JPH01124233A - 収納治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、異物の付着を嫌う部材の処理、＊送。

保管などに使用される収納治具に係り、とくに部材の格
納数を生産ロッド数の変化に対応しうるようにする場合
に好適な収納治具に関する。

〔従来の技術〕

従来のウェハなどの収納ケースは、たとえば特開昭５９
−２１３１４２に記載されているように、丸形あるいは
角形をした基板を約２５枚収納するための溝を有し、上
端と下端が開放され、基板と上端の溝にそうて収納する
一体形の構成をしたものが提案されている。

また、特開昭６１−１７００４２に記載されているよう
に、ウェハを比較的長い期間運搬、保管するのにさいし
、ウェハを１枚あるいは２枚格納するウェハキャリヤを
搬送ボックスの内面に設けた突出部材により一定方向に
限って正規の方向に収納可能にし、もしウェハキャリヤ
が誤った方向に収納された場合には、ウェハ搬送ボック
ス本体よりウェハキャリヤが浮き出てこの状態では蓋が
斜めになって正規の密封状態にならなくなり、ウェハキ
ャリヤが誤った方向に収納されないことを検知するよう
にしたものが提案されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

前記前者の従来技術においては、１回のウエハの処理枚
数が１枚あるいは数枚の場合でも約２５枚収納可能なウ
ェハキャリヤに１枚あるいは数枚毎に分割して収納して
それぞれを搬送保管する必要があるため、製造工程内に
滞留しているウェハの枚数に比較してウェハキャリヤの
数が多くなって搬送、保管、収納効率が低下する問題が
あった。

また後者の従来技術においては、搬送ボックスの蓋をあ
けてウェハキャリヤを取り出したのち、ウェハキャリヤ
内からウェハを取り出す必要があるため、ウェハを自動
的に処理する装置に適用した場合、ウェハを自動的に取
り出すための機構が複雑となる問題があった。

本発明の目的は、部材の格納量に応じて収納サイズを変
更可能にして作業スペース、保管スペースの有効利用を
可能にし、かつ搬送時および保管時に外部の塵埃などの
異物の付着を防止し、かつ簡単な構成およびハンドリン
グ工数の低減を可能とする収納治具を提供することにあ
る。

〔問題点を解決するための手段〕

前記の目的は、収納する部材の数量に対応する個数を分
離可能に結合して上記部材を間隔をおいて整列可能に保
持する保持具と、この保持具および上記部材を空間を有
するように覆う大きさ（こ形成され、上記保持具と同一
ピッチで同一個数だけ分離可能に結合し、一端部を密閉
し、他端開口部から上記保持具および上記部材を挿入し
て上記保持具の端部に対接したとき、内部を密閉される
蓋とから構成された収納治具によって達成される。

〔作　　用〕

本発明による収納治具は、生産計画、生産指示に即応し
た部材の格納数量にするため、保持具および蓋の長さを
格納する部材の数量に対応して自由に調整し、保持具お
よび蓋を洗浄したのち、部材を格納する。この場合、ク
リーンされた室内において行なうことはいうまでもない
ところである。

部材の出し入れは、蓋を保持具の先端部の方向に移動し
て保持具を開放することにより直ちにウェハを取り出す
ことができるので、操作が容易でかつ構成が簡単である
。

また、部材を取り出したのち、蓋を上記と逆方向に移動
してその先端部を保持具の一端部に対接して固定するこ
とにより、内部を密閉して外気の雰囲気と遮断できるの
で、ウェハに異物が付着するのを防止することができ、
かつ部材の保管、＊送を収納数量に対応できるスペース
にすることができるので、スペース効率を向上すること
ができる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例であるウェハ収納治具を示す第
１図乃至第４図について説明する。

なお、本実施例においては、あらかじめ収納するウェハ
の枚数が決定され、これに対応する保持具および蓋の長
さが決定されたのち、ウェハ収納治具を洗浄することを
前提とするものである。

そのため途中工程でウェハの枚数を変更する必要が生じ
たときには、そのウェハ枚数に対応するウェハ収納治具
を用意するか、あるいは現在使用するウェハ収納治具を
組み付は換えをしたのち、再度洗浄する。（このことは
、後述の本発明の他の一実施例を示す第４図についても
同様である。）第１図乃至第３図に示すように、ウェハ
収納治具１は、ウェハ支持ビン１４と本体プレート１５
と補助プレート１６とを有するウェハ収納治具本体１１
と、リンク１７と蓋プレート１８と、固定リング１９と
を有する蓋１２と、固定クリップ１３とから構成されて
いる。

上記ウェハ支持ビン１４は、第３図に示すように、中央
部外周面に角形状した着脱用溝１４１を形成し、一端に
オネジ部１４２を形成し、他端にメネジ部１４３を形成
し、今収納するウェハｌＯの枚数が４枚のときには４Ｘ
３＋３＝１５個用意し、互いにオネジ部１４２とメネジ
部１４３とを螺着して各５個づつを直列に結合したもの
を３組形成する。なお、２個のウェハ支持ビン１４の結
合部分には、第２図に示すように１枚のウェハ１０を挿
入支持しうるウニ／％セフト溝１４４を形成している。

またウェハ支持ビン１４の各ピッチＰ、は振動などによ
ってウェハ１０同志が接触して割れ、カケなどの損傷を
発生しない大きさに形成されている。

上記本体プレート１５は、第２図に示すようにその内側
面の内周方向３カ所にウェハ支持ピン１４のオネジ部１
４２と螺着するメネジ部１５１を形成し、それぞれ複数
個直列に結合した３組の支持ピン１４の一端部を支持し
ている。

上記補強プレート１６は第２図に示すように、その内側
面の上記本体プレート１５のメネジ部１５１に対向する
位置に３個のオネジ部１６１を形成し、３組の支持ピン
１４の他端部を支持している。

上記リンク１７はその内径を、ウェハ支持ビン１４およ
びウェハ１０に対して空間を有する大きさに形成され１
、そのピッチＰ２をウェハ支持ビン１４のピッチＰ１と
同一に形成され、かつウェハ支持ビン１４と同一数だけ
直列に結合している。

上記固定クリップ１３はバネ板材にて形成され、両端部
が常に内方に折り曲がっていて、その両端部を外方に開
いて本体プレート１５と蓋プレート１８とを介挿するこ
とにより弾性力によってウェハ収納治具本体１１六１１
１２とを一体に固定させるように形成されている。

本発明によるウェハ収納治具１は前記のように構成され
ているから、つぎにウェハ１０を処理するため、その着
脱方法について説明する。

まず、あらかじめ収納するウェハの枚数に対応した個数
のウェハ支持ビン１４および蓋プレート１８を結合して
支持ピン１４は本体プレート１５および補助プレート１
６に組み付け、蓋プレート１８は蓋プレート１８および
固定リング１９に組み付ける。

ついで、組み付けられたウェハ収納治具本体１１および
蓋１２を洗浄したのち、各ウェハセット溝１４４内にウ
ェハ１０を格納する。

ついで１１１２を移動してその先端部の固定リング１９
を本体プレート１５の内側面に対接させこれらを固定ク
リップ１３にて一体に固定することによって蓋１２内に
ウェハ１０が密閉される。

ついで、クリーンされた室内においてウェハ１０を出し
入れするときには上記と逆の動作を繰返して蓋１２を開
放することにより、ウェハ１０を直接ウェハ支持ピン１
４から取り出すことができるので、操作が容易である。

つぎに前記ウェハ収納治具１を用いてウェハ１０の着脱
機構について第４図により説明する。

第４図に示すように、ウェハ着脱装置２０は、往復台２
２．固定台２６．ウェハ１０をウェハ収納治具１にチャ
ージおよびディスチャージするハンドリング装置本体３
０とから構成されている。

つぎにウェハ収納治具１内からウェハ１０を取り出す方
法について説明する。

まず、ウェハ収納治具１が本着脱機構に運搬されると、
往復台２２が図示しない駆動源に接続する移動軸２３に
より３２Ａ矢印方向に図示位置まで移動する。このとき
往復台２２の上面に支持された本体プレート固定板２１
−１および固定台２６の上面に支持された蓋プレート固
定板２１４がそれぞれ図示位置より外方に回動して開い
た状態になっている。

この状態で蓋プレート１８を固定台２６にセントし、固
定台２６の外側面に固定され図示されていない蓋プレー
ト固定用駆動源を駆動し、蓋プレート固定板２１−２を
元の図示位置まで回動してウェハ収納治具本体１１およ
びウェハ１０を内部に収納する蓋プレート１８を固定す
る。

ついで、往復台２２を３２Ｂ矢印方向に移動し、本体プ
レート１５の外側面に接触して停止すると、往復台２２
の外側面に固定されたプレート固定板駆動源２４が駆動
し、本体プレート固定板２１−１が元の図示位置まで回
動して本体プレート１５を固定する。

しかるのち、クリップチャック２５が作動して固定クリ
ップ１３を取り外すと、往復台２２が３２Ａ矢印方向に
移動してウェハ収納治具本体１１およびウェハ１０を１
ｉ１２から取り出す。

一方、ウェハハンド３１が図示位置からウェハ収納治具
ｌ側に移動および回動し、ウェハ支持ビン１４にて支持
されたウェハ１０の裏面側を真空吸着してウェハ１０を
一点鎖線にて示す処理部に運搬する。

ついでウェハ１０をウェハ収納治具１に収納する場合に
は、前記と逆の手順によって行うことができる。

つぎに本発明の他の一実施例であるウェハ収納治具を示
す第５図について説明する。

第５図に示すように、ウェハ収納治具４０は、スライド
組立方式を利用したもので、中間収納治具４１１と、端
面収納治具４１２と、ウェハ保持柱４１３とを有する収
納治具本体４１と、それぞれ中間Ｍ４２１と端面Ｍ４２
２とウェハ振動板４２３とを有する蓋４２と、固定クリ
ップ１３とから構成されている。

上記中間収納治具４１１は、格納するウェハ１０の枚数
と同一数だけ設置され、それぞれコ形状をし、その上下
２個の水平壁４１１ａの一方端面には、台形状をした組
立溝４１１ｂを形成し、他方の端面には、この組立溝４
１１ｂに嵌挿する組立突起部４１１ｃを形成し、外側面
には、端部に上記固定クリップ１３にて蓋４２と一体に
固定されるフランジ部４１１ｄを形成するための溝４１
１ｅを形成し、下方の水平壁４１１ａの内側面には２個
の上記ウェハ保持柱４１３を間隔をおいて固定し、垂直
壁４１１ｆは各２個の水平壁４１１ａの端部と並列方向
に位置をずらしてその両端部に一対の凸部４１１ｇおよ
び凹部４１１ｈを有するように固定されている。なお上
記２個の水平壁４１１ａの間隔は、ウェハ１０をウェハ
保持柱４１３から取り外して外部に取り出しうる大きさ
に形成されている。

上記端面収納治具４１２は、上記中間収納治具４１１の
両側面に配置され、（図では手前側の端面収納治具が省
略されている。）それぞれ４３矢印方向からみて対称的
なコ形状をし、その上下２端面には、上記組立溝４１１
ｂもしくは組立突起部４１１ｃと同一形状をした組立溝
４１２ａもしくは組立突起部（図示せず）を形成し、４
３矢印方向と反対側端部には、上記凸部４１１ｇもしく
は凹部４１１ｈと同一形状をした凸部４１２ｂもしくは
凹部（図示せず）を形成している。

上記ウェハ保持柱４１３は、上記各下方の水平壁４１１
ａの内側面に２個宛固定され、それぞれ上端面を円弧状
に形成するとともにその中央部にウェハ１０の下方部を
嵌挿支持するウェハ’／Ｒ４１３ａを形成している。

上記中間Ｍ４２１は、上記中間収納治具４１１と同一数
だけ設置され、それぞれ一方の側面には角形状をした組
立溝４２１ａを形成し、他方の側面には、この組立溝４
２１ａに嵌挿する組立突起部４２１ｂを形成し、内側上
方部には、ウェハ１０の斜上方部を保持するウェハ振動
防止板４２１ｃを固定し、その上端部には、上記中間収
納治具４１１のフランジ部４１１ｄ上端面と係合するス
トッパ４２１ｄを固定している。

上記端面４２２は、上記中間蓋４２１の両側面に設置さ
れ、それぞれ内端面には、上記中間蓋４２１の組立溝４
２１ａもしくは組立突起部４２１ｂと同一形状をした組
立溝４２２ａもしくは組立突起部（図示せず）を形成し
、内側面上端部に上記中間Ｍ４２１のストッパ４２１ｄ
と同一形状をしたストッパ４２２ｂを固定している。

本実施例によるウェハ収納治具４０は、前記のように構
成されているから、つぎにウェハ収納治具４０の組立お
よびウェハ１０の出し入れの手順について説明する。

まず、格納するウェハ１０の枚数と同一数の中間収納治
具４１１および中間Ｍ４２１を用意する。

しかるのち、所定数の中間収納治具４１１を互いに組立
溝４１１ｂと、組立突起部４１１ｃとを、および凸部４
１１ｇと凹部４１１ｈとをスライドしながら嵌挿して組
み付ける。

また、所定数の中間Ｍ４２１を互いに組立溝４２１ａと
組立突起部４２１ｂとをスライドしながら嵌挿して組み
付ける。

ついで、両端の中間収納治具４１１の組立溝４１１ｂお
よび組立突起部４１１ｃと端面収納治具４１２の組立突
起部および組立溝４２１ａとを互いにスライドしながら
嵌挿してウェハ収納治具本体４１を組み付ける。

また両端の中間Ｍ４２１の組立溝４２１ａおよび組立突
起部４２１ｂと、端面Ｍ４２２の組立突起部および組立
溝４２２ａとを互いにスライドしながら嵌挿して蓋４２
を組み付ける。

ついでウェハ収納治具本体４１および蓋４２を洗浄した
のち、所定数のウェハ１０をそれぞれウェハ保持柱４１
３のウェハ溝４１３ａ内に嵌挿して支持させる。

ついで、蓋４２を移動してそのウェハ振動防止板４２１
ｃをウェハ１０の斜上方に接触させ、かつＭ４２の内側
面をウェハ収納治具４１の４３矢印方向側端面に対接さ
せるとともにストッパ４２２ｂをフランジ部４１１ｄ上
端面に係合させる。

この状態で、固定クリップ１３にてフランジ部４１１ｄ
とストッパ４２２ｂとを挟むように固定すると、内部の
ウェハ１０を外部と遮断した状態でウェハ収納治具４０
が組み立てられる。

このようにして組立られたウェハ収納治具４０は搬送、
保管のさい、蓋４２に固定されたウェハ振動防止板４２
１ｃがウェハ１０の斜上方部を保持しているので、ウェ
ハ１０の振動を防止することができる。

したがって、本発明のよ−ｙ＝Ｉｐｂウェハ収納治具は
上記の実施例から明らかなように、格納するウェハの枚
数に対して柔軟な対応ができる保管スペースを存するの
で、保管スペースの効率向上をはかることができる。

また、外気との空気の流れを遮断できるウェハ収納治具
および蓋が構成されているので、ウェハへの異物付着を
防止できるとともに蓋を外すことでウェハの取り置きを
容易に行なうことができ、これによって治具のハンドリ
ング工数を減少しかつ異物発生を防止することができる
。

なお、前記の各実施例はウェハ収容に関するものである
が、これに限定されるものではなく、たとえば異物の付
着を嫌う物品あるいはスペース効率が問題になる場合に
適用できる。

〔発明の効果〕

本発明によればつぎに述べるような効果が得られる。

（１１被収納物があるウェハを生産計画に応じ、ロフト
のサイズを自由に編成しても、おのおのの収納枚数に追
随できるフレキシブル構造の収納治具であるために、従
来の定形サイズのキャリアに比較して、作業スペース、
保管スペースを有効に利用することができる。

（２）収納治具本体、蓋をクリップにより収納治具内部
を密閉した雰囲気を確保できるので、搬送時および保管
時に外部の塵埃などの異物の付着を防止することができ
る。

（３）従来のキャリアとウェハ搬送ボックスの二重の容
器であったために、ウェハのハンドリング時は二重の操
作が必要であったが、本発明では、蓋を外す１回のハン
ドリング機構でウェハを取り出せるため、機構の簡素化
に伴い安価な装置となる、また人が介在する場合には、
ハンドリング工数が少ない工数ですむ、さらに、ハンド
リングにともなう振動回数が少ないことにより、ウェハ
と治具間においての振動等による異物発生の防止と異物
付着の防止をすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例であるウェハ収納治具を示す
斜視図、第２図は第１図に示すウェハ収納治具本体の拡
大正面図、第３図は第１図および第２図に示すウェハ支
持ビンの一部断面拡大図・第４図は本発明が適用するウ
ェハ着脱装置の一例を示す斜視図、第５図は本発明の他
の一実施例であるウェハ収納治具を示す斜視図である。 ｌ・・・ウェハ収納治具、１０・・・ウェハ、１１・・
・ウェハ収納治具本体、１２・・・蓋、１３・・・固定
クリップ、１４・・・ウェハ支持ビン。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １．収納する部材の数量に対応する個数を分離可能に結
   合して上記部材を間隔をおいて整列可能に保持する保持
   具と、この保持具および上記部材を空間を有するように
   覆う大きさに形成され、上記保持具と同一ピツチで同一
   個数だけ分離可能に結合し、一端部を密閉し、他端開口
   部から上記保持具および上記部材を挿入して上記保持具
   の端部に対接したとき、内部を密閉される蓋とから構成
   されていることを特徴とする収納治具。