずれの場合もコイルに流す電流を一定に保つ方法等をあ
げることができる。

上記■のギャップを一定範囲に保つ浮上制御方法にあっ
ては、磁気浮上搬送車の重量の増加に従ってギャップは
単調増加するという関係があり、また、上記■の電流を
一定に保つ方式であれば、磁気浮上搬送車の重量の増加
に従ってギャップは単調に減少するという関係がある。

このように、磁気浮上搬送車の浮上制御方法において、
磁気浮上搬送車の重量とギャップは、浮上マグネットの
吸引力特性と当該制御内容とにより一定の関係をつける
ことができるので、検出されたギャップを知ることによ
って、磁気浮上搬送車の質量を求めることができる。

〈実施例〉 次いで、この発明の実施例について図を参照しながら以
下に説明する。

第１図は軌道（２０）に沿って走行する磁気浮上搬送車
（１）を示す断面図である。また、第２図は第１図の■
−■線断面図、第３図は第１図の■−■線断面図であり
、磁気浮上搬送車の走行方向を矢印Ａ方向にとっている
。

磁気浮上搬送車（１）は荷台を兼ねた平板状の車体（２
）を有し、車体（２）の上面には、進行方向（第１図の
紙面に垂直方向）の比較的前側と比較的後ろ側１；それ
ぞれ２つずつ合計４つのフレーム（Ｆ）が上を向けて配
置されている。フレーム（Ｆ）の上部には、断面コの字
形を有する鉄心（３ａ）〜（３ｄ）が固定され、さらに
その上部には、例えばＮｄ−Ｐｅ−８合金製の永久磁石
（５ａ）〜（５ｄ）が固定されており、かつ鉄心（３ａ
）〜（３ｄ）の回りに、電磁石を作る電磁コイル（４ａ
）〜（４ｄ）が巻回されている。上記鉄心（３ａ）〜（
３ｄ）、永久磁石（５ａ）　〜（５ｄ）及び電磁コイル
（４ａ）〜（４ｄ）により浮上マグネット（Ｍａ）〜（
Ｍｄ）を構成している。また、車体■の側面には、ロー
ラ■、（８）が、浮上走行時に後述するガイド溝（２４
）と接触せず所定の空隙を保持できる状態で突設されて
いる。ローラ（７）は、着地時に磁気浮上搬送車（１）
を支持するとともに、非励磁時に浮上マグネット（Ｈａ
）〜（Ｍｄ）がガイドレール（２１）と接触しないよう
に磁気浮上搬送車（１）の上方向の動きを規制するもの
であり、ローラ（８）は磁気浮上搬送車（１）の左右方
向への動きを規制するものである。なお、（９）は、浮
上マグネット（Ｍａ）〜（Ｍｄ＞とガイドレール（２１
）とのギャップを例えば電磁誘導効果等を用いて測定す
るギャップセンサであり、（１０）は車体■の底部に設
けられた荷物吊り下げ用のフックである。

軌道（２０）は、下方が開いた長尺枠体（２３）と、長
尺枠体（２３）の天井部から吊り下げられた２本の強磁
性体製の断面「工」の字状を有するガイドレール（２１
）と、長尺枠体（２３）の側部から内方に形成したロー
ラ支持用の、Ｌ型材からなるガイド溝（２４）とから主
構成される。そして、軌道（２０）の随所には、磁気浮
上搬送車（１）を停止させるステーションが設けられて
いる。

また、車体■の中心部には、進行方向と平行に肉薄の、
ＬＩＭ（リニアインダクションモータ）の２次導体（６
）が上向きに立設されており、これに対応して地上側の
随所には、磁気浮上搬送車（１）を発進、停止させるＬ
ＩＭの１次側駆動系（２２）が配置されている。

車体（りの側面部には、磁気浮上搬送車（１）をステー
ションの所定位置に精度よく停止させるため、磁気浮上
搬送車（１）の位置を表示するリニアスケール（３８）
が設けられており、地上側には、リニアスケール（３８
）を読み取る位置検出センサ（３７）が取付けられてい
る。

車体（２）の後尾側端面には受光センサ（４５）が取付
けられ、地上側の所定位置には、緊急停止光信号を照射
するの発光体（図示せず）が取付けられ、発光体の照射
光により軌道（２０）に沿った光路を形成する。

さらに、車体■の側面部には、磁気浮上搬送車（１）の
質量データを送出する光送信器（３４）が取付けられ、
ステーションの所定位置には、光送信器（３４）から送
信された光信号を受信する光受信器（３５）が取付けら
れている。

次に、第４図を参照しながら、磁気浮上搬送方式の制御
系の回路構成の概要を説明する。制御系は大別して磁気
浮上搬送車（１）をガイドレール（２１）から所定のギ
ャップを保って浮上させる浮上制御系と、磁気浮上搬送
車（１）を発進、走行、停止させる走行制御系とに大別
される。

上記浮上制御系は、前述したギャップセンサ（９ａ）　
〜（９ｄ）と、電磁コイル（４ａ）〜（４ｄ）に電流を
供給する電力増幅回路（３２ａ）〜（３２ｄ）と、電磁
コイル（４ａ）〜（４ｄ）の電源となるバッテリ（Ｒ）
と、ギャップセンサ（９ａ）〜（９ｄ）の出力に基づい
て電力増幅回路（３２ａ）〜（３２ｄ）の出力を調整す
る浮上制御回路（ｌＬａ）〜（３１ｄ）と、磁気浮上搬
送車（１）の質量を算出するギャップ−質量変換回路（
３３）と、ギャップ−質量変換回路（３３）から得た質
量データを含んだ光信号を送信する光送信器（３４）と
から主構成される。ギャップ−質量変換回路（３３）と
光送信器（３４）とは後述するように、磁気浮上搬送車
（１）の質ｆｆ１Ｍを検出する質量検出部（４０〉を構
成するものである。

上記浮上制御系において、浮上制御回路（：Ｈａ）〜（
３１ｄ）に、ギャップセンサ（９ａ）〜り９ｄ）により
検出したギャップと、電磁コイル（４ａ）〜（４ｄ）両
端の電圧又は電磁コイル（４ａ）〜（４ｄ）を流れる電
流と、それらの目標値との各偏差に比例した信号、積分
した信号、微分した信号のそれぞれに重みを付けて加算
し、加算値に応じた信号を出力するというＰＩＤ制御を
行わせている。電力増幅回路（３２ａ）〜（３２ｄ）は
該出力信号に応じたコイル励磁電流を電磁コイル（４ａ
）〜（４ｄ）に供給する。これにより、浮上マグネッｈ
　（Ｈａ）〜（Ｍｄ）の起動制御や、浮上後のギャップ
一定制御、電磁コイル（４ａ）〜（４ｄ）に流れる電流
一定制御等を実現することができる。

また、走行制御系は各ステーション側に設けられるもの
であり、磁気浮上搬送車（１）の発進、走行、停止を制
御する走行制御装置（４１）と、走行制御装置（４１）
からの制御出力信号をＬＩＭの１次側駆動系（２２）を
駆動する電力信号に変換するインバータ（３６）と、前
述したリニアスケール（３８）の目盛を検出するセンサ
（３７）等とから構成されている。光受信器（３５）は
、光送信器（３４）から送信された光信号を受信するも
のであり、前述したギャップ−質量変換回路（３３）、
光送信器（３４）とともに質量検出部（４０）を構成す
る。なお、走行制御装置（４１）はバスを通して、磁気
浮上搬送システムを管制制御するホストコンピュータ（
図示せず）に接続されている。

上記ギャップ−質量変換回路（８３）は、ギャップセン
サ（９ａ）〜（９ｄ）の検出信号を人力すると、所定の
関係に基づいて磁気浮上搬送車（１）の質量を検出する
。上記所定の関係とは、浮上マグネット（Ｈａ）〜（Ｍ
ｄ）の吸引力特性と浮上制御回路（３１ａ）〜（３１ｄ
）による浮上制御内容とによってすでに決定されている
ものであり、例えば第５図に実線で示すようなギッヤッ
プと質量との関係を示すグラフで表示できる。第５図（
ａ）に実線で示すように質量ＭはギャップＧの増加関数
であったり、第５図（ｂ）に実線で示すように、ギャッ
プＧの減少関数であったりする。なお、実際には、第５
図の実線の代わりに、同図破線のように直線近似したち
のを利用してもよく、この実施例では直線近似したもの
を利用している。

第６図はギャップ−質量変換回路（３３）の回路構成の
概略を示す図であり、ギャップセンサ（９ａ）〜（９ｄ
）の検出信号は加算器（３３−１）に入力され加算され
る（平均値をとってもよい）。ここで加算された信号は
Ａ／Ｄ変換器（３３−２）に供給される。Ａ／Ｄ変換器
（３３−２）は加算出力信号を所定ビット数（ここでは
４ビツトの）のディジタルコード信号に変換し、各ビッ
トの信号出力を光送信器（３４）を構成する各発光素子
（３４ａ）〜（３４ｄ）に送り出している。

地上側では、上記発光素子（３４ａ）〜（３４ｄ）から
受けた光信号を同数の受光素子を有する光受信器（３５
）によって受光する。この受光信号は、走行制御装置（
４１）に人力され、ここにおいて復号され、走行制御に
おける１パラメータとして利用される。

なお、符号（３４’）は地上側からの質量データ要求光
信号を受ける受光素子、（３Ｂ）は上記受光素子（３４
’）からの受光信号を受けて、ギャップ−質量変換回路
（３３）に質量データを送出させる命令信号を供給する
論理回路である。

上記の回路によって、地上側からの質量データを要求し
たときに、ギャップＧと質ｉＭとの所定の関係に基づい
て磁気浮上搬送車（１）の実際の質量を検出して地上側
に伝達することができる。したがって、地上側において
は、ＬＩＭの１次駆動系を用いて磁気浮上搬送車（１）
を駆動する場合に、従来のように磁気浮上搬送車（１）
の質量を一定値とみなして駆動していたのと比較して、
より精度よく走行停止制御をすることができる。

しかも、磁気浮上搬送車（１）と地上側との間で光通信
を実現することによって、磁気浮上搬送車（１）が地上
側に停止した時点で、データファイルの交換や通信線の
接続等を行わずにデータのやりとりを実現できるので、
人手を省けるほかに、接続磁気浮上搬送車（１）の本体
と地上側との機械的接触を防止することができる。

次に、走行制御装置（４１）による磁気浮上搬送車（１
）の停止制御について説明する。

進行している磁気浮上搬送車（１）をステーション側の
所定位置に停止させるための制御を行うには、磁気浮上
搬送車（１）の位置と速度を正確に検知できることが必
要である。そこで、ステーション側において、磁気浮上
搬送車（１）の位置を連続的に検知するため、車体■の
側面部には、前述したように磁気浮上搬送車（１）の位
置を連続的に表示するリニアスケール（３８）が、磁気
浮上搬送車（１）の進行方向に沿って取付けられている
。リニアスケール（３Ｂ）は所定間隔で多数本のバーを
平行に配列したものである。この間隔は、磁気浮上搬送
車（１）が走行するときに、磁気浮上搬送車（１）に取
付けられたスケールの各目盛を、１サンプリング時間内
で１つ以上読取れるように設定されていればよく、例え
ば１０〜１００声程度の間隔を例示することができる。

そして、地上側において、リニアスケール（３８）を読
み取る位置検出センサ（３７）が取付けられている。

走行制御装置（４１）は、第７図に示すように、位置検
出センサ（３７）からの読取信号を整形して互いに位相
の異なるパルス信号を出力する波形整形回路（４７）と
、パルス信号のパルス数をカウントするカウンタ（４８
−１）及びカウント数をラッチするラッチ回路（４８−
２）とからなる位置データ検出回路（４８）と、パルス
信号から磁気浮上搬送車（１）の速度信号を得るＦ／Ｖ
変換器（４９−１）及びＦ／Ｖ変換出力をＡ／Ｄ変換す
るＡ／Ｄ回路（４９−２）からなる速度データ検出回路
（４９）と、位置データ検出回路（４８）、速度データ
検出回路（４９）及びサンプリングパルス発生器（５３
）を入力ボート側に入力して、位置データ、速度データ
に基づき停止制御信号を出力するマイクロコンピュータ
（５０）と、マイクロコンピュータ（５０）の出力信号
をＤ／Ａ変換するＤ／Ａ変換器（５１）、Ｄ／Ａ変換出
力をインバータ（３６）に送り出すためのバッファアン
プ（５２）とからなる。

上記の構成において、マイクロコンピュータ（５０）は
、サンプリングタイムごとに、磁気浮上搬送車（１）の
位置と速度データを得て、当該位置における速度が基準
速度といくらずれているかを算出し、当該ずれの量に基
づいて、インバータ（３Ｂ）に送り出す出力を制御する
ものである。

フローチャート（第８図）に従って詳細に説明すると、
ステップ■においてホストコンピュータから磁気浮上搬
送車の停止指令を受けると、ステップ■において磁気浮
上搬送車（１）がステーションに進入してくるまで待つ
。この進入は、位置検出センサ（３７）がリニアスケー
ル（３８）の端を検出したことから知ることができる。

この後位置データ検出回路（４８）、速度データ検出回
路（４９）が作動して、位置、速度の検出を開始する。

マイクロコンピュータ（５０）は、ステップ■において
サンプリングパルス発生器（５３）からパルスを受ける
ごとに位置データ、速度データを取り込み（ステップ■
）、位置、速度で構成される位相空間上の座標を判定す
る。そして、ステップ■において座標が原点の近傍に入
っているかどうかを判定し、入っている場合は磁気浮上
搬送車（１）が所定位置に停止可能と判断し、インバー
タ（３６）に出力を送り出さずにステップ■に戻る。座
標が原点の近傍に入っていない場合は、ステップ■にお
いて速度と基準速度とのずれを算出する。上記基準速度
は、磁気浮上搬送車（１）の位置ごとに定義されるもの
で、位相空間上に基準線としてプロット可能なものであ
る。そして、ステップ■において、この基準速度とのず
れが磁気浮上搬送車（１）の走行にともなって小さくな
り、位相空間上で振動することなく速やか、に原点に達
するように出力信号を算出する。そして、ステップ［相
］においてインバータ（３６）に出力信号を送出しステ
ップ■に戻る。上記ステップ■〜ステップ■の手順は、
ステップ■において磁気浮上搬送車（１）の座標が原点
の近傍に入るまで循環される。

以上のように、車体■にリニアスケール（３８）を取付
け、位置検出センナ（３７）によってリニアスケール（
３８）の位置を連続的に読取り、位置データ検出回路（
４８）及び速度データ検出回路（４９）を用いて磁気浮
上搬送車（１）の位置と速度とを連続的に求め、基準速
度を目標値とするフィードバック制御を行うことによっ
て、停止位置を高精度に制御することができる。また、
上記位相空間上の基準線の形と、インバータ（３６）に
送出する出力信号の導出式を適当に設定することにより
、オーバーシュート（停止位置を越えてしまうこと）を
抑制し、走行してきた磁気浮上搬送車（１）を最短時間
で停止させたり、最少の消費電力で停止させたりするこ
とができる。

なお、走行制御装置（４１）による停止制御において停
止の判定をスムーズに行うため、磁気浮上搬送車（１）
がステーション内の定位置に停止したことを確認する光
送受信器を、ステーション側に付加してもよい。第９図
は光送受信器を取付けた概略を示す斜視図であり、定位
置に停止した磁気浮上搬送車（１）の前後にそれぞれ軌
道（２０）を挟んで対向する一対の光送受信器（８１Ｓ
）　、　（８１Ｒ）及び（８２Ｓ）　。

（６２Ｒ）を設け、光送信器（８１８）から光受信器（
ｅｌＲ）に対して光を照射しくこの光路を符号（ＬＡ）
で表す）、光送信器（８２Ｓ）から光受信器（８２Ｒ）
に対して光を照射するようにしている（この光路を符号
（ＬＢ）で表す）。光路（ＬＡ）　（ＬＢ）間の間隔は
、車両（２）の進行方向の幅よりも若干広めにとられて
いるので、光路（ＬＡ）　（ＬＢ）間に磁気浮上搬送車
（１）が停止した場合に光路（ＬＡ）　（ＬＢ）が開通
し、磁気浮上搬送車（１）の停止位置がこれより前後に
所定距離ずれると光路（ＬＡ）　（ＬＢ）の一方がふさ
がる。光受信器（６１Ｒ）　、（６２Ｒ）の受信信号は
、第１Ｏ図に示すように、マイクロコンピュータ（５０
）に入力されている。

マイクロコンピュータ（５０）においては、第１１図に
　−示す制御を行う。すなわち、ステップ■においてホ
ストコンピュータから磁気浮上搬送車の停止指令を受け
ると、ステップ■において磁気浮上搬送車（１）がステ
ーションに進入してくるまで待つ。そして、位置、速度
の検出を開始しくステップ■）、サンプリングパルス数
に対応する数ｋを０とおく（ステップ■）。サンプリン
グパルスを受けると（ステップ■）、上記数ｋを１つだ
けインクリメントしくステップ■）、位置データ、速度
データを取り込み（ステップ■）、座標判定を行う（ス
テップ■）。ステップ■において位相空間上の座標が原
点の近傍に入っているかどうかを判定し、座標が原点の
近傍に入っている場合には、ステップ［相］に進み光受
信器（ｆｌｌＲ）が受光しているかどうかを判定する。

受光していればステップ■に進み光受信器（６２Ｒ）が
受光しているかどうかを判定する。受光していればステ
ップ＠に進み出力をしゃ断する。ステップ■において位
相空間上の座標が原点の近傍に入っておらず、ステップ
■、ステップ■において、光受信器（８１Ｒ）　（６２
Ｒ）が受光していなければ、いずれもステップ＠に進み
、上記数ｋが所定数Ｎを超えているかどうかを判定する
。超えていればステップ［有］に進んで異常表示を出し
ステップ＠に進む。超えていなければステップ■〜＠に
進んで基準位置とのずれを算出し、計算を行ってインバ
ータに出力してステップ■に戻る。

このように、磁気浮上搬送車（１）が所定の停止位置に
あるかどうかの判断をするのに、リニアスケール（３８
）の読取りと、光受信器（６１Ｒ）及び（６２Ｒ）の受
信信号との２種類に基づいて行い、両者の判断結果が同
じである場合のみ、インバータ（３Ｂ）の駆動を停止し
、いずれかが磁気浮上搬送車（１）が所定の位置に停止
していないと判断した場合、定位置停止制御を続けるこ
ととした。ただしリニアスケール（３８）による位置読
取りと、光受信器（８ＬＲ）及び（８２Ｒ）による受信
結果が一致せず、ステップ■〜ステップ■の循環が所定
回数Ｎまで繰り返されると、リニアスケール（３８）に
よる位置読取り動作、又は光受信器（８ＬＲ）及び（８
２Ｒ）による受信動作のいずれか又は双方が故障してい
るものと判断して、異常表示を出して磁気浮上搬送車（
１）を止める。

以上、第１１図の手順に基づく制御により、磁気浮上搬
送車（１）が所定位置に停止したことをより確実に検知
することができる。

以上実施例に基づいてこの発明の磁気浮上搬送車の質量
検知方式について説明したが、この発明は上記の実施例
に限定されるものではなく、例えば磁気浮上搬送車は、
浮上に必要な磁力の大部分を永久磁石から供給し、電磁
石を、永久磁石の吸引力の不安定性と、搬送車に係る荷
重の変動分の調整にのみ用いているものに限らず、浮上
に必要な磁力を全て電磁石から供給するものであっても
よい。その他この発明の要旨を変更しない範囲内におい
て、種々の設計変更を施すことが可能である。

〈発明の効果〉 以上のように、この発明の磁気浮上搬送車の質量検知方
式によれば、ギャップ値を、浮上マグネットの吸引力特
性と浮上制御方法とにより定まるギャップと質量との関
係に当てはめることにより磁気浮上搬送車の質量を求め
ることができる。したがって、１次側の駆動系による走
行制御を正確に行うことができ、制御に余分な時間がか
かったり、電力を無駄に消費したりすることがなくなる
という特有の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は軌道を紙面に垂直に走行する磁気浮上搬送車を
示す断面図、 第２図は第１図の■−■線断面図、第３図は第１図の■
−■線断面図である。 第４図は磁気浮上搬送制御回路の概略ブロック図、 第５図は浮上＃Ｊ御に基づくギャップと質量との関係を
示すグラフ、 第６図はギャップ−質量変換回路の回路構成を示す概略
図、 第７図は走行制御装置の停止制御回路を示すブロック図
、 第８図は停止制御手順のフローチャート、第９図は停止
位置を確認する光送受信器をステーション側に付加した
概略を示す斜視図、第１０図は光送受信器をステーショ
ン側に付加した場合における走行制御装置の停止制御回
路を示すブロック図、 第１１図は停止制御手順のフローチャートである。 （１）・・・磁気浮上搬送車、（３ａ）〜（３ｄ）・・
・鉄心、（４ａ）　〜（４ｄ）−＝電磁コイル、（５ａ
）〜（５ｄ）−永久磁石、（９ａ）〜（９ｄ）・・・ギ
ャップセンサ（２１）・・・ガイドレール、 （３１ａ）　〜（３１ｄ）　・・・浮上制御回路、（４
０）・・・質量検知手段、 （Ｍａ）〜（Ｍｄ）・・・浮上マグネット第４図 第５図 （ａ）　　　　　　　（ｂ） 第９図 ６ＩＲ 手　　続　　補　　正　　書（自発） 特許庁長官　　吉　１）文　毅　殿 １、事件の表示 昭和６２年特許願第２８１８０８号 ２、発明の名称 磁気浮上搬送車の質量検知方式 ３、補正をする者 ４、代理人 ５、補正命令の日付（自発） ６、補正の対象 明細書中、発明の詳細な説明の欄 ７、補正の内容 （１）明細書中筒２頁第４行の「質量検知方式でに関す
」の記載を「質量検知方式に関す」と訂正する。 ［有］　同書第５頁第１１行の「フィードバックするこ
とによって、」の記載を「フィードバックし、外力に対
して０型の制御系を構成することによって、」と訂正す
る。 （３）同書第９頁１３行の「照射するの発光体」の記載
を「照射する発光体」と訂正する。 （４）同書第１２頁８行の「ギャップ」へ鍬を「ギャッ
プ」と訂正する。 （５）同書第１２頁第１５行の「ギッヤップ」の記載を
「ギャップ」と訂正する。 （６）同書第１３頁第４行の「ギッヤップ」の記載を「
ギャップ」と訂正する。 （７）同書第１３頁第９行の「４ビツトの」の記載を「
４ビツトと訂正する。 （８）同書第１４頁第１５行〜第１６行の「接続磁気浮
上搬送車」の記載を「磁気浮上搬送車」と訂正する。 （９）同書第２１頁第３行の「原点の近傍に入っておら
ず、」の記載を「原点の近傍に入っていないか又は、」
に訂正する。 ００）同書第２１頁第９行の「算出し、計算を」の記載
を「算出し、出力計算を」に訂正する。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、強磁性体で形成されたガイドレール上を非接触状態
   で走行可能な磁気浮上搬送車の質量を検知する質量検知
   方式であって、 少なくとも電磁石を有する浮上マグネットと、電磁石に
   電流を流して磁気浮上搬送車の浮上を制御する浮上制御
   手段と、浮上マグネットとガイドレールとのギャップを
   検出するギャップセンサと、検出したギャップ値から、
   上記浮上マグネットの吸引力特性と上記浮上制御方法と
   によって定まるギャップと質量との関係に基づいて磁気
   浮上搬送車の質量を求める質量検知手段とを具備するこ
   とを特徴とする磁気浮上搬送車の質量検知方式。