JPH01124204A - 着磁方法 - Google Patents

着磁方法

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JPH01124204A
JPH01124204A JP28258887A JP28258887A JPH01124204A JP H01124204 A JPH01124204 A JP H01124204A JP 28258887 A JP28258887 A JP 28258887A JP 28258887 A JP28258887 A JP 28258887A JP H01124204 A JPH01124204 A JP H01124204A
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JP
Japan
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magnetization
magnetic
base material
magnetized
magnetic pole
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Pending
Application number
JP28258887A
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English (en)
Inventor
Kiyoshi Inoue
潔 井上
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Inoue Japax Research Inc
Original Assignee
Inoue Japax Research Inc
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Publication date
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は数値制御装置の指令により母材に任意形状の
着磁をし、その着磁状態を検出して、更に着磁を重ねる
か、或いは消磁をして修正する着磁方法に関する。
〔従来の技術〕
先に本発明者は特開昭61−269,004号公報でス
テンレス、セラミックス或いは合成樹脂等の非磁性材を
磁気スケールの母材(基材)として用い、そこの母材を
、互いに直角なXY力方向数値制御で移動する加工テー
ブル上に固定するが、更にこの加工テーブル上に固着し
た回転割出¥R置に固着して所定間隔の送りを与えてレ
ーザ光線で所定長さの溝を刻設し、その溝に供給した磁
性体粉を先に溝を刻設したときのレーザ光線を用いて溶
着するようにしたもの、又その溶着を不活性ガスや真空
の中で行なうことによって磁性体粉の酸化を防止し、更
に溶着する前に溝に供給した磁性体粉を加圧するように
して作る磁気スケールを提供した。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかして、この従来技術は母材に溝を刻設し、その溝に
磁性体粉を供給して磁化するようにした磁気スケールに
関するものであるから、任意の形状に着磁を施し、その
着磁状態を検出して均一な磁束を有する精度のよい磁極
を得るものではなかった。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の着磁方法は、着磁をする半硬質又は硬質の磁石
材料である母材を取付けて、互いに直角なX@Y軸方向
に数値制御する加工テーブルと、この加工テーブルの移
動平面と直角なZ軸方向に数値制御移動するアームと、
このアームに取付けて母材にレーザ光を照射するレーザ
装置、又は細い先端を有する磁極と、母材に磁界を与え
る磁界発生装置と、母材の着磁状態を検出する磁気検出
器と、前記各装置を制御する数値制tll(NG)装置
とを備え、NC装置の指令により母材に任意形状の着磁
を行ない、その着磁状態を検出して更に着磁又は消磁を
して着磁状態の修正をするようにしたものである。
〔作用〕
本発明はNC装置の指令により、母材に任意形状の着磁
をしその着磁状態を検出して更に着磁を重ね、或いは消
磁をして修正するものであるから、磁極の形状を修正し
、更に均一な磁束を有する任意形状の磁極を得ることが
できたものである。
〔実施例〕
本発明を例示した図に基づいて説明する。第1図は本発
明の着磁方法を実施する装置の図である。
図に於て、1は永久磁石類の希土類磁石、AノNi C
o磁石、Fe Cr磁石、フェライト磁石等々、又半硬
質磁石のCr、Ni、FeとかF e、 Cr、とかN
i、Fe系等の母材である。この母材1を固着した加工
テーブル2はテーブル3の上をモータ4により図中左右
のX軸方向に移動し、その移動量はモータの回転角度を
検出するエンコーダ5又は図示していない位置検出装置
によって検出され、所定の設定されたピッチ、例えば1
μmづつ移動する。
又このテーブル3はサドル6の上をモータ 7により前
記X軸方向と直角のY軸方向に移動し、その移動量はモ
ータ 7の回転角度を検出するエンコーダ8又は図示し
ていない位置検出器で検出し制御される。しかしてこの
母材1を取付けた加工テーブル2は互いに直角なX@Y
軸方向に数値制御移動する。この加工テーブル2の移動
平面と直角なZ軸方向に摺動面を有するコラム9には、
この摺動面に枢支され、モータ10によって移動するア
ーム11が設けてあり、そのアーム11の先端部には図
示していない集光レンズ等を内臓したレーザ装置12と
、磁性体粉を入れた供給箱13が設けられ、この供給箱
13にはモータ14で稼動する定量供給装置(図示せず
)が内臓されていてノズル15より所定量の磁性体粉を
母材1の上に供給する。更にアーム11にはブラケット
30に磁気検出器31を取付けて磁性を検出するように
なっている。又図示していないが、供給した磁性体粉を
加圧するローラ装置を設けることもある。レーザ装置1
2にレーザ光線を送るレーザ光線の発生装置17は発行
制御電源18より供給された電源によりレーザ光線を発
生する。
その発光制御電源18は又NC装置19によって制御さ
れて作動する。又このNG装置19は発光制御電源18
の外にモータ4,7.26をエンコーダ5,8.25の
検出信号と相俟って駆動し、更に環状の磁場発生コイル
20に間歇パルス励磁等をなす励磁制御電源21を制御
し、更にこの制御はフィードバックされる磁気検出器3
1の検出値によってなされる。
第2図に示すものは、ロータリエンコーダの磁気目盛を
作るときに用いる回転割出装置22であって、台23に
設けたチャック24をエンコーダ25により回転角度を
検出して回動するモータ26によって割出回動する、チ
ャック24に円板状の母材27を取付けて放射状の磁気
目盛28を作るところが示されているが、この磁気目6
28を円板状の母材21の側部に設けたいときには第3
図に示すように1枚又は複数枚重ねて取付けたチャック
24の回転軸心が水平になるように台23を加工テーブ
ル2に装着しておいて、何れの場合にもエンコーダ25
、モータ26を制御装置19に接続する。
しかして、母材1に、熱処理又は磁場中熱処理の磁気異
方性加工処理によって磁気異方性となる半硬質、硬質の
磁石材料を用いる場合に於て、磁気異方性を有しない部
分、又は全体と異なる方向に磁気異方性を有するように
しておいて、この部分に磁界を加えて磁化するところの
磁化部分の形をNG副制御るとき、レーザ光12Aを用
いるものである。つまり本発明は前述したように、磁界
を加えて磁化するときに、着磁電極(磁極)を制御して
も、その着磁状態がなお不均一の場合があり、そのとき
部分的に若しくは全体の形状的にレーザ光12Aを照射
して温度を上昇させることにより磁極の強さを減少して
弱磁させるか、キューり点に昇温して脱磁する。更にこ
れを磁界中で行なうことにより着磁状態を修正する目的
を達成するようにしたものである。例えばRtCOs磁
石に於て、従来の着磁電極を備えたNG着磁機による線
型着磁では精度が±0.02 Imであり、パルス磁化
の精度は0.8%であったが、これをYAGレーザ12
Aを用い10 ra secのパルス磁場を併用して着
磁したときの着磁精度は±0.016mn+1磁束精度
は0.2%なった。磁場発生コイル20に励磁制t[源
21より間歇パルスを加えて励磁するとき、母材1及び
母材1に磁化するところが角の近くとか、隣の磁化が影
響を与えるようなときは、通常の状態で着磁したときは
他の磁極に比べて異なった磁極となり、更に又他極に影
響して感磁する等の欠点があった。
この欠点を改良するために、着磁位置に磁界を検出する
磁気検出器31を設ける。幾つかのものを例示するなら
ば、例えば第7図に示すように磁気検出器31のヘッド
42に励磁巻線43と検出巻線44が巻いてあり、励磁
巻線43に高周波電流を流すと、ヘッド42の磁極45
に交番磁界が励磁され、検出信号線44に交番電圧が発
生する。ここに着磁した母材1からの磁束が磁極45に
導入されると、その磁束の量に応じて変化した信号電圧
が検出信号巻線44にあられれ、その信号電圧をNC装
置19に入力するものがある。
しかして、第8図に示すように、磁気スケールの母材1
に着磁をするときに、正常な着磁形状の目盛46の外に
目盛47.48やその他種々な形状に着磁される場合が
あり、その着磁に対応して本発明では、第8図に示すよ
うな着磁形状を想定し、例えば目盛47.48の着磁形
状に対応する形状の磁気抵抗素子47’ 、 48’を
第9図に示すように、ガラス又はセラミックスの基板5
5上に9作成して磁気検出器31に備え、端子49.5
1に電流電圧を加え、端子50からの出力をNC装置1
9に入力し、更に端子52.54に電流電圧を加え、端
子53からの出力をNC装@19に入力し、夫々の入力
信号によって、母材1に着磁した目盛の形状を判断する
。そして正常な目盛46と異なる場合には異なる部分の
目盛を消磁して着磁し直すか、或いはNC装置19の指
令で、弱い磁界(短い時間のパルス磁界)を重ねて着磁
し、目的の極となるようにするものである。
このように着磁するとき残留磁界を検出して着磁状態を
制御しながら着磁する着磁方法によった場合は、例えば
RICOs系、Rz co t 7系、Fe Nd B
系の母材1に着磁するとき、何れも磁界の精度を0.0
5%以下に保つことができ、更に磁極の寸法精度が±0
.012mmとすることができたものである。
第4図に例示したものは第1図に於けるレーザ装置12
に代えて、磁極32を設けたものである。この第4図に
於ては、磁気検出器31と、磁性粉を供給する供給箱1
3は省略してあり、第1図と同じ構成のものについては
同一符号を付してその説明を省略する。磁極32はアー
ム11に取付けた磁極支持部材33の上に設けたスライ
ドボックス34に枢支し、モータ35で2軸方向に制御
移動するようになっている。この磁極32を磁化するコ
イル36にはNC装置19の指令で作動する励磁制御装
@37の出力信号にしたがってスイッチ38を作動し、
直流電源39よリパルス電流を印加する。このような磁
化装置に於ては先端が点若しくは微小線状の磁極32を
用い、NC装置19で位置制御しながら、且つアーム1
1と磁極32とをモータ10,35で制御し、!1極3
2と母材1との間隙、及び母材と磁極支持部材33との
間隙を制御しながら着磁する。この着磁装置によるとき
は磁極の形状精度をよくすると同時に磁束変動を最小に
するようにすることができ、例えばFOCOの電極32
を用いてRz Co l 7の母材に最小の磁石幅o、
os mmに磁化することを±0.02 mmの精度で
なし得、しかも磁束変化率は0.1%以下にすることが
できた。このように精密な形状で磁束変化率の少ない磁
極は精密な位置制御とかトルク等の動力制御をする時に
利用できるものである。
又、磁極32に特公昭53−29,236号公報で開示
したように脱磁用交番磁界を印加して滑磁作用をする。
しかして、これ等の制御は消磁した磁極の幅とか間隔に
よる外、本発明による任意形状の磁極によってなすもの
である。そこで、例えば第5図及び第6図に示すように
任意形状の一定の広さの磁極40.41を得るときは、
点磁極を形状に応じて、始めて中心より着磁し始める等
、その形状によって着磁順序を選定して着磁するように
して、安定的に異形磁極を作る用にしたものである。こ
の点磁極はレーザ光12A、磁極32の外に図示してい
ない微小面積着磁ヘッドを用いるものであり、それ等を
NC制御により位置出しして任意の形状に着磁し、且つ
重ねパルス着磁をして異形磁極を作るようにしたもので
ある。
本発明は上述したこと等によって永久磁石、半永久磁石
等に於て、磁極の形状、更には磁束の精度を要求すると
きは磁極管!i後、部分的に磁極32に逆磁界を加えて
、更に前述したようにレーザ光12Aを照射して消磁、
若しくは半消磁をしながら着磁した磁極を修正するもの
で、逆磁界を加えて脱磁するときにはNC装置19で位
置制御する。例えばR+Go系の母材1に幅0.1mm
磁束精度0.3%磁石を得ることができたものである。
〔発明の効果〕
本発明によるときは、NC装貢により、母材とレーザ、
磁極又は微小面積Wlaヘッドを相対的に移動させなか
ら着磁をし、その着磁状態を検出して脱磁をしたり、着
磁を重ねたりすることにより、磁極の幅や間隔はもとよ
り、形状によっても、位置、トルク等の制御をすること
ができる任意形状の磁極を、磁束を均一に且つ精度良く
得ることができたものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明を実施する装置を例示した図、第2図、
第3図は円周方向の割出しをするときに用いる装置を例
示した図、第4図は本発明を実施する装置を例示した図
、第5図、第6図は本発明により着磁した磁極を例示し
た図、第5図、第6図は本発明により着磁した磁極を例
示した図である。 1・・・・・・・・・母材 2・・・・・・・・・加工テーブル 11・・・・・・・・・アーム 12・・・・・・・・・レーザ装置 19・・・−・・・・数値制御(NC)装置21・・・
・・・・・・励磁制御電源 31・・・・・・・・・磁気検出器 32・・・・・・・・・磁極 37・・・・・・・・・励磁制御装置 時  許  出  願  人 株式会社井上ジャパックス研究所 代表者 井 上   潔 第1図 第2図     第3図 第4図 第7図 第8図 第9図 手続ネfli正書(方式) 1、事件の表示 昭和62年 特 許 願 第282.588号2、発明
の名称 着磁方法 3、補正をする者 事件との関係    特許出願人 住 所 神奈川県横浜市緑区長津田町字道正5289番
地4、補正命令の日付   昭和63年2h23日5、
補正の対象  明細コ図面の簡単な説明の欄6、補正の
内容  別紙の通り (1)明細書第13頁第3〜4行の「第5図、第6図は
・・・・・・・・・である。」を「第7図は磁気検出器
を例示した図、第8図は着磁形状を例示した図、第9図
は磁気抵抗素子を例示した図であるりと補正する。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)着磁をする母材と、この母材を取付けて互いに直
    角なX軸、Y軸方向に数値制御移動する加工テーブルと
    、この加工テーブルの移動平面と直角なZ軸方向に数値
    制御移動するアームと、このアームに取付けたレーザ装
    置又は磁極並びに母材の着磁状態を検出する磁気検出器
    と、前記各装置を制御する数値制御装置とを備え、数値
    制御装置の指令により母材に任意形状の着磁を行ない、
    その着磁状態を検出して更に着磁又は消磁をして着磁状
    態の修正をする着磁方法。
  2. (2)母材が半硬質又は硬質の磁石材料である特許請求
    の範囲第1項に記載の着磁方法。
  3. (3)着磁が磁界を制御して行なわれる特許請求の範囲
    第1項に記載の着磁方法。
JP28258887A 1987-11-09 1987-11-09 着磁方法 Pending JPH01124204A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103489562A (zh) * 2012-06-13 2014-01-01 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种声响器清磁装置
WO2015100076A1 (en) * 2013-12-23 2015-07-02 Kla-Tencor Corporation Apparatus and method for fine-tuning magnet arrays with localized energy delivery
JP2023037155A (ja) * 2021-09-03 2023-03-15 マグネデザイン株式会社 着磁装置

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